【課題】 異物によるノズル詰まり等の吐出不良を確実に防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】
流路形成基板の一方面側に振動板を介して下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子を形成すると共に連通部となる領域の振動板を除去して貫通孔を形成する工程と、リード電極を形成すると共に不連続金属層を貫通孔に対応する領域の少なくとも一部に形成する工程と、リザーバ形成基板を流路形成基板の一方面側に接着層を介して固着する工程と、少なくとも不連続金属層を含む膜によって貫通孔が封止された状態で流路形成基板をその他方面側からウェットエッチングして連通部を形成する工程と、不連続金属層を構成する少なくとも金属層をウェットエッチングによって完全に除去してリザーバ部と連通部とを連通させる工程と、少なくともリザーバの内面に耐液体性を有する材料からなる液体保護膜を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【解決手段】 特にインクジェットプリントヘッド用の、樹脂（３２）の中に作られている液圧超小型回路を、攻撃性のある液体に対して保護被覆するための工程において、ａ）基板上に堆積し、液圧超小型回路（３５、３６、３７）の内側形状を画定している銅の犠牲層（２６）を備えているシリコン基板（２０）を配置する段階と、ｂ）犠牲層（２６）の外側表面上に、電気化学処理によって少なくとも１つの保護金属被覆層（３０）を堆積させる段階と、ｃ）所定の厚さを有し、犠牲層（２６）を完全に覆うのに適している非感光性のエポキシ又はポリアミド樹脂（３２）を犠牲層（２６）の上に加える段階と、ｄ）樹脂（３２）を重合させ、機械的及び熱的応力に対するその機械的強度を向上させ、更に樹脂（３２）の外側表面（３３）を、機械的なラッピングと同時に化学的処理を施して、平坦化する段階と、ｅ）犠牲層（２６）を、強酸性溶液内で化学エッチングによって取り除く段階と、ｆ）樹脂（３２）の外側表面（３３）上に、金属の保護層（３９）を真空蒸着によって堆積させる段階と、から成る工程。
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【課題】 異物によるノズル詰まり等の吐出不良を確実に防止して液滴を良好に吐出することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 流路形成基板の一方面側に振動板を介して圧電素子を形成すると共に連通部となる領域の振動板を除去して貫通孔を形成する工程と、密着層と配線金属層とからなるリード電極を形成すると共に密着層と配線金属層とからなるがリード電極とは不連続の不連続金属層によって貫通孔を封止する工程と、リザーバ形成基板を流路形成基板の一方面側に接合する工程と、流路形成基板をウェットエッチングして圧力発生室及び連通部を形成する工程と、不連続金属層をウェットエッチングによって除去してリザーバ部と連通部とを連通させる工程と、不連続金属層を構成する密着層及び配線金属層の端面を覆って封止金属層を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 低コスト化および小型化を図りつつ、複数のノズルを高密度に配することができる液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、および液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】 液滴吐出ヘッド１００は、液滴を吐出するためのヘッド部Ａ、Ｂが複数重ねられている。互いに隣接する２つのヘッド部Ａとヘッド部Ｂとは、それらの間に共通基板３０を共有しており、一方のヘッド部Ｂの電極３４が共通基板３０の一方の面に設けられているとともに、共通基板３０の他方の面により他方のヘッド部Ａの収容室７０が区画形成されている。また、互いに隣接する２つのヘッド部Ａとヘッド部Ａとは、それらの間に共通基板１０を共有しており、一方のヘッド部Ａの電極１２が共通基板１０の一方の面に設けられているとともに、共通基板１０の他方の面に他方のヘッド部Ａの電極１２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 要求式液滴インクジェットプリンタを提供する。
【解決手段】 この液滴インクジェットプリンタは、夫々の噴出ノズル（１６）を有するインク噴出室（１２）を規定する受動部品と、開口部および開口部内に位置決めされたアクチュエータ構造体（８）を備えたボディ（２）とを有している。アクチュエータ構造体はスラリーからの成形または、燃焼除去される型を使用した可撓性シートの真空形成により圧電性材料で形成されている。一連のマスク使用の付着、エッチングおよび同様な処理工程を使用して前記構造体をシリコンウェファーに構成するのに、ＭＥＮ技術が用いられてもよい。
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【課題】シリコンウエハ等の基板からの、加圧液室形成部材の取れ数を多くして、液滴吐出ヘッドの小型化・高密度化・低コスト化を実現するとともに、この液滴吐出ヘッドの高信頼性を維持する。
【解決手段】複数のノズル孔１０２が形成されたノズル板１０１と、ノズル孔に連通する加圧液室が形成された板状の加圧液室形成部材１０３と、加圧液室内の液体（インク）に適宜の力を付与し、該液体を加圧液室形成部材に形成された液体供給口（インク供給口）１１４を介してノズル孔から液滴（インク液滴）として吐出するためのアクチュエータとを備えてなる液滴吐出ヘッドであって、液体供給口１１４を、加圧液室形成部材の前記液体に接触する外周壁面５０２に形成する。 （もっと読む）

