【課題】インクと電極との間の電気的な絶縁を維持することができ、印字品質が良好で、耐久性に優れたインクジェットヘッドを得ることにある。
【解決手段】インクジェットヘッドは、インクが供給される複数の溝を有するとともに圧電材料で構成されたアクチュエータと、アクチュエータに接着剤で固定されたノズルプレートとを具備する。ノズルプレートは、溝の開口端をアクチュエータの上側から覆うとともに、溝に向けて照射されたレーザ光により形成された複数のノズルを有する。溝の内面に電極が形成されている。電極は、ノズルプレートを貫通したレーザ光が照射される溝内の領域から外れている。電極の上およびレーザ光が照射される溝内の領域に対応する溝の内面に、電気絶縁性を有する保護膜が形成されている。 （もっと読む）

【課題】組立て時の損傷を抑制できる回路基板を提供する。
【解決手段】一つの実施の形態に係る回路基板は、基板本体と、電極と、回路板と、コネクタと、を具備する。前記基板本体は、第１の面と、第２の面と、第１の側縁と、第２の側縁とを有する。前記第２の面は、前記第１の面の反対側に位置する。前記第１の側縁は、前記第１の面と前記第２の面との間に跨る。前記第２の側縁は、前記第１の面と前記第２の面との間に跨るとともに前記第１の側縁と交差し、嵌合部が設けられる。前記電極は、前記第１の面に設けられる。前記回路板は、柔軟性を有し、前記電極に半田付けされる。前記コネクタは、前記基板本体に取り付けられ、前記第１の側縁と交差する方向にケーブルが挿入される。 （もっと読む）

【課題】支持部材が斜めに挿入されても確実に電気接続することができるインクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体が吐出される液体吐出口１２と、液体吐出口１２に連通する圧力室１６を構成する圧力室形成基板１８と、圧力室形成基板１８の液体吐出口１２の反対側に設けられたエネルギー発生素子２２と、を有し、エネルギー発生素子２２に接続された基板配線と、支持部材６２に接着された配線基板６０にパターン状に形成された支持部材配線と、が電気的に接続されており、支持部材６２は、複数の支持基板８２を接合して形成されており、支持基板８２間に柔軟な層８４を有するインクジェットヘッドおよびこのインクジェットヘッドの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】１回の成膜工程で得られる圧電体膜の膜厚を厚くすることが可能で、かつ、保存安定性のよい圧電体膜の前駆体溶液および圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】下部電極６０上に圧電層７０を形成する製造方法において、特定のカルボン酸は、金属アルコキシドの安定化効果を有し、さらに、前駆体溶液中の含有量が増加しても前駆体溶液としての保存安定性の低下、および粘度の増加がみられないために、溶媒として用いることができる。カルボン酸の含有量は、前駆体溶液の調製に用いる原料全量に対して２０質量％以上５０質量％以下とすることが好ましい。２０質量％以上とすることで、大気中の水分による加水分解を防ぐことができる。一方、５０質量％以下とすることで上述の工程で得られる膜の膜厚を厚くすることができる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を補強部材の穴部に挿入する際に、穴間の隔壁が圧電素子と接触してしまうことを防止できる液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供することにある。
【解決手段】圧電素子群の複数の圧電素子が１つの挿通口４０を挿通するようにした。これにより、例えば、補強部材に複数の挿通口を形成し、各圧電素子が別々の挿通口を設けた場合に比べると、アクチュエータユニットを挿通口４０に挿入する際に、圧電素子の先端が挿通口間の隔壁に接触し、不良となることを防止できる。また、隔壁が無いことにより、圧電素子群４５を高密度に配置しても、挿入を容易に行える。従って、アクチュエータユニット４６を挿入する際の不良を防止でき、さらに圧電素子を高密度に配置しても挿入を容易に行える。その結果、記録ヘッド１４の組立を容易に行うことができ、さらに、プリンター１の解像度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、シリコン基板を速やかにエッチングし、犠牲層を良好に除去可能な液体吐出ヘッド用基板の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、シリコン基板の表面であって液体供給口が開口する部位に、前記シリコン基板に対して選択的にエッチングされるアルミニウムを含有する犠牲層を形成する工程と、前記シリコン基板の裏面に、前記犠牲層に対応した開口部を有するエッチングマスクを形成する工程と、前記エッチングマスクをマスクとして、８質量％以上１５質量％未満のＴＭＡＨ含む第一のエッチング液を用いて、前記シリコン基板をエッチングする第一のエッチング工程と、第一のエッチング工程後に、１５質量％以上２５質量％以下のＴＭＡＨを含む第二のエッチング液を用いて、前記犠牲層を除去する第二のエッチング工程と、を有する液体吐出ヘッド用基板の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＣに切れ込みを入れることなく、ＦＰＣ分割面のうねり及び湾曲を矯正して半田接合面の平面度を向上させることにより、ＦＰＣの接続電極とＰＺＴの外部電極との密着性及び半田接合性を向上させて半田接合不良を低減することが可能なアクチュエータユニットを提供する。
【解決手段】ベース部材２に接合された圧電素子３に設けられた複数の外部電極６にフレキシブルプリントケーブル４に設けられた複数の接続電極９をそれぞれ半田接合することにより構成されたアクチュエータユニット１において、各外部電極６と各接続電極９との接合部近傍において、フレキシブルプリントケーブル４に各接続電極９の並び方向と同方向の軸線を有する曲げ加工部１６を設けた。 （もっと読む）

