【課題】性能の低下を抑制できる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドは、ノズル開口に連通する複数の圧力発生室が並設された流路形成基板と、流路形成基板上に配置された振動板と、圧力発生室に対応するように振動板上に配置された圧電素子と、圧電素子から引き出されたリード電極と、振動板と接着剤を介して接合され、振動板との間で圧電素子が配置される封止空間を形成する接合基板と、を備える。リード電極は、封止空間内において圧電素子に接続される第１部分と、接合基板と振動板との間に配置され、第１部分と結ばれる第２部分と、接合基板と振動板との間に配置され、第２部分と結ばれる第３部分と、封止空間外に配置され、第３部分と結ばれる第４部分と、を有する。第２部分の幅は、第１部分の幅及び第３部分の幅よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】基板と撥水膜の密着性を向上させることができ、耐磨耗性を向上させることができる撥水膜の形成方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ＯＨ基を有する基板１０を加熱する加熱工程と、加熱工程後の基板上にシランカップリング剤３１により有機膜を形成する有機膜形成工程と、を有し、前記加熱工程と、前記有機膜形成工程と、を大気中の水蒸気の付着を抑制し、連続して行なうことを特徴とする撥水膜３０の形成方法、ノズルプレート、インクジェットヘッド、および、インクジェット記録装置である。 （もっと読む）

【課題】 電気特性評価を行う際のコンタクト電極に削除しきれないとコンタクトが得られなくなる
【解決手段】 振動板上に上記圧電素子を半導体プロセスで積層して形成する際には、下電極と圧電体層と上電極を順次積層して圧電素子を形成する。このとき、下電極の一部に平面での形状が先細りとなるコンタクト電極を形成しておく。下電極のパターニング後に圧電素子の素材を塗布して焼成し、更に不要部分をエッチングで除去する。コンタクト電極は下電極の一部に平面での形状が先細りとなるように形成されているため、このコンタクト電極の上に塗布される圧電体層の素材の膜厚はその幅によって変化する。すなわち、コンタクト電極の上に積層された圧電体層の素材は幅狭となるのに従って徐々に薄くなっている。 （もっと読む）

【課題】異物欠陥を抑制することのできる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】流路形成基板用ウェハ１１０と当該流路形成基板用ウェハ１１０よりも大きいリザーバ形成基板用ウェハ１３０とを接着剤３５を介して接合する基板接合工程と、基板接合工程の後、流路形成基板用ウェハ１１０の外縁に沿ってはみ出している接着剤３５ａを２流体洗浄により除去する接着剤除去工程と、を有する液体噴射ヘッドの製造方法を採用する。 （もっと読む）

【課題】スルーホールの位置精度を向上させるとともに、スルーホール周辺の機械強度を高めること。
【解決手段】スルーホールの形成方法では、シリコン基板１０１の第１の面においてスルーホールが形成される領域の周囲に、シリコン基板１０１よりも不純物濃度が高い第１の不純物領域１０２ａを形成し、シリコン基板１０１の深さ方向において第１の不純物領域１０２ａに隣接する位置に、第１の不純物領域１０２ａよりも不純物濃度が高い第２の不純物領域１０２ｂを形成する。そして、前記第１の面の上に、エッチングストップ層１０３を形成し、シリコン基板１０１の前記第１の面に対向する第２の面の上に、開口部を有するエッチングマスク層１０４を形成する。そして、前記開口部を通して、少なくともエッチングストップ層１０３が露出するまで、シリコン基板１０１をエッチングする工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】犠牲層の除去時に犠牲層の残渣がインク室内に残留することを防止し、インク室の体積を精度良く保つことが可能なインク吐出ヘッドの製造方法と、インク吐出ヘッドとを提供すること。
【解決手段】板状の基板１１と、基板１１の一方の面に形成されたヒーター１３とが準備される。次に、インク流路パターンに対応する位置に設けられる犠牲層１６と、犠牲層１６及びヒーター１３を少なくとも含み、インク室ＣＨを区画する流路壁１５と、流路壁１５及び犠牲層１６の上に設けられるノズル層１７とが、基板１１の一方の面に形成される。次に、インクが吐出される吐出孔Ａが、ノズル層１７に形成される。その後に、犠牲層１６を吐出孔Ａを通ってインク室ＣＨの外部に排出することで、犠牲層１６が除去される。そして、基板１１の他方の面から一方の面へと貫通するインク供給口Ｂが、他方の面からエッチングによって形成される。 （もっと読む）

