【課題】ばらつきの少ない、寸法精度の高いオリフィスプレートが作製でき、これを用いて吐出安定性の良好な液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴を吐出させるための複数のノズル１０３と、該ノズル１０３の各々と連通する複数の連通部と、を有し、複数の個別液室と連通する共通液室１０５と、前記個別液室と前記共通液室１０５とを繋ぐ複数の供給口と、の少なくとも一方を更に有する液体吐出ヘッドに用いられるオリフィスプレート１０６であって、該オリフィスプレート１０６は、第１及び第２のＳｉ層間にＳｉＯ₂層１０１を有するＳＯＩ基板からなり、前記ノズル１０３は、前記ＳＯＩ基板における第１のＳｉ層１００に層厚方向に形成され、前記共通液室１０５と前記供給口の少なくとも一方と、前記連通部とは、前記第２のＳｉ層１０２に層厚方向に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ノズル圧電素子ギャップを精密に制御して印字の安定性をより向上し高密度記録を行うことができる、ホットメルトインクを用いたインクジェットなどに用いる液滴噴射装置の製造方法、液滴噴射装置を提供する。
【解決手段】複数のノズル開孔１０を有するノズル形成部材１と、該ノズル形成部材１と所定の間隔のノズル圧電素子ギャップ１４をもって前記ノズル開孔１０の各々と対向してインク中に設けられた複数の圧電素子を有する液滴噴射装置の製造方法であって、少なくとも、ノズル形成部材１にノズル開孔１０を形成する工程、ノズル形成部材１上に犠牲層３を形成する工程、前記犠牲層３上に形成されかつノズル形成部材１上に固定端１２が接合された圧電素子を形成する工程、前記犠牲層３をエッチング除去しノズル圧電素子ギャップ１４を形成する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】製造過程における異物の発生を防止して、歩留まりを向上することができるシリコンデバイスの製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】エッチングにより所定形状に加工されたシリコン基板を有するシリコンデバイスの製造方法であって、周縁部に面取り部１１１を有するシリコンウェハ１１０にシリコンウェハよりも大径の接合基板１３０を接合する接合工程と、前記接合基板が接合された前記シリコンウェハを所定の厚さに加工する薄板化工程と、少なくとも表層に耐エッチング性を有する材料からなる耐エッチング層を有する保護膜１５０を接合基板上にシリコンウェハの面取り部を覆うように形成する保護膜形成工程と、シリコンウェハをエッチングして所定形状に加工するエッチング工程と、前記シリコンウェハを複数の前記シリコン基板に分割する分割工程とを有するようにする。 （もっと読む）

【課題】異物による目詰まり確実に防止することができ、歩留まり及び信頼性を向上した液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】振動板５０に貫通部５１を形成し、貫通部５１に相対向する領域に凹部を形成する工程と、流路形成基板上に貫通部５１を封止する隔離層１９０を形成して連通部１３側に突出した突出部１９１を形成する工程と、リザーバ形成基板１３０を流路形成基板に接合する工程と、流路形成基板をウェットエッチングすることにより圧力発生室及び連通部１３を形成すると共に突出部１９１を露出させる工程と、流路形成基板の内面及び隔離層１９０の連通部１３側の面上に保護膜１６を形成する工程と、隔離層１９０上の保護膜１６を除去する工程と、隔離層１９０を除去することによりリザーバ部３１と連通部１３とを連通させてリザーバ１００を形成する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 ノズル板の材質が圧力室板の材質と異なっていても、使用環境の温湿度等の変化に因る反りの問題を回避して、吐出性能を良好にすること。
【解決手段】
ノズル板２１は、ノズル板２１を貫通し圧力室５２に連通する複数のノズル５１と、ノズル５１の周囲に形成され、ノズル板２１を貫通し圧力室板２２を露出させている凹部３０とを有する。凹部３０は、各ノズル５１毎に囲む各閉曲線上にそれぞれ複数配置されている。または、凹部３０は、複数のノズル５１からなるノズル群毎に囲む各閉曲線上にそれぞれ複数配置されている。 （もっと読む）

【課題】ノズルの高密度化を可能にし、かつノズル間の圧力干渉を防止することができる液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法等を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド１０は、ノズル基板１と、吐出室３１を有するキャビティ基板３と、リザーバ２３となるリザーバ凹部２３ａを有するリザーバ基板２とを少なくとも備え、リザーバ基板２のノズル基板１又はキャビティ基板３とのそれぞれの接着面には形成されず、リザーバ凹部２３ａの内面全体に対して成膜により形成された樹脂薄膜１１１を有し、リザーバ凹部２３ａの底面の一部が樹脂薄膜１１１で構成されて圧力変動を緩衝するダイアフラム部１００となっている。 （もっと読む）