【課題】振動板と個別電極間に介在するギャップが小さい狭ギャップの静電アクチュエータにおいて、ギャップの形成時にエッチストップすることなく犠牲層がエッチングできる構造を提供する。
【解決手段】静電型アクチュエータにおいて、振動板からなる振動板電極３０と、個別電極３ａとの間に介在するギャップ１０を犠牲層エッチング技術を用いて形成する。個別電極３ａには段差を設けることにより溝３ｂが形成されており、電極間のギャップ１０が狭くて犠牲層エッチングがされにくい部位にエッチャントを導く溝３ｂによって、エッチストップやエッチング残が発生しない。 （もっと読む）

【課題】
インクが流れる孔を小さく、精度良く形成し、且つ耐食性を有するフィルタ部を備えたインクジェットプリントヘッドおよびインクジェットプリンタを提供する。
【解決手段】
インクを蓄える加圧室と、該加圧室にフィルタ部を通してインクを供給する手段と、前記加圧室からオリフィスを通してインク液滴を噴射する手段とを備えたインクジェットヘッドにおいて、前記フィルタ部と前記振動板が同一部材からなり、かつ、前記フィルタ部の隣接するフィルタ孔の中心間距離が等しく、フィルタ部厚さが前記フィルタ孔の最小距離の３倍以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 微細構造を高精度で形成することができるシリコン構造体製造方法、モールド金型製造方法、シリコン構造体、インクジェット記録ヘッド、画像形成装置、及び、半導体装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 パターンニングされた酸化膜１１４が形成されたシリコン基板にトレンチエッチングを行い、壁部１２２で区画された溝１１８を形成する。更に、酸化膜１１４を除去する。更に、壁部１２２の上部に形成されているバリ１２１を全面にドライエッチングにすることにより除去する。 （もっと読む）

【課題】 ノズル周辺に付着したインクや異物を容易に除去できると共に、ノズルプレートと段差を形成する保護プレートとを高精度な位置調整を必要せずに効率よく接合できる積層ノズルプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】 （Ａ）図に示すように、板状のノズルプレート１４と保護プレート１２とを熱融着により接合し、（Ｂ）図及び（Ｃ）図に示すように、レジスト４８を形成して孔部４９にウエットエッチングによりお椀型の段差孔２２を形成する。さらに、（Ｄ）図及び（Ｅ）図に示すように、ノズルプレート１４にプールプレート１６を積層するとともに、保護プレート１２に撥水膜１８を塗布する。その後、（Ｆ）図に示すように、レーザー加工によりノズルプレート１４にノズル２０を形成する。このような製造方法では、ノズル２０を形成する前のノズルプレート１４と段差孔２２を形成する前の保護プレート１２とを熱融着により接合するので、接合時に高精度な位置調整が必要でない。 （もっと読む）

