【課題】熱処理方法としてレーザーを使用して薄膜を製造する薄膜製造装置であって、最適なレーザー条件を算出、制御することができる薄膜製造装置を提供すること。
【解決手段】基板上に機能性インクを所定のパターンで塗布する塗布手段と、塗布された前記機能性インクを加熱して結晶化するための１つ又は２つ以上のレーザー光源と、前記機能性インクの結晶状態を測定するためのＸ線回折装置と、前記Ｘ線回折装置により測定された前記機能性インクの前記結晶状態の情報を記録する記録部と、前記レーザー光源のレーザー照射条件を制御する制御装置と、を有し、前記制御部は、前記記録部に記録された、事前の前記レーザー光源によるレーザー照射した前記機能性インクの前記結晶状態の情報に基づいて、前記レーザー光源のレーザー照射条件を調整するようにする、基板上に薄膜を形成する薄膜製造装置。 （もっと読む）

【課題】電極パターンの断線が生じ難いインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に枠部材を設置し、この枠部材に囲まれた空間内に、溝状の圧力室を形成した圧電部材を設置し、前記空間を、前記圧力室との対向部にノズルを有するノズルプレートにより覆って共通液室を形成し、前記基板に穿設したインク流通孔を通して前記共通液室に供給されるインクを、外部からの信号により前記圧力室を変形させて、前記ノズルから吐出させるインクジェットヘッドであって、前記圧電部材は、直方体の両側面を所定の傾斜面とした台形状を成し、前記圧力室は、前記圧電部材の台形面と平行で、上面に開溝する溝状に形成され、この圧力室の溝底部上面から前記両傾斜面上を通って基板上に達する電極パターンが形成されており、前記圧力室として前記圧電部材に形成される溝の底辺と前記傾斜面との交差部は滑らかに形成されている。 （もっと読む）

【課題】所望パターンの電気機械変換膜を形成することができる。
【解決手段】ＰＺＴ前駆体溶液１７の成分の一部を含むバンク形成溶液１５を液滴吐出ヘッド１４により基板１１の第１の電極上の所定部分に選択的に塗布することで、基板１１の第１の電極上の所定部分を囲むように形成されたバンク膜１６が所定部分の周縁に向って盛り上がる。そして、このバンク膜１６を乾燥させてバンクを形成する。このバンクで囲まれた内側の当該所定部分に、電気機械変換膜１８を形成するための原料を含むＰＺＴ前駆体溶液１７の液滴を液滴吐出ヘッド１４のノズルから吐出させて塗布する。 （もっと読む）

【課題】膜内部の組成均一性が高く良好な強誘電体特性・圧電体特性を有する強誘電体膜を低コストで得ることが可能なインクジェット記録ヘッドの製造方法及び製造装置。
【解決手段】供給工程と搬送工程と位置出し工程と成膜工程と焼成工程と冷却工程とを具備し、一連の動作を所定回数実行することにより圧電体層を構成する所定厚さの強誘電体膜を形成するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、成膜工程にて２種類以上の前駆体液をシリコンウェハ５０に滴下して前駆体膜７２を形成する方法であり、複数の前駆体液は単一のノズルから滴下し、複数の前駆体液送液ライン中には複数の前駆体液を任意の比率に混合可能な混合器を備え、成膜回数に応じてシリコンウェハ５０に滴下する前駆体液の混合比を変化させつつ前駆体膜７２を成膜する。その後の焼成工程を含めた一連の動作を所定回数実行して所定厚さの圧電体層を構成する。 （もっと読む）

【課題】ノズルへの異物詰まりを防止する。
【解決手段】液体を液滴として吐出するノズル４と、該ノズル４に連通する個別流路６と、液体が個別流路６に至る途中に設けられたフィルタ１０と、を少なくとも備えた液滴吐出ヘッド１において、フィルタ１０は、ノズル４から液滴を排出する方向に液体を流した場合と、ノズル４から液体を供給する方向に液体を流した場合とでは、捕捉できる異物のサイズが異なるものとしている。 （もっと読む）

【課題】本願発明は、インク等の液体に対する耐性と接着性に優れる液体記録ヘッドを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、シリコン基板の第一の面と反対側の第二の面に、液体に対する耐性を有する保護膜と、接着性向上膜と、が配置され、前記保護膜は、液体供給口の開口の周辺領域に設けられ、液体吐出チップとヘッド基板とが、前記シリコン基板の第二の面側において液体供給口及び液体導入口が連通するように接着剤を用いて接着されている液体記録ヘッドである。 （もっと読む）

【課題】耐溶剤性および柔軟性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッドを製造可能な接着剤、かかる接着剤を用いて製造された液滴吐出ヘッド、かかる接着剤を用いて製造する液滴吐出ヘッドの製造方法、およびかかる液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズルプレート１０と、振動フィルム３０および支持板４０で構成される振動板と、圧電素子５０とを有し、基板２０とノズルプレート１０との間、基板２０と振動フィルム３０との間および振動フィルム３０と支持板４０との間が、接着剤を用いて形成された接着層１５、２５、３５を介して接合されており、接着剤は、アルケンとアルケニレンジカルボン酸とを含む、固形状をなす共重合体と、架橋剤とを主材料として含有するものである。 （もっと読む）

