【課題】製造工程の簡素化を図ることによって、製造コストを大幅に低減することができる液体吐出ヘッド、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】「液体吐出ヘッド」としてのインク吐出ヘッド１０を製造する際には、（ａ）１枚の孔無しプレート（図示省略）に複数のノズル孔５６と複数のフィルタ孔４８とを形成することによって複合プレート３８を作成するとともに、複数の圧力室５２とインク流路Ｒとを有するヘッド基材８０を作成し、（ｂ）複数のノズル孔５６と複数のフィルタ孔４８とが「折曲線」によって仕切られた異なる領域に配置されるようにして複合プレート３８を折り曲げるとともに、複合プレート３８をヘッド基材８０に接合する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の耐久性及び初期特性を向上させる。
【解決手段】 振動板上に下部電極、圧電体、及び上部電極からなる圧電素子を備えた圧電アクチュエータの製造方法であって、前記圧電体を研磨する研磨工程と、前記研磨工程により研磨された前記圧電体をキュリー点以上の温度に加熱し、再分極を行う第１の加熱工程と、を含むことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法を提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】圧電アクチュエータのベース部材と圧電素子間で導通をとり、駆動特性を安定化する。
【解決手段】圧電素子群５の長さ方向の両側面以外の圧電素子部材１４の他の３面に下地層の上に半田層を成膜して個別電極１８と共通電極１９及びベース部材６との接合層２０を同時に形成する。この圧電素子部材１４の接合層２０をベース部材６に半田接合し、圧電素子部材１４とベース部材６間で導通をとり、共通電極１９に個別電極１８からの電流が集中しても安定した吐出特性を得る。 （もっと読む）

【課題】製作収率が向上され、各構成間の堅固な結合力に基づいて安定した品質を確保できるインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドは、インクを貯留するリザーバ、リザーバにインクを供給する流入口、リザーバからインクが供給されるチャンバ、リザーバとチャンバを連結するリストリクタ、インクを吐出するノズル、及びチャンバとノズルとの間に介在されるダンパ部を含むインクジェットヘッドであって、ダンパ部の一部、チャンバ、リザーバ、及びリストリクタが形成されたシリコン材質の第１プレートと、チャンバをカバーするように第１プレートの上面に接合されたガラス材質の振動板と、第１プレートの下面に接合され、ダンパ部の一部が形成されたガラス材質の第２プレートと、第２プレートの下面に接合され、ノズルが形成されたシリコン材質のノズル板とを含む。 （もっと読む）

【課題】ノズル形成部材の撥水層の耐久性及び撥水性のいずれも両立して向上することができる液体吐出ヘッドの提供。
【解決手段】ノズル板３は、ノズル基材３１の液滴吐出側の面に撥水層３２が形成され、撥水層３２は、フッ素樹脂層からなり、単分子の層３２ａ、二量体の層３２ｂ、多量体又はコポリマー（分子鎖）が絡み合った層３２ｃで構成され、これらの単分子の層３２ａ、二量体の層３２ｂ、多量体の層３２ｃがいずれもノズル板３の表面に露出した状態で形成されている。 （もっと読む）

【課題】ノズル直近のインクを積極的に循環可能なインクジェットヘッドであって、インク耐性のある部材で構成され、熱膨張の影響を受けず、また、インク漏れを防止して、安価に大量生産可能なインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】圧電基板からなるインクジェットヘッドチップ１０と、このインクジェットヘッドチップ１０が取り付けられるノズルプレート保持部材１１と、インクジェットヘッドチップ１０およびノズルプレート保持部材１１に取り付けられるノズルプレート２１とを有する。ノズルプレート保持部材１１は、インクジェットヘッドチップ１０の裏面に当接している。 （もっと読む）

【課題】組立工程を簡略化した安価な液滴吐出装置等を提供すること。
【解決手段】液滴吐出装置は、中央部に形成された溝部により２列に隔たれた２つの圧電素子群を有し、溝部に形成された外部電極を２つの圧電素子群の共通電極とし、溝部の形成された側をベースに接合される。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドにおいて、プレス加工により製造した流路プレートに発生する隔壁のねじれをなくす。
【解決手段】(a)サポート１０４の下面にはサポート凸部１０６が形成され、下部ステージ１０５の上面には下部ステージ凸部１０８が形成されている。流路プレート材料１０１が右側から下部ステージ１０５上に送られる。(b)サポート１０４と下部ステージ１０５で流路プレート材料１０１をプレスする。この時、サポート凸部１０６により隔壁上面に隔壁凹部１０７が、下部ステージ凸部１０８により隔壁下面には隔壁凹部１０９が塑性変形により形成される。また、これらの凹部１０７、１０９により隔壁中心軸に対して左側に回ろうとする内部応力A、Bが発生し、互いに打ち消し合い、隔壁１０２をねじるモーメント力はゼロとなる。 （もっと読む）