【課題】 ヒータの両側面で加熱されながらもインク供給圧を直接的に受けることなく，高効率特性を維持し，ヒータの寿命を長くすることの可能なインクジェットプリントヘッドを提供する。
【解決手段】 カートリッジ１０に貯蔵されたインクを供給する供給孔を有する基板１１０と，供給孔に連通するインクチャンバー１２４を形成する流路層と，インクチャンバー内のインクを外部に排出する少なくとも１つのノズル１２８を有するノズル板１２６と，インクチャンバー１２４の内壁に隣接して位置し，表裏面がインクチャンバー１２４内のインクに当接して配置される少なくとも１つのヒータ１１８と，ヒータ１１８に電気的に連結される少なくとも１つのリードとを備えることにより，ヒータ１１８の両面がインクに接触して加熱され，熱效率を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】安定した流体噴射特性を確実に得られるようにすべく、壁体形成の際の形状ばらつきを小さく抑えることのできる機能素子を提供する。
【解決手段】中空構造部分１５を形成するための開口１８と、その開口１８を封止する封止膜１９と、その封止膜１２上に形成される壁体２３とを具備し、前記封止膜１９が上面部１９ａと傾斜を有した側壁部１９ｂとを備えてなる機能素子において、前記壁体２３の両側面の間の幅が、前記上面部１９ａの形成幅よりも狭く、または前記上面部１９ａと前記側壁部１９ｂとを含む前記封止膜１９の最大形成幅よりも所定値以上広くなるように、当該壁体２３を形成する。 （もっと読む）

【課題】 プリントヘッド部品内にブランクマイクロホールおよびチャネルなどの特徴部を形成するのに特に適した方法およびシステムを提供する。
【解決手段】 プリントヘッド基材層を除去するために、プリントヘッド基材のターゲットゾーンにわたってフェムト秒レーザビームパルスが走査される。所望の特徴部深さに対応するプリントヘッド基材の深さがターゲットゾーンから除去されるまで、走査が繰り返される。プリントヘッド基材の除去された部分は、プリントヘッド部品内の特徴部の少なくとも一部を形成する。 （もっと読む）

【課題】 通電に応じてインクを吐出するために利用される熱エネルギを発生する発熱部を有するインクジェットヘッド用基板にあって、発熱部に対する配線抵抗の低減を図りながら基板の大型化を防ぎ、記録の高解像化等を達成するための発熱部の高密度実装を可能とする。
【解決手段】 電極配線を第１および第２電極配線層１０３，１０４で構成することで、発熱部１０２に対する配線パターンが基板上で占める面積を小さくする。また、熱効率低下を防ぐために発熱部上の実効的な保護絶縁膜の薄膜化を行うに際し、発熱部上に形成される絶縁保護膜を、電極配線の厚さに応じ、発熱抵抗層１０２または耐キャビテーション膜１１０をエッチングストッパーとして、除去する。 （もっと読む）