【課題】従来の構造体より製造が容易な電気接点を有するプリントヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】複数の圧電素子２０を備えるジェット・スタック・サブアセンブリ３０をプレス内に配置することと、複数の導電性パッド６４を有するフレキシブルプリント回路６０（フレックス回路）を複数の圧電素子２０と位置合わせすることと、複数の導電性パッド６４を変形させるためにプレス内でフレックス回路６０に圧力を印加することと、を含み、プレス内の複数の導電性パッド６４の変形中、複数の導電性パッド６４と複数の圧電素子２０との間に電気接触が確立される、方法。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッド間における吐出特性のばらつきを抑制することのできる液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】成膜手段により導電層の形成されたシリコンウェハ上に強誘電体前駆体膜を成膜する成膜工程（Ｓ２０３）と、加熱手段により前記強誘電体前駆体膜を加熱して強誘電体層を形成する加熱工程（Ｓ２０４，Ｓ２０５，Ｓ２０７）と、冷却手段により前記加熱されたシリコンウェハを冷却する冷却工程（Ｓ２０８）と、を、一連の処理工程として１枚の前記シリコンウェハごとに所定回数繰り返すように有し、前記加熱工程は、加熱焼成手段により前記強誘電体前駆体膜を加熱して焼成する焼成工程（Ｓ２０７）を含み、前記焼成工程の前に、位置調整手段により前記加熱焼成手段に対する前記シリコンウェハの板面回転方向の位置を前回までの焼成処理のときの該シリコンウェハの位置とは異なるように調整する位置調整工程（Ｓ２０６）をさらに有する。 （もっと読む）

【課題】圧電部材と配線部材の電気的接続信頼性を確保するために生産性が低下する。
【解決手段】ＣＳＰ１６の出力端子１６２と駆動柱１２Ａの個別外部電極２３とははんだバンプ１６４による半田４１Ｂで接合され、ＣＳＰ１６の入力端子１６１とＦＰＣ１５の配線電極とははんだバンプ１６３による半田４１Ａで接合され、ＣＳＰ１６の出力端子と圧電部材１２の個別外部電極２３とを接合する半田４１Ｂの厚みは、ＣＳＰ１６の入力端子とＦＰＣ１５の配線電極１５Aとを接合する半田４１Ａの厚みよりも薄くしている。 （もっと読む）

【課題】耐溶剤性および柔軟性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、かかる液滴吐出ヘッドを製造することができる液滴吐出ヘッドの製造方法、およびかかる液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズルプレート１０と、振動フィルム３０および支持板４０で構成される振動板と、圧電素子５０とを有し、基板２０とノズルプレート１０との間、基板２０と振動フィルム３０との間および振動フィルム３０と支持板４０との間が、接着層１５、２５、３５を介して接合されており、接着層１５、２５、３５が、ポリシルセスキオキサンで構成される主骨格と、該主骨格同士を連結する連結部とを有するポリシルセスキオキサン誘導体を主材料として構成され、前記連結部は、その主鎖を構成する炭素の数が４以上、１０以下のメチレン鎖を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッド間における吐出特性のばらつきを抑制するとともに生産性の向上を図ることのできる液体吐出ヘッド製造装置を提供する。
【解決手段】導電層の形成されたシリコンウェハ上に強誘電体前駆体膜を成膜する成膜部１４と、前記強誘電体前駆体膜を加熱して乾燥する第１加熱部１５と、前記乾燥した強誘電体前駆体膜を加熱して該強誘電体前駆体膜に含まれる有機成分を除去する第２加熱部１６と、前記有機成分が除去された強誘電体前駆体膜を加熱して焼成し前記強誘電体層を形成する第３加熱部１７と、前記有機成分が除去された強誘電体前駆体膜および前記強誘電体層を冷却する冷却部１８と、前記シリコンウェハを搬送する搬送部１２と、１枚の前記シリコンウェハごとに処理が行われるように、成膜部１４、第１加熱部１５、第２加熱部１６、第３加熱部１７、冷却部１８及び搬送部１２を制御する主制御部２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】接合層の膨潤片による液体流動への悪影響防止し得る液体噴射ヘッドおよびそれが装備された液体噴射装置を提供する。
【解決手段】圧力発生室ユニット２４と、供給口形成基板９と、共通液体室形成基板７と、ノズルプレート６とが層状構造として形成され、供給口形成基板９に、共通液体室２から圧力発生室４に液体を導入する導入流路１３が設けられ、供給口形成基板９および共通液体室形成基板７に、圧力発生室４からノズル開口５に液体を供給する供給流路１４が設けられ、共通液体室形成基板７の導入流路１３側の表面７ａに、共通液体室２と導入流路１３とを連通させる制御流路２５が形成されている。上記構成により、制御流路２５の液体流動の制御により、液体噴射時に液体が共通液体室２に逆流する量を低減させ、圧力発生室４への液体導入時には、液体導入量を増量させる。 （もっと読む）

