【課題】インクジェット式記録ヘッドの記録装置内への組付け作業性を向上し、作業時に発生する不具合を防止する。
【解決手段】ヘッド部29上方に配置されたインクタンク27と、シリアル-パラレル変換画像データ制御素子23を搭載した第１のリジッド基板24と、パラレル伝送される画像データ信号に応じて、圧電素子に駆動波形を入力する圧電素子駆動素子を搭載した第２のリジッド基板28と、両基板を電気的に接続するＦＰＣ基板25とを備え、第１のリジッド基板24のＦＰＣ基板25側とは反対側に、上位基板と接続するコネクタ20を備え、コネクタ20がインクタンク27の上面に配置され、第１のリジッド基板24がインクタンク27の側面に配置され、第２のリジッド基板28がインクタンク27とヘッド部29の間に挟持され、ＦＰＣ基板25が第１のリジッド基板24と第２のリジッド基板28の間に屈曲した状態で配置される。 （もっと読む）

【課題】ノズルを高精度な形状に形成可能な液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッドの製造方法は、シリコン基板３０にノズルとなる凹部６ｃをエッチングによって形成する工程と、凹部６ｃの内壁にシリコン酸化膜３４を形成する工程と、シリコン基板３０の凹部６ｃが形成されている面３０ａの反対面３０ｂからシリコン基板３０を薄板化することによって、凹部６ｃを貫通孔に形成する工程と、を有する。凹部６ｃを貫通孔に形成する工程は、シリコン酸化物用スラリーＬを用いたＣＭＰ法によって、シリコン酸化膜３４を研磨することを含む。 （もっと読む）

【課題】噴射効率及び液体噴射特性が向上する液体噴射ヘッド及びノズルプレートを提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドは、貫通孔であるノズル孔２１が形成されたノズルプレート２０を備え、ノズル孔から液体を噴射する液体噴射ヘッドであって、ノズル孔が、ノズルプレートのノズルから液体が噴射される噴射面側に開口した第１ノズル部２１ａと、第１ノズル部に連通し、ノズルプレートの噴射面とは逆側の面に開口し、この開口の大きさが第１ノズル部の噴射面における開口よりも大きい第２ノズル部２１ｂとからなり、第１ノズル部の内壁面全体は、ノズルプレートの基材よりも撥液性の高い撥液膜２０１により覆われており、第２ノズル部の内壁には、撥液膜よりも撥液性の低い領域が設けられている。 （もっと読む）