【課題】 ノズルのインク吐出側開口周辺部にザグリ部が形成されたノズルプレートを生産性よく高精度に製造する。
【解決手段】凸部を有する透明基板、及び前記凸部の略中央部にノズル形状に対応する開口領域が形成されるように前記透明基板の凸部側にパターニングされた不透明金属膜から成る露光用マスクを用いて、前記露光用マスクの不透明金属膜側に感光性樹脂を形成する工程と、前記露光用マスクの透明基板側から前記感光性樹脂を露光する工程と、前記感光性樹脂を現像する工程と、前記不透明金属膜上に金属層を形成する工程と、前記金属層と前記露光用マスクを分離する工程と、を含むことを特徴とするノズルプレートの製造方法を提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】異物による目詰まりを防止でき、歩留まり及び信頼性を向上した液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供。
【解決手段】振動板５０の貫通部５１側の端面をその断面が円形状となるように形成し、流路形成基板１０の連通部１３に対向する領域の一方面が、振動板の貫通部の深さ方向の間となるよう形成する工程と、振動板上に圧電素子３００を形成する工程と、リード電極９０を形成すると共に配線層１９０で貫通部を封止する工程と、リザーバ形成基板３０を流路形成基板の一方面側に接合する工程と、流路形成基板に圧力発生室１２及び連通部を形成すると共に貫通部の連通部側の一部を露出させる工程と、流路形成基板の内面及び露出された貫通部の内面に保護膜１６を形成する工程と、配線層上の保護膜を除去する工程と、配線層を除去することによりリザーバ部３１と連通部を連通させてリザーバ１００を形成する工程を具備する。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートおよびインクジェットヘッドの生産歩留まりを向上させること。
【解決手段】本発明のインクジェットヘッドを構成するノズルプレート１ａ、１ｂは、プレート１１と、プレート１１を覆う撥水膜１２とを備え、撥水膜１２に覆われたプレート１１の面は、光学的方法によって、線状の疵が検出されない状態に表面加工されている。 （もっと読む）

【課題】基板から有機フィルムを容易且つ良好に除去することができるフィルム除去方法を提供する。
【解決手段】基板３０上に接着剤１５０によって接着された有機フィルム１４０を基板から除去するフィルム除去方法であって、有機フィルム及び接着材を過酸化水素水２００に所定時間浸漬した後に、有機フィルムを基板から引き剥がすことで、有機フィルムを基板から除去する。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッドに用いられる圧電体素子の圧電体層側面および圧電体層内部の絶縁破壊の両方を簡便に防止し耐電圧を向上し、耐久性を向上させる。
【解決手段】下電極１０４と、圧電体層１０５、上電極１０６から構成される圧電体素子において、圧電体層１０５上層部に凹部が長手方向に形成され、かつ凹部内にのみ上電極１０６が形成されていることを特徴とする。また凹部を形成する際に少なくとも凹部内の平均表面粗さＲａを２０ｎｍ以下にする。 （もっと読む）

【課題】複数のヘッドが形成された積層構造体から簡単に個々のヘッドに分割することができ、電極取り出し部の後端部にシリコンの壁ができないようにした液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】振動板５及び電極取り出し部１４が形成される第１の基板１と、第１の基板と重ねられる第２の基板２とを接合し、第１の基板と第２の基板とが重なった部分に複数の分割ラインを設け、個々のヘッドに分割する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、第１の基板に対し分割ラインに沿ってレーザ光を照射することにより分割ライン上の材料を変質させ、第１の基板に対し、変質した分割ラインに沿って電極取り出し部をパターニングし、電極取り出し部の一部はエッチングしない非エッチング領域として第１の基板をウェットエッチングし、第１の基板と第２の基板を、変質した分割ラインに沿って個々のヘッドに分割し、ヘッドの分割後に非エッチング領域をエッチングする。 （もっと読む）

【課題】結晶性に優れた誘電体膜を形成することができる誘電体膜の製造方法及び圧電素子の製造方法並びに赤外線加熱装置を提供する。
【解決手段】基板１１０の一方面側に有機金属化合物のゾルを塗布して誘電体前駆体膜７１を形成する工程と、前記基板１１０の前記誘電体前駆体膜７１に相対向する領域から当該誘電体前駆体膜７１の吸収率の大きい波長領域を除外した波長領域の赤外線を照射すると共に、前記基板１１０の他方面側から赤外線を照射して前記誘電体前駆体膜７１を加熱焼成して結晶化する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】電極の腐食を抑制すること、さらに、ヘッド構成部材に剥がれが生じることを抑制することができる液体吐出ヘッドの製造方法および液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】シリコン基板１０１の液路の形成予定部位に多孔質のシリコン領域１０２を形成する工程と、多孔質シリコン領域上に、発熱部を保護するための保護層１０３と、発熱部を形成するための発熱抵抗層１０４と、発熱部を発熱させる電力を供給する電極層１０５と、蓄熱層１０６と、を積層して形成する工程と、蓄熱層上に予め液路に液体を供給するための供給口１０８が設けられた支持基板１０７を貼り付ける工程と、多孔質シリコン領域を形成したシリコン基板を薄化する工程と、薄化したシリコン基板に、液路と連通するようインク吐出口１０９を形成する工程と、多孔質シリコン領域を除去する工程とを有する。また、支持基板は、シリコンにより形成することができる。 （もっと読む）

