【課題】吐出室を高密度化しても流路抵抗が高くなるのを抑えて、液滴の吐出性能を確保することができる液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びにこの液滴吐出ヘッドを備えた印字性能等の高い液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】ノズル基板５とリザーバ基板４とキャビティ基板３と電極基板２とを接合した４層構造にし、リザーバ専用のリザーバ基板４を設ける。リザーバ基板４には、キャビティ基板３に設けた第１キャビティ１２に液滴を供給するリザーバ１３となるリザーバ用凹部１３ａと、リザーバ１３内の液滴を第１キャビティ１２に供給する供給口用凹部とを同一面側に形成し、また、第１キャビティからノズル孔１７へ液滴を移送するノズル連通孔１６を貫通形成した構造とする。 （もっと読む）

【課題】所望の部分のみに封止材を付着などさせて余分な封止材の除去工程をなくす。
【解決手段】個別電極１２を有する電極基板１０と、個別電極１２とギャップ４０を介して対向し、個別電極１２との間で発生した静電気力により動作する振動板２２を有するキャビティ基板２０とが接合された接合体５０の一方の基板に、ギャップ４０を外気と遮断する封止材２５を配備するための貫通溝穴２６を形成する工程と、貫通溝穴２６に対応する部分が開口した第１マスク基板６０Ａを貫通溝穴２６が形成されたキャビティ基板２０に密着させて該基板をカバーする工程と、第１マスク基板６０Ａの開口に対応する部分が開口した第２マスク基板６０Ｂを、第１マスク基板６０Ａに密着させて第１マスク基板６０Ａをカバーする工程と、第２マスク基板６０Ｂ及び第１マスク基板６０Ａの開口を利用して、貫通溝穴２６に封止材２５を選択的に堆積してギャップ４０を封止する。 （もっと読む）

【課題】基板の凹部内に形成される電極が高精度の階段状の段差部を有するように構成した電極基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板に形成された凹部３２内に電極３１を形成してなる電極基板３において、電極３１を階段状の段差部３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄを有するように電極材料を積層して構成された複数段の積層体から構成する。 （もっと読む）

【課題】 膜厚ムラがなく、かつめっき未析出部のないパターン形成方法を提供することにある。
【解決手段】 本発明のパターン形成方法は、基板１８上に、硫黄成分を含有する第１金属膜２８を形成する第１金属膜形成工程と、第１金属膜２８を触媒として無電解めっき処理を施し、第１金属膜２８上に第２金属膜４２を形成する第２金属膜形成工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ハンドリングを容易にし、且つ、吐出安定性を向上させる。
【解決手段】第１の薄板部材に対して供給絞り部に相当する第１の孔部を貫通形成する第１の孔部形成工程と、第２の薄板部材に対して共通流路に相当する第２の孔部と圧力室に相当する第３の孔部をそれぞれ貫通形成する第２の孔部形成工程と、前記第１及び第２の孔部形成工程後、前記第１の孔部の少なくとも一部は前記第２の孔部及び前記第３の孔部の少なくとも一方に重なるように、前記第１の薄板部材と前記第２の薄板部材を積層して接合する接合工程と、前記接合工程後、前記第１薄板部材に対して前記共通流路に相当する第４の孔部及び前記圧力室に相当する第５の孔部の少なくとも一方を貫通形成する第３の孔部形成工程と、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法を提供することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】従来と同じ構成で、リザーバのコンプライアンス、流路抵抗に係る問題を解決し、吐出性能が高い液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、それらの製造方法を得る。
【解決手段】液体を液滴として吐出するノズル孔３１を複数有するノズル基板３０と、各ノズル孔３１に合わせて設けられ、振動して液体を加圧する振動板２２を備える吐出室２１となる複数の凹部２１ａ及び複数の凹部２１ａに供給する液体をためるリザーバ２６の一部となるリザーバ貫通溝穴２６ａを有するキャビティ基板２０と、振動板２２を振動させるための固定電極１２及びキャビティ基板２０との接面側にリザーバ２６の一部となるリザーバ凹部１６を有する電極基板１０とを少なくとも備え、キャビティ基板２０と電極基板１０とが接合され、少なくともリザーバ貫通溝穴２６ａとリザーバ凹部１６とによりリザーバ２６を形成するものである。 （もっと読む）

【課題】凹部を有するシリコン基板とインクジェットヘッドの製造方法およびそのシリコン基板とインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】シリコン基板に対してウエット酸化を施して、凹部をエッチング形成するためのマスクとして熱酸化膜を形成し、マスク形成工程により形成された熱酸化膜をマスクとしてシリコン基板に凹部をエッチング形成し、エッチング工程後にマスク形成工程において形成された熱酸化膜をシリコン基板から除去し、除去工程後にシリコン基板に対してドライ酸化を施して、シリコン基板の保護膜を形成し、精密化、微細化、小型化を図った凹部を有するシリコン基板を製造するとともに、当該凹部を振動板やインクノズルとして、インクに対する耐腐蝕性が高く、省電力化を図ったインクジェットヘッドを製造する。 （もっと読む）

