【課題】シリコン層を含む可動部の変位を大きくすることができる構造のシリコン装置を提供する。
【解決手段】シリコン装置としてのインクジェットプリンタヘッド１は、シリコン基板２と、シリコン基板２上に形成された酸化シリコン層５Ｂと、酸化シリコン層５Ｂ上に形成された拡散防止膜７０と、拡散防止膜７０上に設けられた圧電素子６とを含む。シリコン基板２にはインク溜まりとしての加圧室６２が形成されており、その天面部の薄いシリコン層５Ａと酸化シリコン層５Ｂとが振動膜５を構成している。圧電素子６は、拡散防止膜７０に接する下部電極７と、下部電極７上に設けられた圧電体層８と、圧電体層８上に設けられた上部電極９とを含む。シリコン基板２は、主面結晶方位（１００）のシリコン結晶からなる。 （もっと読む）

【課題】複数の圧電体薄膜を積層して形成される積層体における膜の密着性を高めて剥離を防止し、耐久性、信頼性の高い圧電体素子を提供する。
【解決手段】圧電体素子（10）は、基板(12)上に、第１の電極(14)が形成され、その上に第１の圧電体膜(16)が形成される。さらに第1の圧電体膜(16)の上に金属酸化物膜(18)が積層され、金属酸化物膜（18）の上に金属膜(20)が積層して形成される。金属膜（20）の上に第２の圧電体膜（22）が形成され、その上に第２の電極(24)が積層して形成される。金属酸化物膜（18）と金属膜（20）を積層してなる中間層（26）の厚みと応力値の積が１００Ｎ／ｍ^２未満であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】分極処理の必要な複数の隔壁をそれぞれの壁厚方向に一括して簡便に分極処理する。
【解決手段】平板状の圧電プレートの第１の主面Ｓ１に、並列して延び長さ方向の少なくとも一部が互いに隣接する複数の第１及び第２の溝５０３，５０４を交互に形成し、複数の第１の溝の内壁面に第１の電極５０５を形成し、複数の第２の溝の内壁面に第２の電極５０６を形成し、複数の第１の電極と電気的に接続された第１の共通電極８０２と、複数の第２の電極と電気的に接続された第２の共通電極８０３と、を形成し、第１の共通電極と第２の共通電極との間に電圧を印加することによって、第１の溝と第２の溝とを仕切る隔壁５１３を分極し、第１の電極が第１の溝ごとに分離されかつ第２の電極が第２の溝ごとに分離されるように、第１及び第２の共通電極を除去する。 （もっと読む）

【課題】製造工程において受けたダメージを回復して変位量の均一性や信頼性の良好な圧電素子を提供する。
【解決手段】
本発明にかかる圧電素子の製造方法は、基体側の上方に第１電極を形成する工程と、前記第１電極の上方に圧電体層を形成する工程と、前記圧電体層の上方に第２電極を形成する工程と、前記第２電極および前記圧電体層の少なくとも一部をパターニングして、前記第１電極、前記圧電体層、および前記第２電極を有するキャパシタ構造部を形成する工程と、前記キャパシタ構造部の少なくとも一部を被覆する保護膜を形成する工程と、第１のアニールを行う工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】端子や配線を共通化しても問題なく、圧電層の第２電極と対向する部分を面方向に収縮させて、圧電層の第１電極と対向した部分に生じた圧縮応力を緩和させる。
【解決手段】圧電アクチュエータ７は、それ自身よりも線膨張係数の大きな流路ユニット６に接合された圧電層４１、４２と、圧電層４２の表面に配置された個別電極４４及び個別電極４４を取り囲んで配置された外周電極４５とを有している。外周電極４５は、個別電極４４よりもガラス材料内に含有された金属粒子の径が大きな材料で形成され、個別電極４４と導通している。そして、外周電極４５と圧電層４２との間には低誘電層が形成されている。 （もっと読む）

【課題】複合酸化物を生成させる回数が増加しても、電極を疎水化させることが可能な電気機械変換素子の製造方法、電気機械変換素子並びに吐出ヘッド及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】複合酸化物膜１２が形成されている共通電極１１上の複合酸化物膜１２が形成されていない領域に自己組織化単分子膜１３を形成して疎水化し、共通電極１１上の自己組織化単分子膜１３が形成されていない領域にゾルゲル液１４を塗布、仮焼して複合酸化物膜１４'を形成し、複合酸化物膜の積層体１５を形成し、複合酸化物膜の積層体１５が形成された共通電極１１を酸洗浄し、複合酸化物膜の積層体１５が形成されていない領域に自己組織化単分子膜を形成して疎水化させ、共通電極１１上の自己組織化単分子膜が形成されていない領域にゾルゲル液を塗布し、ゾルゲル液が塗布された共通電極１１を仮焼して複合酸化物膜を形成し、複合酸化物膜の積層体を形成する。 （もっと読む）

