【課題】静電アクチュエータにおける絶縁膜をＨｉｇｈ−Ｋ材により構成する場合において、接合強度の低下を防ぎ、かつ絶縁耐圧の低下がなく、さらに駆動耐久性に優れた静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド及びそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】液滴を吐出する単一または複数のノズル孔１１を有するノズル基板１と、ノズル基板との間で、ノズル孔のそれぞれに連通する吐出室２１となる凹部が形成されたキャビティ基板２と、吐出室の底部にて構成される振動板６に所定のギャップを介して対向配置される個別電極５が形成された電極基板３とを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、個別電極５の対向面に形成された第１の絶縁膜７と、振動板６の対向面に形成された第２の絶縁膜８とを備え、前記第１及び第２の絶縁膜の一方または両方を酸化シリコンよりも比誘電率が高い誘電材料により構成する。 （もっと読む）

【課題】加圧具により接合基板を流路形成基板に向けて加圧する工程で、接合基板を保護することが可能な液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】例えば、記録用紙６００などの媒体に対して吐出する液体を収容するための流路形成基板１０と、流路形成基板１０内の液体を吐出するための圧電素子３００と、流路形成部に対して接合される接合基板３０と、を有し、接合基板３０は加圧具４００により流路形成基板１０に加圧され接着されるインクジェット式記録ヘッド５１０の製造方法であって、加圧具４００により接合基板４００を流路形成基板１０に向け加圧する前に、接合基板３０における加圧具４００との接触部に保護フィルム２００を形成する保護部材形成工程と、加圧具４００により接合基板３０を流路形成基板１０に向けて加圧する加圧工程と、加圧工程後に保護フィルム２００を剥離する剥離工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】基板へのエッチング残りを確実に防止することができる金属積層体の形成方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に第１金属層を形成した後、基板の一部に対向する領域の第１金属層上に第２金属層を形成し、第２金属層で覆われていない第１金属層をウェットエッチングにより除去する第１エッチング処理を行うと共に第２金属層上に形成される所定形状のレジスト膜を介して第２金属層をウェットエッチングにより除去する第２エッチング処理を行った後、第２金属層によって覆われていない第１金属層をウェットエッチングにより除去する第３エッチング処理を行って基板上に金属積層体を形成する。 （もっと読む）

【課題】ウェットエッチングによって高精度でチャンバを加工することを課題とする。
【解決手段】圧力室を２段階に分けて形成することで、ガラス基板７２を支持する段部７２Ｂの精度を維持すれば、溝部７２Ａを高精度に形成する必要がない。したがって、低コストのウェットエッチング等により、圧力室を形成できる。また、溝部７２Ａと段部７２Ｂにポリシリコン７６を埋め込んでから、ガラス基板７２を成膜することで、振動板４８を高精度且つ低コストで形成できる。 （もっと読む）

【課題】圧力発生室等の流路をエッチングにより高精度に形成することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】フォトリソグラフィ法により流路形成基板用ウェハ１１０に形成された保護膜５１を所定形状にパターニングする工程の前に、この保護膜のパターニング時の流路形成基板用ウェハ１１０の反り状態に基づいて選択した材料からなり圧縮又は引張りの応力を有する矯正膜を保護基板用ウェハ１３０の流路形成基板用ウェハ１１０との接合面とは反対側の面に形成する工程を設ける。 （もっと読む）

【課題】静電アクチュエータの駆動遅れを生じることなく駆動耐久性を向上させること。
【解決手段】静電アクチュエータを有するインクジェットヘッド１０において、弾性変形可能な一方の対向部材である振動板２２と、この振動板２２に絶縁膜２６および一定の間隙（ギャップ）Ｇを介して対向配置された他方の対向部材である個別電極３１と、これら個別電極３１と振動板２２との間に駆動電圧を印加し静電気力を発生させる駆動制御回路（駆動手段）４とを備え、振動板２２の下面に形成された絶縁膜２６の表面に、疎水基構造の異なる複数の処理剤を用いて、シロキサン結合で結合された一次表面処理膜及び二次表面処理膜からなる疎水性膜２９を形成する。 （もっと読む）

