【課題】ノズル孔の縁部が吐出液に浸食されることがなく吐出液に対する耐久性に優れ、撥水膜自体も当初から強固に密着されており、ノズル孔内壁への被覆やノズル面への撥水膜形成に際して、均一な被覆、正確な塗布領域の制御が可能なシリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔１１を有し、ノズル孔１１の液滴吐出側の面１ａからノズル孔１１の内壁１１ｃまで酸化物からなる耐吐出液保護膜１３を連続して形成し、耐吐出液保護膜１３の上に撥水膜１４を形成した。また、ノズル孔１１の内壁１１ｃから接合面１ｂにかけて上記の酸化物と同一材料の酸化物からなる保護膜１２を連続して設け、保護膜１２の上に耐吐出液保護膜１３を連続して設けた。 （もっと読む）

【課題】部材の加工精度や、接着剤硬化のための加熱による反りの個体差に寄らず、接着剤の量の過不足が生じにくく、各インク室の詰まりが生じにくいインクジェットヘッドを提供すること。
【解決手段】圧電基板1に、一方向に互いに間隔をおいて略平行に配置された複数の隔壁と、隣り合う隔壁の間に形成されて、両端が開口する複数のインク溝２と、複数のインク溝２の外側に位置すると共に、一端のみが開口する接着剤吸収溝５とを形成する。複数のインク溝２を覆うように配置されると共に、インク溝２に連通する複数のノズル孔を有するノズルプレートと、複数のインク溝２の一端の開口に連通すると共に、接着剤吸収溝５の上記一端の開口に連通する第１の共通インク室と、複数のインク溝の他端の開口に連通する第２の共通インク室とを形成する。 （もっと読む）

【課題】吐出特性に優れ、量産性に優れるインクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】一方向に延在し互いに間隔を空けて平行に配置された複数の隔壁と、隣り合う上記隔壁の間に形成されて、少なくとも一端が開口する複数のインク溝とを有する圧電基板１を使用する。複数の隔壁の圧電基板１側とは反対側の端部における上記一方向の両端部にカバー部材１６を接着する。このようにして、複数のインク溝の圧電基板１側とは反対側の両端部を、カバー部材１６で覆うようにする。 （もっと読む）

【課題】吐出室の側壁の幅精度を向上させ、吐出性能の安定化を図るようにした液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１００は、液体を吐出するノズル孔１１が形成されたノズル基板１０と、ノズル孔１１と連通し、底壁が振動板２２となる吐出室２１が形成されたキャビティ基板２０と、振動板２２を駆動する個別電極３２が振動板２２にギャップ４０を隔てて対向するように形成された電極基板３０と、を備え、吐出室２１の側壁のうち少なくとも長手方向の側壁（隔壁２５）を耐アルカリ性部材で構成している。 （もっと読む）

【課題】１枚の基板上を用いて複数種のサイズのチップを形成する。
【解決手段】インクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、エネルギー発生素子を駆動する駆動回路と、エネルギー発生素子に電力を供給するための電極パッドと、を備える複数のブロック１０を基板１上に配列して形成するブロック形成工程を有する。ブロック１０における吐出口の配列方向の任意の位置で基板を切断することによって、吐出口の配列方向の長さが異なる複数種の記録ヘッド用基板を形成する切断工程を有する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子及び振動板の変位特性の低下及び変位量のばらつきの発生を抑制して液体噴射特性を向上することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する流路５２が形成された流路形成基板５０と、該流路形成基板５０の一方面側に設けられた振動板５５と、前記振動板５５上に接着剤６３を介して接着された圧電素子１１と、を具備し、前記振動板５５には、前記圧電素子１１が接着される厚肉部としての島部５９が設けられており、前記島部５９と前記圧電素子１１との接着面の少なくとも一方に溝部６２を設ける。 （もっと読む）

【課題】配線部材と圧電アクチュエータとを接合する際に、溶融した導電材料のはみ出しを少なくするとともに、圧電アクチュエータと配線部材との距離を設けることができる配線ユニットの接合構造を提供すること。
【解決手段】ＣＯＦ５０の基材５１の一方の面にはランド５２が設けられ、ランド５２に対応する位置で、第１突出部１０１ａと、それよりも突出量が低い第２突出部１０１ｂとを有する突出部１０１が配置された板状部材を、基材５１の他方の面側から一方の面側押圧させた状態で両者を接着接合させることにより、突出部に対応するランド部５２には、第１凸状電極部５２ａとそれよりも突出量が低い第２凸状電極部５２ｂとが形成され、この第２凸状電極部５２ｂ上に導電性材料４６が塗布される。 （もっと読む）