【課題】高速でのノズルへのインクの再充填が可能な記録ヘッドを提供する。
【解決手段】本発明のインクジェット記録装置用の記録ヘッド１０は、第１の基板１と第２の基板２とを有する。第１の基板１は、インクを吐出するためのエネルギー発生素子３と、第１の基板１を貫通するインク供給口６とを有する。第２の基板２は、インクの吐出口４を有する複数のノズルと溝とを有する。そして、第２の基板２の溝と第１の基板１とでノズルとインク供給口６とをつなぐインク流路５が形成されている。第１の基板１の上に第２の基板２が配置されており、第２の基板２には、記録ヘッド１０の表面側の一方の面と、第１の基板１の方向を向いた他方の面のそれぞれに凹部７、８が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 シリコン基板の両面から短時間で液体供給口を形成することができ、かつ液体供給口の開口幅を精度よく形成することができる液体吐出ヘッド用基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】 液体を吐出するためのエネルギ発生素子を表面側に有するシリコン基板を用意する工程と、前記シリコン基板の表面側に、第１のエッチング液導入孔を形成する工程と、前記シリコン基板の表面側に形成した第１のエッチング液導入孔から第１のエッチング液を供給し、前記シリコン基板の裏面側から第２のエッチング液を供給する工程と、前記第２のエッチング液の供給を停止する工程と、前記第２のエッチング液の供給を停止した後に、前記第１のエッチング液の供給によって前記シリコン基板の表面と裏面とを貫通する液体供給口を形成する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】裏面（第２面）に無機材料層を有するシリコン基板であっても、位置決め基準マークを少ない工程数で形成することができ、液体供給口を精度良く短時間で製造することが可能なインクジェット記録ヘッド用基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】対向する第１面と第２面とを有するシリコン基板に該基板の第２面から第１面に貫通する液体供給口を形成する液体吐出ヘッド用基板の製造方法であり該第１面に配線パターンを形成する工程と該第２面にエッチングマスク層を形成する工程と該マスク層上から該マスク層にレーザーを用いて位置決め基準マークを形成する工程と該位置決め基準マークを用いてレーザーにより該マスク層を貫通しかつ該シリコン基板の内部に底を有する開口パターン溝部を形成する工程と該開口パターン溝部から該第１面までを結晶異方性エッチングすることによって該シリコン基板を貫通する液体供給口を形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェハからの、液滴吐出ヘッドに用いるヘッドチップの取り数の増加、及び液滴吐出ヘッドの生産効率の向上を図る。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１０は、保護基板１８における、第１方向（矢印Ｘ方向）の端面は、流路基板３４Ａ及び振動板３４Ｂにおける該第１方向の端面に連続している。そして、流路基板３４Ａにおける第１方向の端面に、加圧液室３５Ａに連通し且つ加圧液室３５Ａにインクを供給する供給口３５Ｃが設けられている。そして、液室基板３４と保護基板１８との積層体であるヘッドチップ１９に対して、該ヘッドチップ１９における第１方向の両端面から所定間隔を隔てた位置に枠部材２２を設け、該ヘッドチップ１９と、枠部材２２と、ノズル基板３０と、によって、形成された空間を、供給口３５Ｃを介して加圧液室３５Ａに連通した導入口２０として用いる。 （もっと読む）

【課題】凹部の底部にスロット部を精度良く形成可能な液体吐出ヘッド用基板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明では、凹部に形成した第一のレジスト１１を、シリコン基板１と第一のレジストに対するそれぞれのエッチングレートが同等となる条件でエッチング除去することにより、凹部底部に生じる段差を除去する。該段差を除去することにより、後工程における第二のレジストを高精度に形成及びパターニングすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】接着剤の余分な領域への付着や漏出を抑制することができる流路部材の製造方法、流路部材、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】第２流路部材６０の凹部６２内に第１流路部材７０を挿入し、第１流路部材７０と第２流路部材６０とを第１流路７１と第２流路６１とが連通する領域の周方向に亘って溶着する工程と、第２流路部材６０に、凹部６２の第１流路部材７０に相対向する壁面６２ａと、凹部６２内に挿入された第１流路部材７０の壁面６２ａに相対向する外周面７２ａとの間隔ｄ_１よりも広い間隔ｄ_２で設けられて、凹部６１に連通し且つ当該凹部６２と同じ面側に開口する凹形状を有する注入部６５が各凹部６２に対して２以上設けられており、該注入部６５に接着剤を注入することで、溶着された領域の外側の周方向に亘って且つ第１流路部材７０と第２流路部材６０との境界に跨って接着剤を充填して、第１流路部材７０と第２流路部材６０とを接着する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】基板からの反射による露光パターンへの影響を抑制し、吐出口パターンを安定的に形成できる、印字品位の優れた液体吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】明細書中に定義される構造を有する液体吐出ヘッドの製造方法であり、１）エネルギー発生素子２が設けられた基板１上に工程６において溶解可能な樹脂からなる液体流路型４を形成する工程と、２）液体流路型４を工程４の露光波長に対する屈折率がｎの感光性樹脂層５ａで被覆する工程と、３）感光性樹脂層５ａの上に工程４の露光波長に対する屈折率が√ｎ−０．２以上√ｎ＋０．２以下の反射防止膜８を形成する工程と、４）感光性樹脂層５ａ及び反射防止膜８を露光及び現像して、吐出口７を形成する工程と、５）基板１に液体供給口９を形成する工程と、６）液体流路型４を溶解して液体供給口９から除去する工程とを含む液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートに異物の付着や傷の発生を抑制することができるノズルプレートの製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】ノズル開口が形成された基板１２０の一方面である第１面に第１支持基板を接合し、前記基板をノズルプレート２０単位に切り分ける分割工程と、前記分割工程によって分割した前記基板の前記第１面とは反対側の第２面の処理を行う第１処理工程と、前記第１処理工程を行った前記基板の前記第２面側に前記第１支持基板とは剥離条件が異なり且つ前記基板との間に反応性の自己剥離層を有する第２支持基板１５０を接合する接合工程と、前記第２支持基板が接合された前記基板から前記第１支持基板を剥離して、前記第１面の処理を行う第２処理工程と、前記第２処理工程を行った前記基板から前記自己剥離層を反応させて前記第２支持基板を剥離してノズルプレートとする剥離工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】耐溶剤性および柔軟性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッドを製造可能な接着剤、かかる接着剤を用いて製造された液滴吐出ヘッド、かかる接着剤を用いて製造する液滴吐出ヘッドの製造方法、およびかかる液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズルプレート１０と、振動フィルム３０および支持板４０で構成される振動板と、圧電素子５０とを有し、基板２０とノズルプレート１０との間、基板２０と振動フィルム３０との間および振動フィルム３０と支持板４０との間が、接着剤を用いて形成された接着層１５、２５、３５を介して接合されており、接着剤は、固形状をなすポリアミド樹脂と、架橋剤とを主材料として含有するものである。 （もっと読む）

