【課題】複数の吐出口の形状がそろったインクジェット記録ヘッドの製造方法およびインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】隣接するヒータ４００の間に、それらのヒータ４００に共通に接続される共通配線４０１、またはヒータ４００の通電に関与しないダミー配線４０３のいずれかを形成する。この共通配線とダミー配線は同じ幅に形成され、さらに、共通配線とヒータの間隔とダミー配線とヒータは同じ間隔に形成される。これにより、隣接するヒータの間の部分から流路形成部材１１１を露光硬化するための入射光が左右対称となり、吐出口１００の形状および大きさをそろえて形成することができる。 （もっと読む）

【課題】液体吐出装置における液体流路の流路抵抗のばらつきを補正する。
【解決手段】内部にインク流路が形成された流路ユニットを形成し（Ｓ１０１）、流路ユニットに圧電アクチュエータを接合した（Ｓ１０２）後、インク流路内に第１エッチング液を充填し（Ｓ１０３）、ノズル１５から第１エッチング液を吐出させて、ノズルからの第１エッチング液の吐出速度を測定し（Ｓ１０４）、続いて、測定された吐出速度が速いノズル１５からほど多量の第１エッチング液を吐出させて、ノズルの壁をエッチングする（Ｓ１０５）。次に、インク流路内の第１エッチング液を第２エッチング液に置換し（Ｓ１０６）、ノズル１５から第２エッチング液を吐出させて、ノズルから吐出される第２エッチング液の体積を測定し（Ｓ１０７）、続いて、測定された体積が小さいノズル１５からほど多量の第２エッチング液を吐出させて、絞り流路の壁をエッチングする（Ｓ１０９）。 （もっと読む）

【課題】インクジェット式記録ヘッドにおける記録密度の高密度化のための、ノズル連通孔の開口部を小さく形成可能な製造方法が必要であった。
【解決手段】シリコン単結晶基板５０にノズル連通孔とリザーバとインク供給口とを備える流路形成基板の製造方法であって、改質部形成工程では、シリコン単結晶基板５０の厚み方向における第１の位置にレーザー光７０を集光させて複数の第１の改質部を形成する第１のステップと、シリコン単結晶基板の第１の位置からシリコン単結晶基板の厚み方向における第２の位置にレーザー光の集光位置を移動させる第２のステップと、シリコン単結晶基板５０の厚み方向における第２の位置にレーザー光７０を集光させて第１の改質部に連なる複数の第２の改質部を形成する第３のステップと、を含むことを特徴とする流路形成基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】高精細な液体吐出ヘッド用基板を歩留りよく製造する方法を提供する。
【解決手段】（ａ）シリコン基板１のうち機能素子が形成された第一の面と反対側の面である第二の面を研削する工程と、（ｂ）研削して得られた第二の面を研磨する工程と、（ｃ）イオンの入射エネルギーを利用したリアクティブイオンエッチングにより、研磨して得られた第二の面をエッチングする工程と、（ｄ）リアクティブイオンエッチング後の第二の面にエッチングマスクを形成する工程と、（ｅ）エッチングマスクを用いてシリコン基板１をウェットエッチング処理し、液体供給口１２を形成する工程と、をこの順で有する。 （もっと読む）

