【課題】製造時に封止樹脂内に空気が入り込むことを防止可能なインクジェット式プリントヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェット式プリントヘッドＨ１０００は、記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１の周囲に形成され、電気配線基板Ｈ１３００と記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１とを隔てる凹部Ｈ７００１，Ｈ７００２を有する。また、プリントヘッドＨ１０００は、凹部Ｈ７００１，Ｈ７００２に架かり、電気配線基板Ｈ１３００と記録素子基板Ｈ１１００，Ｈ１１０１とを接続する電極端子Ｈ１３０２を有する。また、プリントヘッドＨ１０００は、凹部Ｈ７００１，Ｈ７００２の底面の、電極端子Ｈ１３０２に対向する位置の近傍に形成された溝部Ｈ６００３，Ｈ６００４を有する。凹部Ｈ７００１，Ｈ７００２および溝部Ｈ６００３，Ｈ６００４には第１の封止樹脂Ｈ１３０７が充填されている。 （もっと読む）

【課題】液室密度の高密度化と、それに伴う隣接する個別液室間の相互干渉を緩和し、且つ保持基板との接合領域を低減させて小型化に貢献する。
【解決手段】アクチュエータに対向する位置に、保持基板隔壁により区画された凹状の振動室が形成されており、保持基板隔壁が配線層を含む積層膜を介して液室隔壁に接合される保持基板を有し、短手方向における保持基板隔壁の幅は、短手方向における液室隔壁の幅より狭く、配線層パターンの幅よりも広くする。 （もっと読む）

【課題】圧電素子形成部材の基端部の厚みの変化を抑えながら、コストダウンした圧電素子ユニット、液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】非活性領域Ｉにおいて、個別内部電極１６から基端部１３２に向けて延長された位置に、基端部１３２に形成されたダミー電極端部１６ｂと、孤立したダミー電極島部１６ａとが形成されているので、非活性領域Ｉに連続して形成されたダミー電極と比較して、ダミー電極の面積を少なくできる。したがって、ダミー電極にかかるコストが抑えられ、コストの低減した圧電素子ユニット１０を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ノズル形状などインク吐出に関する部位の形状の精度を保持しつつ犠牲層の除去をおこなう。
【解決手段】インクを収容可能な共通液室１０１と、共通液室１０１から流入されるインクをエネルギー発生素子２０２によって吐出可能なノズル１０２ごとのノズルチャンバ１０３とを含み構成されるインク室１１０を区画する壁部のうち、インクの供給を受け付ける供給口１０５が形成される基板２０１および保護膜２０３と、ノズルチャンバを区画するノズル層２０４と、を有し、基板２０１、保護膜２０３およびノズル層２０４とは異なる場所に形成され、１１０インク室の内部空間の形成に際して一時的に形成される犠牲層を除去する１以上の犠牲層除去口と、犠牲層が除去された後、犠牲層除去口を封止する封止部材としての接点保護材１３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は圧電素子、インクジェットプリントヘッド及びその製造方法に関する。
【解決手段】本発明の一実施例による圧電素子は、圧電素子用圧電体組成物１００重量部に対し、９０重量部以上１００重量部未満のＰｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ_３を含む圧電セラミックパウダーと、０重量部超過１０重量部以下のガラスフリットとを含み、ガラスフリット１００重量部に１０から２０重量部のＺｎＯを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】圧電式インクジェットプリンティング・モジュールの熱サイクル間のインク速度の低下を減じる方法及び、圧電式インクジェットプリンティング・モジュールを分極する方法を提供する。
【解決手段】圧電素子３４はフィルム３０の上に合わされる。圧電素子３４は、フィルム３０に接する圧電素子３４の側に電極４０を有する。電極４０は、フィルム３０の５１側で電気接点３１と合わせられ、電極が駆動統合回路によって個々に対処されるようにする。電極４０は圧電素子３４の表面上の半導体被膜３６上に配置される。 （もっと読む）

【課題】工程の簡略化を達成するとともに、流路形状の変形や形状のばらつきの抑制、残渣の発生を防止することができる液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】エネルギー発生素子(10)が形成された基板(12)上に、流路となる凹部(20)と流路の側壁部分となる凸部を含んだ流路パターン(18)を形成する（図1(d)）。凹部(20)を中空状態としたまま流路パターン(18)を被覆するように、非感光材料層(22)と感光性樹脂層(24)の積層構造を有するドライフィルムレジスト(26)を基板(12)上の流路パターン(18)に重ねて形成する（図１（e））。このドライフィルムレジスト(26)の感光性樹脂層(24)の一部を除去してノズル開口部(28)を形成する（図１(f)）。その後、ノズル開口部（28）の中に残る非感光材料層(22)をドライエッチングにより除去し、感光性樹脂層(24)の表面に撥液層(30)を形成する（図１（g））。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを歩留まりよく低コストで製造する方法を提供する。
【解決手段】インク供給用の開口を有する樹脂材料からなる支持部材１５０１と、開口と連通するインク供給口１５０２を有する記録素子基板１１０１を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、記録素子基板を支持部材に当接し、この当接部分を溶融させた状態で、記録素子基板の外周部の全周が溶融した樹脂に囲まれるように記録素子基板を支持部材へ押し込む工程と、その溶融した樹脂を降温により硬化して、記録素子基板の外周部の全周にわたって当接する壁を形成し、記録素子基板を支持部材に固定する工程を実施する。 （もっと読む）

