【課題】ノズル面に撥水膜が設けられた液滴吐出ヘッド及びその製造方法であって、製造工程によらず、常に良好なノズル加工が施された液滴吐出ヘッド及びその製造方法を提供すること。また、液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を提供することである。
【解決手段】 保護プレート３４、ノズルプレート３６、プールプレート３８、連通孔プレート４０，４２と、圧力室プレート４４と、及び振動板４６とが位置合わせして積層され、熱融着や接着剤などによって接合させる。そして、ノズルプレート３６上の保護プレート３４表面には、撥水膜４８が形成されている。例えば、このような構成のインクジェット記録ヘッド３２（液滴吐出ヘッド）において、撥水膜４８に、無機系紫外線吸収剤を含有させる。これにより、製造工程によらず、常に良好なノズル加工を施すことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】高精度で安価な電極基板を用いた静電アクチュエータ、静電アクチュエータの製
造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出装置、液滴吐出装置の製
造方法、デバイスおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】振動板２３を有する第１の基板２と、電極溝を有しこの電極溝に振動板２３
とギャップを隔てて対向する対向電極４２が設けられた第２の基板４とを備え、振動板２
３と対向電極４２との間に電圧を印加することによりこれらの間に静電気力を発生させて
、振動板２３を変位させる静電アクチュエータであって、第２の基板４の電極溝４１の内
壁全体に対向電極４２を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】 圧電体層の特性を向上でき且つ圧電体層の特性を均一化できる圧電素子及びその製造方法並びに液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】 基板上に設けられた面方位（１００）の下電極６０と、下電極上にエピタキシャル成長により形成された面方位（１００）のチタン酸ジルコン酸鉛からなる圧電体層７０と、圧電体層７０上に設けられた上電極８０とからなり、且つ圧電体層７０内部の下電極６０との境界部分に、ジルコニウム（Ｚｒ）又はチタン（Ｔｉ）の含有量が圧電体層７０の他の領域よりも多い所定厚さのバッファ層７１が存在するようにする。 （もっと読む）

【課題】 被駆動部と個別電極とのより広い対向面積を確保するようにした電極基板及び
その製造方法、その電極基板を用いた静電アクチュエータ及び液滴吐出ヘッドを得る。
【解決手段】 基板表面に溝部８形成のためのクロム膜３１のマスクを形成する工程と、
ガラス基板３０をエッチングし、クロム膜３１のマスクの開口部分に合わせた溝部８を形
成する工程と、クロム膜３１のマスクをそのまま用いて、溝部８を形成した面に導電性材
料となるＩＴＯ３３を全面成膜する工程と、溝部８にレジスト３５を形成し、溝部８以外
の部分に成膜されたＩＴＯ３３を除去する工程と、クロム膜３１のマスクを除去する工程
と、レジスト３５を除去する工程とを少なくとも有する。 （もっと読む）

【課題】ヘッドの構造を小型化し、ダイアフラム駆動体の静電力を大きくして少ない電圧でも大きい変位を得ることができてインク排出圧力が増加される、静電駆動機を備えたインクジェットヘッドを提供すること。
【解決手段】静電駆動機を備えたインクジェットヘッド及びその製造方法が提示される。両方向に、複数の第１突出部と第２突出部が形成される梳き櫛形象の固定子と、一端部がダイアフラムに結合される第１部材及び第２部材を含むが、第１部材には第１突出部に対向して第１突出部に接触しないで噛合する複数の第３突出部が形成されて、第２部材には第２突出部に対向して第２突出部に接触しないで噛合する複数の第４突出部が形成される移動子を含む静電駆動機を備えたインクジェットヘッドは、ヘッドの構造を小型化することができるし、ダイアフラム駆動体の静電力を大きくして少ない電圧でも大きい変位を得ることができてインク排出圧力が増加される。 （もっと読む）

【課題】異物によるノズル詰まり等の吐出不良を確実に防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】流路形成基板の一方面側に振動板を介して圧電素子を形成し連通部となる領域の振動板を除去して貫通孔を形成する工程と、ニッケルクロムの密着層と金属層とで構成されるリード電極を形成し密着層と金属層とからなるがリード電極と不連続の不連続金属層を貫通孔に対応する領域に形成する工程と、リザーバ形成基板を流路形成基板の一方面側に接合する工程と、不連続金属層で貫通孔が封止された状態で流路形成基板をその他方面側からウェットエッチングして連通部を形成する工程と、流路形成基板をエッチングするエッチング液が不連続金属層を構成する密着層に接触して表層の変質層を除去する工程と、不連続金属層を構成する密着層及び金属層を順次ウェットエッチングで除去してリザーバ部と連通部とを連通させる工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜への電界の発生を防止して圧電素子に高い圧電特性を確保させる製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】基板１の上に下部電極層２、圧電薄膜層３および上部電極層４を形成する第一の工程と、エッチングにドライエッチングを含む第二の工程と、前記下部電極層２と上部電極層４との間に電圧を印加して圧電薄膜層３を分極処理する第三の工程と、それぞれの圧電素子に個片化処理する第四の工程とを少なくとも含む圧電素子の製造方法において、少なくともドライエッチングを行うときに下部電極層２と上部電極層４とを短絡保持する。 （もっと読む）

