【課題】液体噴射記録ヘッド用基体に形成される保護層などの層において、その層が薄い場合であっても、被覆性や層質の低下を抑え、パーティクルの影響を回避し、長期間良好な吐出特性を得ることのできる基体およびその製造方法を提供する。長期間良好な吐出性能を示す液体噴射記録ヘッドを提供する。
【解決手段】吐出口から液滴を吐出する液体噴射記録ヘッドに用いられる基体８であって、支持体１と、前記支持体１上に形成された熱エネルギーを発生するための発熱抵抗体２ａと、前記発熱抵抗体２ａに導通するように前記支持体１上に形成される一対の電極と、前記一対の電極および前記発熱抵抗体２ａを覆う保護層４とを備え、前記保護層４が、ＥＣＲスパッタ層よりなることを特徴とする液体噴射記録ヘッド用基体８。この基体の製造方法。上記液体噴射記録ヘッド用基体８を有する液体噴射記録ヘッド。 （もっと読む）

【課題】液体噴射記録ヘッド用基体に形成される蓄熱層などの層において、その層が薄い場合であっても、被覆性や層質の低下を抑え、パーティクルの影響を回避し、長期間良好な吐出特性を得ることのできる基体及びその製造方法を提供する。長期間良好な吐出特性を示す液体噴射記録ヘッドを提供する。
【解決手段】吐出口から液滴を吐出する液体噴射記録ヘッドに用いられる基体であって、支持体１と、前記支持体１上に形成された蓄熱層１ｂと、熱エネルギーを発生するための発熱抵抗体２ａと、前記発熱抵抗体２ａに導通するように前記支持体１上に形成される一対の電極と、前記一対の電極および前記発熱抵抗体２ａを覆う保護層４とを備え、前記蓄熱層１ｂが、ＥＣＲスパッタ層よりなることを特徴とする液体噴射記録ヘッド用基体８。この基体の製造方法。上記液体噴射記録ヘッド用基体８を有する液体噴射記録ヘッド。 （もっと読む）

【課題】レジスト膜のパターン異常を防止し、基板を常に高精度に加工することができる基板加工方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板３０上に塗布したレジストを露光及び現像することで所定パターンのレジスト膜１３２を形成し、このレジスト膜をマスクとして前記基板をエッチングすることにより基板を所定形状に加工する際、基板上にレジストを塗布する前に、湿度が４０％以下のヘキサメチルジシラザン（ＨＭＤＳ）１５１雰囲気中に基板を一定時間保持するＨＭＤＳ処理工程を実施する。 （もっと読む）

【課題】ノズルの高密度化を可能にし、かつノズル間の圧力干渉を防止できる液滴吐出ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】複数のノズル孔１１を有するノズル基板１と、各ノズル孔１１に連通し、室内に圧力を発生させて前記ノズル孔１１より液滴を吐出する複数の独立した吐出室３１を有するキャビティ基板３と、前記吐出室３１に対して共通に連通するリザーバ２３を有するリザーバ基板２とを少なくとも備えた液滴吐出ヘッドであって、前記リザーバ２３の壁の一部にダイアフラム部２５を設ける。 （もっと読む）

【課題】シリコンマスクを使用して、キャビティ基板に形成される貫通溝穴、電極取り出し口、液体取り入れ口及びＦＰＣ実装部を高密度で高精度に形成することを可能にした液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】電極基板１０と、キャビティ基板２０とを接合し積層体を形成し、キャビティ基板２０に、封止部２６ａを形成するための封止材２５を封入する貫通溝穴２６と、電極取り出し口２４と、液体取り入れ口１５と、ＦＰＣ実装部とを所定の位置に形成し、それらに対応した貫通穴を形成したシリコンマスク６０を、キャビティ基板２０の表面に装着し、シリコンマスク６０の各貫通穴に対応した部分に対して選択的にドライエッチングを行って、貫通溝穴２６、電極取り出し口２４、液体取り入れ口１５及びＦＰＣ実装部を貫通させる。 （もっと読む）

【課題】高画質化でき、安価な液滴吐出装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】液滴が吐出される複数のノズル孔と、ノズル孔に対応して設けられ液体を加圧するための加圧液室２−２と、加圧液室に液体を供給する供給路と、加圧液室に供給された液体を加圧する振動板６と、振動板に接合され、振動板を振動させる電気機械変換手段とを有する液滴吐出装置において、振動板は、加圧液室に対応した薄肉領域と、薄肉領域よりも大きな厚さの厚肉領域とを有し、薄肉領域の長手方向の長さは、加圧液室の長手方向の長さよりも大きく、更に供給路の一面は厚肉領域で形成されている。 （もっと読む）

