【課題】 インクジェットヘッドにおける、流路基板とオリフィスプレートの接着において、ノズル口の封鎖などの弊害を発生することなく、両者の確実な接着を目的とする。
【解決手段】 インクジェットヘッドのノズル口を形成するオリフィスプレートの貼付において、ノズル口のマスキング等の工程を経ることなく、確実にオリフィスプレートとヘッド本体を接合させる。
ヘッド本体あるいは、オリフィスプレートのいずれかに接着剤を侵入させるための、溝を形成し、接着剤を毛細管現象にて浸透させる。
毛細管現象だけでは、接着剤の浸透が不十分な場合は、接着剤の浸透口の概反対側に形成した、吸引口からバキュームすることによって、接着剤の浸透を補助する。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット構成部材の基体の接着強度、接着耐久性を確保しつつも、接着剤の流路内への流れ込みを減少させるインクジェット記録ヘッドを提供することである。
【解決手段】 陽極化成処理によってＳｉ単結晶の接着表面を一定度合いに荒らすことで、接着強度、接着耐久性を向上させる。また高さ方向に段差をつける構成を用いて、接着剤の流路内への流れ込みを減少させる。その高低差は、非陽極化成処理部にマスク材を配置することで、陽極化成処理と同時に精度よく形成できる。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔部の軸線ずれをなくしノズル径を高精度に維持して吐出性能を向上させることができるノズル基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】エッチング保護膜４２をハーフエッチングして第２の開口部４２ａを形成し、第２の開口部４２ａと同軸上にこれよりも縮径した第１の開口部４２ｂを形成する工程と、第１の開口部４２ｂより異方性ドライエッチングによって円筒孔部１１０を形成する工程と、第１の開口部４２ｂを拡径して第３の開口部４２ｃを形成する工程と、エッチング保護膜４２の一部を除去して孔部保護膜４２０ａを形成する工程と、第３の開口部４２ｃより等方性ドライエッチングを施して所望の傾斜角で拡径する第２のノズル孔部を形成する工程と、孔部保護膜４２０ａを除去し第１のノズル孔部とする工程と、シリコン基材４１を薄板化する工程とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】 高精度のインクジェットヘッドを歩留まりよく作製する。
【解決手段】 流路基板とオリフィスプレートを接着剤を用いた接合を行わず、一体的に形成する。すなわち、流路基板裏面に設けた金属層をエッチングマスクとしてドライエッチングにより流路を形成、その後、金属層をシード層としてオリフィスプレートを電鋳法により形成する。 （もっと読む）

【課題】ノズル長を適切に調整でき、液滴がスムーズに流れて液滴のよどみが生じることがなく、液滴の吐出性を向上させることができるノズル基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】シリコン基材１００側に向かってエッチングレートが遅くなる組成の酸化膜１０１を成膜する工程と、酸化膜１０１上に、第１のノズル孔部１１０ａに相当する部位を除いた部分にレジスト１０２を塗布し、酸化膜１０１をウエットエッチングしてシリコン基材１００側に縮径していくほぼ截頭円錐状の第１のノズル孔部１１０ａを形成する工程と、シリコン基材１００を酸化膜１０１に設けた第１のノズル孔部１１０ａの縮径側よりドライエッチングしてほぼ円筒状の第２のノズル孔部１１０ｂを形成する工程と、酸化膜１０１を設けた反対側の面よりシリコン基材１００を研削して第２のノズル孔部１１０ｂを貫通させる工程とによってノズル孔を形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】 段差部を有する基板に対して、被接合部材をより確実に接合することが可能な基板部材と、この基板部材を備えた液滴吐出ヘッド及び、この液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置、さらに、この基板部材を製造する基板部材製造方法を得る。
【解決手段】 隔壁樹脂層１１９、１１８上に、隔壁樹脂層１１９、１１８を構成する樹脂よりも熱収縮率の大きな材料で構成された接着樹脂層１２１が積層される。圧電素子基板７０上で圧電素子４６等によって生じた凹凸の段差部９１４が隔壁樹脂層１１９、１１８によって平坦化される。さらに、熱収縮率の高い材料で構成された接着樹脂層１２１が積層されていることで、天板４１の接合性が、接着樹脂層１２１を有さない構成と比較して高くなる。 （もっと読む）

