【課題】圧力室内の液体に所定の圧力を付与することができる。
【解決手段】７枚のプレート２１〜２７を積層して加熱押圧して流路ユニット３１を作製する。このとき、流路ユニット３１に孔６０を形成する。３枚のグリーンシートの一表面に、上部電極４５、中間電極４４及び下部電極４３をそれぞれ形成する。このとき、上部電極４５が形成されるグリーンシートに上部電極４５と所定距離だけ離隔した上部電極マーク６１を形成する。また、中間電極４４が形成されるグリーンシートに中間電極４４と所定距離だけ離隔した中間電極マーク６２を形成する。そして、３枚のグリーンシートを積層し、所定温度で焼成して、圧電アクチュエータ３２を作製する。その後、作製された流路ユニット３１の孔６０と、圧電アクチュエータ３２の中間電極マーク６２が平面視で重なるように、流路ユニット３１と圧電アクチュエータ３２を位置合わせして接合する。 （もっと読む）

【課題】仮固定用の光硬化型接着剤を用いても、吐出特性に影響を与える重要箇所にまで前記接着剤が流れ出さない安全な接合ができ、動作信頼性に優れた液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル１０、圧力室１１、振動板１６を有する流路ユニット７と、駆動素子２２やダミー素子２３を有するアクチュエーターユニット６を備え、駆動素子２２と振動板１６が個々に接着される液滴吐出ヘッドで、駆動素子２２と振動板１６は第１の接着剤３０で接合され、ダミー素子２３振動板１６の周囲と光硬化型の第２の接着剤３１で接合され、光硬化型接着剤の未硬化接着剤が第１の接着剤３０側に流れ出るのを防止する第３の接着剤３２が、第１の接着剤３０と第２の接着剤３１の間に設けられている。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドをベースプレートに対して繰り返し着脱することによっても位置決め精度を良好に維持することができる液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】位置決めピン２３が、ベースプレート２０に固定された固定プレート４０に設けられた保持孔４１に保持されており、且つ固定プレート４０の表面には基準プレート５０が接合されていると共に、この基準プレート５０には位置決めピン２３が実質的に内接する挿通孔５１と、位置決めピン２３のベースプレート２０に対する位置決めの基準となる微小孔５２とが設けられている構成とする。 （もっと読む）

【課題】コストを低減して外部配線と容易に接続することができる圧電素子ユニット、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】圧電素子１７と、該圧電素子１７の第１の面３４ａと接合された一端面３５ａを有する第１の基板３５と、を具備し、前記圧電素子１７は、前記第１の面３４ａとは反対側の第２の基板１２側の面となる第２の面３４ｃと、前記第１の面３４ａ及び第２の面３４ｃとは直交し、外部配線５０との接続部となる個別外部電極４３が形成された第３の面３４ｂと、前記圧電素子１７の外部表面に設けられた共通外部電極４４と、前記第１の面３４ａと前記第３の面３４ｂとの境界に設けられて、当該第１の面３４ａ及び第３の面３４ｂに対して斜めに形成された傾斜面と、を有し、該傾斜面が、個別外部電極４３と共通外部電極４４とを分断する境界部４０となっている。 （もっと読む）

【課題】外部電極と内部電極との短絡を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】第１の内部電極２２と同一平面に設けられる第３の内部電極３９を有し、圧電素子１６の一方面には、第１の内部電極２２に接続される第１の外部電極４０と、第２の内部電極２２及び第３の内部電極３９に接続される第２の外部電極４１とが設けられ、圧電素子１６の一方面側最外層の圧電体層２２ａは、第１の外部電極４０と第１の内部電極２２とで挟まれた不活性層となっていると共に、第１の外部電極４０は第１の内部電極に対向する領域の外側まで延設されており、第３の内部電極３９が、圧電体層２１の間に配された全ての層が圧電体層２１の積層方向で第１の外部電極４０と重ならない構成とする。 （もっと読む）

【課題】歩留まりを向上させることができる液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置を提供すること。
【解決手段】複数の短尺の液体噴射ヘッドとしての短尺状インク噴射ヘッド８が配列されて構成される液体噴射ヘッドとしてのインク噴射ヘッド４において、短尺状インク噴射ヘッド８の各ノズルの液体噴射方向に、各ノズルにそれぞれ連通する複数の孔部１１が形成されるプレート７が配置され、短尺状インク噴射ヘッド８のノズルプレート９のノズル開口部１０の開口径は、プレート７の孔部１１の開口径よりも大きく、短尺状インク噴射ヘッド８とプレート７とは、プレート７の各孔部１１が、それぞれノズルプレート９のノズル開口部１０の内側に位置するように配置されていること。 （もっと読む）