【課題】レジストレスでパターニングを行うことができる、特にノズル連通孔の形成後に、レジストレスでリザーバ及び電極取り出し口のパターニングが可能となり、ノズル連通孔部のレジスト保護不良を防止することができるシリコン基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】シリコン基材４００の表面にシリコン酸化膜４０１ａ，４０１ｂを成膜し、シリコン基材４００表面のパターニング部分４００ａにシリコン酸化膜４０１ａ，４０１ｂの上からシリコン窒化膜４０２を成膜したのち、シリコン基材４００表面のパターニング部分４００ａ以外の部分にシリコン酸化膜４０１ａ，４０１ｂをさらに成膜し、シリコン窒化膜４０２を除去して、パターニング部分４００ａのシリコン基材４００を露出させ、シリコン基材４００をエッチングする。 （もっと読む）

【課題】 ノズルのストレート部を加工精度よく形成するとともに、ノズルのストレート部とテーパ部との位置ずれを防止し、吐出性能を向上させること。
【解決手段】 基板２０に対して第１のエッチングを行って、基板２０にストレート形状の貫通孔５１０を形成し（工程Ｆ）、基板２０の一方の面のうちで貫通孔５１０の周辺のみを露出させる保護膜保護膜３４を形成し（工程Ｈ）、保護膜３４が形成された基板２０の前記一方の面側から第２のエッチングを行って、ストレート形状の貫通孔５１０のうちで一方の面側の部分をテーパ形状に変えることによりノズル５１のテーパ部５１２を形成するとともに、ストレート形状の貫通孔５１０のうちで他方の面側の残り部分をノズル５１のストレート部５１１として残す（工程Ｊ）。 （もっと読む）

【課題】複数のヘッドが形成された積層構造体から簡単に個々のヘッドに分割することができる液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも２枚以上の基板が接合され、該基板のうち第１の基板１は振動板５を有する流路及び共通電極１５がヘッドごとに形成されたシリコン基板からなり、第２の基板２は振動板５に対して所定の間隔を隔てて対向配置される個別電極８がヘッドごとに形成されたガラス基板からなり、複数の分割ラインに沿って個々のヘッドに分割する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、各々の分割ライン上には、第１の基板１のシリコン部分と第２の基板２のガラス部分とが接合された状態で存在するように、共通電極１５及び個別電極８を配置形成し、各分割ラインに沿って第１の基板１の内部にレーザ光を照射することにより材料変質部を形成し、第２の基板２側から応力を加えて個々のヘッドに分割する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、クロストークが低減されたインクジェット装置を与える、ことを目的とする。
【解決手段】本発明は、インクジェット装置に係る。当該装置は、並列して配置され且つ可撓性のシートによって覆われる複数のインク流路、及び、不等辺四辺形の断面を有する隆起を介してシート上へと作動力を与えるよう配置される対応する複数のアクチュエータを有する。当該装置において、隆起は、その不等辺四辺形の断面がアクチュエータに向かって分化する向きにおいてシート上に形成され、また、隆起は、接着剤を用いてアクチュエータに対して接着される、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】インクジェット式記録ヘッドの製作コストの抑制を図ることができ、配線の断切れの発生や振動板における振動の影響による配線状態の不安定化による耐久性の低下の影響を抑制することができ、インクの吐出状態の安定化を図ることができること。
【解決手段】第１電極と圧電体と第２電極とを備える圧電素子と、外部からの信号により圧電素子を駆動するための駆動信号を生成する駆動信号発生手段と、圧電素子の駆動に伴って振動する振動板と、振動板により一方の面が封止されてノズルに連通する圧力室と、を有するインクジェット式記録ヘッドにおいて、第１電極は、圧電体とともに振動する第１部位と、駆動信号発生手段の電極パッドと接合する第２部位と、第１部位と第２部位の間に挟まれ第１部位と第２部位の配列方向と垂直な方向の幅について第１部位と第２部位の幅よりも小さい第３部位と、を備える。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の破壊を防止すると共に優れた変位特性を有するアクチュエータ装置及びその製造方法並びに液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】基板１０上に変位可能に設けられた下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０からなる圧電素子３００を具備し、前記圧電体層７０が、前記下電極６０の端部の外側まで設けられていると共に、前記下電極６０の前記端部に、前記圧電素子３００の外側に向かって厚さが段階的に漸小する側面部６１を設け、該側面部６１を前記基板の面方向と同一方向の第１の面６２と、該第１の面６２に垂直な第２の面６３とで画成された階段状に形成する。 （もっと読む）