【課題】同じ電圧をかけたときの発生圧力が高く、絶縁耐性に優れた絶縁膜を備えた静電アクチュエータ、この静電アクチュエータを適用した液滴吐出ヘッド及びその製造方法、この液滴吐出ヘッドを適用した印字性能等の高い液滴吐出装置並びに上記の静電アクチュエータを適用した駆動性能の高いデバイスを提供する。
【解決手段】振動板１２と、該振動板１２にギャップを隔てて対向する対向電極１７と、振動板１２の対向電極側の表面に形成された絶縁膜１６とを備え、絶縁膜１６は、少なくとも酸化シリコンよりも比誘電率が高い強誘電材料からなる強誘電体膜１６ａと、酸化シリコン膜１６ｂとを積層した構成とする。 （もっと読む）

【課題】インクジェット記録ヘッドにおいて、流路形成および／または吐出口形成の高精度化と、流路壁と基板との接合信頼性の確保との両方を同時に達成する。
【解決手段】基板１上に、感光性樹脂１６と２１によって、インク吐出口１１と、インク供給口１４からインク吐出口１１に連通するインク流路１５とを形成するオリフィス部材が接合されている。感光性樹脂１６は、基板１との密着性に優れた材料であり、基板１と接合した、インク流路１５の側壁となる部分を形成している。感光性樹脂２１は、インク吐出口１１を高精度に形成するのに適した材料であり、インク吐出口１１の形成部を形成している。感光性樹脂１６は感光性樹脂２１に比べてシラン材を多く含有している。 （もっと読む）

【課題】流路型材を溶出させる際に、窪み部側面と窪み部底面が付き合わされた角部に前記流路型材が溜まってしまうということがなく、容易に取り除くことができ、また、供給口形成時のエッチング保護膜の掘り込み角部でのカバレッジ性も良くなり、エッチングガスが掘り込み角部から侵入することも無くなるインクジェット記録ヘッド用基体の提供。
【解決手段】窪み部の側面の延長線と前記窪み部の底面の延長線から成る角度よりも大きい角度で、前記側面と前記底面がつながっていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド用基体。 （もっと読む）

【課題】振動板等の可動電極を当接させる際の当接電圧を低くできる静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、それらの製造方法等を得る。
【解決手段】個別電極１２と、個別電極１２と所定の距離で対向して支持され、固定電極との間で発生した静電気力により動作する、板状の可動電極となる振動板２２を備え、振動板２２の支持された振動板端部２２ｂ以外の少なくとも一部である振動板中央部２２ａを、振動板端部２２ｂよりも薄くし、個別電極１２と対向する面と反対側が段状になるように形成するものである。 （もっと読む）

【課題】精度の高い基板を効率よく作製することによってスループットの改善、高歩留まりを図った液滴吐出ヘッド等を得る。
【解決手段】ノズル基板５と、キャビティ基板３と、吐出室１２と連通して供給口１４となる部分、吐出室１２に供給するリザーバ１３となるリザーバ凹部、吐出室１２とノズル穴１６を連通させるノズル連通穴１５となる部分、吐出室１２の一部となる第２の凹部１２ｂ及びリザーバ１３に液体を供給する液体供給口１０となる部分を有するリザーバ基板４とを少なくとも備え、第１の凹部１２ａと第２の凹部１２ｂとにより吐出室１２が形成された液滴吐出ヘッド１であって、リザーバ基板４の表面から所望の深さにエッチングの進行を停止させるエッチングストップ層１８を設け、エッチングストップ層１８によってリザーバ基板４に形成する被エッチング領域の深さを均一にするようにした。 （もっと読む）

【課題】キャビティユニットの連通孔から圧力室に、インクが略直角に屈曲しながら流入するように構成されているものにおいて、この屈曲部分に溜まる気泡の除去を容易且つ確実に行う。
【解決手段】アクチュエータ２１で覆われる圧力室２４は連通孔２８と接続する一端２４ａからノズル２３と接続する他端２４ｂへ向けインクを流すように形成され、且つ連通孔２８は圧力室２４の一端に対して圧力室２４でのインクの流れ方向と略直角方向に開口形成されている。連通孔２８の中心軸線Ｏと略直角な断面積は、圧力室２４の一端２４ａに向かい且つその圧力室２４でのインク流れ方向に順次大きくなっている。 （もっと読む）

【課題】複数の深さの異なる凹部が高い寸法精度で形成された凹部付き基板を製造する凹部付き基板の製造方法、および、かかる製造方法により製造された凹部付き基板を提供すること。
【解決手段】凹部付き基板１０は、基板１の上面に、開口部３１と他の部分より厚さが薄い薄肉部３２とを有するマスク３を形成し、次いでマスク３の開口部３１から露出する基板１を、ドライエッチング法により除去して、第１の凹部１１を形成し、この際、基板１の一方の面側に形成された被膜５に対して紫外線を照射することにより、被膜５を分解した後、ウェットエッチング法により、マスク３を、その厚さ方向にほぼ均一に除去して、薄肉部３２直下の基板１を露出させ、残存するマスク３から露出する基板１をドライエッチング法により除去して、第１の凹部１１の深さを深くするとともに第２の凹部１２を形成することにより得られる。 （もっと読む）