【課題】複数の部材を高精度で且つ容易に位置決めして接着できる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】流路形成基板用ウェハー１１０及び保護基板用ウェハー１３０のそれぞれに接着位置決め孔５０１Ａ、５０１Ｂを形成する工程と、流路形成基板用ウェハー１１０及び保護基板用ウェハー１３０の少なくとも一方の接着面に接着剤層を設け、前記接着位置決め孔よりも径が小さい接着位置決めピン５１１を挿入して、流路形成基板用ウェハー１１０及び保護基板用ウェハー１３０と前記接着位置決めピン５１１とを押圧し前記接着位置決め孔の内壁面に前記接着位置決めピン５１１を当接させ、流路形成基板用ウェハー１１０及び保護基板用ウェハー１３０の相対的な位置を固定した状態で、前記接着剤層を硬化させて流路形成基板用ウェハー１１０及び保護基板用ウェハー１３０を接着する接着工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ノズルが形成された吐出面の撥水処理を容易に行うことができるとともにノズルからのインクの良好な吐出状態を実現することができるインクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】インクを吐出するノズルが形成される金属製のノズルプレート及びノズルに連通するインク流路を形成する複数の金属製のヘッドプレートを積層してインクジェットヘッドを製造する場合、ノズルが形成されていないノズルプレートを最外側に配置した状態でヘッドプレートと積層して拡散接合により一体化し、一体化された積層プレートのノズルプレート表面に対して撥水性樹脂微粒子を共析させた複合メッキ被膜を形成して撥水処理し、撥水処理されたノズルプレートに対して放電加工によりノズル孔を形成することで、撥水処理の影響を受けずにノズル孔を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】ドラムに対してラインヘッドを高精度に位置決めできるインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】描画ドラム１４の外周面に対して進退移動自在に設けられた台座３０Ｌ、３０Ｒにダミーヘッド６０を取り付け、ダミーヘッド６０に設けられた位置決めピン６６Ｌ、６６Ｒを描画ドラム１４に形成された位置決め穴６８Ｌ、６８Ｒに嵌入させる。これにより、台座３０Ｌ、３０Ｒが、描画ドラム１４の外周面に対して所定高さの位置に位置する。この所定高さの位置に位置した台座３０Ｌ、３０Ｒを固定し、固定した台座３０Ｌ、３０Ｒにラインヘッド１６Ｋを取り付ける。これにより、ラインヘッド１６Ｋが、描画ドラム１４の外周面に対して所定高さの位置に所定の姿勢で取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】ベースプレートに対して液体噴射ヘッドを繰り返し着脱することによる位置決め精度の低下を防止できる液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル列を有する液体噴射ヘッドと、液体噴射ヘッドを保持するベースプレート２０と、ヘッドに設けられた位置決めピン挿通孔に嵌合し、ベースプレート２０に設けられた位置決めピン２２と、ピン支持孔６０を有するガイドプレート５０とを備え、ガイドプレート５０は、最上層部５１、中間層部５２、及び最下層部５３から構成され、ピン支持孔６０は、最上層部５１に設けられた第１の開口部６１と、最下層部５３に設けられた第２の開口部６２と、中間層部５２に設けられて第１の開口部６１と前記第２の開口部６２とを連通する連通開口部６３とで構成され、位置決めピン２２は、第１の開口部６１と第２の開口部６２とで支持されている。 （もっと読む）

【課題】他基板と位置合わせして組み立てる際に、機械的ストレスを低減し、擦れ等によるチッピングや割れを防いで組み立て性を向上させることができるシリコン製ノズル基板等を提供すること。
【解決手段】他基板２、３との組み立て時に位置決めピン５１を通して位置合わせするためのアライメント穴１５及びトラック穴１６を備え、これらの穴１５、１６は基板面に平行な断面積が液導入面１ｂ側に向けて漸増し、基板面に垂直な断面形状が指数曲線を有する。このとき、アライメント穴１５は基板面に対して垂直な中心軸を有する回転体の連続曲面で構成され、中心軸を含む断面形状が、中心軸を対称軸として線対称な指数曲線を有する。そして、アライメント穴１５側壁及びトラック穴１６側壁の液導入面１ｂにおける接線と基板面の垂線とのなす角度が、０度以上１０度以下である。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドを簡易に且つ高精度に位置決めできる液体噴射ヘッドユニット及びそれらの製造方法並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】複数のノズル開口１１が並設されたノズル列１４を有するヘッド１０と、ヘッド１０を搭載したベースプレート２０とを備えるヘッドユニット１の製造方法であって、ベースプレート２０に設けられた位置決めピンに位置決めされる位置決めピン挿通孔４２及び位置決め調整穴４１を位置決めプレート４０にフォトリソグラフィー法により形成し、位置決め調整穴４１とノズル開口１１とが所定の配置となるように位置決めプレート４０をサブプレート３０に取り付け、位置決めピンを位置決めピン挿通孔４２に嵌合させた状態でヘッド１０をベースプレート２０に固定する。 （もっと読む）