【課題】個別液室基板の反りが小さい液滴吐出ヘッド、前記液滴吐出ヘッドを有するインクカートリッジ、前記インクカートリッジを有する画像形成装置、並びに前記液滴吐出ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】 複数のノズル孔を有し、前記ノズル孔に連通する複数の圧力室の床面の一面となるノズル板と、
前記圧力室の壁面と、該各圧力室のノズル板に対向する側の床面を形成する振動板と、該振動板を介して設けられた圧電素子と、を有する個別液室基板と、
前記圧電素子を駆動するための駆動信号を出力するドライバＩＣと、
前記圧力室に液滴を供給する供給口及び共通液室とが設けられた共通液室基板と、
を有する液滴吐出ヘッドであって、
前記個別液室基板は、前記ノズル板の接合面側の表面近傍の領域に、前記圧力室の幅方向両側の壁面間に亘って少なくとも一つの梁部を備え、前記梁部と前記壁面とは同じ材料でかつ連続した構造である液滴吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】製造コストの低減した液体噴射ヘッド、液体噴射装置および液体噴射ヘッドの製造方法を得ること。
【解決手段】流路形成基板１０としてシリコン単結晶基板を使用する場合と比較して、酸化ジルコニウムを含有する混合液を塗布、焼成して振動板１３を備えた流路形成基板１０を形成する。したがって、振動板の形成工程、シリコン単結晶基板を研削する工程およびシリコン単結晶基板をエッチングするためのマスク膜を形成する工程を省略でき、製造コストの低減したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。また、シリコン単結晶基板を侵すインクを使用しても、流路形成基板１０が酸化ジルコニウムを含んでいるので、インクからの保護のための保護膜を形成する工程が省略でき、製造コストの低減したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】長期信頼性を確保できる高精度なインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】凹部１４を有する第１のシリコン基板１２と、ＳｉＯ_２層１８を備える平滑な第２のシリコン基板１６と、を貼りあわせ、Ｓｉ−ＳｉＯ_２接合体を形成する工程と、第２のシリコン基板１６の非接合側からエッチングによりノズル穴部２０を形成する工程と、第１のシリコン基板１２と接していないＳｉＯ_２層１８をエッチングにより除去する工程と、第１のシリコン基板１２と第２のシリコン基板１６とを加熱し、ＳｉＯ_２層１８より膜厚の薄い熱酸化膜２２を形成する工程と、第１のシリコン基板１２を除去する工程と、を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッドである。 （もっと読む）

【課題】ウェットエッチングでの基板厚さのバラツキの影響を抑え、供給口おもて面の開口精度を向上させると共に、貫通穴を効率良く形成すること。
【解決手段】開口部を有するエッチングマスク層をシリコン基板の裏面に形成する工程と、該シリコン基板の厚みを測定する工程と、該シリコン基板の裏面から該エッチングマスク層の開口部にレーザ光を照射して該シリコン基板の内部に測定した該シリコン基板の厚みに応じて厚みを変化させた変質層を形成する工程と、該変質層が形成された該シリコン基板に異方性エッチングを施して該基板を貫通せずかつ該基板内部に底面を有する凹部を形成する工程と、該凹部内にドライエッチングを施して、該凹部の底面からこのシリコン基板のおもて面まで貫通する貫通孔を形成する工程とを含むシリコン基板の加工方法。および液体吐出ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】確実にノズル板の延長部分をヘッド外郭部材に接合でき、液室部品の接着剥離の問題も生じないようにすることができる液体吐出ヘッドの提供。
【解決手段】ノズル板３は、ノズル列方向及びノズル列と直交する方向に、流路板１の幅よりも伸びた延長部１０１を有し、延長部１０１が流路板１より伸びた部分でフレーム部材側に折り曲げられてフレーム部材に接合されており、折り曲げ後に流路板１及び振動板部材２の側面に対向するノズル板３内側に凹部１０４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】リード電極の電食を抑え、所定の電圧で駆動できる圧電素子およびその製造方法を得ること。
【解決手段】ニッケルおよびクロムを含む第１リード電極９１１がチタンを含む第２上電極８２と接触している。ここで、ニッケルおよびクロムとチタンとの標準電極電位差が、ニッケルおよびクロムとイリジウムとの標準電極電位差より小さいので、ニッケルおよびクロムを含む第１リード電極９１１がイリジウムを含む第１上電極８１と接触している場合と比較して電食を生じにくくできる。したがって、上電極８０と上電極用リード電極９１との間の接触面積が狭くなったり、上電極用リード電極９１の剥離が生じたりして抵抗が高くなるのを抑えることができ、所定の電圧で駆動できる圧電素子３００を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】効率よく均一にアンカー効果が得られるインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】基板と、この基板の表面に形成される圧電体層と、この圧電体層の上に載置され、圧力室が形成される圧電素子と、圧電体層及び圧電素子に形成される導体層と、この圧電素子を囲むように基板に載置される枠体と、圧電素子の側壁の上端部に接着され、ノズル穴を有するノズルプレートと、を備える。圧電素子と圧電体層とは同じ材質により形成され、同時にエッチングされて表面が粗され、その後メッキにより導体層が形成される。 （もっと読む）

