【課題】絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができ且つ環境負荷の少ない液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０と前記圧電体層７０に設けられた電極６０，８０とを備えた圧電素子３００と、を具備し、前記圧電体層７０は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸ビスマスカリウムを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物である液体噴射ヘッド１とする。 （もっと読む）

【課題】流体が、内部に回路が作製されている層を通って流体室を含む層内に流れ込む流体吐出装置において、簡単な構成で回路層と流体室基板との接合部で流体が漏れることがなく且つ電気部品間に短絡をもたらさないように接合できる流体吐出装置の提供。
【解決手段】流体吐出装置は、下面１１０に流体出口を有する回路層１００と、上面４５に流体入口を有する流体室基板１０と、流体室基板１０を回路層１００の下面１１０に電気的に接続する電気接点１０５と、回路層１００の流体出口と流体室基板の流体入口との間に流体接続を形成するシール８０、９０と、を有する。シール８０、９０及び電気接点１０５は共晶材料から成る。シール８０、９０及び電気接点１０５は、同じ材料から成ってもよい。 （もっと読む）

【課題】本発明は、気泡の排出性に優れた液滴吐出装置および液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】吐出液を供給する流路と、前記流路に連通する液室と、前記液室に連通するノズル孔と、前記液室に収納された吐出液に圧力を加える加圧手段と、を備え、前記流路、前記液室、前記ノズル孔からなる群より選ばれた少なくとも１種は、前記吐出液と接触する面の算術平均粗さＲａが０．３μｍ以上、５μｍ以下とされたことを特徴とする液滴吐出装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】ノズル板のノズルとなる孔をプレス加工で形成するときにノズル板が塑性変形して接合品質や信頼性が低下する。
【解決手段】ノズル板１には、複数のノズル１１を配列したノズル列１２が形成され、ノズル列１２と平行に並んだ複数の凹部１３を配列した２つの凹部列１３Ａ、１３Ｂが、ノズル列１２の中心軸ａを挟んでノズル配列方向と直交する方向で反対側に配置され、これらのノズル１１及び凹部１３はプレス加工で形成されている。 （もっと読む）

【課題】ハーモニカタイプのヘッドチップを有する液体噴出装置において、高密度化と小型化とを同時に図ることができると共に、生産性も良好な液体噴出装置の提供。
【解決手段】ハーモニカタイプのヘッドチップを有する液体噴出装置１において、ヘッドチップ２の後面２ｂに、チャネル２２内の駆動電極２３と電気的に接続された第１の引き出し電極２４が形成されていると共に、前記第１の引き出し電極２４に対して直接的に又は間接的にＦＰＣ７の一端が電気的に接続されており、前記ＦＰＣ７は、前記ヘッドチップ２の後面における隣接する２列のチャネル列の間から後方に向けて突設された電極引き出し部材の表面に沿って該ヘッドチップ２の後方に向けて延びていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】流路板に狭小ピッチで液室をプレス加工で形成するときに流路板に反りやうねりが発生して加工精度や部品精度が低下する。
【解決手段】流路板２となる基材２Ａに対してパンチ７１とダイ７０を有するプレス加工装置７０で液室２２となる貫通穴６１を順次形成し、プレス加工装置７０は、貫通穴６１の長手方向端部部分におけるパンチ７１とダイ７２のクリアランスＣ１が貫通穴６１の長手方向直線形状部分におけるパンチ７１とダイ７２のクリアランスＣ２よりも広い構成っされている。 （もっと読む）

【課題】流路抵抗を低く抑えつつ高い捕捉能力を河得られるとともに耐久性に優れたフィルター、液体噴射ヘッド、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】本発明のフィルター５０は、インクを通過させるとともに該インク中に存在する異物を捕捉するフィルターであって、第１面５１ａと第２面５１ｂとを有するフィルター部材５１Ａ及びフィルター部材５１Ｂと、フィルター部材５１Ａ及びフィルター部材５１Ｂに形成され、各フィルター部材５１Ａ，５１Ｂの第１面５１ａから第２面５１ｂにかけて当該フィルター部材５１Ａ，５１Ｂの厚さ方向を貫通するとともにインクを通過させる複数の貫通孔５２と、を有し、貫通孔５２の一方の開口端にはフィルター部材５１Ａ、５１Ｂの厚さ方向に突出する凸部５３が設けられており、フィルター部材５１Ａ及びフィルター部材５１Ｂがこれら基材５１Ａ，５１Ｂの厚さ方向で互いの凸部５３を逆向きにして配置されている。 （もっと読む）