【課題】流路を所望の高さで形成でき、リフィル性に優れた記録ヘッドを安定に製造することが可能となる記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】吐出エネルギー発生素子と配線とを有する基板１の上に、感光性樹脂を含有する流路側壁形成層６を形成する工程と、前記流路側壁形成層を露光し、光学的に流路を決定する工程と、前記流路側壁形成層の上に、感光性樹脂を含有する形状安定層７を形成する工程と、前記形状安定層の上に、光重合開始剤及びネガ型感光性樹脂を含有する吐出口形成層１４を形成する工程と、前記吐出口形成層を露光し、光学的に吐出口を決定する工程と、前記吐出口形成層、前記形状安定層、及び前記流路側壁形成層を現像する工程と、をこの順で含み、前記形状安定層が含有する前記感光性樹脂は、前記吐出口形成層の露光によって生じ、前記光重合開始剤に由来する成分により硬化する材料である記録ヘッドの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドを構成する基板、圧電部材、枠部材をそれぞれ作成して接着する構成では、部品点数が増え、製造工数も増えてしまう。結果として製造原価が高くなっている。
【解決手段】
少なくとも一部が圧電部材よりなる基板と、基板の一面に形成された共通流路と、第１の開口部を通して共通流路に連通する圧力室と、圧力室に流体的に接続するノズルと、圧力室の内面に形成され駆動回路に接続する電極と、基板に設けられ共通流路を挟んで第１の開口部に対向する位置に第２の開口部を有し共通流路に接続する溝と、その溝の少なくとも一部を封止する封止材料と、を有するインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドを構成する各部材のうち、片面に撥インク膜が形成される部材と他の部材とを接着剤で接合する際に、接着剤の接合面に撥インク成分が付着した場合でも信頼性の高い接合を行う。
【解決手段】液滴が吐出されるノズル穴４０を有する板状のノズル板１１と、ノズル板１１の液滴が吐出される側の面である液滴吐出面の裏側の面である接合面にて、ノズル板１１と接着剤１６により接合するフレーム４と、を備える。ノズル板１１の液滴吐出面には撥インク膜１０が成膜されている。ノズル板１１の外周部に、接合面から液滴吐出面に貫通する開口部２７が形成されている。接着剤１６は、フレーム４及びノズル板１１の間と、開口部２７と、ノズル板１１の外周と、液滴吐出面における開口部２７及び外周の間とにわたって、開口部２７と外周との間に外周部に形成されるリブ２９を覆うように存在している。 （もっと読む）