【課題】長尺インクジェット記録ヘッドを量産する際に、短尺のユニットの良品のみを選別して組上げることによる歩留り向上を図り、また各ユニット形状を同一とすることによる組み立て時の選別工数を削減することにより、低コスト化を図る。
【解決手段】圧電素子を形成したアクチュエータ部材（第１基板）４０と、圧電素子からのエネルギーを液体に伝える振動板３０と、振動板３０と接合され前記圧電素子の配置部位に対応した液体流路を形成する液室形成部材（第２基板）２０と、前記液体流路に連通して液滴を吐出するノズル１１が形成されたノズル板１０とを備えたインクジェットヘッドにおいて、液室形成部材２０は＜１１０＞シリコンをエッチングして形成され、同一パターンの流路ユニット２０ａ，２０ｂを複数結合して構成されている。 （もっと読む）

【課題】構成材料として無機材料を用いた場合でも、加工屑の発生を防ぎ、通常半導体プロセスで用いられる装置が使用でき、ウエハ一括処理が可能で、大量生産に適したインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】インクを吐出するための複数のインク吐出圧発生素子が設けられた基板上に、シリコン系化合物からなるインク流路パターン層、金属材料からなるインク吐出口パターン層、及びノズル材層を形成し、ノズル材層にインク吐出口パターン層と連通するインク吐出口開口端部を形成した後、インク流路パターン層及びインク吐出口パターン層をウエットエッチングにより除去して、インク流路及びインク吐出口を形成する方法でインクジェット記録ヘッドを製造する。 （もっと読む）

【課題】構成材料として無機材料を用いた場合でも、加工屑の発生を防ぎ、通常半導体プロセスで用いられる装置が使用でき、ウエハ一括処理が可能で、大量生産に適したインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】インクを吐出するためのインク吐出圧発生素子が設けられた基板上に、シリコン系化合物からなるインク流路パターン層、金属材料からなるインク吐出口パターン層、及びノズル材層を形成し、インク吐出口開口端となる前記インク吐出口パターン層の一部を表面に露出させた後、インク流路パターン層及びインク吐出口パターン層をウエットエッチングにより除去して、インク流路及びインク吐出口を形成する方法でインクジェット記録ヘッドを製造する。 （もっと読む）

【課題】圧電方式のインクジェットプリントヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】二つの単結晶シリコン基板上に具現され、上部基板には、インクインレットが貫通形成され、上部基板の底面には、インクインレットと連結されるマニホールドと、その少なくとも一側に配列される複数の圧力チャンバとが形成され、下部基板の上面には、マニホールドと複数の圧力チャンバとのそれぞれの一端部を連結する複数のリストリクタが形成され、下部基板には、複数の圧力チャンバのそれぞれの他端部に対応する位置に複数のノズルが垂直に貫通形成され、上部基板上には、複数の圧力チャンバのそれぞれにインクの吐出のための駆動力を提供する圧電アクチュエータが形成され、下部基板上に上部基板が積層されて互いに接合されることにより、インクインレットとマニホールドとで形成された共通流路とリストリクタ、圧力チャンバ及びノズルからなる個別流路とが形成される。 （もっと読む）

【課題】 複雑な工程を経ることなく、所望のギャップの距離を得るアクチュエータ、静
電アクチュエータ及び液滴吐出ヘッド並びに製造方法を得る。
【解決手段】 駆動部となる電極８を有する電極基板２と、電極８による静電引力が
加わると変位する振動板４を有するキャビティ基板１と、電極基板２とキャビティ基板１
との間に、振動板４を変位させるための所望の厚さを有する空間を形成するためのスペー
サ９とを備えている。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の破壊を長期間に亘って確実に防止することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するノズル開口にそれぞれ連通する圧力発生室が形成される流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に振動板を介して設けられる下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０からなる圧電素子３００と、上電極８０から圧力発生室１２の周壁上に延設される第１のリード電極９０とを少なくとも有すると共に、圧電素子３００と第１のリード電極９０との間に無機絶縁材料からなる第１の絶縁膜１００が設けられ、少なくとも圧電素子３００及び第１のリード電極９０のパターン領域が第１のリード電極９０の他端部に設けられる端子部を除いて無機絶縁材料からなる第２の絶縁膜１１０によって覆われているようにする。 （もっと読む）

