【課題】 シリコン基板をウェットエッチングする際に、シリコン基板の（１００）面方位のエッチングレートのばらつきを低減することができるエッチング液及びその製造方法、並びに液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 シリコン基板、特に表面が（１００）面であるシリコン基板をウェットエッチングする際に用いられるアルカリ性溶液を含有すると共に、Ｐｂ、Ａｌ、Ｃａ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｚｎ又はＳｎの少なくとも１種の金属を含有したエッチング液とする。 （もっと読む）

【課題】 シリコン基板をウェットエッチングする際に、シリコン基板の（２１１）面方位のエッチングレートのばらつきを低減することができるエッチング液及びその製造方法、並びに液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 シリコン基板、特に表面が（１００）面であるシリコン基板をウェットエッチングする際に用いられるアルカリ性溶液を含有すると共に、Ｃａ、Ｃｕ、Ｍｇ、Ｎｉ、Ｚｎ又はＳｎの少なくとも１種の金属を含有したエッチング液とする。 （もっと読む）

【課題】異物によるノズル詰まり等の吐出不良を確実に防止する液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】流路形成基板１１０の一方面側に圧電素子３００と露出部１５２を形成する工程と、流路形成基板１１０の表面に配線層１９０を形成して露出部１５２を封止すると共にリード電極９０を形成する工程と、リザーバ形成基板１３０を流路形成基板１１０の一方面側に接合する工程と、流路形成基板１１０を他方面側からエッチングして圧力発生室１２及び連通部１３を形成する工程と、圧力発生室１２及び連通部１３の内面に耐液体性を有する保護膜１５を連続して形成する工程と、保護膜１５を所定の液体中に所定時間浸漬させることにより配線層１９０に対向する領域の保護膜１５を配線層１９０から剥離させると共に配線層１９０上から保護膜１５を除去する工程と、配線層１９０を除去してリザーバ部３１と連通部１３とを連通させる工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 キャビティユニットの各プレートを製造する際に使用される素材シートにて、材料の無駄を無くして有効活用し、部品のコストダウンを図る。
【解決手段】 流路パターンが形成された平板状の基板を複数枚積層してインク流通路が構成されるキャビティユニット１を備えるインクジェットヘッドの製造方法において、前記基板の複数個分を一体で形成できる面積を少なくとも有する大判の素材シート５０に、同一の流路パターンが形成された基板領域５１を、複数個並べて配置するとともに隣接する基板領域５１同士の間に切断代領域５２を挟んで当該素材シート５０の端縁にまで連設して形成する工程と、キャビティユニット１を構成する基板の種類ごとにそれぞれ形成された複数の前記素材シート５０を、対応する各基板同士を重ねて積層し、素材シート５０の積層体を形成する工程と、切断代領域５２にて、素材シート５０の積層体を切断分離し、前記基板の積層体を複数個形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートが無機材料によって形成された液体吐出記録ヘッドを低コストで歩留まり良く製造可能とする。
【解決手段】液体を吐出させるためのエネルギーを発生する発熱抵抗体２と、発熱抵抗体２を駆動するための電気回路とを備えたシリコン基板３の表面側に無機材料からなるノズルプレート６が積層され、シリコン基板３を貫通する液体供給口からシリコン基板３とノズルプレート６との間に設けられている流路２１へ液体を供給可能な液体吐出記録ヘッドであって、シリコン基板３の表面のうち、流路２１が設けられている部位に所定の深さの凹部８が形成され、その凹部８の上に吐出口７が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 通電に応じてインクを吐出するために利用される熱エネルギーを発生する発熱部を有するインクジェットヘッド用基板にあって、記録の高解像化や高画質化等を達成するための発熱部の小面積化を図りながら熱エネルギー効率の低下を防ぐとともに、発熱部が製造工程に起因したダメージを受けないようにする。
【解決手段】 電極配線層１１０５上に発熱抵抗体層１１０４を配置し、その上に２層の保護層１２０６ａ，１２０６ｂを設ける。そして、発熱部１１０４’上方の部位において保護層１１０６ｂを除去する。これにより、有効発泡領域の減少が生じることなく保護層を配置できるとともに、発熱部上の実効的な保護層の厚みを低減して熱エネルギー効率を向上できる。また、発熱抵抗体層は第１保護層により覆われるので、エッチング等製造工程の影響を受けることがなくなる。 （もっと読む）

【課題】吐出口を高密度化するとともに液体供給性能の向上を図り高粘度液の吐出をも可能とする。
【解決手段】液体を吐出する複数の吐出口と、前記複数の吐出口のそれぞれと連通する複数の圧力室と、前記吐出口が形成される側とは反対側に設けられ、前記複数の圧力室をそれぞれ変形する圧電素子と、前記圧電素子に関して前記圧力室とは反対側に形成され、前記複数の圧力室にそれぞれ液体を供給する共通液室と、前記圧電素子に駆動信号を供給する電気配線とを有し、前記共通液室は、流路が形成された薄板を積層することで形成された空間であり、前記電気配線は、前記積層された薄板が重なる部分の一部に前記圧電素子が配置される面に対して略垂直に立ち上がるように形成された開口部に形成する。 （もっと読む）