【課題】圧電部材とベース部材を導電性接着剤で接合するためにコストが高くなる。
【解決手段】ベース部材１３にはノズル配列方向（圧電柱配列方向）と直交する方向に溝加工が施されて、複数の凹部５１がノズル配列方向に配列されて形成されている。そして、ベース部材１３の凹部５１内に充填した接着剤５３で、ベース部材１３と圧電部材１２の接合面が接合され、ベース部材１３の凹部５１以外の凸部５２でベース部材１３と圧電部材１２の共通電極２５とが電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】液体流路部材の厚みが厚くなった場合でも、液体吐出口のエッジ形状がシャープであり、高品位印字を可能にする液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、液体を吐出する液体吐出口に連通する液体流路の型となりかつポジ型レジストからなる固体層とが設けられた基板上に、光カチオン重合開始剤とカチオン重合性樹脂とを含む被覆樹脂層を被覆する工程と、該被覆樹脂層を露光及び現像して液体吐出口を形成する工程と、該固体層を除去することにより液体流路を形成する工程とを含む液体吐出ヘッドの製造方法であって、該被覆樹脂層が、カチオン重合阻害剤として、パーフルオロアルキル基を有するアミン化合物を含む液体吐出ヘッドの製造方法。及び該方法より得られた液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の変位効率の向上を図るとともに、製造コストの低減も図り得る液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電材料で形成された同一厚さの複数枚のウエハーに、個別内部電極１６または共通内部電極１７のいずれか一方を形成して第１および第２のウエハーを形成する工程と、前記第１のウエハーと第２のウエハーとを交互に積層するとともに加圧して一体化し、その後焼成する工程と、積層された圧電材料を焼成により一体化した圧電材料層１５を有するウエハーを、ダイシングテープに貼着して所定の大きさに切り分ける工程と、切り分けられた圧電材料層１５の表面に個別内部電極１６に接続される個別外部電極２２と共通内部電極１７に接続される共通外部電極２３とを形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】複数の基板を貼り合わせるインクヘッドとインクヘッドの製造方法において、基板相互を押圧することなく基板を貼り合わせ、接着剤が接合面以外に流出しない気密性の高い接合ができるインクヘッドの製造方法と、これを用いた液滴吐出装置を提供することにある。
【解決手段】貼り合わせられる基板に接着剤を塗布し接着剤層を形成する塗布工程と、形成された接着剤層を介して複数の基板を貼り合せる貼り合せ工程と、接着剤層を仮硬化させる複数の照射ポイントからなる仮硬化領域に光を照射する仮硬化工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】部品点数を減少させて材料コスト及び組み立てコストを低減することができると共に、液体漏れを抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ヘッド本体３０と流路部材２０との間に設けられて、ヘッド本体３０よりも大きな面積を有する回路基板４０と、ヘッド本体３０に液体噴射面の外側で周方向に亘って当接すると共に、流路部材２０に回路基板４０の外側で周方向に亘って当接して、流路部材２０及びヘッド本体３０との間に回路基板４０を密封する空間を画成する蓋部材５０と、を具備し、蓋部材５０と前記ヘッド本体３０との間を封止する内周シール部材５５が、蓋部材４０及びヘッド本体３０の何れか一方に２色成形によって形成され、蓋部材５０と流路部材２０との間を封止する外周シール部材５２が、蓋部材５０及び流路部材２０の何れか一方に２色成形によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】液体に対する接触角を制御することで、コーヒーステインを防ぎつつ基板上に均一に濡れ広がるようにして薄膜を形成することができる薄膜製造方法、並びに該薄膜製造方法により製造された薄膜を備える電気機械変換素子、該電気機械変換素子を備えた液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置を提供すること。
【解決手段】基板上に、機能性インクが結晶化されてなる薄膜を形成する薄膜製造方法であって、前記基板上に撥液膜を形成する撥液膜形成工程と、レーザ光源、ランプ及びプラズマから選ばれるいずれか１により前記撥液膜の一部を除去して準親水部となる所望の形状の撥液膜除去部位を形成する撥液膜除去工程と、前記基板上における前記撥液膜除去部位にゾルゲル法により前記機能性インクを付与する機能性インク付与工程と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液室密度の高密度化と、それに伴う隣接する個別液室間の相互干渉を緩和し、且つ保持基板との接合領域を低減させて小型化に貢献する。
【解決手段】アクチュエータに対向する位置に、保持基板隔壁により区画された凹状の振動室が形成されており、保持基板隔壁が配線層を含む積層膜を介して液室隔壁に接合される保持基板を有し、短手方向における保持基板隔壁の幅は、短手方向における液室隔壁の幅より狭く、配線層パターンの幅よりも広くする。 （もっと読む）