【課題】 細溝内の異物を完全に除去したシリコンデバイスの製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 表面に開口する細溝を少なくとも有するシリコン基板上に形成された金属層を第１のエッチング液を用いてエッチングして当該シリコン基板上に配線を形成する工程と、アルコールを濃度が５〜１５％になるように添加した第２のエッチング液を用いて、少なくとも前記細溝内に付着している前記金属層の異物をエッチングすることにより除去する工程とを具備する。 （もっと読む）

【課題】インクジェットプリントヘッドを大量生産可能な効果的方式の開発が望まれ、ノズル周りに電場を配置することにより、ノズルベースでノズル上で駆動される、プリント機構を提供する。
【解決手段】基板、該基板上に形成され、制御された方法で運転可能な導電性コイル、該導電性コイルを取り囲み、前記基板とアクチュエータ間でインクノズルチャンバを形成する可動磁石アクチュエータから構成され、前記可動磁石アクチュエータは更に、その中に規定されたインク排出ノズルを含み、導電性コイルの電圧レベルの変化によって磁石アクチュエータは最初の位置から第２の位置へ動かされ、それによりノズルチャンバ内のインク圧に変化が生じ、その結果、ノズルチャンバからのインクの排出が引き起こされることを特徴とする、インク排出ノズルからのインクの排出用、インクジェットノズル装置。 （もっと読む）

【課題】低電圧駆動で大きな振動板変位量を得ることが可能な静電アクチュエータを提供する。また、この静電アクチュエータを備えた液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの駆動方法及び静電アクチュエータの製造方法を提供する。
【解決手段】振動板４と、振動板４にギャップ１０を隔てて対向し振動板４との間で電圧が印加される個別電極１１と、振動板４の個別電極１１との対向面に形成された絶縁膜４ａとを備え、絶縁膜４ａがエレクトレット化されてなるものである。 （もっと読む）

【課題】 インク吐出面に生じたインク溜りに起因する吐出方向のヨレや不吐現象の発生を減少させることが可能なインクジェット記録ヘッド等を提供する。
【解決手段】 インクジェット記録ヘッドは、複数のインク吐出口１と、インク吐出口１にそれぞれ連通するインク流路６と、各インク流路６内に配置されたインク吐出エネルギー発生素子７とを有し、インク吐出口１が開口しているインク吐出面に、複数のインク吐出口１が配列されてなる複数の吐出口列が並んで配置されている。インク吐出面の複数の吐出口列同士の間には吐出口列の長さ方向に延びる溝２が形成され、溝２の壁面とインク吐出面とが鋭角を成している。 （もっと読む）

【課題】 ノズル穴が高い精度で形成され、生産性がよく安価な液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出ヘッドを得る。
【解決手段】 ノズルプレート２１の表面に、肉厚０．１μｍのシード層４４を介して、肉厚５〜１０μｍのＮｉ電鋳を成長させ、金属マスク４８を設ける。該金属マスク４８の肉厚を約２〜１０μｍ、より好ましくは５〜１０μｍとすることで、Ｎｉ電鋳を成長させる際の寸法精度の向上させることができ、ノズル１０の穴径のばらつきを±０．５μｍに抑えることができる。また、高い精度でノズル１０が形成されることで、該ノズル１０の大きさに合わせて高い精度でノズル穴１３が形成されることとなる。さらに、エキシマレーザと比較すると、ＴＥＡ−ＣＯ₂レーザ５０は加工速度が速く、また、ランニングコストも安い。このため、ＴＥＡ−ＣＯ₂レーザ５０による加工によって、生産性がよく安価なインクジェット記録ヘッド７４を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】さらに効率よく、精度の高いリザーバ基板を作製することにより、スループットの改善、高歩留まりを図った液滴吐出ヘッド等、それらの製造方法を得る。
【解決手段】液滴を吐出するノズル孔１６を複数有するノズル基板５と、振動板１１を備え、ノズル孔１６に合わせて吐出室１２の一部となる吐出室第１凹部１２ａを複数有するキャビティ基板３と、底面に各吐出室１２と連通する複数の供給口１４を有し、複数の吐出室第１凹部１２ａに供給する液体をためるリザーバ１３となるリザーバ凹部１３ａ、複数の吐出室１２と複数のノズル孔１６とをそれぞれ連通させる複数のノズル連通孔１５及びキャビティ基板３との接面側に吐出室１２の一部となる吐出室第２凹部１２ｂを複数有するリザーバ基板４とを少なくとも備え、キャビティ基板３とリザーバ基板４とが接合され、吐出室第１凹部１２ａと吐出室第２凹部１２ｂとにより吐出室１２を形成する。 （もっと読む）