【課題】共通液室基板の剛性が高く、割れの発生が低減され、生産性が高く、かつ高い歩留まりで製作することができる液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】複数のノズル孔３０が形成されたノズル基板３と、
ノズル孔３０に対応する複数の圧力室２１、及び振動板２０を壁面の一部とする流路の水平面上に形成された共通電極２３と、圧電素子２５と、個別電極２４とからなるアクチュエータ２６が積層された個別液室基板２と、
ドライバＩＣ４を設置保護する空間、アクチュエータ２６の動作領域を確保する振動個室８、及び圧力室２１に液滴を供給する共通液室１０が形成された共通液室基板１とを備え、共通液室基板１は、共通液室１０の上部にノズル配列方向と直交する方向に梁状部７を有するとともに、両側から異なるパターンでエッチングされたときのパターン重複部分を開口させてなる液滴供給貫通孔６を複数有する液滴吐出ヘッドである。 （もっと読む）

【課題】 保護層をエネルギー発生素子毎に独立して設けると、保護層とエネルギー発生素子との間のリーク電流検査を１度で行うことができず液体吐出ヘッド用基板の製造時の検査に時間がかかる懸念がある。
【解決手段】 複数の保護層と電気的に接続し、供給口となる位置に対応する基体の上側に設けられた接続部に接続する検査用端子と、複数のエネルギー発生素子が接続される端子と、の間のリーク電流検査を行った後に、前記接続部を除去して液体吐出ヘッド用基板を製造する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、インクジェットヘッドアセンブリーに関する。
【解決手段】本発明によるインクジェットヘッドアセンブリーは、内部にインク流路が形成され、上部にインク吐出のための駆動力を提供するアクチュエーターが形成されたインクジェットヘッドプレートと、上記アクチュエーターに電圧を印加するためのフレキシブル印刷回路基板（ＦＰＣＢ）と、上記アクチュエーターと上記フレキシブル印刷回路基板を電気的に連結するように提供され、上記アクチュエーターと接合する第１接合部より上記フレキシブル印刷回路基板と接合する第２接合部が上記インクジェットヘッドプレートの幅方向において内側に形成される中間基板とを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】配線に印加する電圧に応じて所定量変形する圧電素子、安定した液体の噴射を行なう液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を得ること。
【解決手段】開口部１１０は、上電極８０の表面に形成された保護膜１００および上電極８０を貫通している。ここで、開口部１１０の側面１１２の面積は、同面積の矩形または円形の断面を有する開口部の側面の面積と比較して広くなるので、開口部１１０の側面１１２で接触する上電極８０とリード電極９０との接触面積も広くなり、接触抵抗を低くできる。したがって、接触抵抗による電圧降下および発熱を低減でき、リード電極９０に印加する電圧に応じて機能する圧電素子３００を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高い圧電素子などを精度よく、かつ、簡便に製造することができる製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明に係る圧電素子の製造方法は、基板１の上に、第１導電層１０を形成する工程と、第１導電層１０の上に、能動領域となる領域を有する圧電体層２０を形成する工程と、圧電体層２０の上に、前記領域とオーバーラップする第２導電層３０ａを形成する工程と、第２導電層３０ａの上に、前記領域とオーバーラップする第３導電層３０ｂを形成する工程と、前記領域の上方の第３導電層３０ｂにおいて、第３導電層３０ｂを第１の部分３１と第２の部分３２とに分割する開口部３６を形成する工程と、開口部３６と、第１の部分３１および第２の部分３２の開口部３６側の周縁部を覆うレジスト層１３０を形成する工程と、レジスト層１３０を用いて、第３導電層３０ｂをエッチングし、第１導電部３３と第２導電部３４とを形成する工程と、レジスト層１３０を用いて、第２導電層３０ａをエッチングし、第３導電部３５を形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】長尺インクジェット記録ヘッドを量産する際に、短尺のユニットの良品のみを選別して組上げることによる歩留り向上を図り、また各ユニット形状を同一とすることによる組み立て時の選別工数を削減することにより、低コスト化を図る。
【解決手段】アクチュエータ部材４０と液室形成部材２０とノズル板１０とを備え、液室形成部材２０は、同一パターンの流路ユニットを含む複数の流路ユニットを結合して構成され、各流路ユニットには、流路ユニット同士の結合方向に液体流路が配列された液体流路列が複数形成され、各流路ユニットは、シリコンウェハを用いたリソグラフィーによるマスク形成あるいはマスク膜のエッチングによりマスクパターンを形成した後、異方性のウェットエッチングあるいはドライエッチングと異方性ウェットエッチングの両方により、シリコンウェハをエッチングして得た貫通溝により他の流路ユニットとの結合面を形成する。 （もっと読む）

