【課題】圧電層に駆動電圧を供給するための電気的接続構造の簡略化とその電気的接続の信頼性向上の両方を実現可能で、さらに、駆動電圧の印加時における余分な静電容量の発生をも抑制できる圧電アクチュエータを提供すること。
【解決手段】圧電アクチュエータ３は、複数の圧力室１４を覆い共通電極を兼ねる振動板と、この振動板の上面に複数の圧力室１４に跨って連続的に配置された圧電層３１と、この圧電層３１の上面に形成された複数の個別電極３２と、圧電層３１及び複数の個別電極３２の上面に全面的に形成された絶縁層３３と、この絶縁層３３の上面に形成された複数の配線部３５とを有し、絶縁層３３の個別電極３２と配線部３５の両方と対向する領域には、貫通孔３３ａが形成されており、個別電極３２と配線部３５とが、貫通孔３３ａに充填された導電性材料３６により接続されている。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット記録装置に装着されたときに装置側の接続端子群と接触して、記録素子の駆動信号を含む信号の電気的接続を行うための接続端子群を有する記録ヘッドにおいて、一部の端子の接触の検知を以て全端子の接触が行われたとみなし得るようにする。
【解決手段】 記録ヘッドの接続端子Ｈ１３０２の配設領域のうち、記録ヘッド装着ずれによって装置側接続端子との間の距離が最大となる部位の接続端子、すなわち略矩形状の平面領域に配設された接続端子群のうち、隅部に位置する接続端子Ｈ１３０２ａ〜Ｈ１３０２ｃを接触検知用の端子として用いる。これにより、それら端子の接触を検知すれば、その領域の内側にある全端子の接続を保証できる。 （もっと読む）

【課題】配線が狭ピッチ化しても半導体素子を実装することが可能な、液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】圧力発生室１２の上面に形成され圧電素子３００に導通接続された第１配線３６と、リザーバ形成基板２０の上面に形成された第２配線３４と、リザーバ形成基板２０の側面に形成された第３配線３５と、半導体素子２００の接続端子４４とが、各配線および接続素子の表面に析出させたメッキ４６により導通接続されている構成とした。 （もっと読む）

【課題】 酸化膜を形成しやすい材料を用いて配線形成する場合でも、メッキによる金属膜を十分に積層する。
【解決手段】 第１導電膜２ａと、メッキにより第１導電膜２ａ上に成膜された第２導電膜４とを有する膜パターン７を基板１上に形成する。第１導電膜２ａに対してエッチングを行う工程と、第１導電膜２ａに対してメッキ処理の触媒を付与する工程とを、第２導電膜４をメッキ形成する前に同一工程で実施する。 （もっと読む）

【課題】 ノズルや圧電体などにそのままでは回復不可能な部分的な損傷を受けた場合に部分的な交換を可能にすること。
【解決手段】 液体を吐出するノズル５１と、ノズル５１に連通する圧力室５２と、圧力室５２の容積を変化させる圧力を発生する圧電体６０と、を有する下部構造体５０１と、圧力室５２に液体を供給する共通液室５５と、圧電体６０の配置面に対して略垂直に立ち上がり少なくとも共通液室５５の一部を貫通する柱状電気配線７０と、を含んで構成される上部構造体５０２と、を備え、下部構造体５０１と上部構造体５０２とが磁力によって接合され、下部構造体５０１と上部構造体５０２とが磁力よりも大きな力によって分離される構成にした。 （もっと読む）

【課題】接続端子及び接続部の形成ピッチが狭小化した場合にも電気的接続を行う際の作業性を低下させることなく、優れた信頼性をもって歩留まりよくデバイスを実装する。
【解決手段】基体の凹部７００に設けられた導電接続部８０と、導電接続部８０と離間して設けられるデバイス２００Ａ、２００Ｂの接続端子２００ａを電気的に接続する。一方側の第１面４１ａにデバイス２００Ａ、２００Ｂが設けられた基板部４１と、第１面４１ａよりも突出して配置された第２面４２ｂに端子電極３６ｂが設けられた突部４２と、デバイス２００Ａ、２００Ｂの接続端子２００ａと端子電極３６ｂとの間を電気的に接続する接続配線３６ｄとを有するユニット３６０を備える。突部４２が凹部７００に挿入されて端子電極３６ｂが導電接続部８０に接続される。 （もっと読む）