【課題】圧電特性が高く、かつ耐久性の良好な圧電体素子、液体吐出ヘッド及び液体吐出装置を提供する。
【解決手段】主成分がＰｂ（Ｚｒ，Ｔｉ）Ｏ₃であり、正方晶のａ−ドメイン及びｃ−ドメインを有する圧電体膜と、その圧電体膜に接続された一対の電極とを有する圧電体素子を用いる。ただし、圧電体膜が基板上に形成され、Ｚｒ／（Ｚｒ＋Ｔｉ）が０．４を超え０．７未満の場合には、ａ−ドメイン及びｃ−ドメインの合計に対するｃ−ドメインの体積割合が２０〜６０％、又はａ−ドメインの少なくとも一部及びｃ−ドメインの少なくとも一部が（Ｎ０Ｎ）面（Ｎは０を除く整数）を双晶面とする双晶の鏡像関係にあるものを用いる。あるいは、ａ−ドメインおよびｃ−ドメインを構成する［００１］軸長及び［１００］軸長の比（［００１］軸長／［１００］軸長）が１．００４以上１．０４０以下のものを用いる。 （もっと読む）

【課題】エッチング後のシリコン基板のエッチング加工面を極めて平滑にすることができるエッチング液及びエッチング方法を提供する。
【解決手段】アルカリ性溶液に、１００ｐｐｂより高濃度の金（Ａｕ）を添加したエッチング液とする。 （もっと読む）

【課題】 マスクとの接触によるダメージを低減するとともに、目的部分に的確に薄膜を形成し、加工形状歩留まりに優れたマスク及びそのマスクの製造方法並びに液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 液滴吐出用の吐出室１３となる流路が形成されたキャビティ基板２に薄膜を形成するために使用される単結晶シリコン５０ａからなるマスク５０であって、キャビティ基板２の薄膜形成部分（共通電極部３０）に対応した形状に形成された開口部５１を備え、少なくとも吐出室１３となる流路範囲に対向する領域を開口部５１から隔離されたザグリ５２（凹部）として形成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の深さの異なる凹部が、簡便かつ高い寸法精度で形成された凹部付き基板を製造する凹部付き基板の製造方法、および、かかる製造方法により製造された凹部付き基板を提供すること。
【解決手段】凹部付き基板１０は、基板１上に互いにほぼ等しいパターンの無機膜２とレジスト膜とを形成し、レジスト膜の一部を露光・現像により除去してレジスト残膜３１を得、レジスト残膜３１を加熱して一旦溶融または軟化させ、露光・現像の際に退縮した部分を直下の無機膜２のパターンに一致するように復帰させ、溶融または軟化状態のレジスト残膜３１を硬化させ、無機膜２から露出する基板１を除去して第１の凹部１１を形成し、レジスト残膜３１から露出する無機膜２を除去して無機残膜２１を得、無機残膜２１から露出する基板１を除去して第１の凹部１１の深さを深くするとともに、第２の凹部１２を形成することにより製造される。 （もっと読む）

【課題】テーパ角度を精密に制御することが可能なインクジェットプリントヘッドの製造方法及び該製造方法によって製造されたインクジェットプリントヘッドを提供する。
【解決手段】前駆体ポリマー、陽イオン性の光開始剤、及び溶媒を含む架橋ポリマーレジスト組成物に化学線を照射してノズル層を形成する工程を含むインクジェットプリントヘッドの製造方法であって、陽イオン性の光開始剤の濃度を変化させて、ノズル層に存在するノズルのテーパ角度を制御することを特徴とするインクジェットプリントヘッドの製造方法である。これにより、該インクジェットプリントヘッドの製造方法は、別途の追加工程なしにノズルテーパ角度の自由な調節が可能であり、最適のメニスカスの挙動を観察でき、その結果によって該方法で製造されたインクジェットプリントヘッドは、インクの吐出速度、周波数及び吐出様態など、インクの吐出性能を向上させうる。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドを構成するキャビティ基板を効率よくしかも高精度に加工し、高精度の液滴吐出ヘッドを得る。
【解決手段】電極８が形成されたガラス基板２と、液体を貯えて吐出させる吐出室５となる凹部を含む液体流路が形成されるシリコン基板４１とを、電極８と吐出室５となる底面部分とをギャップＧを介して対向させて接合した後、シリコン基板４１に液体流路を形成する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、ガラス基板２と接合されたシリコン基板４１を機械加工して薄板化し、その機械加工が施された面を鏡面化し、さらにシリコン基板４１の鏡面化された面の加工変質層をエッチングにより除去した後、ウェットエッチングを利用して該シリコン基板４１に液体流路を形成する。 （もっと読む）

