【課題】多層材料層を使用してインクジェットプリントヘッドを製作する方法を提供する。
【解決手段】導電体材料、半導体材料及び非導電体材料の複数の層を有する電子駆動回路を製作するステップと、各々のノズルチャンバが、ノズルチャンバの壁部にインク吐出開口を有するように、集積回路製作材料の被着とその後のエッチングによって、材料の複数の層上に複数のノズルチャンバを形成するステップと、各々のアクチュエータが一つのノズルチャンバに対して動作可能に配置されるように、材料の複数の層上にアクチュエータを形成するステップと、材料の複数の層のうち少なくとも一つにおける部分を犠牲材料として利用するステップと、各々のアクチュエータを解放するように部分を除去するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】アルカリ性のインク（吐出液）に対して耐久性をもつようにノズル孔を被覆・保護すること。
【解決手段】液滴を吐出するノズル部１１ａと、このノズル部より断面積が大きくノズル部と同軸上に設けられた導入部１１ｂとを少なくとも備えたノズル孔１１を複数備えたノズル基板１であって、少なくともノズル孔１１の内壁に複数層の耐吐出液保護膜１２〜１４を形成する。 （もっと読む）

【課題】ｉ線露光によりインク吐出口の形成を行う場合でも、下地による反射の影響がなく、安定したパターン形状が可能であり、反射防止膜が残らないインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】複数のインク吐出エネルギー発生素子を有する基板と、インク吐出エネルギー発生素子上に液滴を保持するためのインク流路と、ｉ線露光にて形成したインクを吐出するためのインク吐出口とを有するインクジェット記録ヘッドの製造方法において、反射防止膜を形成する工程と、ｉ線露光によりインク吐出口形成後、前記反射防止膜を、反射防止膜を選択的に除去可能な方法で除去する工程を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。 （もっと読む）

【課題】高精度で高品質なインクジェット記録ヘッドを低価格で提供する。
【解決手段】複数の発熱抵抗素子が形成されている基板の上に、ポリエーテルアミド樹脂からなる密着層を形成する工程と、前記密着層の上に、インク流路となる型材及び前記型材を被覆する被覆樹脂層を形成する工程と、前記被覆樹脂層に吐出口を形成する工程と、前記型材を除去して、インク流路を形成する工程とを有し、前記型材と接する領域の前記密着層にＵＶ光を照射して、その領域の前記密着層を前記型材に溶解可能な状態に変性することで、前記型材の除去と同時に前記変性された密着層を除去する。 （もっと読む）

【課題】製造コストを削減できる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッド１００の製造方法は，基板１８０の上方に犠牲層１８４を形成する工程と、犠牲層の上方に圧電体層１４２を形成する工程と、圧電体層の上方に第１電極１４０を形成する工程と、第１電極の上方に弾性層１０８を形成する工程と、弾性層の上方に、圧力室１２４を形成するための開口部および圧力室の側壁となる流路側壁１０６を有する流路形成層１０５を形成する工程と、流路形成層の上方に、ノズル孔１２６を有するノズルプレート１０２を形成して、圧力室を形成する工程と、犠牲層を除去して、基板を剥離する工程と、圧電体層の下方に第２電極を形成する工程と、を含み、流路側壁は，感光性樹脂からなるように形成される。 （もっと読む）

【課題】多段構造のノズル孔を有するノズル基板を研削等の薄板化加工で形成するのではなく、成膜によって形成することで、板厚・ノズル長さの精度向上が可能なノズル基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】成膜基板１００上に犠牲層１０１を成膜し、犠牲層１０１の上に、リンをドープしたドープドポリシリコン層とストップ層とを順次交互に積層しノズル基板基材１１０を形成する。そしてノズル基板基材１１０上にｎ段の階段状の開口１０５ａを有するマスク層１０５を形成し、マスク層１０５の開口を順次広げつつノズル基板基材１１０を各ストップ層でエッチングがストップするまでエッチングすることを繰り返し、最後にノズル基板基材１１０を犠牲層１０１でエッチングがストップするまでドライエッチングしてノズル孔を形成する。そして犠牲層１０１をエッチングにより除去してノズル基板基材１１０を成膜基板１００から剥離する。 （もっと読む）

【課題】酸化物系の電極の上にダイレクトにＤＬＣ膜を形成することができ、優れた駆動耐久特性を有する静電アクチュエータ等を提供する。
【解決手段】振動板２０と、振動板２０にギャップＧを隔てて対向する対向電極３０とを備え、振動板２０の対向電極３０との対向面に絶縁膜２１が形成された静電アクチュエータであって、対向電極３０が酸化物系電極であり、対向電極３０の上にアモルファスカーボン膜（ａ−Ｃ膜）を形成した。また、対向電極３０の上に表面を水素終端処理したアモルファスカーボン膜（水素終端処理したａ−Ｃ膜）を形成してもよい。さらに、対向電極３０の上にテトラヘドラルアモルファスカーボン膜（ｔａ−Ｃ膜）を形成してもよい。 （もっと読む）