【課題】ノズルの高密度化を可能にし、かつ吐出室深さを確保しながらクロストーク防止に十分なリザーバ体積を確保することが可能な液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドの製造方法を得る。
【解決手段】複数のノズル孔１１を有するノズル基板１と、ノズル孔１１の各々に連通する複数のノズル連通孔２１と、ノズル連通孔２１の各々に連通し、室内に圧力を発生させて各ノズル孔１１より液滴を吐出する吐出室２２を構成する複数の吐出室用凹部２２ａと、吐出室用凹部２２ａに供給する液滴を溜めるリザーバ２４と、各吐出室用凹部２２ａとリザーバ２４とを連通する複数の供給口２３とが形成された流路基板２と、流路基板２の吐出室用凹部２２ａ内に圧力を発生させる振動板３１を有する振動板基板３と、振動板３１を変形させて吐出室２２に圧力変化を与える圧力発生手段とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】さまざまな液体に対して高い耐性をもつ液体噴射ヘッドの提供。
【解決手段】複数配列された電圧印加用電極を表面に有し、内部に液体が供給される第１の部材１と、第１の部材の電圧印加用電極と対応するように複数配列された電圧印加用電極３３を表面に有し、第１の部材に供給される液体の流路を有する第２の部材３とを、第１の部材の各電圧印加用電極と第２の部材の各電圧印加用電極とが電気的に接続するように接着剤を用いて接着された液体噴射ヘッドであって、第１の部材と第２の部材の少なくともいずれかの部材の接着面で、電圧印加用電極の間に、電圧印加用電極の厚み以下の層が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 （もっと読む）

【課題】より有効的に制御を実現するための静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド等を得る。
【解決手段】液体を液滴として吐出するノズル３１を複数有するノズル基板３０と、各ノズル３１に合わせて設けられ、振動して液体を加圧する振動板２２を備える吐出室２１となる複数の凹部を有するキャビティ基板２０と、振動板２２と対向し、静電気力を発生させて振動板２２を振動させるための個別電極１２ａを有する電極基板１０とを少なくとも備え、個別電極１２ａを複数段で構成し、初期状態において、個別電極１２ａの１つの段と振動板２２の一部とが接触している構造とする。 （もっと読む）

【課題】梁を備えたインク供給口を短時間で精度良く形成する。
【解決手段】インクジェットヘッド用基板の製造方法は、シリコン基板の裏面におけるインク供給口１０を形成する部分に、シリコン面が露出した被エッチング面を形成する工程を有する。さらに、被エッチング面のうち梁１９を形成する領域を少なくとも除いた領域に、レーザー加工によって第１の凹部を形成する工程と、シリコン基板に対して、被エッチング面から第１のウエットエッチングを行う工程とを有する。さらに、第１のウエットエッチングによってエッチングされたシリコン基板の被エッチング面に、レーザー加工によって第２の凹部２０ｂを形成する工程を有する。さらに、シリコン基板に対して、被エッチング面がシリコン基板を貫通して犠牲層に達するまで第２のウエットエッチングを行い、梁１９を備えたインク供給口２０を形成する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】 基板のピンホールに起因する、インク供給口の開口幅のばらつきを抑え、精度良く安定して形成する。
【解決手段】 Si基板を異方性エッチングしてインク供給口用の穴を形成する工程を含む、前記基板上に、インク吐出エネルギー発生素子と、該インク吐出エネルギー発生素子を電気的に駆動するための半導体電気回路素子と、該インク吐出エネルギー発生素子からのエネルギーをインクに作用させるための流路と、該エネルギーが作用したインクを吐出するための吐出口とを有し、該流路にインクを供給するための前記インク供給口を前記基板に有するインクジェット記録ヘッドにおいて、前記インク吐出エネルギー発生素子および前記半導体電気回路素子を作製した段階で前記基板の裏面に形成されている膜層を除去する除去進行速度が前記Si基板の除去進行速度よりも速い方法で前記膜層を除去する。 （もっと読む）