【課題】インク室内部への影響を抑えつつ機械加工を用いて効率的にインク供給口を形成する。
【解決手段】基板２０１において、エネルギー発生素子２０２とは異なる位置に対し、インク室２０６と連通し、インクを供給可能なインク供給口１２０をドリル２０９で切削し、インク供給口１２０が切削されている際、インク供給口１２０に対して照射される光の光量を検出し、検出された光量に基づいて、インク供給口１２０が貫通する前に切削を停止し、インク供給口１２０の切削が停止された基板１２０の残存部位を、ドリルとは異なる加工法を用いて除去する。 （もっと読む）

【課題】インク吐出ヘッドのノズル孔部の硬化を防止し、ノズル孔の精度を向上させる。
【解決手段】基板２０１上のエネルギー発生素子２０２周囲位置の流路壁２０３の端面を覆いつつ、流路壁２０３により区画される空間では流路壁２０３の端面よりも低い領域を有する第一の犠牲層２０４を形成し、第一の犠牲層２０４の表面に紫外線を吸収可能な第二の犠牲層２０５を形成し、流路壁２０３の端面よりも低い領域がないよう、第二の犠牲層２０５の表面に第三の犠牲層２０６を形成し、少なくとも第二の犠牲層２０５を残存させつつ、犠牲層を流路壁２０３の端面が露出するまで除去し、形成されたノズル形成層２０７上にノズル孔１１０に相当するマスク部２０８ａが形成されたフォトマスク２０８を形成し、紫外線２０９を照射しノズル形成層２０７を硬化させ、溶解液に浸漬させて、ノズル孔部２０７ａおよび犠牲層を除去する。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートを薄型化しても、インクを良好に吐出できるようにする。
【解決手段】ノズルプレートに、圧電体膜とこの圧電体膜を動作させてインク圧力室内のインクをノズルから吐出させる駆動電極とからなるアクチュエータを一体的に配設するインクジェットヘッドにおいて、前記アクイチュエータに前記インク圧力室側に向かって突設され、内部に前記ノズルと前記インク圧力室とを連通させてノズル長を延伸させる通路を有するノズル延伸部を具備する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドのイオンマイグレーション耐性を向上させる。
【解決手段】吐出ダイ１７は、吐出口、圧電素子、プリント配線パターン、駆動ＩＣ、第１端子部３２を有する。フレキシブル配線回路基板１２は、第２端子部３４を有し、この第２端子部３４が吐出ダイ１７の第１端子部３２に接合される。第２端子部３４の銅または銅合金配線の表面には、１，２，３トリアゾールまたは／および１，２，４トリアゾールを含む処理液を接触させて、銅イオン拡散抑制皮膜７７を形成する。第１端子部３２に第２端子部３４を接合し、これらを電気的に接続する。銅イオン拡散抑制皮膜７７により銅イオンが拡散することがなく、銅イオンによるマイグレーションの発生が抑えられる。マイグレーションの発生に起因する誤動作がなくなる。 （もっと読む）

【課題】電極を薄くしても振動板と電極との密着強度を確保することを課題とする。
【解決手段】液体を吐出するノズル２１に連通した圧力室１２と、該圧力室１２の壁面の一部を構成する振動板５０と、該振動板５０上に設けられた圧電体素子３と、を有する液体噴射ヘッド（１）の圧電体素子３は、振動板５０上に設けられた第１電極（６０）と、該第１電極（６０）上に設けられた圧電体７０と、該圧電体７０上に設けられた第２電極（８０）と、を含んでいる。振動板５０は、第１電極（６０）側に酸化ジルコニウムの層（５５）を有している。振動板５０と前記第１電極（６０）との界面に酸化鉛９０が点在している。 （もっと読む）

【課題】高密度に配置された配線部材の配線電極と圧電部材の電極とをはんだ接合することが難しい。
【解決手段】ＦＰＣ４の個別配線電極４２にメッキされたはんだ５１Ａを溶融して圧電部材３の外部電極２３とを接合する前に、ＦＰＣ４の個別配線電極４２にメッキされたはんだ５１Ａの端部を一旦溶融させ（第１ステップ）、溶融されたはんだ５１Ｂの端部と圧電部材３の外部電極２３とを接触させ、はんだ５１Ｂを再溶融することで、ＦＰＣ４の配線電極４２と前記圧電部材３の外部電極２３とを接合する（第２ステップ）。 （もっと読む）

【課題】良質な薄膜を製造することができる。
【解決手段】液滴吐出ヘッド３００によって基板１１に吐出された機能性インク膜３０２にレーザ光を照射して加熱すると溶媒が蒸発して溶液が乾燥する。リアルタイムレーザ制御装置６００によって機能性インク膜３０２の乾燥状態を検出する。そして、機能性インク膜３０２の乾燥状態に対する最適なレーザ光照射条件の関係の特性データと照合しながら検出した機能性インク膜３０２の乾燥状態に対応する最適なレーザ光照射条件を決定する。 （もっと読む）

【課題】 流路構成部材と基板との密着性の確保。
【解決手段】 液体吐出圧力発生素子と、電気信号入力端子と、を有した基板と、基板上に接合されることで吐出口に連通する流路を形成する流路構成部材と、基板と流路構成部材との間の少なくとも一部に形成された密着層と、流路構成部材の少なくとも一部の側面に設けられ、電気信号入力端子を封止する封止材と、備える液体吐出ヘッドであって、前記流路構成部材と前記密着層との前記基板の外周側の界面は、前記封止材が設けられている領域から退避して形成される。 （もっと読む）