【課題】変位量の向上した圧電素子とすることができる液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置の製造方法及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】第１電極を形成する工程と、前記第１電極の上方に、少なくともビスマス及び鉄を含む前駆体溶液を塗布し、膜厚が１００ｎｍ以下の第１塗布膜を形成する工程と、前記第１塗布膜を加熱し、結晶化させて第１圧電体膜を形成する工程と、前記第１圧電体膜の上方に、前記前駆体溶液をさらに塗布して第２塗布膜を形成する工程と、前記第２塗布膜を加熱し、結晶化させて第２圧電体膜を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 金属繊維を織ってなるフィルターを適用した場合でも、液体供給タンク側の圧接体とインク導入部のフィルターとの当接を良好に保つことができる液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 フィルター１０３の片側の面と複数の支柱１０４とが当接し、フィルター１０３が張った平坦部１０３ａが形成された状態で、平坦部１０３ａより外側の、フィルター１０３の外周部１０３ｂを、平坦部１０３ａに対して曲げ、フィルター１０３の端部を固定部に固定する。 （もっと読む）

【課題】圧電体の構成金属の拡散による特性低下を回避するとともに、圧電体の形成時の膜のはがれを回避し、さらに、圧電体の結晶性および平坦性を向上させる圧電デバイスおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電デバイス１の基板１１上には、電極層２３を含む下地層１３を介して、圧電体１４が形成される。下地層１３は、第１の層２１と、第２の層２２とを含んでいる。第１の層２１は、金属酸化物または金属窒化物からなる。第２の層２２は、第１の層２１の金属酸化物の構成金属と同じ金属、または金属窒化物の構成金属と同じ金属からなる。 （もっと読む）

【課題】ノズル基材に静電塗装で撥液層を形成するときに帯電した撥液剤の微粒子がノズル孔の内壁面に付着して滴吐出不良が発生する。
【解決手段】ノズル基材３１の撥液層３２を形成する面と反対側の面に金属又は導電体からなる構造体４２を密着させて保持する工程と、撥液剤をスプレーで霧化することで撥液剤微粒子４５に微粒子化する工程と、撥液剤微粒子４５を帯電させる工程とを行って、ノズル基材３１の表面に撥液剤微粒子４５よる撥液層３２を成膜する。 （もっと読む）

【課題】製品歩留まりを向上させることのできる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体流路形成工程の後、環状領域１０４よりも内側の第１保護シート１０３の一部を除去する第１保護シートの除去工程と、上記第１保護シートの除去工程の後、環状領域１０４よりも内側の領域に、第２接着層１０７を介して第２保護シート１０６を貼付する第２保護シートの貼付工程と、上記第２保護シートの貼付工程の後、少なくとも第１接着層１０５を除去することができ、且つ、第２接着層１０７及び第２保護シート１０６が耐液性を有する洗浄液１４２ａ，１４３ａを用いて、リザーバ形成基板用ウェハ１３０側を洗浄する洗浄工程と、を有するという手法を採用する。 （もっと読む）

【課題】 気体を保持するバッファ部内に液体が侵入することを抑制できる、または、バッファ部内に液体が侵入した場合の液体の侵入量を低減できる、液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 液体吐出ヘッドの製造方法は、第１の供給路形成部材１２０及び前記第２の供給路形成部材１１０のうちの少なくともいずれか一方には、バッファ部２０１となる溝２１１の近傍で、第１の供給路形成部材１２０に設けられた凸部２０６と、該凸部２０６に対応して第２の供給路形成部材１１０に設けられた凹部２０７と、を当接する工程と、当接がなされた当接部２１３を溶着する工程と、を有し、当接する工程において、凹部２０７を構成する内面のうちの、溝２１１の側に設けられた側面、と離れた位置で、凸部２０６と凹部２０７が当接される。 （もっと読む）