【課題】製造過程におけるシリコンウエハーの欠けや割れの発生を抑制できると共に、異
物の発生を抑制することができるシリコンデバイスの製造方法及び液体噴射ヘッドの製造
方法を提供する。
【解決手段】第１のウエハー１１０上に圧力発生素子を形成すると共に、第２のウエハー
１３０上に第１の基板１０が収まる深さの凹部１３１を形成し、第２のウエハー１３０の
凹部１３１内に第１のウエハー１１０を接合して接合体２００を形成し、第２のウエハー
１３０の第１のウエハー１１０が接合された面の少なくとも外周部に耐エッチング性を有
する材料からなる保護膜１５０を形成してこの保護膜１５０で第２のウエハー１１０の表
面を覆い、接合体２００の第１のウエハー１１０側の面を、第１のウエハー１１０の表面
と第２のウエハー１３０の表面とが同一平面となるまで加工し、その後、接合体２００を
所定サイズの複数のチップに分割する。 （もっと読む）

【課題】ガラスを用い、ノズル孔が吐出により適したテーパー面を有するノズルプレートを、より簡便に製造することができるノズルプレートの製造方法およびその製造方法を含む液滴噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るノズルプレートの製造方法は、ガラス基板にレーザービームを照射し、前記ガラス基板の前記レーザービームが集光した焦点領域において、前記ガラス基板の改質部分を形成する照射工程と、前記ガラス基板のノズル孔が形成される領域が、前記改質部分となるように、前記レーザービームを前記ガラス基板に対して相対的に走査する走査工程と、前記ガラス基板をウェットエッチングし、前記改質部分を除去するエッチング工程と、前記ガラス基板を所望の厚みまで研削し、ノズル孔を有するノズルプレートを形成する研削工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】圧電基板の圧電特性のバラツキを最小限に抑えることができ、駆動電圧バラツキや吐出速度バラツキが小さく、吐出特性が安定するインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】ヘッドチップ１０は、複数の第１個別インク溝３１、複数の第２個別インク溝３２および分離溝１４を設けた圧電基板１を含む。このため、圧電基板１上にダイシングマシンにより溝加工を行うだけで、第１個別インク溝３１を含む第１ヘッド１０ａと、第２個別インク溝３２を含む第２ヘッド１０ｂとが、１枚の圧電基板１上に形成された構成を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】インクジェットプリントヘッドのようなマイクロ電子機械デバイスにおけるノズルを形成するための方法および装置を含む技術を提供すること。
【解決手段】ノズル４６０は、層４２０がデバイスの別の部分４４０上にボンディングされる前に、層４２０内に形成される。ボンディング前に、層４２０内にノズル４６０を形成すると、所望の深さと所望の幾何学的形状を有するノズル４６０を形成することができる。ノズル４６０に対して、特定の幾何学的形状を選択すると、インク流れの抵抗を減らし、マイクロ電子機械デバイスにわたるノズル４６０の均質性を改善できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、インクジェットプリントヘッド、インクジェットヘッド用ウェーハレベルパッケージ、及びインクジェットプリントヘッドの製造方法に関する。
【解決手段】本発明によるインクジェットプリントヘッドは、一面に装着される圧電アクチュエータの駆動により内部のインクを外部に吐出するためのノズルを備えるインクヘッドと、前記インクヘッドの側面に、前記ノズルの高さより低い高さに切断されて形成される切断部を備えるチッピング防止部と、を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】接合層の膨潤片による液体流動への悪影響防止し得る液体噴射ヘッドおよびそれが装備された液体噴射装置を提供する。
【解決手段】圧力発生室ユニット２４と、供給口形成基板９と、共通液体室形成基板７と、ノズルプレート６とが層状構造として形成され、供給口形成基板９に、共通液体室２から圧力発生室４に液体を導入する導入流路１３が設けられ、供給口形成基板９および共通液体室形成基板７に、圧力発生室４からノズル開口５に液体を供給する供給流路１４が設けられ、共通液体室形成基板７の導入流路１３側の表面７ａに、共通液体室２と導入流路１３とを連通させる制御流路２５が形成されている。上記構成により、制御流路２５の液体流動の制御により、液体噴射時に液体が共通液体室２に逆流する量を低減させ、圧力発生室４への液体導入時には、液体導入量を増量させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、上記の点に鑑み、簡単な構成で、描画不良を招くような異物のノズルプレートへの付着を有効に防止することのできるインクジェットヘッドおよびこれを備えた液滴吐出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明のインクジェットヘッドは、ポンプ作用を奏するヘッド本体と、ヘッド本体の裏面に設けられ、複数の吐出ノズルが形成されたノズルプレート５６と、を備え、ノズルプレート５６は、ヘッド本体の裏面に対応すると共に複数の吐出ノズル５７が形成されたノズル形成部５８と、ノズル形成部５８から外方に延設され、ヘッド本体の裏面から四周に亘って張り出すと共にヘッド本体側に立ち上がった立ち上がり部９２と、を有している。 （もっと読む）