ダイ本体を有し、ダイ本体にはコンポーネントが接合されている、ＭＥＭＳデバイスが説明される。ダイ本体は主表面及び、主表面に隣接し、主表面より小さい、側表面を有する。ダイ本体はある材料で形成され、側表面はその材料で形成され、ダイ本体は側表面とは異なる結晶構造にある。ダイ本体は側表面にアウトレットを有し、コンポーネントはアウトレットと流体流通可能な態様で連結されているアパーチャを有する。
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【課題】高吐出口密度を有する記録素子基板の接着固定に必要な精度を容易に満足できるインクジェット記録ヘッド、記録素子基板、インクジェット記録ヘッドの製造方法、および記録素子基板の製造方法を提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッド１は、インクが内部を通るとともに互いに離間して配された複数の流路を有する記録素子基板３を複数備えている。各記録素子基板３は、各流路が開口する複数のインク吐出口７が配された第１の面１３と、第１の面１３と交差して記録素子基板３の側面を形成するとともに、少なくとも一部がエッチング処理によって形成された第２の面１５と、を有する。 （もっと読む）

【課題】接着剤の塗布方法、形状を考慮して、効率よく接着剤の食み出しを防止できるインクジェットヘッド、及び、その製造方法、並びに、インクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド１０は、インク供給部材１４の下面部にヘッド本体１２を接着剤で接合して組み立てられる。インク供給部材１４の下面部は、開口して形成されており、その開口部４４の周縁に沿って接着剤を塗布するための塗布溝４２が形成されている。塗布溝４２は、一部が拡幅して形成されており、この拡幅部４６からディスペンサで接着剤が塗り始められる。そして、塗り終わりの部分が塗り初めの部分に重ねられて、塗布溝４２の全周に接着剤が塗布される。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の固定板に対する傾きを抑えて高精度な圧電素子ユニットを低コストで製造することができる圧電素子ユニットの製造方法、液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】固定板１４と、固定板１４に一端部側が自由端１１ａとなるように他端部１１ｂ側が固定される圧電素子１１と、を具備する圧電素子ユニット１０の製造方法であって、前記圧電素子１１の前記固定板１４に固定される固定端１１ｂと前記固定板１４とを加圧コマ１２０により加圧接合する工程において、前記加圧コマ１２０を押圧するプランジャー１１０が当該加圧コマ１２０の先端の中心Ａよりも前記圧電素子の前記自由端１１ａから前記固定端１１ｂ側に向かった方向にずらして押圧することにより、前記固定端１１ｂと前記固定板１４とを加圧接合する。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートと流路形成基板とを接合する際、位置決めピンとの接触面積を減少することによりチッピングを防止し、歩留まりの向上および製造コストの低減を図った液滴吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液滴を吐出する複数のノズル孔５を有するノズルプレート１と、ノズル孔５のそれぞれに連通する吐出室１３を加圧するアクチュエーターを備える流路形成基板２とを具備する液滴吐出ヘッドの製造方法において、ノズルプレート１及び流路形成基板２にそれぞれ複数箇所に多角形からなる位置決め孔６、７、１１、１２を形成する工程と、位置決め孔に治具５０に設けられた円柱状の位置決めピン８を挿入し、ノズルプレート１と流路形成基板２とを位置決めして接合する工程とを有し、位置決め孔のうち一方６、１１は、基準となる正多角形に形成され、他方７、１２は、位置決めピン８との位置ずれを吸収するように長孔状の多角形に形成する。 （もっと読む）

本プリントヘッドモジュール（２１０）は、基板と、複数本の液滴吐出器アレイ（２１１）と、電気回路（２３０）と、を有する。それらのうち基板は、自基板に沿い第１方向に延びる突合辺（２１４）を有する。複数本ある液滴吐出器アレイは、その基板の突合辺に対しほぼ平行に延びる。電気回路の一部は、複数本ある液滴吐出器アレイのうちその基板の突合辺に最も近い位置にある第１液滴吐出器アレイと、その基板の突合辺との間に位置する。
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複合デバイスを作製する方法が、第１のピッチの構成要素の第１のセットを含む第１のパーツを用意するステップと、第１のピッチとは異なる第２のピッチの構成要素の第２のセットを含む第２のパーツを用意するステップとを含む。第１のパーツは、複合デバイスを作製するために第２のパーツに固定される。複合デバイスは、実質的に位置合わせされた複合構成要素の対応するサブセットを形成するために、構成要素の第２のセットのサブセットと実質的に位置合わせされる構成要素の第１のセットのサブセットを含む。
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【課題】インク吐出デバイスの電気接続部とインナーリードとの位置調整に要する時間を短縮可能で、かつ位置合わせ精度を向上させることが可能なインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明はインクジェット記録ヘッドは、複数の突起部４を有する。これら各突起部４は、インク吐出デバイス１の上面１ｂ上に各電気接続部３の配列方向と平行に配列され、上面１ｂに平行な方向であってかつ各電気接続部３の配列方向に直交する方向から見て各電気接続部３の間に配置されている。さらに、隣接する各突起部４どうしの間隔は、突起部４の最頂部４ａにおいてはインナーリード５の軸線方向と直交する方向の幅ｂより広く、かつ最頂部４ａから突起部４の底部４ｄに向けて狭くなっている。 （もっと読む）