【課題】ヘッド本体を高精度に確実に位置合わせすることができる液体噴射ヘッドの製造方法、及びヘッド本体を高精度に位置合わせすることで液滴の噴射特性を向上した液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ポンチによってノズル１１を形成する工程をポンチとノズルが形成されるワークとを相対移動させて複数回実施することによってノズル列１３を形成し、ヘッド本体１０をフレーム２０に取り付ける際に、形成順序に応じてノズル列１３中から選択した所定のノズル１１を基準として複数の各ヘッド本体１０の相対的な位置合わせを行うようにする。 （もっと読む）

【課題】振動板の厚みばらつきが低減されて厚みが高精度化され、さらに共通電極を容易に取り出すことができる液滴吐出ヘッド等を提供する。
【解決手段】複数の積層された基板１、２、３に、少なくとも、液滴を吐出する複数のノズル孔３０と、各ノズル孔３０のそれぞれに連通する吐出室１３と、吐出室１３の底壁に形成された振動板１２と、各吐出室１３と連通され吐出室１３に液体を供給するリザーバ１４と、振動板１２と対向配置されて振動板１２を駆動する個別電極２１とが形成され、積層された基板１、２、３のうちの一の基板１がシリコン製の基板であって、少なくとも吐出室１３を形成した基材と、この基材の底面に接合した振動板１２とを備え、基材が（１１０）面方位のシリコン単結晶基材１０からなり、振動板１２が（１１１）面方位のシリコン単結晶基材１１からなる。 （もっと読む）

【課題】シリコン基材の厚み精度を向上させ、かつ薄板化を容易に行なうことができるシリコン製ノズル基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】シリコン基材１００の一方の面をドライエッチングして、ノズル孔１１となる凹部１１０とそれより深い終点検出用貫通孔１２となる凹部１２０とを同時に形成する工程と、ノズル孔１１となる凹部１１０及び終点検出用貫通孔１２となる凹部１２０を形成した側の面に支持基板５０を貼り合わせる工程と、ノズル孔１１となる凹部１１０及び終点検出用貫通孔１２となる凹部１２０を形成した側の面と反対側の面１００ｃを研削して、終点検出用貫通孔１２となる凹部１２０が貫通したことを検出する工程と、終点検出用貫通孔１２となる凹部１２０が貫通したことを検出したときに研削を終了し、研削された面をさらに薄板化してノズル孔１１となる凹部１１０を開口する工程と、支持基板５０を剥離する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】寸法精度および耐薬品性に優れ、長期間にわたって高品位の印字が可能な信頼性の高い液滴吐出ヘッド、および、かかる液滴吐出ヘッドを備えた信頼性の高い液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、吐出液貯留室２１が形成された基板２０と、基板２０の下面に設けられ、ノズル孔１１とを備えるノズルプレート１０と、吐出液貯留室２１を覆うように基板２０の上面に設けられた封止シート３０とを有し、基板２０とノズルプレート１０とが接合膜１５を介して接合されており、この接合膜１５は、プラズマ重合法で形成され、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含み、エネルギーを付与したことにより、接合膜１５の表面付近に存在する脱離基がＳｉ骨格から脱離し、接合膜１５に発現した接着性によって、基板２０とノズルプレート１０とを接合している。 （もっと読む）

【課題】本発明は、例えばインクジェット方式のプリンタに適用して、半導体基板に貫通孔を作成することなく犠牲層を溶解液により溶解除去してインク液室等を作成する構成において、溶解液による信頼性の劣化を有効に回避することができるようにする。
【解決手段】犠牲層の溶解液から電極７０を保護する保護層８８を電極７０に設ける。 （もっと読む）