【課題】各貫通部を封止する不連続金属層を構成する密着層をウェットエッチングによって確実に除去することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】流路形成基板用ウェハ上に圧電素子を形成すると共に各貫通部となる領域に開口部を形成する工程と、ＮｉＣｒからなる密着層と金属層とで構成されるリード電極を形成すると共にリード電極とは不連続の不連続金属層を各開口部に対応する領域に形成する工程と、第１の貫通孔が形成された接合基板用ウェハを流路形成基板用ウェハに接合する工程と、流路形成基板用ウェハをウェットエッチングして第２の貫通孔を形成する工程と、不連続金属層をウェットエッチングして貫通部を形成する工程と、流路形成基板用ウェハ等を分割する工程とを具備し、第２の貫通孔をウェットエッチングによって形成する際に、各開口部に形成されている不連続金属層が電気的に接続されているようにする。 （もっと読む）

【課題】特に接触面積の大きな電極間の水分除去に有効な処理を行うことができる静電アクチュエータの製造方法等を得る。
【解決手段】相対変位可能な可動電極となる振動板２２と、振動板２２と一定の間隔で対向配置され、振動板２２を相対変位させる、表面粗さが１５ｎｍ以下の固定電極となる個別電極１２ａとを少なくとも有する液滴吐出ヘッド等の静電アクチュエータに対し、振動板２２と個別電極１２ａとで形成される空間から水分を除去する工程と、空間を外気と遮断するために、空間の開口部分を封止する工程とを連続して行うものである。 （もっと読む）

【課題】密着層をウェットエッチングによって確実に除去してリザーバを良好に形成することができ、且つ流路形成基板とリザーバ形成基板とを強固に接合することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法の提供。
【解決手段】流路形成基板用ウェハ４１０の一方面側に振動板を介して下電極膜６０、不連続下電極膜６１を形成する工程と、その上に圧電素子７０、積層膜を形成する工程と、連通部となる領域に開口部５０ａ，５５ａを形成する工程と、保護膜１２０を形成する工程と、ニッケルクロムからなる密着層９１と金属層９２とで構成されるリード電極９０を形成すると共に不連続金属層１３０を不連続下電極膜上まで連続するように形成する工程と、リザーバ形成基板用ウェハ４３０を流路形成基板用ウェハに接合する工程と、ウェットエッチングしてリザーバ部と連通部とを連通させる工程と、流路形成基板用ウェハ及び接合基板用ウェハを分割する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】異物による目詰まり等の吐出不良を確実に防止することができ、歩留まり及び信頼性を向上してコストを低減した液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】振動板５０上に圧電素子を形成し、且つ振動板５０の連通部１３に相対向する領域に開口する貫通部を形成すると共に、複数の凹部５４を設ける工程と、貫通部を封止する隔離層１９０と凹形状に屈曲した屈曲部１９１を形成する工程と、リザーバ形成基板を流路形成基板に接合する工程と、圧力発生室及び連通部１３を形成すると共に、隔離層１９０を露出する工程と、流路形成基板１０の圧力発生室、連通部１３の内面及び露出された隔離層１９０上に、耐液体性を有する材料からなる保護膜を形成する工程と、隔離層１９０上の保護膜を剥離して除去する工程と、隔離層１９０を除去することによりリザーバ部と連通部１３とを連通させてリザーバを形成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】異物による目詰まり等の吐出不良を確実に防止することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】圧力発生室と連通部１３とが設けられた流路形成基板１０と、流路形成基板１０に設けられた圧電素子と、流路形成基板１０に接着剤３５を介して接着されて、連通部１３と連通してリザーバ１００を構成するリザーバ部３１が設けられたリザーバ形成基板３０と、流路形成基板１０とリザーバ形成基板３０との間に設けられて、連通部１３とリザーバ部３１とを連通する貫通部５１が設けられた振動板５０と、振動板５０の貫通部５１の開口縁部に設けられて貫通部５１に連通する連通孔１９１が設けられた支持層として機能する配線層１９０とを具備し、振動板５０の貫通部５１の開口縁部及び配線層１９０の連通孔１９１の開口縁部がリザーバ部３１の内壁よりもリザーバ１００の内側に突出して設けられている。 （もっと読む）