【課題】 シリコン基板と電極ガラス基板とを陽極接合した後に該シリコン基板に吐出室等のキャビティ部を形成するプロセスにおいて、吐出室の幅精度を向上することができる液滴吐出ヘッドの製造方法および液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 予め個別電極３１が形成された電極ガラス基板３０１にシリコン基板２００を接合した後、そのシリコン基板を薄板化し、その後ＴＥＯＳエッチングマスク２０４をパターニングして吐出室となる凹部をエッチングにより形成する液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記エッチングマスクをドライエッチングによりパターニングし、そのシリコンエッチングを、最初はドライエッチングで、最後はウェットエッチングで行う。 （もっと読む）

【課題】電極配線レイアウトに自由度を持たせ、これによってヘッドを小型化することができる静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、静電アクチュエータの製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法および液滴吐出装置の製造方法を得る。
【解決手段】振動板３０を有する第１の基板３と、電極溝２０が形成され電極溝２０に振動板３０とギャップを隔てて対向する個別電極２２が設けられた第２の基板２とを備え、第１の基板３と第２の基板２とが陽極接合されてなる静電アクチュエータであって、第１の基板３と第２の基板２の陽極接合時に第２の基板２に形成された個別電極２２と第１の基板３とを電気的に接続させるための等電位接点２５を、第１の基板３、又は第２の基板２の各個別電極２２に連続して形成された個別電極リード部２３に設ける。 （もっと読む）

【課題】ヒューズ素子を確実に溶断させ、その溶断の有無に対応するデータを高い信頼性をもって記憶させること。
【解決手段】インクジェット記録ヘッド４００に備わるヒューズ素子４１０を溶断させるための電流が流れる回路５０６中に、抵抗素子５００を備える。その抵抗素子５００は、ヒューズ素子４１０を溶断させる際に、ヒューズ素子４１０に最大電流が流れた後も、所定期間継続してヒューズ素子４１０に電流を流すように、電流を調整する。その所定期間は、ヒューズ素子４１０に流れる電流が立ち上がってから、それが最大電流に達するための時間よりも長くする （もっと読む）

【課題】 加工中にシリコン基板が割れたり欠けたりすることがなく、またノズル孔内に樹脂や研磨材等の異物が残留するようなことがなく、歩留まりおよび生産性を向上することができる液滴吐出用のノズルプレートの製造方法および液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】 シリコン基板１００の一方の面に、液滴を吐出するためのノズル孔１１の噴射口部分１１ａとなる第１の凹部１０７と、導入口部分１１ｂとなる第２の凹部１０８とを予め形成しておき、このシリコン基板の一方の面並びに第１および第２の凹部内に、樹脂との接着力の弱い撥インク層１１１を形成し、撥インク層１１１を形成したシリコン基板の面に、樹脂を用いて支持基板４００を貼り合わせ、シリコン基板を他方の面から所要の厚さに薄板化し、支持基板４００をシリコン基板から剥離し、さらにシリコン基板から前記樹脂および撥インク層１１１を除去することにより、ノズルプレート１を作製する。 （もっと読む）