【課題】親水性のノズル内面と撥水性の吐出面の境界を精度よく形成することで、吐出精度とメンテナンス性を向上させる。
【解決手段】基板の第１の面のノズルを形成すべき位置に非貫通状態の凹形状を形成する工程と、前記凹形状の表面にライナー膜を形成する工程と、前記第１の面の反対面である第２の面にエッチング処理を施し、前記ライナー膜を凸形状に露出させる工程と、前記第２の面に機能膜を形成する工程と、前記凸形状のライナー膜が露出するまで、前記機能膜にエッチング処理を施す工程と、前記第１の面の凹形状に流体を導入するとともに、前記第２の面を処理剤に浸漬して前記露出したライナー膜表面をエッチングしてノズルを形成するウエットエッチング工程とを備えたノズルプレートの製造方法によって上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 生産工程で実施される印字テストを不要にし、生産性を向上させるインクジェットプリンタヘッドを提供する。
【解決手段】 金属で形成され、インク滴が吐出されるノズル孔２ａを中央側に配列するノズル板２と、該ノズル板２上に積層され、ノズル孔２ａと連通するインク流路３ａを有し、赤外線の透過を許容する材質を用いてインク流路３ａがエッチング加工される流路板３と、該流路板３上に積層され、インク流路３ａ内のインク液を加圧する金属で形成される振動板４と、該振動板４を変形させる圧力を発生させる圧力発生手段とを備え、流路板３とノズル板２との積層状態で、インク流路３ａはノズル孔２ａとその積層方向で重なり合って連通する連通孔３ｃと、該連通孔３ｃの外側に形成される凹状の連通溝３ｄとを含み、ノズル板２は連通溝３ｄが形成される個所の流路板３には積層されずに、流路板３の連通孔３ｃを囲う近傍に積層される大きさで形成される。 （もっと読む）

【課題】リード電極と配線基板との間の導通不良の生じにくい、製造コストの低減した液体噴射ヘッドの製造方法を提供すること。
【解決手段】ＣＶＤ法により保護膜１６を形成する前に、ＣＯＦ基板２１０が挿入される貫通孔３３が蓋部３４で塞がれているので、蓋部３４によって貫通孔３３内にＣＶＤ法で用いる原料ガスが侵入できず、貫通孔３３に引き出されたリード電極９０に保護膜１６が形成されない。したがって、リード電極９０とＣＯＦ基板２１０との接続で導通不良が生じにくく、製造コストの低減したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）