【課題】本発明はインクジェットプリントヘッド及びその製造方法に関する。
【解決手段】本発明によるインクジェットプリントヘッドは、インク流路が形成されるインクジェット基板と、上記インクジェット基板から上記インク流路の外側に形成され、上記インクジェット基板のヘッドチップ単位の分離による切断面が形成される切断部と、上記切断部の一面から上記インクジェット基板の厚さ方向の内側に形成され、上記インクジェット基板のヘッドチップ単位の分離を補助する切断補助部を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】ノズルの吐出検査の信頼性を向上しながら総検査時間を長期化させない。
【解決手段】ヘッド６２の複数のノズルを２以上のノズルを含むブロックに分け、該ブロックを順次検査対象ブロックに設定し、検査対象ブロック内のノズルを順次検査対象ノズルに設定する。検出制御部７６は、検査対象ノズルごとに、検査電極７２に向かって液体を吐出させたとき及びすべてのノズルから液体を吐出させないときの電圧信号を検出する。そして、検査対象ブロック内のすべてのノズルの電圧信号の検出が終了した後、そのノズルの各々につき吐出の良否及びノイズの有無を判定し、判定結果をコントローラー２０へ送信する。コントローラー２０は、判定結果に基づいてノズルが正常か異常かを判定し、正常か異常かを判定できない不明ノズルがあったならば今回のブロックを再び検査対象ブロックに設定して不明ノズルのみを順次検査対象ノズルに設定して再検査を行う。 （もっと読む）

【課題】インク供給口４から供給されたインクを吐出する際に、インク流れへの抵抗の増加を抑えつつ、サテライトを小さくしないようにインクを吐出する記録ヘッド１を提供すること。
【解決手段】本発明の記録ヘッド１は、複数の流路１７の配列の両側においてインク供給口４が配置され、少なくとも一方の側のインク供給口４は、流路１７の配列の全範囲に沿って所定の数のインク供給口４が配置される。そして、一つのインク供給口４は、複数の流路１７の配列に沿って長さを有し、複数の流路１７それぞれの一方の側と他方の側との両方からインクが供給されるようにされている。 （もっと読む）

【課題】はみ出した接着剤が圧電層の表面にせり上がるのを防止しつつ、複数のノズルからの液体の吐出特性がばらつくのを防止する。
【解決手段】流路ユニット２１と圧電アクチュエータ２２とを接着する前に、圧電アクチュエータ２２の、圧電層４２の縁とこの縁に最も近い個別電極４３との間に位置する部分に、圧電層４２の上面に開口した凹部を形成する。その後、流路ユニット２１と圧電アクチュエータ２２とを、両者の接着面に少なくとも一方に接着材５１を塗布してから互いに積層させ、ヒータ６０により圧電層４２の上面を流路ユニット２１に向けて押圧する。ヒータ６０は、圧電層４２の上面を押圧する押圧面６２Ａを形成する部分が弾性材料からなる弾性部６２となっており、押圧面６２Ａが圧電層４２の縁よりもはみ出すように配置された状態で、圧電層４２の上面を押圧する。 （もっと読む）

【課題】製造ロット毎に室温での硬化時間に差がある接着剤を用いて、効率良く電子部品の隙間を封止する。
【解決手段】第１工程Ｓ３で、接着剤として２液混合により重合を開始するものを用い、重合の開始後に一定時間Ｔ１の予備重合を行う。第２工程Ｓ４で、第１工程で予備重合された接着剤を用いて、各外装部材の隙間に接着剤を充填する。第３工程で、第２工程を経た両外装部材を接着剤硬化温度まで昇温させ、接着剤硬化温度で接着剤が硬化するまで保持する。接着剤の充填による接着エリア内の残存空隙が、第３工程での温度上昇による空気膨張によって前記接着エリアに破裂が発生しない破裂抑制粘度に接着剤がなってから、第３工程を開始する。残存空隙の熱膨張による破裂が抑えられ、接着エリアにボイドの発生が無く、耐久性や耐薬品性が向上する。 （もっと読む）

【課題】メッキ法を採用するにあたり生じ得る配線部の電気的接続不良及び剥離を抑制できる液体噴射ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】配線部２１０が、保護基板３０に形成された密着層２１１と、密着層２１１に形成された金属層２１３と、少なくとも金属層２１３に形成されたメッキ層２１４とを有し、密着層２１１は、金属層２１３およびメッキ層２１４の外縁部よりも大きく形成されているという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータの表面にせり上がってきた接着剤が、個別電極と重なる部分に到達してしまうのを防止し、且つ、圧電アクチュエータの反りを低減する。
【解決手段】圧電アクチュエータの作製時に、圧電層４２の上面４２Ａにおける、圧電層４２の縁と個別電極４３に対向する部分との間に、複数の表面電極４５を形成する。このとき、圧電層４２の縁に沿って複数配列されることによって形成された表面電極列４７が、圧電層の縁から離間する方向に向かって複数列形成され、且つ、隣接する表面電極列４７における、表面電極４５の間の隙間４８の位置が互いにずれるように、複数の表面電極４５を形成する。そして、流路ユニットと圧電アクチュエータとを積層させ、平坦な押圧面を有するヒータによって圧電層４２の上面４２Ａを流路ユニットに向けて押圧することによって、流路ユニットと圧電アクチュエータとを接着剤で接着する。 （もっと読む）