【課題】圧力室及び圧力センサと各圧力センサから引き出される電気配線を高密度に配置するとともに、その場合に発生するクロストークを抑える。
【解決手段】２次元マトリクス状に配置された、液体を吐出するノズルを有する複数の圧力室に対して、設けられた該圧力室内に前記液体を吐出するための圧力を発生させる圧力発生手段と、前記複数の圧力室に対して、前記圧力発生手段によって発生された前記圧力室内の圧力を検出する、少なくとも２層以上に形成された圧力センサ素材と、前記複数の各圧力室に対して、前記２層以上に形成された圧力センサ素材のうちの１層のみに対して該圧力センサ素材の両面に配置された、該圧力センサ素材を有効検出部とするための電極とを備え、さらに圧力センサ素材から検出信号を取り出す電気配線のプラスとマイナスの電極からの信号の差分を取る差分信号算出部を備える。 （もっと読む）

【課題】 サイズが小さく、ノズル、吐出室等を高密度化、多列化することが可能で、ま
た吐出性能及び耐久性に優れた液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 ノズル基板５と、キャビティ基板３と、個別電極７が形成された電極基板
２と、リザーバ基板４と、個別電極７に駆動信号を供給するドライバＩＣ２０と、ドライ
バＩＣ２０に入力信号を供給するためのリード部２５とを備え、キャビティ基板３には、
第１の穴部２１が設けられ、リザーバ基板４には、第２の穴部２３が設けられており、第
１の穴部２１と第２の穴部２３が連通して収容部２４を形成し、ドライバＩＣ２０が収容
部２４に収容され、リード部２５が、複数本のリードからなり、１つのドライバＩＣ２０
に複数本のリードが接続されているものである。 （もっと読む）

【課題】良好な電極能を有しつつ低コストで、且つ圧電体に対する充分な吸着性を有する圧電素子、及びそれを備える液滴吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【解決手段】共通電極４６（下部電極）、圧電体４８、及び信号電極５０（上部電極）がこの順で積層して構成された圧電素子３４において、共通電極４６及び／又は信号電極５０の構成層の少なくとも１層として、Ｔａ，Ｖ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｗ，Ｔｉ，Ｚｒ，及びＨｆの金属、前記金属の元素を１種以上含む合金、前記金属の元素を１種以上含む窒化物、前記金属の元素を１種以上含む珪化物、並びに、前記金属の元素を１種以上含む硼化物から選択される少なくとも１種で構成される電気伝導層の少なくとも１層を適用する。これにより、良好な電極能を有しつつ低コストで、且つ剥がれ難い電極を持つ圧電素子３４となる。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッドを搭載する記録装置のキャリッジとのコンタクト部における電気配線基板のたわみを低減する。
【解決手段】記録ヘッドＨ１００１の記録素子基板Ｈ１１００は、電気配線基板Ｈ１３００の電気接続部Ｈ１３０６Ｒ、Ｈ１３０６Ｌを記録装置のキャリッジのコネクタに接続することで、記録装置の本体駆動部に電気接続される。電気配線基板Ｈ１３００の中央部を避けて、キャリッジの突き当て部に当接される左右の位置決めの基準面Ｈ１５０６Ｒ、Ｈ１５０６Ｌに近接する側縁部に、２分割した電気接続部Ｈ１３０６Ｒ、Ｈ１３０６Ｌを配設することで、接続荷重による電気配線基板Ｈ１３００のたわみを低減し、電気接続の信頼性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】百ノズル以上の液体噴射記録ヘッドをコンパクトな構造で実現すること、及び圧電素子の駆動電圧を上げ、駆動電圧波形の立ち上がり時間を短縮すること。
【解決手段】ヘッド基板上の上電極と駆動回路の出力端子を向かい合わせに接続する構成にした。また、前記駆動回路のアナログスイッチをＰチャネル型薄膜トランジスタとし、圧電素子駆動開始のタイミングを前記アナログスイッチの導通開始のタイミングより遅らせる構成とした。 （もっと読む）

