【課題】 加熱乾燥で生ずる補強材の熱応力の管理を適切に行い、補強材を平坦化を図るようにしたプリンタヘッドの補強材の製造方法の提供。
【解決手段】第１工程では、金属材料からプレス加工により補強材を成形する。第２工程では、補強材の反りを、第１の工程後の状態から、設定した反りを有する状態へと変化させる。第３工程では、第２工程の処理が終了した補強材を洗浄し、当該洗浄後に補強材を加熱乾燥する。 （もっと読む）

【課題】圧電特性に優れ、長期に亘って良好な吐出特性を維持することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子のエージング方法を提供する。
【解決手段】 ニッケル酸ランタン層を備える第１電極を形成する工程、ニッケル酸ランタン層上方に圧電体層を形成する工程、及び圧電体層上方に第２電極を形成する工程を備える圧電素子形成工程と、圧電素子に対して印加する最大駆動電圧差の６０％以上７０％以下の電圧を印加するエージング工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】導電層を複数の電極に確実に分断することができ、電極の短絡を防止できるインクジェットヘッドを得ることにある。
【解決手段】インクジェットヘッドは、アクチュエータと、実装面を有する基板とを含む。アクチュエータは、表面、裏面および傾斜された側面を有する本体と、本体の長手方向に間隔を存して配列された複数の溝とを備えている。本体は、接着剤層を介して基板の実装面に接着されている。基板は、実装面に開口された複数の接着剤流入部を有している。接着剤流入部は、本体の側面の位置に対応するように基板に設けられている。本体の側面、溝の内面、本体の側面と基板の実装面との間から露出された接着剤層の端部および基板の実装面を連続して覆った導電層に、複数の絶縁パターンが設けられている。絶縁パターンは、溝の間から接着剤層の端部を横切って基板の実装面に延びている。導電層は、絶縁パターンにより溝に対応する複数の電極に分断されている。 （もっと読む）

【課題】複数のノズルを有するノズルプレート、前記ノズルと連通する圧力室を有するチャンバープレート、前記チャンバープレートの一側面を封止するダイアフラムプレートを積層した流路ユニットを有する液体吐出ヘッドにおいて、研磨加工時におけるチャンバープレートの平坦度精度を向上すること。
【解決手段】チャンバープレート上に圧力室用の開口１３の他に研磨加工に際しての削り代を前記開口部と同等程度にするためのダミー開口１４ａを形成した。 （もっと読む）

【課題】コストアップすることなく、共通電極の抵抗低減効果が大きい抵抗低減部を有する液滴吐出ヘッドを提供すること。
【解決手段】複数のノズル孔を有するノズル板と、
圧電素子を収納する凹部と液供給路とを有する第一の基板と、
前記ノズル孔と連通する複数の圧力室と振動板とを有する第二の基板と、
共通電極と個別電極と圧電体とを含み、前記振動板を介して形成される複数の圧電素子と、
を備える液滴吐出ヘッドであって、
前記第一の基板または前記第二の基板のいずれか一方又は両方に、前記共通電極又は前記共通電極に接続する共通配線の一部が露出し、かつ、前記複数の圧電素子の、少なくとも一部の複数の圧電素子にまたがる開口部が形成され、前記開口部には、前記共通電極または前記共通配線の一部に接続するように導電性ペーストが設けられる液滴吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】新たな製造工程を発生させずに製造可能であり、効率的に熱を逃がし、インクジェット記録ヘッドのチップ内の温度分布による吐出特性のばらつきを軽減させたインクジェット記録ヘッド、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、および、画像形成装置を提供すること。
【解決手段】共通液室を形成する複数のフレーム基板のうち、駆動ＩＣ近傍に設けられたフレーム基板が前記駆動ＩＣと接触しており、さらに、前記フレーム基板の前記共通液室部の壁面間に、共通液室部のインクに放熱するための梁部材が少なくとも１つ、フレーム基板と一体的に形成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド、および、係るインクジェット記録ヘッドを備えたインクカートリッジ、インクジェット記録装置、画像形成装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】高精細な液体吐出ヘッド用基板を歩留りよく製造する方法を提供する。
【解決手段】（ａ）シリコン基板１のうち機能素子が形成された第一の面と反対側の面である第二の面を研削する工程と、（ｂ）研削して得られた第二の面を研磨する工程と、（ｃ）イオンの入射エネルギーを利用したリアクティブイオンエッチングにより、研磨して得られた第二の面をエッチングする工程と、（ｄ）リアクティブイオンエッチング後の第二の面にエッチングマスクを形成する工程と、（ｅ）エッチングマスクを用いてシリコン基板１をウェットエッチング処理し、液体供給口１２を形成する工程と、をこの順で有する。 （もっと読む）

