【課題】効率よく均一にアンカー効果が得られるインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板と、この基板の表面に形成される圧電体層と、この圧電体層の上に載置され、圧力室が形成される圧電素子と、圧電体層及び圧電素子に形成される導体層と、この圧電素子を囲むように基板に載置される枠体と、圧電素子の側壁の上端部に接着され、ノズル穴を有するノズルプレートと、を備える。圧電素子と圧電体層とは同じ材質により形成され、同時にエッチングされて表面が粗され、その後メッキにより導体層が形成される。 （もっと読む）

【課題】ベース材にインク供給・排出用の穴を開けることなく、圧力室にインクを循環供給することで製造コストを低減するとともに、プリント配線の短絡を防止することで信頼性を高めること。
【解決手段】インクを循環供給するためのインク排出穴２５及びインク供給穴２６が設けられた平面部２２を有し、平面部２２に凹部２３が設けられたマニホールド２０と、凹部２３に嵌合されたベース材３０と、ベース材３０に積層配置され、一定方向に沿って設けられたノズル穴６１を有するノズルプレート６０と、ベース材３０とノズルプレート６０の間に配置され、複数のノズル穴６１に対応して設けられた圧力室４３と、圧力室４３の壁部を形成するとともに、圧力室４３の容積を変化させる駆動素子４２とを有するアクチュエータ４０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】高精細化及び高品位の印刷が可能なインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 絶縁基板と、前記絶縁基板の上においてインク圧力室を隔てて配置された圧電部材と、前記インク圧力室に対向するノズル穴を有するノズルプレートと、前記圧電部材と前記ノズルプレートとを接着する接着剤と、を備え、前記圧電部材は、隣接する前記インク圧力室の間において、前記絶縁基板に接する第１幅の底面と、前記ノズルプレートに接する前記第１幅より小さい第２幅の上面と、を有することを特徴とするインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】濃度ムラを目立ち難くできるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】一つの実施形態に係るインクジェットヘッドによれば、基板と、前記基板に対向したノズルプレートと、複数の圧電部材と、インク吐出駆動用の多数の溝部とを具備する。前記ノズルプレートに、ノズル列が複数設けられる。一つの前記ノズル列に含まれる複数のノズルと、他の前記ノズル列に含まれる複数のノズルと、によって、前記各ノズル列が延びる方向と平行になった一つの仮想ノズル列が形成される。前記圧電部材は、前記複数のノズル列にそれぞれ対向する。前記溝部は、前記複数の圧電部材にそれぞれ設けられ、且つ複数の刃物で加工される。前記仮想ノズル列中の一つの前記ノズルに対応した一つの前記溝部と、前記仮想ノズル列中の前記一つのノズルと隣接した他の一つの前記ノズルに対応した他の一つの前記溝部と、は、互いに独立した前記刃物で加工される。 （もっと読む）

【課題】フィルターの捕集能力を高めるとともに、吐出圧力の損失を抑制し、高粘度の液滴から、その液滴に含まれる異物を捕集する。
【解決手段】フィルター３２は金属ガラスからなるので、金属材料からなるフィルター３２と同一の厚みで比べると、強度を高く維持することができるフィルター３２を得ることができる。これにより、捕集能力を高めるとともに、液滴吐出による圧力損失を抑制したフィルター３２を得ることができる。特に、高粘度の液滴から、その液滴に含まれる異物を捕集するために、このフィルター３２は有効に機能する。 （もっと読む）

【課題】安定した性能のインク吐出ヘッドを製造する方法を提供する。
【解決手段】犠牲層形成工程の後に、犠牲層５４の上面が平坦になるように、流路壁５３の上端面から離間する位置まで犠牲層５４を削除し、基板５１を犠牲層溶解液に浸漬させて、流路壁５３の上端面が露出するまで、犠牲層５４を溶解させて、流路壁５３の上端面及び犠牲層５４上面を平坦面にする。 （もっと読む）

【課題】立体形状の制約が小さくなり成形密度が高い成形体が得られるセラミック基板の製造方法を提供する。
【解決手段】セラミック基板の製造方法は、(a) 第１のセラミックスグリーンシートの温度をガラス転移温度以上に昇温する工程と、(b) 前記工程(a)の後に前記第１のセラミックスグリーンシートの第１の主面に型を圧入する工程と、(c) 前記第１のセラミックスグリーンシートの第１の主面に前記型を圧入した状態のまま前記第１のセラミックスグリーンシートの温度をガラス転移温度未満に降温する工程と、(d) 前記工程(c)の後に前記第１のセラミックスグリーンシートと前記型とを分離する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】バンプの位置ずれや広がりによる活性部の領域の拡大を抑制する。
【解決手段】圧電層１７ａの表面１７ａ１には、個別電極１８ａ及びこれに接続した導電性のランド１８ｂが形成されており、さらに、ランド１８ｂを除く領域に、圧電層１７ａより比誘電率の低い低誘電層１７ｘが形成されている。ランド１８ｂの先端面における低誘電層１７ｘから露出した部分に、導電性のバンプ１８ｄが形成されている。ランド１８ｂはバンプ１８ｄを介してＦＰＣの端子と接合される。 （もっと読む）