【課題】超極小液滴のインクを吐出する吐出口を高密度に配列したインクジェット記録ヘッドを、精度よく、低廉に得るインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】インクを吐出するためのエネルギー発生素子２、及び、該エネルギー発生素子２にインクを供給するための供給口１３を有する基板１と、該基板１上に形成され、インクを吐出するための吐出口１１、及び、該吐出口１１と前記供給口１３とを連通する流路を形成するための流路形成部材とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法であって、前記基板１上に流路形成部材の一部となる流路の側壁９ａを成形する工程と、流路の側壁９ａ上に、流路形成部材の一部となる層を貼り合わせる工程と、該層に吐出口１１を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】所望の凹部を高精度に形成することができるシリコン基板の加工方法及びノズルプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】第１のパターンを有する保護膜３０１ａをシリコン基板３００上に形成し、その保護膜３０１ａをマスクとして前記シリコン基板３００をドライエッチングする第１エッチング工程と、第１エッチング工程後に保護膜３０１ａの少なくとも一部を除去して第２のパターンを有する保護膜３０１ｂとする保護膜除去工程と、前記第２のパターンを有する保護膜３０１ｂをマスクとして前記シリコン基板３００をドライエッチングする第２エッチング工程により、前記シリコン基板３００に深さが異なる凹部３５０を形成するシリコン基板の加工方法であって、前記第１エッチング工程と第２エッチング工程との間に、少なくとも前記第１エッチング工程でエッチングした領域を酸とアルカリとの混合液で洗浄する洗浄工程を有する。 （もっと読む）

【課題】エッチング時に発生するガスによる表面置換性の低下を防ぎ、エッチングムラをなくし、ウエハを均一にエッチングすることができるエッチング方法、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係るエッチング方法は、エッチング液６１によってウエハ６０の表面をエッチングするエッチング方法であって、エッチング液６１を貯えるエッチング処理槽６２内に、エッチング液６１の液面に対してウエハ６０の被エッチング面が水平となるように配置し、ウエハ６０を水平方向に所定の周期で揺動することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】歩留まり低下を防止できる液滴吐出ヘッドの製造技術を提案する。
【解決手段】電極基板２と接合される前のシリコン基板１の電極基板２との接合面のうち、電極取出し口２５となる部分及び封止用貫通穴２７となる部分と平面的に見て重なる領域に、ボロンを選択的に拡散して選択拡散領域２８を形成し、その後さらにシリコン基板１のボロンが拡散された側の全面にボロンを拡散するようにし、そして選択拡散領域２８が形成されたシリコン基板１を陽極接合工程で電極基板２と接合することにより選択拡散領域２８の輪郭部分に残存形成される溝部２９を封止し、溝部２９を介してギャップＧが大気に連通するのを防止する。 （もっと読む）

【課題】電極取出し口などのように大きな面積にわたって薄膜が形成される部分の加工方法を改善し、薄膜割れに起因する歩留まり低下を防止できる、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板２ａとＳｉ基板１ａの振動板９とをギャップを介して接合する工程と、ギャップを形成する空間部１０のうち、少なくとも電極端子１３と対応する部分に樹脂５１ａを充填する工程と、ガラス基板２ａと接合されたＳｉ基板１ａにおいて、電極取り出し口となる部分をウェットエッチングにより薄膜化する工程と、ウェットエッチングの終了後、Ｓｉ基板１ａの電極取出し口となる部分に残った薄膜部１３ｃと、薄膜部１３ｃに対応する部分に充填された樹脂とをドライエッチングで除去する工程と有する。 （もっと読む）

【課題】ヘッドの破壊を防止して信頼性及びコストを低減した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する複数の圧力発生室１２を有する液体流路が隔壁１１に区画されて設けられた流路形成基板１０と、該流路形成基板１０の一方面側に振動板を介して設けられた圧電素子３００と、前記流路形成基板１０の前記圧電素子３００側の面に延設された振動板の一部を介して接着剤３５によって接合された保護基板３０とを具備し、前記流路形成基板１０と前記保護基板３０との接合領域に、引き出し配線９０と、前記液体流路が並設された領域の前記液体流路に相対向する領域まで延設された前記振動板の一部に相対向する領域以外の領域に設けられて前記引き出し配線９０との接合領域の段差を軽減する調整層９１とを設ける。 （もっと読む）

【課題】ヘッドの破壊を防止して信頼性及びコストを低減した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２を有する液体流路が設けられた流路形成基板１０と、該流路形成基板１０の一方面に設けられて前記圧力発生室１２に圧力を付与する圧力発生手段３００と、前記流路形成基板１０の前記圧力発生手段３００側に接合されて前記圧力発生手段３００を覆う圧力発生室保持部３１を有する保護基板３０とを具備し、前記流路形成基板１０上の前記保護基板３０との接合領域の少なくとも前記液体流路に相対向する領域に有機化合物からなる緩衝膜４００を設ける。 （もっと読む）