電子デバイスは、第１の表面及び第２の表面を含む基板（１１０）と、第１の表面及び第２の表面を含む基板キャリア（１０５）と、基板（１１０）の第２の表面及び基板キャリア（１０５）の第２の表面を接着する無機材料（１２０）とを備える。
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【課題】 加工精度の高いノズルを、安価に且つ容易に製造できるノズルプレートの製造方法、またこの製造方法で製造されたノズルプレート及び、この製造方法で製造されたノズルプレートを備えるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】 あらかじめノズル１１ａの位置に対応して貫通孔１７が穿設された基板１２の一面５０に、ポリアミック酸シート５１と撥水層５２と感光層５３とを順次積層する工程と、感光層５３にノズル１１ａに対応した孔形状５５を含むパターンを形成する工程と、感光層５３のパターンの孔形状５５に従って、撥水層５２及びポリアミック酸シート５１にウエットエッチングでノズルを加工する工程と、感光層５３を除去する工程と、熱処理によりポリアミック酸をイミド化する工程とが備えられている。 （もっと読む）

【課題】多数の電気配線の接続構造を効率的に形成し、生産性、精度を向上させるとともに接続の安定化を図る。
【解決手段】液体を吐出する複数の吐出口と、前記複数の吐出口のそれぞれと連通する複数の圧力室と、前記圧力室の前記吐出口が形成される側とは反対側の面に設けられ、前記複数の圧力室をそれぞれ変形する圧電素子と、前記圧電素子に関して前記圧力室とは反対側に形成され、前記複数の圧力室にそれぞれ液体を供給する共通液室と、前記圧電素子が取り付けられる面に略垂直に立ち上がり、前記共通液室を貫通して前記圧電素子と電気的に接続する電気配線とを有し、前記電気配線は、ワイヤーで形成される。 （もっと読む）

【課題】 異物によるノズル詰まり等の吐出不良を確実に防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 流路形成基板の一方面側に振動板を介して圧電素子を形成すると共に連通部となる領域の振動板を除去して貫通孔を形成する工程と、流路形成基板の圧電素子側の表面に所定の金属層を形成してこの金属層で貫通孔を封止すると共に圧電素子に対応する領域の金属層をパターニングしてリード電極を形成する工程と、リザーバ部が形成されたリザーバ形成基板を流路形成基板の一方面側に接合する工程と、流路形成基板をその他方面側から振動板及び金属層が露出するまでウェットエッチングして圧力発生室及び連通部を形成する工程と、金属層をエッチングにより除去してリザーバ部と連通部とを連通させる工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】クロストークを減少させることができる圧電方式のインクジェットプリントヘッドとその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電アクチュエータと、圧電アクチュエータがその上面に設置され、インクが導入されるインク導入口が貫通形成され、吐出されるインクが充填される圧力チャンバと、圧力チャンバの幅より小幅で圧力チャンバから延びる第１リストリクタとがその底面に形成される上部基板と、インク導入口と連結されて流入されたインクが保存されるマニフォールドがその底面から所定深さに形成され、第１リストリクタと連繋され、マニフォールドから圧力チャンバにインクを流入させる第２リストリクタが第１リストリクタと連結形成され、圧力チャンバの他端部に対応する位置にダンパが貫通形成されている中間基板と、ダンパと対応する位置にインクを吐出するためのノズルが貫通形成されている下部基板とを備えたインクジェットプリントヘッドである。 （もっと読む）

【課題】 吐出室を高密度化しても流路抵抗が高くなるのを抑えて、液滴の吐出性能を確
保することができる液滴吐出ヘッド等を提供する。
【解決手段】 液滴を吐出する複数のノズル孔１６が形成されたノズル基板５と、底面に
振動板１１を形成し、液滴を溜めておく吐出室１２となる凹部１２ａが形成されたキャビ
ティ基板３と、振動板１１に対向し、振動板１１を駆動する個別電極７が形成された電極
基板２と、吐出室１２に液滴を供給する共通液滴室１３となる凹部１３ａと、共通液滴室
１３から吐出室１２へ液滴を移送するための貫通孔１４と、吐出室１２からノズル孔１６
へ液滴を移送するノズル連通孔１５とを有するリザーバ基板４とを備え、リザーバ基板４
には、一方の面にノズル基板５が接合され、他方の面にキャビティ基板３が接合されてい
るものである。 （もっと読む）

【課題】振動板の割れを防止しつつ、液滴吐出ヘッドの小型化を図って、電極と振動板との間を気密空間とすることができる液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッド、および液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】第１の基板４ａの一方の面に、電極４２を形成する第１の工程と、第２の基板２ａと電極４２との間に微小空隙を形成するように、第１の基板４ａの前記一方の面に、振動板を形成するための第２の基板２ａを接合する第２の工程と、封止材を用いて、前記微小空隙を密閉して、気密空間を形成する第３の工程と、第２の基板２ａの他方の面をエッチングすることにより、振動板を形成する第４の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】半導体プロセスで一般に用いられている微細加工や大面積化が可能で耐久性や強誘電特性に優れた素子ならびにそれらの製造方法を提供することを目的とする。更に耐久性や強誘電特性のひとつである圧電特性にも優れた圧電素子構造体および長尺でかつ高密度に形成された液吐出口を有し、安定した信頼性が高い液体噴射ヘッドならびにそれらの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 単結晶基板上に配向成長させて形成されたバッファー層と該バッファー層上に配向成長させて形成された下電極層と該下電極層上に配向成長させて形成された圧電/電歪体層と該圧電/電歪体層上に形成された上電極層を有する圧電/電歪体素子構造体であって、該バッファー層がパターニング形成され、このパターニングに倣って該圧電/電歪体膜がパターニングされる。 （もっと読む）