【課題】 インク流動制御構造を有するインクジェットプリントヘッドを提供すること。
【解決手段】 インクジェットプリントヘッドは、ウェハ基板と、ウェハ基板上に設けられ、ノズルチャンバと外気とを連通させるノズルを各々が有するインク吐出ノズル配列と、使用時にインクメニスカスが形成される、各々のノズル周りに設けられたメニスカスリムと、各々のメニスカスリムから外側に離間して設けられ、且つウェハ基板に向かって延びるピットを形成するようにウェハ基板に延びるインク流動防止リムとを備える。インク流動防止リムは、インクジェットプリントヘッドの表面を横切るインクの流動を防止するように各々のノズル配列を実質的に取り囲む。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートの周縁部にバリが生じていてもノズルプレートと流路形成基板との接合を均一に行う。
【解決手段】ノズルプレート１４は、加工時の周縁のバリ１４ａが流路形成基板１２側に向けられ、流路形成基板１２にはバリ１４ａに対応して逃げ部１２ａが形成され、一対の金属板８１、８２による加圧接合時に流路形成基板１２の逃げ部１２ａにバリ１４ａを位置させ、金属板８１とノズルプレート１４を全面で均一に接触させる。 （もっと読む）

【課題】接合精度を高めることができるような液滴吐出ヘッドの製造方法等を得る。
【解決手段】シリコンからなり、振動により液体を加圧する振動板２２を有するキャビティ基板２０のキャビティ基板用アライメントピン穴６２Ｂと、少なくとも１枚の他の基板のアライメントピン穴とを、アライメントピン６７に通した状態で、キャビティ基板２０と他の基板とを接合することによって、液体の流路を形成する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、キャビティ基板２０となるシリコン基板６１のアライメントピン穴６２Ｂとなる部分以外をシリコンマスク６４により覆う工程と、シリコン基板６１のアライメントピン穴６２Ｂを異方性ドライエッチングにより形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】溶液処理を行っても製品に負荷を与えることがなく、精度良く処理を行う。
【解決手段】ヘッド部材１の保護基板３０の流路形成基板との接合面とは反対側の面同士を対向させ、Ｏリング２を介して保護基板３０の流路形成基板との接合面とは反対側の面の間に密閉空間４形成して一対のヘッド部材１を互いに固定し、互いに固定された一対のヘッド部材１に対してアルカリ溶液（ＫＯＨ）によるエッチングを施し、保護基板３０の密閉空間４内にアルカリ溶液（ＫＯＨ）が浸入しないようにし、溶出する不純物が存在しない状態で保護基板３０の流路形成基板との接合面とは反対側の面を保護し、同一材料の保護基板３０の固定によりアルカリ溶液（ＫＯＨ）温度に拘わらず反りをなくす。 （もっと読む）

【課題】導電性の異物の付着に起因する液体の電気分解を防止すると共に、絶縁材が剥がれることなく固着させることが可能な液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】流路形成基板３４の封止板３５との接合面に、支持基板４５および弾性体膜４６に形成したインク導入穴５０を覆う大きさに形成された被覆部５４を形成し、この被覆部５４にインク導入穴５０と液体流路を構成するインク流路側、即ち、共通インク室３８と連通する連通穴５５を開設し、インク導入穴５０の内径Ｄ２をケース流路２５および連通穴５５の内径Ｄ１よりも大きく設定することにより、ケース流路２５および連通穴５５との間に段差部５６を形成し、この段差部５６に絶縁材Ａを導入して固着させた。 （もっと読む）

【課題】ストレート部に液体を導入する領域を異方性エッチングで形成する場合、ノズル形状は、ストレート部を構成する円柱と、液体導入領域を構成する円柱状の凹部とを組み合わせた凸形状となる。液体導入領域とストレート部に段付きの形状を用いた場合、液滴吐出器内での液体のメニスカスが乱れるため、圧力発生室の駆動周波数を上昇させた場合液体の吐出に乱れが発生し、高速駆動が困難となり、描画速度が低下する。
【解決手段】第１マスクとしてのフォトレジスト層２１１をマスクとして異方性エッチングを行うことでノズルとなる凹部ａを形成し、第２マスクとしてのフォトレジスト層２１２をマスクとして等方性ウェットエッチングを行い、お椀型の凹部ｂを形成する。従来用いられていた円柱状の凹部を用いる場合と比べ、液滴吐出ヘッド１１５からの吐出による振動に対して、液体のメニスカスが安定し、高速描画が可能となる。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の膜厚を均一化して、圧電特性が均一化されると共に信頼性を向上した液体噴射ヘッドの製造方法及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室が形成された流路形成基板１１０の一方面側に、下電極６０を形成する工程と、該下電極６０上に有機金属化合物のゾルを塗布して圧電体前駆体膜を形成すると共に、該圧電体前駆体膜を加熱焼成して結晶化して圧電体膜７２を形成する圧電体膜形成工程を行うことによって前記圧電体膜７２によって構成される圧電体層７０を形成する工程と、該圧電体層７０上に上電極を形成する工程とを具備し、前記上電極を形成する工程の前に、前記上電極に接する前記圧電体層７０の表面を化学的機械研磨することによって平坦化する工程を具備する。 （もっと読む）