【課題】 異物によるノズル詰まり等の吐出不良を確実に防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】 流路形成基板上に圧電素子を形成すると共に連通部となる領域の振動板を除去して振動板除去部を形成する工程と、少なくとも振動板除去部に対向する領域を覆って絶縁膜を形成すると共に絶縁膜に貫通孔を形成する工程と、流路形成基板上に密着層を介して金属層を形成して貫通孔を封止すると共に密着層及び金属層をパターニングしてリード電極を形成する工程と、リザーバ形成基板を流路形成基板に接合する工程と、流路形成基板をウェットエッチングして連通部を形成する工程と、貫通孔に対応する領域の密着層及び金属層をウェットエッチングにより除去する工程と、庇部をドライエッチングにより除去してリザーバを形成する工程と、リザーバを含む流路の内面に保護膜を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】２層構造の微細構造を２種のポジ型レジストで生成する場合に、少なくとも下層における熱架橋処理が不要な微細構造の形成方法、およびこの微細構造の形成方法を利用した液体吐出ヘッドとその製造方法を提供する。
【解決手段】ヒータを形成した基板上に下層としての第１のポジ型レジスト層（ＰＭＩＰＫ）を形成し、その上に上層としての第２のポジ型レジスト層（ＰＭＭＡ系共重合体）を形成し、第２のポジ型レジスト層が分解反応する波長域の電離放射線にて上層のポジ型レジスト層１３を露光、現像して所定のパターンを形成し、更に、第１のポジ型レジスト層が分解反応する波長域の電離放射線にて下層のポジ型レジスト層１２を露光、現像して所定のパターンとして微細構造を得る。この方法を用いた液体吐出ヘッドの製造方法と、その方法で製造された液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】 異物によるノズル詰まり等の吐出不良を確実に防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電素子を形成すると共に連通部となる領域の振動板を除去して貫通孔を形成する工程と、密着層及び金属層で貫通孔を封止すると共に圧電素子に対応する領域の密着層及び金属層をパターニングして圧電素子から引き出されるリード電極を形成する工程と、リザーバ形成基板を流路形成基板の一方面側に接着剤によって接着する工程と、流路形成基板を他方面側から振動板及び密着層が露出するまでウェットエッチングして圧力発生室及び連通部を形成する工程と、連通部に対応する領域の密着層をウェットエッチングにより除去する工程と、圧力発生室及び連通部の内面に耐液体性を有する材料からなる保護膜を形成する工程と、連通部側からウェットエッチングすることによって金属層を除去しリザーバ部と連通部とを連通させる工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 ノズルの高密度化と、それに伴う微細ピッチ配線の形成を実現可能にして高解像度化が図れるようにした液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を得る。
【解決手段】 インクジェット記録ヘッド３２は、インクプール室３８が、振動板４８（圧電素子４６）を間に置いて圧力室５０の反対側（上側）に設けられている。換言すれば、インクプール室３８と圧力室５０の間に振動板４８（圧電素子４６）が配置され、インクプール室３８と圧力室５０が同一水平面上に存在しないように構成されている。このように、インクプール室３８と圧力室５０が同一水平面上に存在しないようにすることで、圧力室５０を互いに近接して配設することができるので、圧力室５０毎に設けられるノズル５６を高密度に配設することができる。 （もっと読む）

【課題】流路への異物の侵入を防止し，流体抵抗の増加を最大限に抑制できるフィルタリングピラーを備えたインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドは，基板上に配置され，インク吐出のための圧力を提供する複数の圧力発生要素と，基板を貫通するインク供給口２６と，圧力発生要素とインク供給口との間に配置され，インク供給口の両側に基板の圧力発生要素が設けられた面から所定の深さで凹設されるマニホールド１４'と，このマニホールドの底面上にフィルタの役割を果たすフィルタ開放部を複数形成するように，基板と一体に形成される複数のフィルタリングピラー１６と，基板上に配置され，圧力発生要素を各々その内部に含むインクチャンバー２８と，インクチャンバーをマニホールド方向に開放させるインクチャネル３０と，インクチャンバーと連通するノズルとを含む流路を限定する流路構造物とを備える。 （もっと読む）

【課題】各インクチャネルの駆動電極から引き出された接続配線と配線基板の駆動配線との電気的接続が簡単に行えると共に、複数列のインクチャネルを構成してノズルの高密度化を図ることも容易なインクジェットヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電素子からなる駆動壁13A,13Bとインクチャネル14A,14Bとが交互に並設されると共に前面及び後面にそれぞれインクチャネル14A,14Bの出口142A,142Bと入口141A,141Bとが配設されてなるヘッドチップ1A,1Bの後面に、前記駆動壁13A,13Bに設けられた各駆動電極と各々電気的に接続する接続配線を引き出し、前記ヘッドチップ1A,1Bの後面に、前記各接続配線に対応するピッチで駆動回路と電気的に接続する駆動配線31A,31Bと前記インクチャネル14A,14Bの入口141A,141Bに対応する位置に貫通するインク連通口32A,32Bとを形成してなる配線基板3を接合することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 （もっと読む）