【課題】大気開放孔を封止剤によって封止するとき、大気開放孔を空隙に連通させる連通路は極めて細く、毛細管現象によって、封止剤が連通路を通じて空隙内にまで達し、正常な動作ができなくなることを防止する。
【解決手段】振動板と電極との間の空隙に個別連通路を介して連通する共通連通路１５を大気に開放するための大気開放孔４２との間の大気開放空隙４１には、大気開放孔４２を封止する封止剤の共通連通路１５内への流入に対して抵抗となる蛇行通路４５を形成し、封止剤が共通連通路１５を経由して空隙内に浸入することを防止する。 （もっと読む）

【課題】 ノズル穴が高い精度で形成され、生産性がよく安価な液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出ヘッドを得る。
【解決手段】 基材１０６（第２層）を、アルカリエッチング液に対して可溶する樹脂、例えば、ポリイミド樹脂で形成し、基材１０６の両面に、アルカリエッチング液に対して不溶性の薄膜層１０８、１１０を形成する。この薄膜層１０８、１１０にノズル１０の入口１１２及び出口１１４を形成した後、ノズルプレート２１をアルカリエッチング液、いわゆるエッチャント１３０に浸漬し、基材１０６を溶解させ、ノズル１０の入口１１２と出口１１４を連通する連通穴１１８を形成する。このように、アルカリエッチング液に対して不溶性の金属で形成された入口１１２及び出口１１４は、ノズルプレート２１をエッチャント１３０に浸漬しても、入口１２及び出口１１４の加工時の寸法精度がそのまま維持されるため、加工精度の高いノズル１０を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 電圧をかけたときの発生圧力が高く、絶縁耐性に優れた絶縁膜を備えた液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 シリコン基板２ａにボロン拡散層１２ａを形成し、ボロン拡散層１２ａを振動板１２として形成する液滴吐出ヘッドの製造方法において、ボロン拡散層１２ａを形成した後、シリコン基板１２ａを酸化して酸化膜（Ｂ₂Ｏ₃層４１）を形成する工程と、酸化膜をエッチングにより剥離する工程と、酸化膜を剥離した後、ボロン拡散層１２ａを平滑化する工程と、ボロン拡散層１２ａに絶縁膜１６を形成する工程とを有することを特徴とする。また、ボロン拡散層１２ａを形成した後、ボロン拡散層１２ａを平滑化する工程と、ボロン拡散層１２ａに絶縁膜１６を形成する工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 液滴吐出ヘッドを構成するキャビティプレートの加工における歩留まり改善。【解決手段】 電極８及び電極端子１１が形成されたガラス基板２と、液体を貯えて吐出させる吐出室５となる複数の凹部が少なくとも形成されるシリコン基板４１とを、電極８と吐出室５の底面となる部分をギャップＧを介して対向させて接合する接合工程と、ガラス基板２と接合されたシリコン基板４１に、少なくとも吐出室５を含む液体流路および電極端子１１に対応した電極取り出し口２５となる部分をウェットエッチングを利用して形成するウェットエッチング工程とを備えた液滴吐出ヘッドの製造方法において、ガラス基板２と接合される前のシリコン基板４１に対して、ウェットエッチング工程において薄膜が形成される部分のうち、所定の薄膜形成予定部分にのみ選択的にボロンを拡散し、その後さらに該シリコン基板４１のボロンが拡散された側の全面にボロンを拡散する。 （もっと読む）

【課題】 細溝内の異物を完全に除去したシリコンデバイスの製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 表面に開口する細溝を少なくとも有するシリコン基板上に形成された金属層を第１のエッチング液を用いてエッチングして当該シリコン基板上に配線を形成する工程と、アルコールを濃度が５〜１５％になるように添加した第２のエッチング液を用いて、少なくとも前記細溝内に付着している前記金属層の異物をエッチングすることにより除去する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットプリントヘッドを大量生産可能な効果的方式の開発が望まれ、ノズル周りに電場を配置することにより、ノズルベースでノズル上で駆動される、プリント機構を提供する。
【解決手段】基板、該基板上に形成され、制御された方法で運転可能な導電性コイル、該導電性コイルを取り囲み、前記基板とアクチュエータ間でインクノズルチャンバを形成する可動磁石アクチュエータから構成され、前記可動磁石アクチュエータは更に、その中に規定されたインク排出ノズルを含み、導電性コイルの電圧レベルの変化によって磁石アクチュエータは最初の位置から第２の位置へ動かされ、それによりノズルチャンバ内のインク圧に変化が生じ、その結果、ノズルチャンバからのインクの排出が引き起こされることを特徴とする、インク排出ノズルからのインクの排出用、インクジェットノズル装置。 （もっと読む）

【課題】低電圧駆動で大きな振動板変位量を得ることが可能な静電アクチュエータを提供する。また、この静電アクチュエータを備えた液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの駆動方法及び静電アクチュエータの製造方法を提供する。
【解決手段】振動板４と、振動板４にギャップ１０を隔てて対向し振動板４との間で電圧が印加される個別電極１１と、振動板４の個別電極１１との対向面に形成された絶縁膜４ａとを備え、絶縁膜４ａがエレクトレット化されてなるものである。 （もっと読む）