【課題】チップ外周側面の液滴保護膜剥がれを低減する。
【解決手段】ノズル基板１の接着面側にレジスト膜を形成し、第１ノズル孔１０ａ、チップ外周側面１４ａとなる部分のレジスト膜を除去するパターニングを行う。ここで、液滴吐出面側と反対側のチップ外周側面１４ａが、液滴吐出面側のチップ外周側面１４ｂより数μｍ内側となるようにパターニングする。液滴保護膜厚さの数十倍である数μｍとすることにより、液滴吐出面側と反対側のチップ外周側面に形成される液滴保護膜厚さを薄く、かつ、面積が小さくなる。よって、チップ外周側面の液滴保護膜剥がれを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】配線部の形成にメッキ法を採用するにあたり生じ得る圧電素子の動作不良を抑制できる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】インクを噴射するノズルに連通する圧力発生室を変位させる圧電素子３００と、圧電素子３００の上に少なくとも一部が乗り上げられ、該圧電素子３００と電気的に接続されるリード電極９０と、を有するインクジェット式記録ヘッドの製造方法であって、リード電極９０は、第１の導電層１２１と、メッキ法により形成され、第１の導電層１２１を覆う第２の導電層１２２と、を有しており、メッキ法により第２の導電層１２２を形成する前に、リード電極９０が接続される圧電素子３００の乗り上げ面１３０ａに、導電性を有する酸化膜１３１を形成する酸化膜形成工程を有するという手法を採用する。 （もっと読む）

【課題】 液体噴出装置において、低コストで精度の高い駆動信号を生成して液体を噴出させる。
【解決手段】 （Ａ）信号の波形形状を規定するデジタル信号に基づいてアナログ電圧信号を生成する制御部と、（Ｂ）前記アナログ電圧信号を電圧増幅する電圧増幅部と、電圧増幅された前記アナログ電圧信号を電流増幅して駆動信号を生成する電流増幅部と、前記駆動信号によって駆動され、ノズルから液体を噴出させる素子と、を有するヘッド部と、（Ｃ）前記アナログ電圧信号を、前記制御部から前記ヘッド部へ伝送する伝送部と、（Ｄ）電圧増幅された後、かつ、電流増幅される前の前記アナログ電圧信号の電圧を測定して得られる値を記憶する記憶部と、を備える液体噴出装置であって、前記制御部は、前記記憶部に記憶された前記値を用いて前記デジタル信号を変更し、該デジタル信号に基づいて前記アナログ電圧信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】デバイスの小型化や高密度化が可能な薄膜圧電体を用い、高い圧電効果を発揮して、高効率で駆動、検出が可能となる薄膜圧電体デバイスを提供する。
【解決手段】基板Ｂ１上にペロブスカイト構造の誘電体材料を成膜した薄膜圧電体２を備える薄膜圧電体デバイス１は、基板Ｂ１下側に形成される圧力室２と、圧力室２を形成する上面となる薄膜状の従動膜３と、この従動膜３の上に積層され、所定の部位に電極を備える薄膜圧電体２と、を備え、薄膜圧電体２の滑り方向の変形（ｄ１５変形モード）を用いて入力信号を変換して出力信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】駆動劣化を抑制できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】圧電体４１は、結晶構造が正方晶のチタン酸ジルコン酸鉛によって形成されており、平面視において加圧室３１内に収まる範囲において、個別電極４３に重なる駆動部４１ａと、その外周の非駆動部４１ｂとを有する。圧電体４１の主面４１ｓに対してＣｕＫαのＸ線を照射して反射したＸ線の強度を測定するＸ線回折法を、主面４１ｓの平面視におけるＸ線の照射方向を駆動部４１ａを中心とする放射方向とし、主面４１ｓの側面視における主面４１ｓに対するＸ線の照射角度を変化させながら行うことによって測定される、（００２）面及び（２００）面に対応するピークの強度比（００２）／（２００）が、非駆動部４１ｂにおいて１．０以下である。 （もっと読む）

【課題】搬送ローラーに起因して記録媒体が蛇行した場合であっても、印刷品質の低下を抑制する。
【解決手段】ブラックノズル列ＢＴと、ブラックノズル列ＢＬを範囲Ｈ２においてオーバーラップさせた上で、搬送方向ＹＪ１に離間して配置し、これらノズル列の離間距離Ｄ１を、搬送ローラー１０を、整数回、回転した場合における記録媒体１１の搬送量に対応する距離とした。 （もっと読む）

【課題】インク供給口の形成時に、ヒーター位置の薄膜層が剥離しにくいインク吐出ヘッドとその製造方法を提供すること。
【解決手段】平面状の基板１１と、基板１１の一方の面に設けられるヒーター１３と、少なくともヒーター１３を覆うように基板１１一方の面に設けられ、耐インク性を有する絶縁膜１２ａ及び保護膜１４と、ヒーター１３を含むインク室ＣＨを区画するために基板１１の一方の面に設けられ、吐出孔Ａを有するノズル層１７と流路壁１５とを有するインク室壁部とを備えるインク吐出ヘッドである。基板１１は、その一方の面のヒーター１３から離間した位置に形成された第１開口と基板１１の他方の面に形成された第２開口とを連通するインク供給口Ｂを有する。絶縁膜１２ａ及び保護膜１４は、その周囲よりも厚みが小さい凹部Ｃを有する。凹部Ｃは、ヒーター１３とインク供給口Ｂとの間に設けられる。 （もっと読む）