【課題】多数のノズルが高密度化された場合に、流体クロストークを防止するとともに液体の高速リフィルを実現する。
【解決手段】ヘッド長手方向に対して傾斜した方向に複数のノズルが配列されたノズル列が前記長手方向に複数列形成された液体吐出ヘッドにおいて、前記各ノズルと連通するとともに、その一つの面に圧力発生素子が形成された圧力室と、前記圧力発生素子に関して前記ノズル側とは反対側に配置された、前記圧力室に液体を供給する共通流路と、前記共通流路の間に形成され、その中に前記圧力発生素子を駆動する駆動信号を供給するための電気配線が前記圧力発生素子が形成される面に略垂直に形成された隔壁とを備え、隣接した２つの前記ノズル列の各ノズルに対応する各圧力室に対し、前記隔壁間に形成された同一の前記共通流路から前記液体が供給されるようにする。 （もっと読む）

【課題】 被駆動部と個別電極とのより広い対向面積を確保するようにした電極基板及び
その製造方法、その電極基板を用いた静電アクチュエータ及び液滴吐出ヘッドを得る。
【解決手段】 基板表面に溝部８形成のためのクロム膜３１のマスクを形成する工程と、
ガラス基板３０をエッチングし、クロム膜３１のマスクの開口部分に合わせた溝部８を形
成する工程と、クロム膜３１のマスクをそのまま用いて、溝部８を形成した面に導電性材
料となるＩＴＯ３３を全面成膜する工程と、溝部８にレジスト３５を形成し、溝部８以外
の部分に成膜されたＩＴＯ３３を除去する工程と、クロム膜３１のマスクを除去する工程
と、レジスト３５を除去する工程とを少なくとも有する。 （もっと読む）

【課題】 ノズル等を高密度化、多列化することができ、かつサイズが小さく耐久性に優
れた液滴吐出ヘッド等を提供する。
【解決手段】複数のノズル孔１６が形成されたノズル基板５と、底壁が振動板１１を形成
し、吐出室１２が形成されたキャビティ基板３と、個別電極７が形成された電極基板２と
、共通液滴室１３、貫通孔１４及びノズル連通孔１５とを有するリザーバ基板４と、個別
電極７に駆動信号を供給するドライバＩＣ２０とを備え、キャビティ基板３には第１の穴
部２１が貫通され、リザーバ基板４には第２の穴部２３が設けられ、電極基板２にはテー
パ状の実装溝６０が設けられており、第１の穴部２１と第２の穴部２３は連通しこれらの
連通穴の下部に実装溝６０を備えて収容部２４を形成し、ドライバＩＣ２０は実装溝６０
に支持されて収容部２４に収容されている。 （もっと読む）

【課題】 長尺ヘッドの長手方向と直交する方向の幅を小さくすると共に、生産性、吐出安定性などの各種特性を満足できるインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】 長方形状の複数のヘッドユニット１２が千鳥状に２列配置され、長尺の記録ヘッド１０が構成される。ヘッドユニット１２には、長方形状のイジェクタ領域１４が配設され、このイジェクタ領域１４の両側に共通流路本流３０Ａ、３０Ｂが配設される。共通流路本流３０Ａ、３０Ｂにはそれぞれ複数の共通流路支流３２が長手方向に沿って接続され、これらの共通流路支流３２はイジェクタ領域１４の中央部で分割されている。これにより、記録ヘッド１０の平面積に対してスペースの大きい共通流路本流３０Ａ、３０Ｂ及び共通流路支流３２を効率的に配置できる。 （もっと読む）