【課題】複数の圧電素子部材に対して１枚のＦＰＣを接合するとき、圧電素子部材間で段差による接合不良を低減する圧電型アクチュエータを提供する。
【解決手段】圧電型アクチュエータ１は、複数の圧電素子柱が形成された圧電素子部材２がベース３部材上に柱並び方向に沿って、所定の隙間１０を置いて、複数並べて配置された２列の圧電素子部材列を有し、各圧電素子部材列の各圧電素子柱に1枚のフレキシブル配線基板であるＦＰＣ３が直接接続され、圧電素子柱に直接接続されるＦＰＣ３の先端部分（接続部分）には、複数の圧電素子部材２、２間（隙間１０）に対応してくさび形状の切り込み５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッド駆動部及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】上面に溝が形成された振動板と、上記溝の底面及び側壁を覆うように形成された第１電極と、上記溝を埋めるように上記第１電極上に形成された圧電体及び上記圧電体上に形成された第２電極を含むインクジェットヘッド駆動部を提供する。本発明によれば、薄膜圧電体及び振動板を備えて振動変位が大きく駆動電圧が低いインクジェットヘッド駆動部及びこれを製造する方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータへの信号伝達不良や隣接しているチャンバ間のクロストークを防止することにより、インクジェットヘッドの印刷品質を向上させる。
【解決手段】インクジェットヘッドは、ボディ（３５０）と、ボディ内に、インクを収容するように形成された複数のチャンバ（３１０）と、複数のチャンバ（３１０）にそれぞれ圧力を供給するようにボディ（３５０）の一側に結合された複数のアクチュエータ（３１８）と、ボディ（３５０）の一側に形成された収容溝（３０２）と、アクチュエータ（３１８）とボディ（３５０）の一側との間に介在され、複数のアクチュエータ（３１８）が互いに電気的に接続されるようにその一部が収容溝（３０２）に形成された共通電極と、を含む。 （もっと読む）

【課題】記録幅の大きい記録ヘッドであっても、安価かつ簡単に記録素子基板の配置精度が高く、インク漏れなどが生じない信頼性の高い記録ヘッドを提供する。
【解決手段】インクを吐出するための複数の吐出口と、インクを吐出するための吐出エネルギを発生させる記録素子と、インクを前記複数の吐出口に供給するためのインク供給口が形成された複数の記録素子基板と、前記記録素子基板を保持し、前記インク供給口にインクを供給するための複数のインク導入口を有する支持部材と、前記支持部材と接合し、インクを貯蔵するためのインク貯蔵室を有するインク供給部材と、を有するインクジェット記録ヘッドであって、前記支持部材は、前記インク導入口が形成された第１の部材と、該第１の部材と異なる材料であって、第１の部材を取り囲むように形成された第２の部材とにより一体的に形成され、前記記録素子基板は前記第１の部材と接着され、前記インク供給部材は前記第２の部材とのみ接合されている。 （もっと読む）

【課題】 流路を高密度に配置した場合においてリフィル性能を維持する。
【解決手段】 基板１の主面１ａに対して鈍角をなす側面１２をもつ、第１の固体層３ａを、基板上に設ける工程と、基板上に側面に接するように第２の固体層４ａを設ける工程と、第１の固体層３ａの、少なくとも側面の部分に対し、第２の固体層４ａを介して露光を施す工程と、第１の固体層３ａの、露光がなされた部分を除去する工程と、を行うことにより、流路のパターン３、４を形成することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】回復動作を頻繁に行うことなく、液滴の吐出の安定性を向上させる。
【解決手段】記録ヘッドは、基板１と流路形成部材２とを有する。流路形成部材２は基板１に積層されている。流路形成部材２には、各々の吐出エネルギー発生素子１０に対応したノズル４が形成されている。流路形成部材２には、第１の開口部６と、第１の開口部６内を流路形成部材２の外側に連通する第２の開口部７と、がさらに形成されている。連通路５は、液滴供給口９とは連結されていない。第１の開口部６は、フェイス面１３において、すべての吐出口３を環状に取り囲むように形成されている。第１の開口部７から第２の開口部６への連通路５内は親水性を有する。第２の開口部７は流路形成部材２の側面に設けられている。第２の開口部７は、連通路５に保持された小液滴を排出する際に、連通路５の内部が減圧されることを防ぐ。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＣの膨張収縮による不具合を回避し、電極接続部の信頼性が高く、圧電素子の連結によるヘッドの長尺化を可能とすると共に、構造が簡単で、安価な液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１０をヘッド部１００、圧電素子２００、立体配線基板３００で構成するに際して、圧電素子２００の外部個別電極２３０及び外部共通電極２４０を互いに直交する２つの面に配置し、立体配線基板３００の個別接点部３４１及び共通接点部３５１を圧電素子２００の直交面に対峙する２つの面に配置し、圧電素子２００と立体配線基板３００とを組み合わせ、外部個別電極２３０と個別接点部３４１、外部共通電極２４０と共通接点部３５１とを当接させ、はんだ３７０、３８０で接合する。 （もっと読む）