【課題】 流路形成基板に圧力発生室を比較的高密度に配設することができ且つ流路形成基板の剛性を良好に確保することができる液体噴射ヘッド及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 液滴を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室１２が形成される流路形成基板１０と、流路形成基板１０の一方面側に振動板を介して設けられる下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０からなる圧電素子３００と、流路形成基板１０の圧電素子３００側の面に接合され各圧力発生室１２に供給される液体が貯留されるリザーバ３１を有するリザーバ形成基板３０とを具備し、且つリザーバ形成基板３０の流路形成基板１０との接合面側に、一端側がリザーバ３１に連通すると共に他端側が振動板に設けられた連通口５３を介して圧力発生室１２に連通する供給路３２を、各圧力発生室１２のそれぞれに対応して設ける。 （もっと読む）

【課題】 振動板及び対向電極の間のギャップの疎水処理を短時間で行うことができる静電アクチュエータの製造方法等を提供する。
【解決手段】 第１の基板２ａに、対向電極１１を形成するための複数の電極用凹部１０と、各電極用凹部１０に連通する溝部３２を形成する工程と、第１の基板２ａに、溝部３２と連通し、外部からギャップ３１内に疎水処理を行うための処理剤を注入するための処理剤注入穴３３を形成する工程と、処理剤注入穴３３から処理剤を注入して、振動板４と対向電極１１の間のギャップ３１内に疎水処理を行う工程等を有し、電極用凹部１０を所定の配列方向に沿って形成し、１つの処理剤注入穴３３と溝部３２を介して連通する複数の電極用凹部１０を、この処理剤注入穴３３を対称中心として配列方向について左右対称に形成するものである。 （もっと読む）

【課題】 良好な吐出を実現し、安定生産可能なインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法の提供。
【解決手段】 Ｓｉ基板上に形成されたデバイス面をエッチング液から保護する為の保護膜に、シリコーン化合物を添加することで、前記保護膜の弾性を向上させ、水素ガスの成長によって前記保護膜が受ける応力を前記保護膜が変形することで吸収し、破壊を防止することにより、保護膜破壊によるパターニング不良の発生を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 振動板を構成する酸化膜と下電極との密着性が向上すると共に、圧電素子を構成する層の結晶性を向上したアクチュエータ装置及びその製造方法並びに液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 基板上に設けられた振動板と、振動板を構成する酸化膜５５上に設けられる下電極６０、下電極６０上に設けられる圧電体層７０及び圧電体層７０上に設けられた上電極８０からなる圧電素子３００とを具備し、且つ下電極６０と酸化膜５５との境界に、結晶化したチタン酸化膜からなり厚さが１０ｎｍ以上４０ｎｍ以下の結晶化した密着層６５を有するようにする。 （もっと読む）