【課題】より高い放熱性を有するインクジェット記録ヘッド、および該インクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッド１は、は、インクに熱を加えて該インクが吐出するための圧力をインクに付与するインク吐出部２と、インク吐出部２を第一面３ａに備え、第一面３ａとは反対側の第二面３ｂに少なくとも一つの凹部９を有する基板３と、インク吐出部２から基板３へ伝えられた熱を外部へ放出する放熱部材８であって、凹部９の形状に合わせて形成された凸部１０を有し、凸部１０が凹部９に埋め込まれた状態で第二面３ｂに接合された放熱部材８と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】高密度化に伴って高アスペクト比の圧電柱を微細なピッチで形成しなければならない。
【解決手段】ベース部材１３上に２本の圧電部材１２、１２が並列に並べられて接合固定され、圧電部材１２には、溝１１３によって複数の圧電柱１１２が形成され、複数の圧電柱１１２は、圧電柱配列方向（ノズル配列方向）に傾斜して形成され、各圧電柱１１２は、溝１１３の深さ方向（圧電柱の高さ方向）において基端（溝１１３の底部側）から先端まで一定の角度で傾いている。 （もっと読む）

【課題】ダイシング時におけるダイシングテープと基板間の隙間を無くし、切り屑が基板とテープ間の隙間に侵入し異物となることを最小限に抑えることで、他の部材との組立後のヘッドのノズル詰まり等による歩留り低下を改善し、低コスト化を図る。
【解決手段】本発明にかかる、基板１上に形成したチップ含む液滴吐出ヘッド５０の製造方法では、基板へダイシング加工する際にダイシングテープ３０を貼り付ける基板のテープ貼り付け面１Ａ側に、ダイシングライン５と重なるように設けられる凹状のパターン４の側面４１Ｂ、４１Ｃを傾斜面とし、テープ貼り付け面１Ａとダイシングテープ３０との界面に空間４０が残らないようにダイシングテープを貼り付けてチップを分離形成する。 （もっと読む）

【課題】 圧電部材の所定領域だけに、無電解メッキによって電極を形成する。
【解決手段】 インクジェットヘッドの製造方法は、圧電部材のうち、インクを吐出させる駆動部以外の領域に対して、前記圧電部材よりも緻密な絶縁層を形成し、前記駆動部および前記絶縁層に対して無電解メッキを行うことにより、前記駆動部に駆動電圧を印加するための電極を形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】突き当て治具への突き当てによる他の部材との位置合わせ精度が向上したシリコンチップの製造方法、液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ、画像形成装置、及びマイクロポンプを提供する。
【解決手段】厚みの異なる複数の基板の積層体であるシリコンウェハ３０を複数のシリコンチップに分離するためのダイシングライン２６上の、少なくとも各シリコンチップ２４Ａに対応する領域毎に、該シリコンウェハ３０を厚み方向に貫通した貫通孔２２を設ける貫通孔形成工程と、貫通孔２２の形成されたシリコンウェハ３０を、ダイシングライン２６に沿ってダイシングブレードによって切断する切断工程と、を備える。そして、貫通孔２２は、シリコンウェハ３０を構成する複数の基板の内の最も厚い第１基板（保護基板１６）における幅が、該複数の基板の内の該第１基板以外の基板（液室基板１４）における幅より狭い。 （もっと読む）

【課題】平坦な補強板を安価に製造することができ、液体噴射特性のばらつきを抑制して印刷品質を向上することができる液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】金属板１６０をプレス加工することにより、補強板６０を形成する工程と、補強板６０を形成した後、当該補強板６０をプレス加工することにより、補強板６０の両面にノズル開口の並設方向とは交差する方向に亘って連続する溝部８０を設ける工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】高密度化と高速化された圧電吐出式の液滴吐出ヘッド及びその製造方法の提供。
【解決手段】深さｄ１、幅ｗ１の第一溝１０を圧電材基板１に形成し、第一溝１０の内側面１１に第一電極５１を形成し、深さｄ２、幅ｗ２の第二溝２０を、第一溝と対応するように圧電材基板１に形成し、第一溝及び前記第二溝の内側面を絶縁性材料３で被覆し、深さｄ３、幅ｗ３の第三溝３０を、第一溝と対応するように圧電材基板１に形成し、第三溝の内側面に第二電極５２を形成する。これにより上記の壁２およびこの側面上の複数の電極を形成する。 （もっと読む）

