【課題】 所望のばらつきの少ない液体噴射特性を有することが確認された液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及びその製造工程において所望のばらつきの少ない液体吐出特性を有するか否かを簡易にかつ高精度に検査することができる製造方法を提供する。
【解決手段】 液体噴射ヘッドは、圧電素子の並設方向の両外側には、少なくとも第１電極からなる検査用パターンと、第１電極、圧電体層及び第２電極とをこの順で備えてなる検査用圧電素子とが設けられ、検査用パターンの前記第１電極のシート抵抗Ｒｓ１と検査用圧電素子の前記第１電極のシート抵抗Ｒ１とのシート抵抗比Ｒｓ１／Ｒ１と、検査用パターンの第１電極のシート抵抗Ｒｓ２と検査用圧電素子の第１電極のシート抵抗Ｒ２とのシート抵抗比Ｒｓ２／Ｒ２との差が、０．２０以内である。 （もっと読む）

【課題】簡易に製造可能であって、良好なインク吐出特性を得られるインクジェット式記録ヘッド、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のインクジェット式記録ヘッドＨは、インクを貯蔵する空間１２が形成されたインク室形成体１１と、前記空間１２と連通する複数の流路５が形成された流路形成体１３と、前記流路５を介して供給されるインクを吐出するオリフィスプレート１５と、を備えた本体部１０と、前記流路５内のインクを加圧する加圧部２１、２２と、を備えたインクジェット記録ヘッドＨにおいて、前記インク室形成体１１と流路形成体１３の境界面には、前記インク室形成体１１の空間１２を形成する壁部１１ａにより当該流路５の一部が遮蔽されてなる絞り部６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の駆動効率を向上させること。
【解決手段】絶縁基板２０の上面に上面から底面にかけて拡がるテーパ面４０ａを有する駆動素子４０を積層する積層工程と、レジストＲを絶縁基板２０の上面及び駆動素子４０の上面及びテーパ面４０ａに塗布する塗布工程と、レジストＲを除去するレジスト除去工程と、駆動素子４０にその上面側から切削加工により溝Ｇを形成する溝形成工程と、絶縁基板２０の上面及び駆動素子４０の上面及びテーパ面４０ａ上であってレジストＲが除去された部分にニッケル電極パターン２１を形成する電極形成工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】所望のばらつきの少ない液体噴射特性を有することが確認された液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、及び製造工程において所望のばらつきの少ない液体吐出特性を有するか否かを簡易にかつ高精度に検査することができる製造方法を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッドは、液体を噴射する複数のノズル開口２１にそれぞれ連通する圧力発生室１２と、各圧力発生室に圧力変化を生じさせる複数の圧電素子３００と、複数の圧電素子からなる圧電素子群の圧電素子の並設方向の両外側に設けられた一対の検査用圧電素子とを具備し、検査用圧電素子の圧電体層が、その飽和分極の変動幅が５％以内であり、残留分極の変動幅が１５％以内であり、かつ、抗電界強度の変動幅が１５％以内である。液体噴射装置は、これを備える。液体噴射ヘッドの製造方法は、検査用圧電素子３００Ａを用いて圧電特性を測定する測定工程を備える。 （もっと読む）

【課題】 来歴情報の長期の認識性を確保する。
【解決手段】 基板と、該基板上に設けられ、液体が吐出される吐出口と連通する流路の壁を備えた流路壁部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、前記流路壁部材に前記流路と連通しない空洞部が設けられ、前記吐出口から前記基板に向かう向きに前記空洞部を見た場合に、前記空洞部は文字の形状であることを特徴とする液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】振動子と振動板との剥離を抑制して、耐久性及び信頼性を向上すると共に印刷品質が低下するのを抑制する。
【解決手段】振動板４６が設けられると共に圧力室４２が形成された流路基板４０と、振動板４６に固定された振動子ユニット２と、ケース４と、を具備し、振動子ユニット２が、振動板４６の第１の島部４９に接合された振動子１１と、振動板４６の第２の島部５１に接する非駆動振動子１９とを具備し、流路基板４０には、圧力室４２が並設されていると共に、圧力室４２の並設方向の端部側に設けられて、圧力室４２よりも幅広に設けられたダミー圧力室４３が設けられており、第１の島部４９及び第２の島部５１を構成する部材からなると共に第１の島部４９と第２の島部５１との間に配置されて、ダミー圧力室４３と相対向する領域に設けられた中間部５３を備え、非駆動振動子１９が、第２の島部５１と接していると共に中間部５３と接合されている。 （もっと読む）

【課題】ヘッドの構成部品を小型化し、ノズル保護部材を強固に接着することが難しい。
【解決手段】ノズル板３とノズル板３が接合され、ノズル４が連通する個別流路６を形成する流路板１と、ノズル板３の表面周縁部及びヘッド周辺部を覆うノズルカバー部材３１とを有し、ノズル板３の外周部の一部となる切断代３ａが流路板１のノズル板３の外周部よりも外側の表面に形成された溝部３０内に填まり込み、流路板１とノズルカバー部材３１とが流路板１の溝部３０内に設けられた接着剤４１で接合されている。 （もっと読む）