【課題】この発明は、駆動電極の表面に均一な絶縁膜を成膜できるインクジェットヘッドの製造装置、およびその製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】電着装置５０は、インクジェットヘッド１１へ電着塗料を流通させるための流通管６１を有する。電着塗料を流通させる前に、供給側の流通管６１を介してエタノールを流通させて流通管７３から排出させ、電着塗料を流通させて絶縁層を修復した後、流通管６１を介して純水を流通させて流通管７３から排出させる。そして、この後、給気管７５を介してインクジェットヘッド１１のインク流路に温風を送り込んで複数の流通管６１、６１、７３から排出させる。 （もっと読む）

【課題】フレキシブル基板の折り曲げ加工による配線の伸びを防止することでＯＬＢ接続部における接続信頼性を向上させた、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】第１基板２２と、第１基板２２上に設けられた駆動素子２３と、第１基板２２の駆動素子２３側に設けられた第２基板２５と、一端を折り曲げてなる接続部２７ｂが第２基板２５の貫通孔１５０内に挿入されることにより貫通孔１５０の底面に露出する駆動素子２３の端子部４７と接続されるフレキシブル基板２７と、を備えた液滴吐出ヘッドである。フレキシブル基板２７は、基材７１と、基材７１上に設けられて駆動素子２３の端子部４７に電気的に接続される配線７２とを有し、接続部２７ｂをなす折り曲げ部９１において内側に設けられる基材７１が配線７２から離間している。 （もっと読む）

【課題】隣合う２列のノズル列に対応する圧電振動子列同士の位置精度を確保可能な液滴吐出ヘッドを提供する
【解決手段】固定基板２０の平行な二面の夫々に、所定間隔だけ離れた状態で、複数の圧電振動子１４の何れか一方の不活性な端部を固定する。製造に際し、固定基板２０の平行な二面の夫々に圧電材料板４０を固着し、それらの圧電材料板４０の夫々に所定間隔で切り込み３４を形成して、それら切り込み３４間に圧電振動子１４を形成することで、隣合う２列のノズル列に対応する圧電振動子列同士の位置精度を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】金属溶融接合に必要な熱量を低減して微細な接合領域を低抵抗に接合することができ、また電圧印加径路の断面積を制御して抵抗値を自由に設定可能な圧電アクチェエータを提供する。
【解決手段】ベース部材１３上には複数の圧電素子柱が形成された圧電素子部材１２が接合され、ベース部材１３の圧電素子部材１２との接合領域以外の領域には、ベース部材１３よりも熱伝導率の低い低熱伝導層５１と導電層５２とが積層され、導電層５２の一部が溶融して圧電素子部材１２の共通電極２４及び共通電極部と接合されている。 （もっと読む）

【課題】製造中にシリコン基板が割れたり欠けたりすることを低減する。
【解決手段】シリコン基板１の片側面をエッチングして、ノズル孔１０、位置決め用のピンアライメント穴１３ａ及びトラック穴１３ｂ、外周部１４となる部分を形成する工程と、シリコン基板１に酸化膜１１ａを形成する工程と、ピンアライメント穴１３ａ、トラック穴１３ｂ及び外周部１４の部分の酸化膜１１ａを除去する工程と、エッチングによる加工面と反対側の面からシリコン基板１を研磨及び研削して、ノズル孔１０、ピンアライメント穴１３ａ、トラック穴１３ｂ及び外周部１４を開口する工程とを備える。その際の研磨は、シリコン研磨用スラリーと酸化膜研磨用スラリーを混合した混合スラリーを用いて、ＣＭＰ加工により行う。 （もっと読む）

【課題】フレキシブル基板の折り曲げ加工による配線の伸びを防止することでＯＬＢ接続部における接続信頼性を向上させた、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】第１基板２２と、第１基板２２上に設けられた駆動素子２３と、第１基板２２の駆動素子２３側に設けられた第２基板２５と、一端を折り曲げてなる接続部２７ｂが第２基板２５の貫通孔１５０内に挿入されることにより貫通孔１５０の底面に露出する駆動素子２３の端子部４７と接続されるフレキシブル基板２７と、を備えた液滴吐出ヘッド１である。フレキシブル基板２７は、基材７１と、基材７１上に設けられて駆動素子２３の端子部４７に電気的に接続される配線７２とを有しており、基材７１は、接続部２７ｂをなす折り曲げ部９１のうち少なくとも配線７２に対応する部分が薄い、或いは除去されている。 （もっと読む）

