【課題】基板の面内の各部における風向のデータを取得することができる技術を提供すること。
【解決手段】気流のベクトルのデータを取得するための第１のセンサと、第２のセンサとからなる複数のセンサ対がその表面に設けられたセンサ用基板を載置部に載置する工程と、各第１のセンサにより、前記センサ用基板の表面に沿って設定された第１の直線方向における気流のベクトルのデータを取得する工程と、各第２のセンサにより、センサ用基板の表面に沿い、且つ前記第１の直線方向とは傾いて設定された第２の直線方向における気流のベクトルのデータを取得する工程と、同じセンサ対をなす第１のセンサ及び第２のセンサにより各々取得された気流のベクトルをセンサ対毎に予め設定された基点に基づいて合成し、各基点からの風向を演算する工程とを実施し、基板の面内の風向の分布を求める。 （もっと読む）

【課題】 凍結による測定不能状態がなく、空気の流れを乱さずに、正確に風向と風速とを測定することができる風向風速計および風向風速装置を提供すること。
【解決手段】 気体が内部を流通する風路管２と、赤外線を放射する放射面を風路管２の内周面に面一に配して設けられ入力電圧に応じて抵抗加熱により赤外線の放射量を制御可能な熱源部３と、放射面３ａからの赤外線を検出する検出面４ａを放射面３ａに対向状態にかつ風路管２の内周面に面一に配して設けられた非接触温度センサ部４と、を備え、非接触温度センサ部４が、検出面４ａの直下に少なくとも２つが風路管２の延在方向に並んでいる複数の感熱素子を備えている。 （もっと読む）

【課題】比較的簡素な構造を有しながら高い精度で風向検出を行うことができる風向計を提供する。
【解決手段】気流速度を検出するマイクロフローセンサ１０と、鉛直軸Ａを中心にマイクロフローセンサ１０を回動させるモータ５と、マイクロフローセンサ１０の回動位置を検出する角度センサ６と、検出した気流速度の値が最大となる場合におけるマイクロフローセンサ１０の回動位置に基づいて風向を判定する情報処理装置７と、を備える風向計１である。 （もっと読む）

【課題】 空調機を制御する環境で用いる風向／風速センサに関し、サーバラック等の省スペースに向いたサーミスタ利用による菅構造の風向／風速センサを提供する。
【解決手段】
サーミスタを用いる風向・風速センサにおいて、管内に配置し流入する風に乱流を生じさせる乱流発生構造体と、菅の軸方向に該乱流発生構造体を挟むようにその前後に配置した２つのサーミスタを備え、当該２つのサーミスタの抵抗値を比較し、抵抗値が大きくなる側を上流側として風向きを判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】応力が支持部の一部分に集中して加わることを抑制する流向流速計を提供する。
【解決手段】流向流速計は、薄膜状の複数の梁１２と、複数の梁１２を支持する支持部１１と、梁１２の上に配置され、被計測流体を加熱するヒータ１３と、梁１２の上に配置され、ヒータ１３により加熱された被計測流体の温度を測定する少なくとも３つ以上の温度センサ１４ａ〜１４ｆとを備える。基板２１の裏面に円柱状の凹みＣａを形成することにより、凹みＣａの底面近傍に複数の梁１２が形成され、且つ凹みＣａの周囲に支持部１１が形成され、支持部１１の外側の側面ＦＵの少なくとも一部は、凹みＣａと中心軸を同じにする円柱の側面を成している。 （もっと読む）

【課題】流向依存性の少ない流速計測を行う流向流速計を提供する。
【解決手段】流向流速計は、被計測流体を加熱する加熱部１１と、加熱部１１の周囲に配置され、被計測流体の温度を計測する少なくとも３つ以上の温度計測部１２ａ〜１２ｈと、温度計測部１２ａ〜１２ｈにより計測された被計測流体の温度の変化から、被計測流体の流向及び流速を演算する演算部とを備える。３以上の温度計測部１２ａ〜１２ｈの中点Ｃａ〜Ｃｈは正多角形の頂点を成し、当該正多角形の中心点と加熱部１１の中心点Ｃｔは同じ位置に配置されている。被計測流体の流向が温度計測部１２ａ〜１２ｈの中点Ｃａ〜Ｃｈに向いた場合に比べて、被計測流体の流向が隣接する２つの温度計測部１２ａ〜１２ｈの間に向いた場合の被計測流体の流速に対する流向流速計の感度を高くする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、室内各所の風向および風速を三次元的に簡易に計測可能な風向風速計およびその風向風速計に用いられるセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明にかかる風向風速計用センサは、網目状の骨組みを有する球殻状の風向風速計用センサであって、骨組みを構成する経線方向の線材と緯線方向の線材との交点である絶縁部と、熱線式風速計の検出部であって、絶縁部により所定の長さ毎に区分される線材と、を備えることを特徴とする （もっと読む）