【課題】熱処理方法としてレーザーを使用して薄膜を製造する薄膜製造装置であって、最適なレーザー条件を算出、制御することができる薄膜製造装置を提供すること。
【解決手段】基板上に機能性インクを所定のパターンで塗布する塗布手段と、塗布された前記機能性インクを加熱して結晶化するための１つ又は２つ以上のレーザー光源と、前記機能性インクの結晶状態を測定するためのＸ線回折装置と、前記Ｘ線回折装置により測定された前記機能性インクの前記結晶状態の情報を記録する記録部と、前記レーザー光源のレーザー照射条件を制御する制御装置と、を有し、前記制御部は、前記記録部に記録された、事前の前記レーザー光源によるレーザー照射した前記機能性インクの前記結晶状態の情報に基づいて、前記レーザー光源のレーザー照射条件を調整するようにする、基板上に薄膜を形成する薄膜製造装置。 （もっと読む）

【課題】電極パターンの断線が生じ難いインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に枠部材を設置し、この枠部材に囲まれた空間内に、溝状の圧力室を形成した圧電部材を設置し、前記空間を、前記圧力室との対向部にノズルを有するノズルプレートにより覆って共通液室を形成し、前記基板に穿設したインク流通孔を通して前記共通液室に供給されるインクを、外部からの信号により前記圧力室を変形させて、前記ノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、前記圧電部材は、直方体の両側面を所定の傾斜面とした台形状を成し、前記圧力室は、前記圧電部材の台形面と平行で、上面に開溝する溝状に形成され、この圧力室の溝底部上面から前記両傾斜面上を通って基板上に達する電極パターンが形成されており、前記圧力室として前記圧電部材に形成される溝の底辺と前記傾斜面との交差部は滑らかに形成されている。 （もっと読む）

【課題】所望パターンの電気機械変換膜を形成することができる。
【解決手段】ＰＺＴ前駆体溶液１７の成分の一部を含むバンク形成溶液１５を液滴吐出ヘッド１４により基板１１の第１の電極上の所定部分に選択的に塗布することで、基板１１の第１の電極上の所定部分を囲むように形成されたバンク膜１６が所定部分の周縁に向って盛り上がる。そして、このバンク膜１６を乾燥させてバンクを形成する。このバンクで囲まれた内側の当該所定部分に、電気機械変換膜１８を形成するための原料を含むＰＺＴ前駆体溶液１７の液滴を液滴吐出ヘッド１４のノズルから吐出させて塗布する。 （もっと読む）

【課題】膜内部の組成均一性が高く良好な強誘電体特性・圧電体特性を有する強誘電体膜を低コストで得ることが可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法及び製造装置。
【解決手段】供給工程と搬送工程と位置出し工程と成膜工程と焼成工程と冷却工程とを具備し、一連の動作を所定回数実行することにより圧電体層を構成する所定厚さの強誘電体膜を形成するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、成膜工程にて２種類以上の前駆体液をシリコンウェハ５０に滴下して前駆体膜７２を形成する方法であり、複数の前駆体液は単一のノズルから滴下し、複数の前駆体液送液ライン中には複数の前駆体液を任意の比率に混合可能な混合器を備え、成膜回数に応じてシリコンウェハ５０に滴下する前駆体液の混合比を変化させつつ前駆体膜７２を成膜する。その後の焼成工程を含めた一連の動作を所定回数実行して所定厚さの圧電体層を構成する。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換膜を形成するための原料を含む塗布液をノズルから吐出させて電極上に塗布するときに不要な液滴を電極に付着させることなく、かつ所望パターンの電気機械変換膜を形成することができる。
【解決手段】所定の極性に帯電されているＰＺＴ前駆体溶液２０３がノズルから吐出された後所定時間が経過した後にミスト回収用電極２０９に電圧を印加する。ミスト回収用電極２０９への電圧印加の開始を吐出から所定時間遅らせることで、主液滴３００は電圧が印加されたミスト回収用電極２０９の電界から静電気力を受ける時間を少なくするとともに、ミスト液滴３０１を第１の電極に到達する前に回収される。第１の電極の所定部分に塗布され、基板１１上の所望のパターンに塗布される。 （もっと読む）

【課題】高集積化に適用可能にポーリング処理を行うことができる。
【解決手段】個別電極１４は、配線５４及びダイシングライン５１の領域に設けられているコンタクト５２−２を介して導電性材料の個別液室基板１２に電気的に接続されている。このため、この個別液室基板１２と共通電極１９との間にポーリング電圧を印加することで、各個別電極１４と共通電極１９との間にポーリング電圧を印加したことになる。そして、コンタクト５２−２はダイシングライン５１に設けられており、ダイシングライン５１に沿ってダイシングを行って配線５４とコンタクト５２−２を電気的な接続を切断することで、個別液室基板１２と各個別電極１４とは互いに電気的に絶縁となる。 （もっと読む）