【課題】 変位量の向上した圧電素子とすることができる液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置の製造方法及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】第１電極を形成する工程と、前記第１電極の上方に、ビスマス、鉄、マンガン、バリウム及びチタンを含む前駆体溶液を塗布して塗布膜を形成する工程と、前記塗布膜を１７５℃以上１８５℃以下の温度で乾燥する第１乾燥工程と、前記第１乾燥工程の後、２３０℃以上２７０℃以下の温度で乾燥する第２乾燥工程と、前記第２乾燥工程の後、第２乾燥工程の温度以上の温度で加熱して脱脂する工程と、前記脱脂する工程の後、脱脂した塗布膜を加熱して結晶化させる工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】撥水層の熱分解を抑え、撥水性の低下を抑制する。
【解決手段】ノズル板のノズル面に塗布された撥水剤の撥水性が低下する温度以上で硬化する熱硬化性接着剤１４を流路板１、ノズル板２及び振動板４の接合に用いる。そして、流路板１、ノズル板２及び振動板４を接合して形成した第一のユニット１０に、マ二ホールド８とフィルタ９で形成された第二のユニット１１を接合するときの接着剤は、熱硬化性接着剤１４の硬化温度より低い温度で硬化する熱硬化性接着剤１５を用いる。 （もっと読む）

【課題】リードタイムの短縮化を図りつつ耐久性の高い薄膜を形成することが可能な成膜方法及び液滴吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】基板を加熱しつつ撥液材料を急加熱によって蒸発させ、前記基板に前記撥液材料の粒子が結合するように、前記基板に前記撥液材料の薄膜を形成する薄膜形成工程と、前記薄膜形成工程と連続して行われ、前記基板に形成された前記薄膜を洗浄する洗浄工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】寸法精度を確保でき、さらに、品質の向上を図ることのできる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板からなる流路形成基板用ウェハ１１０の表面をシリサイド化させて形成したシリサイド膜１６を含む所定形状のメタルマスク１９を形成するメタルマスク形成工程と、メタルマスク１９をマスクとして流路形成基板用ウェハ１１０を異方性エッチングすることにより液体流路を形成する液体流路形成工程と、を有するインクジェット式記録ヘッドの製造方法を採用する。 （もっと読む）

【課題】接合基板を確実に保護することができると共に、接合基板を保護する保護膜を容易に且つ低コストで形成することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】接合基板４０が複数一体的に形成された接合基板用ウェハーに、接合基板４０の一端面となる領域に凹部を形成する工程と、接合基板の表面に亘って耐液体性を有する保護膜４３を形成する工程と、流路形成基板１０が複数一体的に形成された流路形成基板用ウェハーと接合基板用ウェハーとを接合する工程と、流路形成基板用ウェハーと接合基板用ウェハーとを凹部の底面で切り分けて、流路形成基板１０と接合基板４０とが接合された接合体を形成する工程と、接合基板の切り分けた切断面４４をケース部材３０に接合する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】レジストパターンの剥離残りの発生の把握が容易な配線基板の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】レジストパターン１６０を介してリード電極９０及び島状のカウントマーク１２０をパターニングするパターニング工程と、パターニング工程の後、レジストパターン１６０を酸素プラズマによって剥離するアッシング工程と、を有する流路形成基板１０の製造方法であって、パターニング工程では、アッシング工程におけるレジストパターン１６０の剥離特性に基づいて、リード電極９０におけるレジストパターン１６０の剥離時間よりも、カウントマーク１２０におけるレジストパターン１６０の剥離時間を長くするように、カウントマーク１２０の平面形状を設定するという手法を採用する。 （もっと読む）

【課題】配線部の配線不良を抑制することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】リザーバ形成基板用ウェハ１３０側に接続配線が形成されている基板構造体１０１の流路形成基板用ウェハ１１０側にウェットエッチング法によって液体流路を形成する液体流路形成工程と、液体流路形成の後、ＣＶＤ法によって液体流路に臨む壁面部に保護膜を形成する保護膜形成工程と、を有するインクジェット式記録ヘッドの製造方法であって、液体流路形成工程の後、保護膜形成工程の前に、上記ＣＶＤ法における温度条件に応じた耐熱性を有する耐熱性シート１０６を、上記ＣＶＤ法における負圧条件に応じた負圧雰囲気下で、リザーバ形成基板用ウェハ１３０側における接続配線を含む領域に貼付する耐熱性シート貼付工程を有するという手法を採用する。 （もっと読む）