【課題】インクジェットのプリントヘッド前面のためのコーティングであり、インク汚染を防止し、インク液滴が前面から出ても残渣を残さないコーティング方法を提供する。
【解決手段】インクジェットのプリントヘッド前面のためのコーティングであって、このコーティングが、複数のセグメント、共有結合性有機骨格（ＣＯＦ）として整列された複数のリンカーを含む構造化有機フィルム（ＳＯＦ）を含むコーティング。インクジェットのプリントヘッドの前面上に噴出されたＵＶ硬化性インクの液滴または噴出された固体インクの液滴が、約１４０°〜約６０°の接触角を示す、コーティング。 （もっと読む）

【課題】配線部材や圧電部材の大型化や部材コストアップを生じる。
【解決手段】圧電部材１２の一端部には、駆動柱１２Ａよりも幅広の共通電極取出し用圧電柱１２Ｂを形成し、圧電柱１２Ｂの個別外部電極側端面にすべての駆動柱１２Ａの共通外部電極２４を接続した取出し用共通外部電極２５を設け、各駆動柱１２Ａの個別外部電極２３にはＦＰＣ１５の個別配線電極３１Ａを、圧電柱１２Ｂの取出し用共通外部電極２５にはＦＰＣ１５の共通配線電極３１Ｂを電気的に接続し、共通電極取出し用圧電柱１２Ｂの高さＨｂは、駆動柱１２Ａの高さＨａの約１／２とし、取出し用共通外部電極２５の圧電柱配列方向における単位長当たりの面積を、個別外部電極２３の圧電柱配列方向における単位長当たりの面積と同じとしている。 （もっと読む）

【課題】吐出面を効率良くクリーニングすることができると共に、ワイパや吐出面が部分的に劣化するのを抑制する。
【解決手段】ヘッドの吐出面２ａに、主走査方向に延在する１６本の溝１０９ａ及び１０本のダミー溝１０９ｂが、副走査方向に互いに平行に配列されている。溝１０９ａの底部に、インク滴を吐出する吐出口１０８ａが形成されている。吐出面２ａにおける副走査方向に関する一方から順に、２本の溝１０９ａで構成される溝群Ｘ１、４本の溝１０９ａで構成される溝群Ｘ２〜Ｘ４、及び、２本の溝１０９ａで構成される溝群Ｘ５が配列されている。互いに隣接している溝群Ｘ１〜Ｘ５間の離隔距離ｌ１〜ｌ４が、各溝群Ｘ１〜Ｘ５において互いに隣接している溝１０９ａ間の離隔距離ｌａ〜ｌｋより大きくなっている。ダミー溝１０９ｂが、各溝群Ｘ１〜Ｘ５の副搬送方向に関する両側にそれぞれ配置されている。 （もっと読む）

【課題】アミド系水溶性有機溶剤を含む水溶性有機溶剤を用いたインクなどの液体に対しても耐性を持ち、ノズル板と流路板との接合に接着強度低下などの問題を生じない液体吐出ヘッドとその製造方法、及び該液体吐出ヘッドを備えた画像形成装置の提供。
【解決手段】液滴を吐出する吐出口が形成されたノズル板を、前記吐出口が連通する液室を形成した流路板に接合した液体吐出ヘッドであって、前記ノズル板と流路板とがフッ素系エポキシ接着剤で接合されており、該フッ素系エポキシ接着剤の硬化物と、２０〜６０重量％のアミド系水溶性有機溶剤、水、着色剤、及び界面活性剤を含有するインクとの接触角が６０°以上である液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】記録装置への取り付けが容易になる液体吐出ヘッド、およびそれを用いた液体吐出ブロックならびに記録装置を提供する。
【解決手段】一方側に凸部を有する第１の位置決め部２３８ａおよび第２の位置決め部２３８ｂを有し、前記一方と異なる側に凹部を有する第３の位置決め部２３８ｃとストッパ部２３８ｄとを有する液体吐出ヘッドである。 （もっと読む）