【課題】より低い電圧でより大きな振動板の変位を得ることができる静電アクチュエータ、およびそれを利用した液滴吐出ヘッドを提案すること。
【解決手段】可撓性を有した振動板１０１と、振動板１０１にギャップ１０２を隔てて対向する対向電極１０３と、振動板１０１の対向電極１０３との対峙部に形成された絶縁膜とを備え、その絶縁膜を、酸化シリコンよりも比誘電率が高く、振動板１０１と対向電極１０３との間に印加した電圧に応じて歪む圧電体の膜１０４とした静電アクチュエータ。また、その静電アクチュエータを利用した液滴吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】半導体基板内部にアスペクト比が大きい中空を位置や形状を制御して形成する方法とアスペクト比が大きい中空が形成された半導体基板を提供することを目的とする。
【解決手段】第１の層１０１と、第１の層１０１の上に形成された第１の層１０１より正孔濃度が低い第２の層１０２を有する半導体基板１０６の内部に中空を形成する方法であって、半導体基板１０６に、第２の層１０２を貫通して第１の層１０１に開口を形成する工程と、第１の層１０１の開口内の壁面を多孔質領域にする工程と、開口の第１の層１０１内の幅を拡大する工程と、開口を封止する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラム部を構成する樹脂薄膜のリザーバ基板との接着性及び密着性を十分に確保し、樹脂薄膜が剥がれることのない液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板の一方の面からリザーバ凹部２３ａをウェットエッチングにより形成する工程、リザーバ凹部の開口部よりも大きい開口を有するマスク部材を用いて、リザーバ凹部の開口外縁部から内面全体にわたって下地金属膜２６とその上に樹脂薄膜２５を積層する工程、シリコン基板の他方の面からリザーバ凹部の底部のシリコンをエッチングにより選択的に除去して、下地金属膜を露呈させる工程、露呈した下地金属膜を樹脂薄膜が露呈するまでエッチングにより除去して、ダイアフラム部を形成する工程、ノズル基板の製造において、下地金属膜と樹脂薄膜とからなる積層膜に接触しないようリザーバ凹部の開口外縁部を覆う凹部を形成する工程を有する。 （もっと読む）

【課題】プリントヘッドの改良された表面実装方法を提供する。
【解決手段】表面実装用のインクジェットプリントヘッドを作製する方法は、複数のインク射出素子、および、第１面上に形成された複数の電気接点１８を有する基板１０を設けることを含み、接点は、インク射出素子に接続されて、素子の選択的な駆動を可能にする。複数のスルーホールが、基板内に形成され、各スルーホールは、基板の対向する面から、基板の厚みを完全に貫通して延びて、第１面上のそれぞれの電気接点１８の底面に接する。各スルーホールは、電気メッキによってほぼ完全に導電性材料３６で充填される。最後に、さらなる複数の電気接点（はんだマウンド）３８が、基板の第２面上に設けられ、各電気接点は、それぞれのスルーホール内の導電性材料と接触する。 （もっと読む）

【課題】ノズル近傍の精度を維持しつつ、ノズル内面の耐アルカリ性を確保できる液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板の表面Ｓｉ層の上にＳｉＯ_２マスク層を形成し、形成したＳｉＯ_２マスク層にノズル開口に対応するマスク開口を形成する。次に、マスク開口をエッチングして、ＳＯＩ基板の表面Ｓｉ層にノズル孔を形成する。次に、流路基板をＳＯＩ基板に直接接合し、接合された流路基板上に圧電アクチュエータを形成する。次に、ＳＯＩ基板のＳｉ基板を除去し、その後、露出したＳｉＯ_２層を除去する。これにより、表面Ｓｉ層に形成されたノズル孔が開口する。最後に、露出した表面Ｓｉ層の表面、及び、ノズル孔の内面にＳｉＯ_２層を形成する。 （もっと読む）

【課題】 ダンパ壁の薄肉化に伴い、ダンパプレート材料の混入物が脱落するなどしてダンパ壁に欠損や貫通孔が形成された場合であっても、共通液室とダンパスペースとが連通するのを防止することができる液滴吐出ヘッド用のキャビティユニットの提供。
【解決手段】 キャビティユニット１０は、共通液室孔２５ａを有する第２共通液室プレート２５とダンパ壁２６ａを有するダンパプレート２６とを備え、ダンパ壁２６ａは、その平面視輪郭形状が共通液室孔２５ａの平面視輪郭形状より大きく、且つその周縁部が中央部２６ｃよりも厚み寸法の小さい薄肉部２６ｄを成しており、第２共通液室プレート２５とダンパプレート２６とは、平面視で薄肉部２６ｄが共通液室孔２５ａの外方に位置した状態で接着されている。 （もっと読む）