【課題】ヘッド自体のノズル密度の高密度化によって気泡排出性が低下し、効率的な滴吐出を行なうことができない。
【解決手段】流路板１と、流路板１に接合した振動板部材２と、圧電アクチュエータユニット４と、フレーム部材５などで構成され、流路板１には、液滴を吐出する複数のノズル穴１１と、ノズル穴１１が連通する液室１２と、液室１２にインクを供給する供給路を兼ねる流体抵抗部１３と、流体抵抗部１３へのインク導入部１４とが形成され、供給路（流路）の入口部分であるインク導入路１４からノズル穴１１に至るまでの流路の壁面のうち、アクチュエータ手段が配置される側の壁面、すなわち振動板部材２で形成されている壁面以外の壁面３１ａ〜３１ｄは、常に傾きを持ち、ノズル面１１ａと平行になることなく連続的に緩やかに変化する傾斜面に形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電部材に対して溝加工を施して複数の圧電素子柱を形成するときに高密度化すると、特に１本目の圧電素子柱の倒れが生じ易い。
【解決手段】ベース部材８に接合された圧電部材１は内部電極３Ａ、３Ｂが存在しない領域１Ｃを有し、内部電極３Ａ、３Ｂが存在しない領域１Ｃから溝加工を開始して１本目の溝１０ａを形成し、ブレード９を一方向に移動させながら等ピッチで溝１０を順次加工して等ピッチで複数の圧電素子柱１１を形成する。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータに繋がる、電極および配線の幅を均一にして、アクチュエータに加える電圧のばらつきを低減する。
【解決手段】インクが流れる方向の端部に傾斜角を有する各圧力室を隔てる側壁を形成し、その側壁に設けられた電極と配線部を接続する。基板と圧電材を接着剤を用いて接着し、圧電材を加工して溝を形成する。側壁および基板上に電極および配線部となる金属膜を成膜する。レーザ光照射により、基板と圧電材上の非配線部を第１の加工方法で形成する。その後、接着部上の非配線部を第１の加工方法とは異なる第２の加工方法によって形成する。 （もっと読む）

【課題】環境に優しく且つ安定して良好な噴射特性が得られる液体噴射ヘッド及びそれを用いた液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液滴を噴射するノズル２１に連通する圧力発生室１２を備えた流路形成基板１０と、流路形成基板１０上に設けられる圧電素子３００と、を具備し、圧電素子３００が、圧電体層７０とこの圧電体層７０の両面に設けられる一対の電極６０，８０とで構成されていると共に、圧電体層７０がＢａＴｉＯ_３と、ＣａＴｉＯ_３と、（Ｂｉ_１／２Ｎａ_１／２）ＴｉＯ_３とを含有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔の形状のばらつきに起因するインク液滴の吐出量のばらつきが低減されたノズルプレートを得る。
【解決手段】表面が（１００）面である単結晶シリコン基板４０の第１の面４０ａをエッチングして凹部４５を形成する工程と、凹部４５の内面を含む第１の面４０ａの全面にエッチングマスク層４７を形成する工程と、凹部４５の底面におけるエッチングマスク層４７を除去して単結晶シリコンを露出させる工程と、凹部４５の底面を掘り下げて掘り下げ部４６を形成する工程と、掘り下げ部４６の内面に結晶方位を利用した異方性ウェットエッチングを施して、正８面体の空洞部４８を形成する工程と、単結晶シリコン基板４０を第１の面４０ａの反対側の面である第２の面４０ｂ側から空洞部４８に達するまで薄型化して空洞部４８の一部を第２の面４０ｂ側に開口された第２のノズル孔部１１ｂとする工程と、を有するノズルプレート１の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ノズル基板に形成されたノズルについて、実際に対象物上に正しく画像を形成することが出来るノズルを得るため、ノズルの孔曲がり、すなわち吐出面に対する垂直度を調べる必要があった。
【解決手段】基準孔１５は、接合面側および吐出面側において開口する形状がそれぞれ正方形であり、底面が接合面に位置し、上面が吐出面に位置する正四角錐台の形状を有している。そして、この正四角錐台は、中心軸が吐出面に対して垂直方向になるように形成されている。従って、基準孔１５は、第１ノズル１１が開口している吐出面と沿う面において形成される上面（平面）形状の中心位置が、常に同じ位置を呈する孔である。この結果、基準孔１５を基準として、第１ノズル１１について、吐出面側の開口孔の中心位置と、接合面側の開口孔の中心位置を計測すれば、ノズル基板１０に設けられた第１ノズル１１について、吐出面に対する垂直度を調べることができる。 （もっと読む）

【課題】振動板の貼り付きを防止し、また当接面側の絶縁膜あるいはＤＬＣ膜の異物化を防止するとともに、駆動耐久性に優れ、高電圧駆動が可能な静電アクチュエーター、吐出ヘッド及びそれらの製造方法並びに吐出装置を提供する。
【解決手段】静電アクチュエーターは、基板８上に形成された固定電極１４と、固定電極１４に対して所定のギャップＧを介して対向配置された可動電極１２と、を備え、固定電極１４と可動電極１２との間に静電気力を発生させて、可動電極１２に変位を生じさせる静電アクチュエーターであって、可動電極１２又は固定電極１４上に酸化物系絶縁膜２２が形成され、この酸化物系絶縁膜２２の上に、水酸化アモルファスカーボン膜２４が形成され、さらにギャップＧ内部が放電抑制ガス５８雰囲気に保たれている。 （もっと読む）