【課題】使用中に親水化層が剥れにくく、液体の充填及び抱き込み泡の取り除きが容易な液体吐出ヘッド、並びにこのヘッドの製造方法でありノズル毎に吐出特性にばらつきが小さく、薄く均一な親水化層を形成できる液体吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】液体を吐出する液体吐出口、および該液体吐出口に連通する液体流路を有するノズル層を有する液体吐出ヘッドであって、該ノズル層は２層で構成され、該２層のうちの液体流路側の層である第１層は、酸により成膜する樹脂を含む樹脂組成物の硬化物であって、かつ、もう一方の層である第２層と比較して水の静的接触角が小さいことを特徴とする液体吐出ヘッド、及びその製造方法。 （もっと読む）

【課題】貫通孔の側壁を平坦に加工することのできる液体吐出装置の流路板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る液体吐出装置の流路板の製造方法は、面方位が｛１１０｝であるシリコン基板の一方の面と他方の面とを貫通する貫通孔と、前記一方の面側に形成され前記貫通孔と接続する流路と、を備えた液体吐出装置の流路板の製造方法であって、前記シリコン基板の前記一方の面上に第１マスクを形成し、前記第１マスク上に第２マスクを形成するマスク形成工程と、前記第２マスクを介して少なくとも一部にドライエッチングを含むエッチングを行い、前記貫通孔を形成する貫通孔形成工程と、前記第２マスクを除去した後、前記第１マスクを介して前記貫通孔に対して結晶異方性エッチングを行い、前記貫通孔の側壁面を、前記シリコン基板の面方位｛１１１｝の面で構成するように前記貫通孔の側壁を加工する側壁加工工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パターニング欠陥を抑制できるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】一つの実施の形態に係るインクジェットヘッドの製造方法は、第１の部分と前記第１の部分より滑らかな第２の部分とを有する基材の表面と、前記基材に取り付けられた駆動素子の表面と、にそれぞれ金属膜を形成し、レーザービームによって前記基材の第１の部分に形成された前記金属膜を削り、前記第１の部分に形成された前記金属膜を削るレーザービームと異なるパワーのレーザービームによって前記基材の第２の部分に形成された前記金属膜を削ることで導体パターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】エッチングのばらつきによらず安定して基板を切断することができるシリコンウェハーのブレイクパターン、シリコンウェハー、および、シリコン基板を提供する。
【解決手段】表面を（１１０）面３９としたシリコンウェハー３８に、（１１０）面３９に直交する第１の（１１１）面４２の面方向に切断予定線を設定し、該切断予定線上に貫通孔４０を複数列設し、貫通孔４０は、第１の（１１１）面４２と、第１の（１１１）面４２と交差する第２の（１１１）面４３と、第２の（１１１）面４３と第１の（１１１）面４２とに交差する第３の（１１１）面４４と、を有し、第２の（１１１）面４３と第３の（１１１）面４４の端縁との交差点を、隣り合う貫通孔４０に最も近接する点とし、第１の（１１１）面４２に直交する方向における交差点の位置を、隣り合う貫通孔４０の当該交差点に近接する側の相対する第１の（１１１）面４２の間に設定した。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の破壊を抑制して、流路ユニットとアクチュエーターユニットとの位置決め精度を向上して、液体噴射特性のばらつきを低減することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体の流路が設けられた流路ユニット１６と、該流路ユニット１６の一方面側に接合されるアクチュエーターユニット１８と、を具備し、前記流路ユニット１６の前記アクチュエーターユニット１８が接合される面には、絶縁性を有する絶縁膜２５と、該絶縁膜２５上に独立して複数設けられた導電性を有する島部２７と、を具備し、前記アクチュエーターユニット１８は分極処理された圧電素子１７を具備し、該圧電素子１７が前記島部２７に接合される液体噴射ヘッド１０の製造方法であって、前記圧電素子１７と前記島部２７とを近接させた際に発生する静電場によって生じる電流を測定することで、前記島部２７に対する前記圧電素子１７の位置決めを行って、前記アクチュエーターユニット１８を前記流路ユニット１６に接合する。 （もっと読む）