【課題】圧電膜を結晶化する工程で、圧電膜に作用する引っ張り応力による９０°ドメインを抑制し、圧電性能の劣化を防ぐ。
【解決手段】Ｓｉ基板である基板１上に振動板２を形成し、その上に、圧電膜５より熱膨張係数の大きなＭｇＯ膜からなる中間膜３を積層し、基板１の中空部１ａ上に位置する振動板２の可動領域に対応して中間膜３をパターニングしたうえで、電極膜４と圧電膜５の成膜を行う。圧電膜５は成膜中または成膜後の加熱処理によって結晶化させる。振動板２、中間膜３、圧電膜５の熱膨張係数、ヤング率、厚さが所定の条件を満たすように設定することで、結晶化工程において発生する圧電膜５の応力を引っ張りから圧縮に変えて、圧電膜５の結晶化における９０°ドメインを抑制する。 （もっと読む）

まず、シリコン基板１の一方側の面上に第１電極層４、圧電体層５、第２電極層６及び振動層７をその順に積層する。次に、振動層７上にインク室隔壁８とノズル板１１とを積層する。次に、シリコン基板１を第１電極層４と反対側の面から研削して所定の厚さまで除去した後、残余のシリコン基板１３をドライエッチングを行って除去する。その後、第１電極層４をパターニングして複数のインクジェット機構２，２，…を形成する。最後に、複数のインクジェット機構２，２，…を分割して複数のインクジェットヘッド３，３，…を同時に作製する。
（もっと読む）

【課題】 異物によるノズル詰まり等の吐出不良を確実に防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 流路形成基板の一方面側に振動板及び圧電素子を形成すると共に、連通部となる領域の振動板を除去して露出部を形成する工程と、配線層を露出部内の流路形成基板上に形成すると共に圧電素子に対応する領域の配線層をパターニングして圧電素子から引き出されるリード電極を形成する工程と、リザーバ形成基板を流路形成基板の一方面側に接合する工程と、流路形成基板を他方面側から振動板及び露出部内の配線層が露出するまでウェットエッチングして圧力発生室及び連通部を形成する工程と、圧力発生室及び連通部の内面に耐液体性を有する材料からなる保護膜を形成する工程と、露出部内の配線層に設けられた保護膜を除去する工程と、連通部側からウェットエッチングすることにより配線層を除去してリザーバ部と連通部とを連通させる工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 圧力発生室のような凹部を比較的容易に高精度に形成することができる液体噴射ヘッドの製造方法、及びシリコン基板の製造方法を提供する。
【解決手段】 流路形成基板用ウェハの一方面に振動板を介して圧電素子を形成する圧電素子形成工程と、フッ硝酸をエッチング液として流路形成基板用ウェハの他方面側をエッチングするエッチング工程を少なくとも含み流路形成基板用ウェハを所定の薄さに形成する薄板化工程と、流路形成基板用ウェハの少なくとも他方面をオゾン水とフッ酸溶液とを用いて洗浄する洗浄工程と、流路形成基板用ウェハの他方面に所定パターンで保護膜を形成すると共に保護膜を介して流路形成基板用ウェハをウェットエッチングすることにより圧力発生室を形成する圧力室形成工程と、流路形成基板用ウェハと保護基板用ウェハとの接合体を所定の大きさに分割する分割工程とを具備するようにする。 （もっと読む）

【課題】 比較的厚さの薄い流路形成基板に圧力発生室を良好且つ高精度に形成することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 流路形成基板用ウェハの一方面に振動板を介して圧電素子を形成する圧電素子形成工程と、パターニングされた圧電素子を保持する保護基板が複数一体的に形成される保護基板用ウェハを流路形成基板用ウェハの一方面側に接合する接合工程と、流路形成基板用ウェハの他方面側をウェットエッチングすることにより流路形成基板用ウェハを所定の薄さに形成する薄板化工程と、流路形成基板用ウェハの他方面を酸化させる酸化工程と、過酸化水素水とアンモニア水とを含む洗浄液によって流路形成基板用ウェハの他方面を洗浄するＳＣ１洗浄工程と、流路形成基板用ウェハの他方面に所定パターンで保護膜を形成すると共に保護膜を介して流路形成基板用ウェハをウェットエッチングすることにより圧力発生室を形成する圧力室形成工程と、流路形成基板用ウェハと保護基板用ウェハとの接合体を所定の大きさに分割する分割工程とを具備するようにする。 （もっと読む）