【課題】ヘッドチップが大型化することなく、ヘッドチップ上の限られたスペースに電流密度の小さな共通電極を備えた独立駆動型のインクジェットヘッドの提供。
【解決手段】ヘッドチップ１は、後面に、駆動チャネル１１Ａ、１１Ｂ内の駆動電極と導通する接続電極が形成され、前面に、複数のダミーチャネル１２Ａ、１２Ｂ内の駆動電極と共通に導通する共通電極１７Ａ、１７Ｂが形成されていると共に、駆動チャネル１１Ａ、１１Ｂ及びダミーチャネル１２Ａ、１２Ｂの他に、前面から後面に貫通する貫通孔１６Ａ、１６Ｂを有しており、共通電極１７Ａ、１７Ｂは、貫通孔１６Ａ、１６Ｂ内を通ってヘッドチップ１の後面に引き出されている。 （もっと読む）

【課題】簡便な方法で、ポリパラキシリレンの過剰エッチングによりチップ端部の電極が露出した場合でも、電極を腐食から保護することができるインクジェットヘッドの製造方法の提供。
【解決手段】インクチャネル内に電極膜を成膜する電極膜成膜工程と、電極膜上に絶縁性保護膜を成膜する保護膜成膜工程と、保護膜成膜工程の処理に伴ってチャネル基板の一端面に成膜された絶縁性保護膜を除去する保護膜除去工程と、チャネル基板の一端面及びインクチャネルの内側面の保護膜欠損部から露出した電極膜露出部を連続的に被覆する接着剤層を形成する接着剤塗布工程と、チャネル基板の他端面に位置するインクチャネルの入口からチャネル基板の一端面に位置するインクチャネルの出口に向かう空気流で、インクチャネルの内側面に塗布された接着剤の余剰部分をインクチャネル外部へ押し出す接着剤押し出し工程と、チャネル基板の一端面に対し前記ノズルプレートを接着する接着工程と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電部材の配置の密度が高められる液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】液体吐出ヘッド３は、液体を吐出するための圧力を液体に付与するための圧力室１４と、圧力室１４の内面の側に設けられた第１電極２２と、圧力室１４の外側に設けられた第２電極２３と、を備える圧電部材１２が、複数、各圧電部材１２の圧力室１４を流れる液体の流れ方向が互いに沿う様に、流れ方向と交わる第１方向と、流れ方向と交わるとともに第１方向とも交わる第２方向と、のそれぞれに関して配列されている。第１方向に配列された複数の第１電極２２と共通して接続された第１共通配線２４と、第２方向に配列された複数の第２電極２３と共通して接続された第２共通配線２５と、をそれぞれ複数有し、複数の第１共通配線２４が第２方向に関して配列され、複数の第２共通配線２５が第１方向に関して配列されている。 （もっと読む）

【課題】液滴の吐出量を増加させた液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置は、複数個の振動体を基板の上面に規則的に配列した構造を有している。基板は、略平坦な上面及び下面を有する板の内部にキャビティとなるキャビティ並びに液体の流路となる吐出孔及び供給孔を形成した構造を有する。キャビティの横幅は基板の上面の側から基板の下面の側へ向かって狭くなる。また、キャビティの深さは、供給孔の側から吐出孔の側へ向かって深くなる。供給孔の側にある相対的に小さな範囲を占める部分において供給穴の側から吐出孔の側へ向かってキャビティの深さが浅くなり、吐出孔の側にある相対的に大きな範囲を占める部分において供給孔の側から吐出孔の側へ向かってキャビティの深さが深くなるようにしてもよい。基板は、キャビティの立体形状に応じた立体形状を有する型をグリーンシートの上面に圧入することを経て作製する。 （もっと読む）

【課題】隔壁７の側面に形成する駆動電極１１を各隔壁７において同一形状とすることが難しく、駆動電極１１の形状ばらつきに起因して液滴の吐出特性がチャンネルごとにばらついた。
【解決手段】駆動領域ＤＲの隔壁７は、溝６の底面１２から隔壁７の上面１３までの高さの略１／２よりも上面側を圧電体材料１０とし、略１／２よりも底面１２側を圧電体材料１０よりも誘電率の小さい低誘電率材料９とすることにより、各隔壁７の変形駆動量が均一化し、チャンネル間の液滴吐出速度のばらつきを低減し、かつ、駆動信号が隣接する隔壁７に漏れ出して液滴吐出特性が変動することを防止する。 （もっと読む）