【課題】キャビティユニットの連通孔から圧力室に、インクが略直角に屈曲しながら流入するように構成されているものにおいて、この屈曲部分に溜まる気泡の除去を容易且つ確実に行う。
【解決手段】アクチュエータ２１で覆われる圧力室２４は連通孔２８と接続する一端２４ａからノズル２３と接続する他端２４ｂへ向けインクを流すように形成され、且つ連通孔２８は圧力室２４の一端に対して圧力室２４でのインクの流れ方向と略直角方向に開口形成されている。圧力室２４におけるインクの流れに略直角な断面のうち、圧力室の一端２４ａの断面は、連通孔２８の中心軸線Ｏ方向の深さがそれと略直角方向の幅よりも小さい扁平に形成され、連通孔２８における圧力室２４の一端２４ａに開口する端部２８ｄは、中心軸線Ｏと略直角方向の寸法の１つを圧力室２４の深さと略等しくなるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】サンドブラスト法等の掘削加工により発生する粉体の影響を除去し、歩留まりが高く、よい吐出性能を維持することができる電極基板等の製造方法を得る。
【解決手段】電極基板１０となるガラス基板上に電極１５を形成する工程と、ガラス基板の所定の位置を掘削加工する工程と、電極１５が形成された面にドライフィルム、レジスト等の保護膜を形成する工程と、少なくとも掘削加工された部分に対してウェットエッチングを行う工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】吐出室の隔壁の剛性を高めて、クロストークの発生を抑制するとともに、電極取り出し部などのように広い面積を有する部分の強度を上げるようにすることにより、基板加工中の割れを防ぎ、歩留まりを向上させることができる液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】予め個別電極が形成された電極基板２にシリコン基板１００を接合し、その後シリコン基板を薄板化して吐出室を含む複数の凹部を形成する液滴吐出ヘッドの製造方法において、電極基板２に接合前のシリコン基板１００に対して、不純物の拡散定数がシリコンよりも低いＳｉＯ₂膜１０１ａ、ｂをシリコン基板の表面に形成し、シリコン基板の電極基板との接合面側において、一部の凹部に対応するＳｉＯ₂膜の部分に開口部２６ａを形成し、ＳｉＯ₂膜および開口部を通してシリコン基板の接合面側にボロン拡散層１０２ａ、ｂを形成する。 （もっと読む）

【課題】異物の発生を防止した基板の処理方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】厚さ方向に貫通する貫通孔３５が形成された基板１３０の全面に亘って金属層１２４を形成後、前記基板１３０の一方面に、前記貫通孔３５に相対向する領域に当該貫通孔３５に連通する露出孔２０１が形成された保護シート２００を貼付した状態で、前記基板１３０の前記他方面及び前記貫通孔３５内の前記金属層１２４をウェットエッチングにより除去する。 （もっと読む）

【課題】エッチングによって作製される振動板のエッチング面状における凸状エッチング残りの発生を防止することで吐出特性を安定させた液体噴射ヘッドの製造方法、及び、その液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置を提供する。
【解決手段】Ｓｉ基板の一方の面に高濃度ボロンドープ層が形成され、その面とは反対の他方の面から前記Ｓｉ基板の途中まで、濃度を３０ｗｔ％以下に調整したエッチング液でエッチングする第１のエッチング工程を行い、その後、前記第１のエッチング工程でエッチングしたところから前記高濃度ボロンドープ層に到達するまで前記第１のエッチング工程で用いたエッチング液より濃度の低いエッチング液でエッチングをする第２のエッチング工程を行うことで、流路形成基板の圧力室と、振動板を形成する。 （もっと読む）

【課題】異物の発生を防止した基板の処理方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】一方面に開口する開口部３６と、該開口部３６に連通して他方面に開口すると共に当該開口部３６よりも開口面積の小さな連通孔３７とで構成される貫通孔３５Ａが形成された基板１３０に、一端が前記開口部３６に開口すると共に他端が前記基板１３０の前記他方面に開口する補助孔３９を形成した後、前記基板１３０の全面に亘って金属層１２４を形成し、前記基板１３０の前記一方面に保護シート２００を貼付して前記開口部３６を封止した状態で、前記基板１３０の前記他方面及び前記貫通孔３５内の前記金属層１２４をウェットエッチングにより除去する。 （もっと読む）

【課題】吐出室を高密度化しても流路抵抗が高くなるのを抑えて、液滴の吐出性能を確保することができる液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びにこの液滴吐出ヘッドを備えた印字性能等の高い液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズル基板５とリザーバ基板４とキャビティ基板３と電極基板２とを接合した４層構造にし、リザーバ専用のリザーバ基板４を設ける。リザーバ基板４には、キャビティ基板３に設けた第１キャビティ１２に液滴を供給するリザーバ１３となるリザーバ用凹部１３ａと、リザーバ１３内の液滴を第１キャビティ１２に供給する供給口用凹部とを同一面側に形成し、また、第１キャビティからノズル孔１７へ液滴を移送するノズル連通孔１６を貫通形成した構造とする。 （もっと読む）