【課題】絶縁膜による影響を受けず、振動板の厚さを精度よく測定し、検査の信頼性を高めることができるような液滴吐出ヘッド等を得る。
【解決手段】複数の凹部１１にそれぞれ個別電極１２を有する電極基板１０と、各個別電極１２と距離をおいて対向し、個別電極１２との間で発生した静電気力により動作する複数の振動板２２及び振動板２２を底壁としてノズル４１から吐出させる液体をたくわえる複数の吐出室２１を有し、振動板と個別電極１２との対向面側に絶縁膜２３が成膜されたキャビティ基板２０とを備えた液滴吐出ヘッドであって、キャビティ基板２０は、振動板２２の厚みを測定するための測定板２５を有し、測定板２５が形成された部分には絶縁膜２３を形成しない。 （もっと読む）

【課題】ばらつきの少ない、寸法精度の高いオリフィスプレートが作製でき、これを用いて吐出安定性の良好な液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴を吐出させるための複数のノズル１０３と、該ノズル１０３の各々と連通する複数の連通部と、を有し、複数の個別液室と連通する共通液室１０５と、前記個別液室と前記共通液室１０５とを繋ぐ複数の供給口と、の少なくとも一方を更に有する液体吐出ヘッドに用いられるオリフィスプレート１０６であって、該オリフィスプレート１０６は、第１及び第２のＳｉ層間にＳｉＯ₂層１０１を有するＳＯＩ基板からなり、前記ノズル１０３は、前記ＳＯＩ基板における第１のＳｉ層１００に層厚方向に形成され、前記共通液室１０５と前記供給口の少なくとも一方と、前記連通部とは、前記第２のＳｉ層１０２に層厚方向に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ノズル圧電素子ギャップを精密に制御して印字の安定性をより向上し高密度記録を行うことができる、ホットメルトインクを用いたインクジェットなどに用いる液滴噴射装置の製造方法、液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】複数のノズル開孔１０を有するノズル形成部材１と、該ノズル形成部材１と所定の間隔のノズル圧電素子ギャップ１４をもって前記ノズル開孔１０の各々と対向してインク中に設けられた複数の圧電素子を有する液滴噴射装置の製造方法であって、少なくとも、ノズル形成部材１にノズル開孔１０を形成する工程、ノズル形成部材１上に犠牲層３を形成する工程、前記犠牲層３上に形成されかつノズル形成部材１上に固定端１２が接合された圧電素子を形成する工程、前記犠牲層３をエッチング除去しノズル圧電素子ギャップ１４を形成する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】ノズルの高密度化を可能にし、かつノズル間の圧力干渉を防止することができる液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法等を提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１０は、ノズル基板１と、吐出室３１を有するキャビティ基板３と、リザーバ２３となるリザーバ凹部２３ａを有するリザーバ基板２とを少なくとも備え、リザーバ凹部２３ａの内面全体とリザーバ凹部２３ａの開口の周囲にリザーバ凹部２３ａよりも深さが浅く形成された浅い凹部２３ｃの底面とに、成膜により形成された樹脂薄膜１１１を有し、浅い凹部２３ｃの底面に成膜された樹脂薄膜１１１は、リザーバ凹部２３ａを囲むように周状に切断されており、リザーバ凹部２３ａの底面に成膜された樹脂薄膜１１１の一部は圧力変動を緩衝するダイアフラム部１００となっている。 （もっと読む）