【課題】隣合う２列のノズル列に対応する圧電振動子列同士の位置精度を確保可能な液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する
【解決手段】圧電材料と導電材料を交互に積層してなり且つ変位方向の両端部が不活性領域で且つその他の部分が活性領域な圧電材料板４０を、固定基板２０の平行な二面の夫々に、活性領域が固定基板２０から突出するようにして、何れか一方の端部の不活性領域で固定し、それら圧電材料板４０の夫々に、固定基板２０からの突出方向に長手な切り込み３４を所定間隔毎に同時に形成して、各切り込み３４間に圧電振動子１４が形成された振動子ユニットを製造し、この振動子ユニットをヘッドケースに収容する。２つの圧電材料板４０の夫々に形成される切り込み３４を、互いに所定間隔の半分ずらすことで、圧電振動子１４を２列千鳥配列とする。 （もっと読む）

【課題】複数の流体吐出部を備える流体吐出装置において、ショートした流体吐出部の影響を低減すること。
【解決手段】流体吐出装置は、それぞれ電極付のアクチュエータを備える複数の流体吐出部を備える。前記複数の流体吐出部のうちの１以上の流体吐出部が電気的にショートしているか否か判定し、前記ショートした流体吐出部を削除する。 （もっと読む）

【課題】複数種の液滴を吐出可能で且つダイサ適性とシングルパス適性とを両立させたヘッドモジュールを提供すること。
【解決手段】第１辺２０２Ｂと第２辺２０２Ａとで囲まれた吐出面２０２と、吐出面２０２に設けられ搬送方向に対して傾斜方向に配列されると共に搬送方向に対して略直交方向に配列された第１液滴を吐出する第１ノズルと、吐出面２０２に設けられ搬送方向に対して傾斜する方向に配列されると共に搬送方向に対して略直交方向に配列された第２液滴を吐出する第２ノズルと、を備えたヘッドモジュール２００において、複数の吐出面２０２を第２辺２０２Ａが重なるように直線状に並べ、搬送方向に対して直交方向に第１ノズルを投影したとき、投影した第１ノズルが搬送方向と直交方向に等間隔に並び且つ搬送方向に対して直交方向に前記第２ノズルを投影したとき、投影した第２ノズルが搬送方向と直交方向に等間隔に並ぶようにする。 （もっと読む）

【課題】駆動部を形成するそれぞれの圧電体を分離してクロストークを低減できるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドの製造方法は、インクを収容する複数のチャンバが形成されるインクジェットヘッドを製造する方法であって、チャンバの位置に対応して圧電体の一面が区画されるように圧電体の一面に分離溝を形成する工程と、分離溝の位置に合わせて圧電体の他面が区画されるように圧電体の他面に位置合わせ溝を形成する工程と、チャンバの位置に対応して位置合わせ溝が配置されるように圧電体をチャンバが形成されるインクジェットヘッドの一面に配置する工程と、圧電体の一面をインクジェットヘッドの一面に接合する工程と、分離溝が露出するように圧電体を分離する工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パンチ打ち込み面の隆起の発生を抑制することが可能なノズルプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】金属板２５にパンチ２６を打ち込んでノズル開口を開設するノズルプレートの製造方法であって、パンチを打ち込む金属板表面に、金属板が製造された時点における表面粗さよりも表面粗さを粗くした粗面部２７を形成する粗面工程と、金属板の粗面部にパンチを打ち込んで有底下穴２８を形成すると共に裏面に隆出部４８を形成する有底下穴形成工程と、前記隆出部を研削除去して有底下穴を貫通させてノズル開口を開口する貫通開口工程を経てノズルプレートを製造する。 （もっと読む）

【課題】吐出口開口とエネルギー発生素子との距離の均一化が図られた液体吐出ヘッドを簡便に精度よく得られる製造方法を提供すること。
【解決手段】同一基板上に液体吐出ヘッドの複数を形成してから各液体吐出ヘッドを分離することによる液体吐出ヘッドの製造方法において、基板上に各液体吐出ヘッドの流路の側壁となる層と基板の周縁領域にダミー層とを設け、研磨処理により各側壁の高さを調整する際にダミー層が研磨されることで各側壁の高さの均一性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】 隣接する発熱部の熱干渉を低減することで、インクの吐出安定性を向上させる。
【解決手段】 本発明の記録基板は、基板１と、基板の上に設けられた絶縁層５と、絶縁層５の上に配されており、液体を吐出するために利用される熱エネルギーを発生する複数の発熱部１２と、複数の発熱部が配列された方向に関して隣接する発熱部１２の間に設けられており、絶縁層５の、基板１の側の主面と発熱部１２の側の主面との間に配されており、絶縁層より熱伝導率が高い部材１１と、を有し、部材１１は、絶縁層５より熱伝導率が高い他の部材４と接していることを特徴としている。 （もっと読む）