【課題】アライメント光学装置等の誤差が生じやすい両面露光装置を用いることなく基板の両面にデバイスの形状の形成をすることができるアライメントマークの形成方法と、その方法を用いたノズル基板などのＭＥＭＳデバイスの形成方法を提供する。
【解決手段】第１基板面と当該第１基板面に相対する第２基板面とを有する基板に対し、第１基板面に所定の深さの溝を形成する溝形成工程と、溝に充填された状態で溝を保護する第１保護膜を形成する第１保護膜形成工程と、溝が第２基板面に露出するように第２基板面を研削する研削工程とを備え、第１基板面と、第２基板面とに形成された前記溝をアライメントマークとして用いる。 （もっと読む）

【課題】圧力室を高密度および高精度に配置するとともに、高粘度のインクを吐出することが可能な液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】第１の側面から第２の側面まで連通し、第１の側面側の開口から液体を吐出する複数の圧力室３０７が第１の側面の長手方向に間隔をとって配置された平板状の圧電部材を形成する工程と、複数の圧力室３０７の内壁面に第１の電極３０９を形成する工程と、平板状の圧電部材の、一対の主面の一方に、段差６０９を形成する工程と、段差６０９を形成した圧電部材における圧力室３０７同士の間を、第１の側面から段差６０９まで切断することによって、互いに独立した複数の圧力室３０７が段差６０９から延びた櫛状の圧電部材を形成する工程と、複数の櫛状の圧電部材を互いに積層し、第２の領域で接合する工程と、第２の領域で接合した複数の櫛状の圧電部材の外表面に第２の電極３１０を形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】より高い密度で配置され、かつ圧力室毎の吐出特性のばらつきがより小さい液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】第１の圧電プレート１７の一の外面１７ａに、第１の溝１８を複数形成する工程と、一の外面１７ａを覆うように第２の圧電プレート１９を第１の圧電プレート１７に接合することで、第１の溝１８および第２の圧電プレート１９からなる複数の圧力室７が配列されてなる圧力室列２１を備えた接合体２０を形成する工程と、接合体２０の第１の外面２０ａに、隣り合う圧力室７の間に位置する第２の溝２２を形成する工程と、複数の接合体２０を、接合体２０の圧力室７が延びる方向を揃えて積層して、複数の圧力室列２１を備える積層構造体２３を形成する工程と、積層構造体２３の、圧力室７が延びる方向の両外面のうちの一方の外面３ａより圧力室７が延びる方向に、隣り合う圧力室列２１の間に位置する第３の溝２４を掘る工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドを構成する流路板に対する接合剥れが発生しにくいノズル板を提供する。
【解決手段】複数の加圧液室及び加圧液室に液体を供給する液体供給路を形成した流路板に対して接合され、各加圧液室と連通して液体を吐出する複数のノズル孔４１を備え、液滴吐出面４０Ａにおいて最も外側の列に設けたノズル４１のエッジ部から、少なくとも流路板における加圧液室及び液体供給路よりなる流路構造の形成箇所の端部まで板厚が減少する板厚漸減面４２を備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッド１から吐出された液滴やその飛沫がクーロン斥力により飛散し、記録品質が低下することを防止する。
【解決手段】液体吐出ヘッド１を、吐出用の液体を充填するチャンネル２と、充填された液体に圧力を加える圧電素子３と、チャンネル２に連通しその液体を吐出するノズル４と、ノズル４の近傍に設置され、液体に接触する内部電極５と、この内部電極５の電圧を設定する電圧設定部６とにより構成し、被記録媒体の帯電状況に応じて電圧設定部６が内部電極５に対して電圧及び極性を設定できるようにした。 （もっと読む）

【課題】圧電部材の欠損を防止して、レーザパターニング処理の際に、レーザビームが照射されない領域に、前記側壁の両面に形成される電極部間に跨って金属膜が残ることのない技術を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドのアクチュエータ列を短手方向で見て、圧力室の側壁をなす台形部と、前記台形部の側面から側方に向けて張り出す平坦部Ｓ１とからなる凸形状に形成した圧電部材により構成し、前記平坦部が基板１に形成された凹部１１に嵌合した構成とした。 （もっと読む）