【課題】 ノズル、圧力室等を高密度化、多列化することが可能であるとともに、環境気圧の変化にも対応できて、吐出安定性に優れた液滴吐出ヘッドを得ること。
【解決手段】 底壁が振動板８を形成し液滴を溜めておく圧力室７及び底壁がダイアフラム４０を形成し外気と連通した大気圧室４１が形成されたキャビティ基板３と、振動板８に対向し振動板８を駆動する個別電極１７が設置された振動室１３及びダイアフラム４０に対向し振動室１３と連通した圧力補償室４２が形成された電極基板４と、圧力室７に液滴を供給するリザーバ１０、リザーバ１０から圧力室７へ液滴を移送するための供給孔９、及び圧力室７からノズル孔５へ液滴を移送するノズル連通孔６とを有するリザーバ基板２とを備え、圧力補償室４２とリザーバ１０とが積層される位置に配置されている液滴吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】 液滴吐出ヘッドの製造過程において、シリコン基板に予期せぬ破損が生じないようにし、さらに、製造に影響を与える異物を生じないような方法等を得る。
【解決手段】 液滴として吐出させる液体をためる吐出室５となる凹部が少なくとも形成されるキャビティプレート１となるシリコン基板４１と、電力が供給されると吐出室５を変形させる電極８を内側に設けた凹部９を有するガラス基板２とを、シリコン基板とガラス基板２の凹部９を有する面とを対向させて接合する接合工程と、接合工程の後、シリコン基板に吐出室５となる凹部を形成し、シリコン基板において、電極８と外部の電力供給手段とを電気的に接続するために形成される電極取出し口２５となる部分を所定の厚さだけ残すようなウェットエッチングを行う工程とを少なくとも有する。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子のｄ３１特性を向上させることができる圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータの製造方法、このような圧電アクチュエータを備えた液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】 下部電極８４上には、硬度制御材料が成膜され、拘束力緩衝層８６が形成される（図４（ｃ））。拘束力緩衝層８６は、例えば、形状記憶ポリマーである。この拘束力緩衝層８６上には、例えば、ジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）の圧電膜８８が、堆積法（ＡＤ法）により形成される（図４（ｄ））。この圧電膜８８の成膜時の温度は、拘束力緩衝層８６に用いられる形状記憶ポリマーのガラス転移点Ｔ_ｇ以下のガラス領域にして成膜を行う。液体吐出ヘッド９６の駆動時には、拘束力緩衝層８６の形状記憶ポリマーは、弾性率が低いゴム領域となり、圧電膜８８を膜面方向に拘束する基板拘束の拘束力を低減する緩衝層となる。なお、硬度制御材料により振動板８２を形成してもよい。 （もっと読む）

【課題】異物によるノズル詰まり等の吐出不良を確実に防止することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】流路形成基板に圧力発生室及び連通部を形成するエッチング工程と、リザーバ部と連通部とを連通させる連通工程とを具備し、且つエッチング工程よりも前に、連通部が形成される領域に振動板の厚さ方向の少なくとも一部を除去して凹部を形成すると共に、少なくともこの凹部に対向する領域が金属膜と金属膜の少なくとも何れか一方面側に存在する封止膜とからなるバリア膜で覆われた構造とし、エッチング工程では、流路形成基板をその他方面側から振動板及びバリア膜が露出するまでウェットエッチングすることにより圧力発生室及び前記連通部を形成し、連通工程では、凹部に対応する領域のバリア膜をエッチングにより除去してリザーバ部と連通部とを連通させるようにする。 （もっと読む）

【課題】 インクジェットヘッド用基板の製造プロセスにおける電極パッドの汚染を効果的に防止し、これによって洗浄を必要とすることなく、ボールバンプの電極パッドに対する接合が良好になされるようにする。
【解決手段】 電極配線のパッド部（１０３）上に基板製造プロセスで生じる汚染を防止するための層（２０８）を形成する工程と、パッド部と配線部材との接続に先立って層（２０８）を除去する工程とを具える。 （もっと読む）

【課題】 ノズルプレートの流路およびノズル穴を精度良く成形することができ、かつノズルプレートの製造コスト低減を図る。
【解決手段】 ノズルプレートの製造方法はＳＵＳ製基材１１ａを準備する工程と、基材１１ａの一方の面にウェットエッチングによりランド部１７を残しながら複数の流路１６を形成する工程と、基材１１ａの他方の面の流路１６の端部に対応してウェットエッチングによりノズル穴形成部１２ａを形成する工程と、基材１１ａの他方の面に金属メッキ層１９を設ける工程とを備えている。基材１１ａをその一方の面からパンチ２０の微細ピン２１により貫通させて、ノズル穴形成部１２ａと流路１６とを連通する貫通孔１２ｂが形成され、同時に金属メッキ層１９に貫通孔１９ａが形成される。金属メッキ層１９が基材１１ａから剥離され、ノズル穴形成部１２ａと貫通孔１２ｂとによって、流路１６に連通するノズル穴１２が構成される。 （もっと読む）