【課題】 ノズルピッチを小さくしても、駆動回路部（ドライバＩＣ）と駆動素子（圧電素子）とを接続する際の作業性を低下させることなく接続作業を行うことができ、優れた信頼性を有し、かつ歩留まりよく製造できる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 本発明の液滴吐出ヘッドは液滴を吐出するノズル開口１５に連通する圧力発生室１２と、該圧力発生室１２の外側に配設されて該圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧電素子３００と、該圧電素子３００を挟んで前記圧力発生室１２と反対側に設けられたリザーバ形成基板２０とを備え、前記リザーバ形成基板２０上に前記圧電素子３００に電気信号を供給する駆動回路部２００Ａが設けられており、前記駆動回路部２００Ａと前記圧電素子３００の上電極膜８０とを電気的に接続するための導電部材３６が、前記リザーバ形成基板２０を厚さ方向に貫通する接続孔２０ａ内に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 良好な圧電特性を得ることができる圧電素子を提供する。
【解決手段】 本発明に係る圧電素子１０は，
基板１と、
基板１の上方に形成された第１導電層４と、
第１導電層４の上方に形成された、ペロブスカイト構造を有する圧電体からなる圧電体層５と、
圧電体層５に電気的に接続された第２導電層６と、を含み、
第１導電層４は、（００１）に優先配向しているニッケル酸ランタンからなる導電性酸化層４２を含み、
ニッケル酸ランタンは，酸素が欠損している。 （もっと読む）

【課題】 共通インク室と各圧力室とを繋ぐ流路に設ける流量規制用の絞り部を、高精度で且つ安定的に製造する。
【解決手段】 共通インク室７と圧力室３６とを接続する接続流路は、キャビティユニット１の第１のプレート１５に、凹状の溝部４０として形成され、溝部４０の開放面は、第１のプレート１５の一方の面に隣接した第２のプレート１６によって覆われている。溝部４０の他端４０ｂは第２のプレート１６の接続孔３８を介して圧力室３６に接続され、溝部４０の一端４０ａは、第１のプレート１５に貫通形成された開口部４１を介して共通インク室７と接続されている。溝部４０には、共通インク室７から接続流路を経て圧力室３６に至る流路中で最も大きな流路抵抗となるようにインクの流れに直交する方向の断面積を小さくした絞り部４２と、絞り部４２の一端と開口部４１の開口縁４１ａとの間に絞り部４２よりも前記方向の断面積を大きくした拡大部４３とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】 取り扱いが容易な保護治具、その保護治具の使用方法、その保護治具を用いる
ことで処理液の、駆動機構の空間部への浸入を防止することができる液滴吐出ヘッドの製
造方法、その方法で製造された液滴吐出ヘッド、その液滴吐出ヘッドを搭載した液滴吐出
装置を提供する。
【解決手段】 基板に真空吸着により取り付けられ、基板のその取付側の面を保護する保
護治具７０であって、基板の取付側の面との間に真空保持用の空間を形成するための第２
の凹部７６を有する保護治具本体７１と、基板に接触して空間の気密性を保持するための
Ｏ−リング７４とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 酸化膜からなる所定形状のマスクパターンを介してシリコン基板をウェットエッチングする際に、マスクパターンのエッチングによる膜減り量を抑制し、又はマスクパターンのエッチグレートのばらつきを低減することができるエッチング液及びその製造方法、並びに液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 酸化膜からなる所定形状のマスクパターンを介してシリコン基板をウェットエッチングする際に用いられるアルカリ性溶液を含有すると共に、Ｐｂ、Ａｌ、Ｃａ、Ｍｇ、Ｚｎ又はＳｎの少なくとも１種の金属を含有したエッチング液とする。 （もっと読む）

【課題】流体排出装置及び流体排出装置を形成する方法を提供する。
【解決手段】流体排出装置が、キャビティを有する基板、基板上に形成された対極、基板上に形成されたアクチュエータ膜、基板上に形成されたルーフ層、及びルーフ層内に形成されたノズルを含む。流体排出装置を形成する方法は、キャビティを基板内に形成し、対極を基板上に形成し、アクチュエータ膜を基板上に形成し、ルーフ層を基板上に形成し、アクチュエータ膜をルーフ層内に形成するステップを含む。 （もっと読む）

【課題】 半導体基板を含む液体吐出ヘッドを高精度に形成する。
【解決手段】 シリコン基板７に半導体を作り込み、第１の配線層を形成して一部を犠牲層とする。シリコン酸化膜（層間絶縁膜）１３を形成し、発熱抵抗体１４と第２の配線層１５を形成してヒーター３を作る。犠牲層上では第２の配線層１５を除去し発熱抵抗体１４のみを残す。保護用のシリコン窒化膜１６と耐キャビテーション用のタンタル膜１７を形成してパターニングする。この半導体基板１に樹脂基板２を積層し、犠牲層を除去し供給口５を形成する。供給口５内のメンブレン膜のシリコン酸化膜１３をウェットエッチングで除去する。発熱抵抗体１４がエッチングストッパー層となり、シリコン窒化膜１６は損傷しない。メンブレン膜の残りの部分である発熱抵抗体１４とシリコン窒化膜１６をドライエッチングで除去し、樹脂基板２に流路４と吐出口６を形成する。 （もっと読む）