【課題】アクチュエーターユニットの特性差による噴射特性のばらつきを抑制することが可能な液体噴射ヘッドの製造方法、及び、液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】セラミックスシート４０上に格子状に区画された複数のユニット領域３８にそれぞれ圧電素子を形成する圧電素子形成工程と、当該セラミックスシートをユニット領域毎に分割して個々のアクチュエーターユニットに切り分ける分割工程と、流路ユニットを作製する流路ユニット作製工程と、分割工程で分割されたアクチュエーターユニットと流路ユニット作製工程で形成された流路ユニットとを接合する接合工程と、を含み、分割前の基材上におけるユニット領域の位置を示すアドレスに応じて、インク供給口の流路長又は断面積の少なくとも一方がノズル毎に個別に定められる。 （もっと読む）

【課題】チャンバと連通している供給管に気泡が付着しないインクジェットプリントヘッドおよびその製造方法の提供。
【解決手段】感光性樹脂３８の構造層内に作られているチャンバと、それぞれの対応するインク供給管は、タンタルと金の保護層３４、３６で作られた平坦な底壁３６と、少なくとも１つの射出ノズル４６を含み、連続する外周線に沿って底壁に連結されている、実質的に凸状の表面で構成された上壁と、によって境界が定められており、各チャンバと各供給管の内側形状は、金属の、制御された非包囲式の金属の成長から得られ、タンタルの層３４の上に載っている金の層３６の寸法から始めて堆積した犠牲層５７の外側形状の相補形の印象なっている。 （もっと読む）

【課題】圧電プレート４に形成した溝５内部での液体の淀みを低減し、溝５内部に混入した異物を迅速に排出することを可能にした液体噴射ヘッド１を提供する。
【解決手段】液体噴射用のノズル３を有するノズルプレート２と、ノズルプレート２を接合する圧電プレート４と、液体の供給及び排出する液体供給孔９及び液体排出孔１０を有するカバープレート２とからなる積層構造を備え、溝５の断面は深さ方向に凸状であり、この凸状の頂部においてノズル３と連通し、凸状の底部において液体供給孔９及び液体排出孔１０と連通する構成とした。 （もっと読む）

【課題】液体の飛行曲がりが低減した液体噴射ヘッドの製造方法および画質の低下を抑えた液体噴射装置を得ること。
【解決手段】ノズル２１が形成されたノズル面２２０に形成される蒸着膜２０５の厚さが６０ｎｍ以上形成されるので、ノズル開口２１０からノズル２１内に進入する撥液材料の量が増え、ノズル２１の内壁深くまで均一に蒸着膜２０５を形成できる。粘着テープ貼付工程において、粘着層５１がノズル２１内に進入しても、撥液材料からなる蒸着膜２０５に付着し、粘着テープ剥離工程において、粘着層５１も剥離され、ノズル２１内へ残留する粘着層５１を減少できる。したがって、残留する粘着層５１による液体の飛行曲がりが低減したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】プレス加工法によって圧力発生室や流体抵抗部となる貫通穴を形成すると、圧力発生室を区画する隔壁の形状が舟形形状となって他の部材との接合が不均一になってノズル毎に滴吐出特性がばらつくことになる。
【解決手段】１枚の薄板から、複数の圧力発生室１２と、圧力発生室１２に液体を供給する流体抵抗部１３と、圧力発生室１２に対応するノズル穴１１が形成された流路板１を備え、流路板１は、金属材料からなり、溝状窪み１５で形成された圧力発生室１２と、溝状窪み１５の長手方向の一端に形成されたノズル穴１１と、溝状窪み１５の長手方向の他端に形成された流体抵抗部１３とを有し、圧力発生室１２、ノズル穴１１及び流体抵抗部１３は薄板を厚み方向に変形させて形成されている。 （もっと読む）

積層マニホルド及びその製造。積層マニホルド(18)は、プレート積層体(22)を形成する平行に配列された複数のプレート(20)を含み、該複数のプレート(20)は、該プレート積層体の各プレートを固定剤(24)を用いて固定して形成される。該複数のプレートのうちの少なくとも幾つかは、それぞれのプレートにおいて、該プレートがプレート積層体(22)に配列された際に流体経路(28)を画定するような向きを有するアパーチャ(26)を含み、該流体経路(28)は、平行なプレート間で前記プレート積層体から出る。該積層マニホルドは、インクジェットプリンタ(10)のためのインクマニホルド(14)として特に有用なものとなる。 （もっと読む）