【課題】複数の液体噴射ヘッドをより短時間で位置精度良く取り付けることが可能なことが可能な液体噴射ヘッドユニット、液体噴射装置、および、液体噴射ヘッドユニットの製造方法を提供する。
【解決手段】サブキャリッジ２６は、第１の記録ヘッドＡが第１サブキャリッジ２６ａと、第２の記録ヘッドＢが固定される第２サブキャリッジ２６ｂと、の２体構造であり、同一組の一方の第１の記録ヘッドは、ノズルが規定位置に配置されるように第１サブキャリッジに対して位置決めされた状態で固定され、他方の第２の記録ヘッドは、第１のヘッドの所定のノズルから噴射されたインクの記録媒体上における着弾位置に対する、当該第２の記録ヘッドの所定のノズルから噴射されたインクの記録媒体上における着弾位置に基づいて、調整機構により第１の記録ヘッドに対する相対位置が規定された状態で第２サブキャリッジに固定された。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドが有するインク室構成部材において、製造時の作業性に優れ、かつひずみの少ないインク室構成部材を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドにおいてインクを収容するインク室となる穴を有するインク室構成部材を、プレート１１３Ａ〜１１３Ｃの積層体の熱拡散接合によって接合して形成するにあたり、前記プレートの短手方向に細長く開口する第一の長穴２１０と、長手方向の両端部において長手方向に細長く開口する第二の長穴２２１、２２２とを前記プレートに形成し、これらの長穴に位置決めピンを挿通されている前記プレートの積層体を形成し、位置決めされている状態で前記プレートを熱拡散接合によって接合してインク室構成部材を形成する。 （もっと読む）

【課題】基板間の位置決めを確実に行って端子部同士を信頼性高く電気的接続することのできる電子回路基板の接合方法の提供。
【解決手段】第1の接続用端子部を有する基板10と第2の接続用端子部を有する基板20とを,第1と第2の接続用端子部とを対面させて位置決めを行った後,基板10,20とを接合することにより第1と第2の接続用端子部との電気的接続を行う電子回路基板の接合方法において,第1の接続用端子部が設けられた面と同一方向の面の所定位置に位置決め用端子部112を設けると共に,第2の接続用端子部が設けられた面と同一方向の面の所定位置に位置決め用端子部212を設け,第1と第2の接続用端子部とが対面するように基板10,20とを位置合わせした後,位置決め用端子部112,212との間が導通したことを確認することにより基板10,20との位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】 電気配線基板の配線保護信頼性が高い液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 電気配線基板の配線上部を、第一の接着剤層、第一の保護フィルム層、第二の接着剤層、第二の保護フィルム層からなる積層体で保護する。 （もっと読む）

【課題】複数のアクチュエータ列の相互間の電気的な干渉によるノイズの発生を防ぐことができ、常に安定した動作が可能な信頼性にすぐれた液体吐出装置を提供する。
【解決手段】圧電部材で形成された基台１におけるアクチュエータ列Ａとアクチュエータ列Ｂとの間に、低誘電率部材１０を設ける。 （もっと読む）

【課題】目詰まりを防止すると共に、撥水層が剥がれたり付着物が付着したりしても容易に撥水層を再生し得ることにより、結果的に長寿命を確保し得る液体吐出ノズル、及び液体吐出ノズルにおける撥水層の再生方法を提供する。
【解決手段】吐出液を収容する液溜容器１０と、液溜容器１０の下側に連通する吐出筒２０とを備える。吐出筒２０の吐出口先端２０ａ、吐出筒２０の内壁面２０ｂ、及び液溜容器１０の内壁面１０ａには撥水層５が設けられている。撥水層５は、フッ素系撥水層からなっている。フッ素系撥水層の下地層として、酸化アルミ層と酸化ケイ素層との積層膜が用いられている。積層された酸化アルミ層、酸化ケイ素層及びフッ素系撥水層の総膜厚は２５ｎｍ以下であり、フッ素系撥水層の膜厚は１〜４ｎｍである。 （もっと読む）

【課題】クラックの発生を抑制することのできるサポートプレート、液滴吐出ヘッド、液体カートリッジおよびインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】接着部材を介してウエハの面に密着し、ウエハをサポートするサポートプレート１０であって、ウエハの面に密着させる範囲内に、凹部および貫通孔のうち少なくとも一方の略長方形状の複数のパターンを備え、パターンは、ウエハの中心に密着する当該サポートプレート１０の中心点とパターンの対角線の交点とを通る直線と、当該パターンの長手方向の直線とがなす角のうち小さい角の角度が４５度以上となるように配置されている。 （もっと読む）