【課題】製造コストを低減した貫通方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】厚さ方向に貫通した第１貫通孔１３が形成されるシリコン単結晶基板からなるベース基板１１０の一方面に金属材料からなる隔離層１９１を形成すると共に、前記ベース基板１１０の前記一方面側に前記第１貫通孔１３が形成される領域に相対向する領域に第２貫通孔３１が形成されたシリコン単結晶基板からなる接合基板１３０を接合した後、前記ベース基板１１０の他方面に前記隔離層１９１と同一材料からなるマスクを形成すると共に該マスクの前記第１貫通孔１３に相対向する領域に開口部を形成し、前記ベース基板１１０を前記マスクを介して異方性エッチングすることにより前記第１貫通孔１３を形成した後、前記マスクと前記隔離層とを同時に除去することにより、第１貫通孔１３と第２貫通孔３１とを貫通する。 （もっと読む）

【課題】部材の剛性を確保することで、他の部材との接合時に位置ずれを起こしにくくして、高精度の液滴吐出ヘッドを製造することを課題とする。
【解決手段】圧力室が形成されるシリコン基板７２に、圧力室の一部として凹部７２Ａを形成する。つまり、シリコン基板７２の圧力室となる部分に、開口部を形成せずに、シリコン基板７２の肉を残すように凹部７２Ａを形成する。これにより、シリコン基板７２の剛性を確保した状態で、シリコン基板７２にシリコン基板７８を接合するので、接合位置ずれが防止されて、高精度にシリコン基板７２とシリコン基板７８を接合できる。 （もっと読む）

【課題】生産性向上及び信頼性向上を図ることが可能な液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】電極ガラス基板とシリコン基板２００とが接合された接合済み基板のうちのシリコン基板２００に、少なくとも吐出室となる凹部を形成するとともに、封止部３０に対応する部分と端子部３１ｂに対応する電極取出し口部２９とを貫通形成する工程と、個別電極と振動板２２との間のギャップを大気と遮断するために封止する封止工程とを有し、封止工程は、封止部３０及び電極取り出し口部２９にそれぞれ対応する部分が開口した第１マスク基板をシリコン基板２００に密着させる工程と、端子部３１ｂの表面に保護部材４１を密着させて端子部３１ｂを保護する工程と、第１マスク基板の封止部３０に対応する部分の開口を介して、封止部３０に封止材を成膜して封止する工程とから構成する。 （もっと読む）

【課題】 ｛１００｝結晶方位のシリコン基板を用い、結晶異方性エッチングによる高精度のインク供給口を有しながら裏面の開口幅が小さく、ヘッドの小型化を図る。
【解決手段】 ｛１００｝結晶面シリコン基板において、基板表面に垂直な断面の形状が互いに逆傾斜の｛１１１｝結晶面２組から成る壁面を有するインク供給口が形成されていることを特徴とするインクを吐出する複数の吐出圧力発生素子を備えるインクジェット記録ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】圧力室を高精度に形成し、ノズルから噴射される液滴の量や方向性を適切に制御する。
【解決手段】流路基板７０に犠牲層２００を形成し、その犠牲層２００の反対側から犠牲層２００の内側領域にエッチングにより圧力室５０を形成する。そして、犠牲層２００を除去することにより、圧力室５０の壁部５０Ａと振動板４８とが接触する領域に、犠牲層２００の外形に沿った凹状部５０Ｂを形成する。この凹状部５０Ｂによって、圧力室５０の壁部５０Ａと振動板４８とが接する領域が周囲に拡大し、振動板４８に接する圧力室５０の開口寸法を高精度に形成することができる。このため、振動板４８の変位量が適切に制御される。 （もっと読む）

【課題】上部電極を均一な形状に制御でき、上部電極と下部電極との間の短絡を防止できるインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法を提供する。
【解決手段】振動板１２０の上部に形成されて複数の圧力チャンバー１１３それぞれにインクの吐出のための駆動力を提供するインクジェットヘッドの圧電アクチュエータの形成方法において、振動板上に下部電極１４１を形成するステップと、下部電極上に複数の圧力チャンバーそれぞれに対応する位置に圧電膜１４２を形成するステップと、下部電極と圧電膜とを覆う保護膜１５０を形成するステップと、保護膜と圧電膜との厚さを減少させつつ圧電膜の上面を露出させるステップと、圧電膜の上面に上部電極１４３を形成するステップと、保護膜を除去するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】ボロン拡散層を用いずに、振動板の厚み精度の向上を図るとともに、絶縁膜の絶縁耐圧の低下を抑制すること。
【解決手段】液滴を吐出する単一または複数のノズル孔１１を有するノズル基板１と、ノズル基板１との間で、ノズル孔１１のそれぞれに連通する吐出室２１となる凹部が形成されたキャビティ基板２と、吐出室２１の底部にて構成される振動板８に所定のギャップを介して対向配置される個別電極５が形成された電極基板３とを備えた液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板８を、キャビティ基板２が電極基板３と接合される接合面に形成された絶縁膜６と、この絶縁膜６上でキャビティ基板２の表面全面に形成された導電膜７とから構成する。 （もっと読む）