【課題】 液体吐出ヘッドの組立時における圧電素子や圧電素子を配置する面の変形を防止すると共に、圧電素子の駆動用配線と圧電素子の確実な電気的な接続を可能とする。
【解決手段】 第１の基板上に配線部材となる柱状導電部材を形成する工程と、第２の基板上に圧電素子を形成する工程と、第２の基板の圧電素子が形成される側に圧電素子の電極の少なくとも一部が第１の基板側に開口する第１の凹部が形成された保護層を設ける工程と、第１の凹部に導電性を有する接合材を充填する工程と、導電部材と第１の凹部が対向するように第１の基板と第２の基板の間に共通液室を形成する隔壁を挟んで導電部材の先端部を前記第１の凹部に挿入して電気的接続する工程と、共通液室に絶縁コーティング材を充填して絶縁処理する工程とを含む液体吐出ヘッドの製造方法を提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】引き出し配線と接続配線とを確実に接続できて信頼性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】圧電素子から引き出された引き出し電極と圧電素子を駆動する駆動ＩＣとがワイヤボンディングによって形成される接続配線によって接続され、且つ少なくとも流路形成基板１０の端部近傍に設けられる接続配線１１０Ａの長さが、流路形成基板１０の中央部に設けられる接続配線１１０Ｂの長さよりも長く、流路形成基板１０の少なくとも端部近傍に設けられる接続配線１１０Ａの引き出し配線９１からの高さが、流路形成基板１０の中央部に設けられる接続配線１１０Ｂの高さよりも高くなるようにする。 （もっと読む）

【課題】 応力集中による振動板の破壊を防止することができると共に、水分による圧電素子の破壊を防止することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 供給路１４，１５に対応する領域には、少なくともリザーバ形成基板３０が接合される領域の振動板上に、線膨張係数が振動板よりも大きく積層電極１４０よりも小さい材料からなる応力緩和層１５０を介して、下電極及び上電極とは異なる層で構成され下電極と電気的に接続される積層電極が圧力発生室の並設方向に沿って延設され、且つ積層電極１４０の連通部１３側の領域には、積層電極１４０に対応する領域から連続的に設けられる応力緩和層１５０を介して、積層電極１４０とは不連続の不連続積層電極１６０が積層電極１４０に並設されているようにする。 （もっと読む）

【課題】 接続端子数の多い機能素子実装において、小型化を可能としつつ低コスト化できる電気構造物および製造方法などを提案する。
【解決手段】 機能素子１上に形成された電極２と、その機能素子１を駆動するための電子部品３等が実装された構造体４の電極配線パターン５が連続した状態で同一面上に形成されており、接続されている。この機能素子１の電極２と構造体４の表層の電極配線パターン５とが連続した同一面上に形成されていることから、導電性ペースト６による結線に際しても、にじみ等が発生せず接続されている。この構造体４の少なくとも一部の表層は樹脂で構成されており、この樹脂上に電極配線パターン５が形成され、またこの樹脂は機能素子１とも接着されている。また、この構造体４が無機材料をコアとして構成され、その表層部の少なくとも一部が樹脂で構成され、電極配線パターン５が形成されているとともに、機能素子１と接着されている。 （もっと読む）

【課題】 液体吐出ヘッド内の液体の温度を適切に調整することができ、高品質な画像を形成できること。
【解決手段】 液体を吐出するノズル５１に連通している圧力室５２と、圧力室５２の容積を変化させる圧電体５８とを備えた液体吐出ヘッド５０の温度調整方法において、ノズル５１から液体を吐出させるときには、ノズル５１から液体が吐出される吐出用の駆動波形を圧電体５８に与え、圧力室５２内の液体を加熱するときには、ノズル５１から液体が吐出されることなく圧電体５８によって圧力室５２内のインクが加熱される加熱用の駆動波形であって圧力室５２の共振周波数の２倍以上の周波数を有する駆動波形を圧電体５８に与える構成とした。 （もっと読む）