【課題】本発明はインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドの製造方法は、ダミー基板上に圧電アクチュエータを形成するステップと、前記圧電アクチュエータをインクジェットヘッドのヘッドセル単位に切断するステップと、前記圧電アクチュエータと対応する位置に形成されるインクチャンバを含むインクジェットヘッド基板を設けるステップと、前記圧電アクチュエータと前記インクチャンバが互いに対応するよう、前記ダミー基板と前記インクジェットヘッド基板を接合するステップと、前記ダミー基板を除去するステップと、を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子を利用した液体吐出装置において、高粘度の液体を高周波数で吐出させた際に発熱した圧電素子を冷却し、圧電の電気特性の低下やインク特性の劣化を防止する。
【解決手段】この液体吐出装置は、液滴が吐出される吐出口103を形成するオリフィスプレート102と、列状に並んだ複数の空間を形成するように間隔をおいて配置された複数の圧電素子101と、を備える。該複数の空間が該圧電素子の配列方向にて交互にインク室104および温調液体専用流路105として用いられている。インク室104は吐出用の液体が供給される流路を形成し、かつ吐出口103に連通している。温調液体専用流路105は圧電素子101の温度を調整する温調用の液体が流れるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明はインクジェットプリントヘッド及びその製造方法に関する。
【解決手段】本発明によるインクジェットプリントヘッドは、インク流路が形成されるインクジェット基板と、上記インクジェット基板から上記インク流路の外側に形成され、上記インクジェット基板のヘッドチップ単位の分離による切断面が形成される切断部と、上記切断部の一面から上記インクジェット基板の厚さ方向の内側に形成され、上記インクジェット基板のヘッドチップ単位の分離を補助する切断補助部を含むことができる。 （もっと読む）

【課題】高い解像度と、強い吐出力とを有するインクジェットヘッドを提供すること。
【解決手段】インクが流れるインク供給流路と；ノズルが形成された底面と、振動板から構成される上面とを有し、かつ前記インク供給流路内をインクが流れる方向に沿って一列に配列された２以上のインク室と；前記インク室を仕切る隔壁と；前記２以上のインク室の上面それぞれを振動させ、一列に配列された２以上の積層ピエゾ素子と、前記積層ピエゾ素子間に配置された２以上の支柱と、が固定され、かつ前記インク室の上面上に配置されたピエゾプレートと；を有するインクジェットヘッドであって、前記インク室の上面を構成する振動板は、前記隔壁と前記支柱とによって挟まれ、隣接する２つの前記積層ピエゾ素子の間には、ギャップが大きい箇所と、ギャップが小さい箇所とが形成され、前記支柱は、前記ギャップが大きい箇所にのみ配置される、インクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッド１の吐出チャンネル１２方向の幅を縮小し、かつ、複雑な製造工程の不要な簡素な電極取り出し構造を実現する。
【解決手段】基板表面の前方端ＦＥから後方端ＲＥに亘って側壁３により離隔された複数の溝５を有し、引出電極８を当該側壁３の上面に形成した圧電体基板４と、マニホールド９を備え、圧電体基板４の表面に接合したカバープレート１１と、カバープレート１１と溝５により構成されるチャンネルのマニホールド９よりも後方端ＲＥ側の後方チャンネル１０の開口を閉塞する封止材１４を備える。 （もっと読む）

【課題】リーク電流値の低い非鉛誘電体セラミックスおよびその原料となるビスマス鉄酸化物粉体を提供する。
【解決手段】そのための本発明はビスマス鉄酸化物からなる、少なくとも（Ａ）ペロブスカイト型結晶構造を有する粒子、（Ｂ）空間群Ｐｂａｍに分類される結晶構造を有する粒子、および（Ｃ）空間群Ｉ２３に分類される粒子を含有するビスマス鉄酸化物粉体。ビスマス鉄酸化物からなる誘電体セラミックスにおいて、空間群Ｐｂａｍに分類される結晶構造を有するビスマス鉄酸化物結晶が、ペロブスカイト型結晶構造を有するビスマス鉄酸化物結晶からなる結晶粒の粒界に存在する誘電体セラミックスである。 （もっと読む）

【課題】接着剤溜まりの形成を抑制して歩留まりの向上を図ることができる液体噴射ヘッ
ドの製造方法を提供する。
【解決手段】第１のウエハー１１０上に圧力発生素子３００を形成する工程と、第２のウ
エハー１３０に第１のウエハー１１０を接着剤３５によって接合して接合体２５０を形成
する工程と、第１のウエハー１１０をウェットエッチングすることにより圧力発生室１２
等の流路を形成する工程と、接合体２５０をサイズの複数のチップに分割する工程と、を
備えると共に、接合体２５０を形成する工程の前に、第１又は第２のウエハー１１０，１
３０の少なくとも何れか一方の他方との接合面の外周部に接着剤３５の余剰分が流れ込む
凹部を形成する工程を備えるようにする。 （もっと読む）