【課題】微風域から強風域に至るまでの広範な風量域において風向と風量を高精度に検出することができ、かつ良好な汚れ耐性を有する気体流量計を実現する。
【解決手段】電熱線１３と銅箔１４とを一組とする熱電対１１をプリント基板１０上に形成すると共に、サーミスタ１２をプリント基板１０上に配し、熱電対１１及びサーミスタ１２を制御回路２１と接続する。そして、通電制御回路１６で電熱線１３への通電を制御すると共に、熱起電力検出回路１７で電熱線１３と銅箔１４との接合点１５ａ、１５ｂ間の温度差に応じた熱起電力を極性と共に検出し、これにより微風域での風向と風量を得る。また強風域は熱電対１１により風向を検出し、サーミスタ１２で風量を検出する。熱電対はプリント基板１０上で多数直列接続するのが好ましい。 （もっと読む）

本発明の対象は、流体の流れの速さ、その方向およびその向きの測定装置であって、熱センサ式の測定原理に基づき、少なくとも３つの流れ測定プローブ（１、１ａ、．．．、１ｆ）を備え、それぞれのプローブが、感温素子（２）と、感温素子の決まった測定ゾーンをマスキングする障害物（３）とを備える装置において、流れ測定プローブが支柱（７）に固定され、その支柱（７）が、前記流れ測定プローブの感温素子正面の測定プローブの角領域に対するマスキング要素（４）を形成する前記障害物（２）を構成することを特徴とする装置である。
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【課題】メンブレンが薄くなり過ぎて割れてしまうことを防止できる物理量センサの製造方法を提供する。
【解決手段】熱式流量センサを形成するために用いるＳＯＩ基板の埋め込み層をＳｉＯ₂の一層のみによって構成せずに、シリコン基板１０の表面１０ｂに配置したシリコン窒化膜１１も備えた構成とする。これにより、シリコン基板１０をエッチングする際に、シリコン窒化膜１１がエッチングストッパとして機能し、シリコン酸化膜１２が除去されないようにすることができる。このため、シリコン酸化膜１２がエッチングされることによるメンブレンの薄厚化を防止することができ、メンブレンが薄くなり過ぎて割れてしまうことを防止することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】５００℃以上の高温で、かつ、流速１ｍ／ｓ以下の遅い流れの流体が存在する高温空間内でも、流体の流動方向の検出や流速の測定を行うことができるセンサを提供する。
【解決手段】５００℃以上の高温で、かつ、流速１ｍ／ｓ以下の遅い流れの流体が存在する高温空間内における前記流体の流動方向の検出及び流速の測定を行うためのセンサであって、前記高温空間外から前記高温空間内へ投入（センシング）ガスを投入するための投入管５と、その先端部が投入管５の開口端に配置された投入ガス温度測定用熱電対２と、その先端部が投入管５から径方向に所定距離離れた位置に配置された複数の周辺ガス温度測定用熱電対３とを備えた高温用流動センサ。 （もっと読む）

【課題】短時間かつ低コストで、しかも高精度に地下水の流れ状態を推定できるようにする。
【解決手段】先端外周面に掘進用の螺旋羽根１０１ａが設けられた鋼管１０１内に、芯管０３に巻回された被覆ニクロム線（ヒーター１０２）、芯管１０３内に設けられた発泡スチロール等の断熱材１０４、鋼管１０１内表面の一定高さ位置に等間隔で配設された８個の温度センサ１０５等が設けられている。ある測定点（ある熱電対）における温度変化ΔＴが最も大きく、それに対向する他の測定点（熱電対）における温度変化ΔＴが最も小さくなっている場合、地下水流向は、上記ある測定点が下流に位置し、上記他の測定点が上流に位置するものと推定される。 （もっと読む）

【課題】流体の温度・流速・流量などの物理的変化をセンシングするデバイスにおいて、流体の特定方向の流れだけでなく、全方位からの流体の変化量を検知し計測するフローセンサを提供する。
【解決手段】基板から空洞部を介して熱分離した薄膜に、ヒータとそのヒータを取り囲むように配列した複数個の温度センサアレイを具備した構造、又は、ヒータと複数個の温度センサアレイを有する薄膜を空間的に分離して全方位からの流体の変化量のみを検知する構造とすること。 （もっと読む）