【課題】複数の圧電素子柱を高密度で配置するときに圧電素子柱の曲がりが生じて振動板との位置合わせ精度が低下し、滴吐出特性にばらつきが生じる。
【解決手段】積層型圧電部材１２にハーフカット状の溝１４を加工して形成された複数の圧電素子柱１２Ａ、１２Ｂを形成し、圧電部材１２には振動板部材２との位置決め用のアライメント部３３が設けられ、アライメント部３３は、圧電部材１２の圧電素子列の両側部１２Ｄ、１２Ｅに配置され、各々が圧電素子柱１２Ａ、１２Ｂ間の溝１４のピッチと同じピッチで形成された２本の溝３４、３４からなり、圧電部材１２と振動板部材とは、２本の溝３４、３４の間に形成された圧電素子柱３５を基準として位置合わせされて接合されている。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子を得ることができる圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、第１グリーンシート１０を準備する工程と、第１グリーンシート１０に第１凹部１２を形成する工程と、第１凹部１２内に第１電極１４を形成する工程と、第２グリーンシート１０を準備する工程と、第２グリーンシート１０に第２凹部１２を形成する工程と、第２凹部１２内に第２電極１４を形成する工程と、第１電極１４が形成された第１グリーンシート１０と、第２電極１４が形成された第２グリーンシート１０と、を貼り合わして、グリーンシート積層体２０を形成する工程と、グリーンシート積層体２０を焼成して、セラミックスシート積層体２０ａを形成する工程と、セラミックスシート積層体２０ａをダイシングする工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、記録媒体の先端部の衝突によりノズルプレートと接合された液室部の接合界面が剥離することを防止できる。
【解決手段】 本発明の液滴吐出ヘッドは、インクを吐出するノズルプレートと、インクを供給するインク供給源に連通する複数の圧力室とを有する流路ユニットと、圧力室の容積を変化させるために配置されたアクチュエータユニットと、流路ユニットとアクチュエータユニットを支持するフレームとを有している。そして、本発明の液滴吐出ヘッドにおけるノズルプレートは、流路ユニットと接合され、かつ記録動作時に記録媒体に面する端部のうち、少なくとも記録媒体に対して相対的に移動する方向の端部近傍に、フレーム方向側に突出した凸部を複数連続して具備している。 （もっと読む）

【課題】ヘッドのチャンネル数を増やし長尺化した場合でも寸法精度の高い流路ユニットを安価に形成可能なプレス加工を用いる場合に設計上の制限や、ロット管理が不要であり、かつヘッドサイズの小型化が可能であり、端部と中央部とで吐出特性のバラツキのない液滴吐出ヘッド及びその製造方法、並びに画像形成装置を提供する。
【解決手段】液体の流路が形成された複数の流路プレート２９を積層することによって流路ユニット３０が形成された液滴吐出ヘッドであって、流路プレート２９の少なくとも一つは、金属板のプレス加工によって形成された複数のチャンネル３６が配列されており、チャンネル３６配列方向の両端部にダミーチャンネル３６を有し、プレス加工によって発生したチャンネル３５配列方向のたわみの変極点３７が、チャンネル３５の列のそれぞれの端において、配列方向の端に位置するチャンネル３５よりもダミーチャンネル３６側に位置する。 （もっと読む）

インクジェット印刷システムは、インク貯蔵器と流体連通し、複数のオリフィス及び対応する複数の付属噴射チャンバを有する印刷ヘッドを含む。印刷ヘッドは、基板と、基板に配置されたバリア層とを含む。バリア層は、一部で複数の流体チャネル及び複数の噴射チャンバを画定する。バリア層は、エポキシ系フォトレジスト材料及びメタクリル酸メチル系フォトレジスト材料から選択された材料を含む。オリフィスプレートは基板上に配置される。オリフィスプレートは、噴射チャンバと流体連通する複数のオリフィスを含む。オリフィスプレートは、ポリイミド及びニッケルから選択された材料を含む。
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【課題】容易かつコストアップにならない方法で変位量を向上させ、高集積化及び低コスト化を実現した圧電型アクチュエータ、それを用いた液滴吐出ヘッド及び画像形成装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数の空隙部３３を有する基板２０と、基板２０の一方の面に固定された弾性膜２１と、弾性膜２１の一方の面に、空隙部３３に対応させて設けた複数の圧電素子を備え、圧電素子２２に電圧が印加されて撓み振動をすることで、弾性膜２１を該撓み方向に変位させる圧電型アクチュエータであって、弾性膜２１は、基板２０との固定部よりも、圧電素子２２の形成部分が、圧電素子２２の撓み方向側に突出した形状を有する。 （もっと読む）