【課題】ダイアフラム及び溶接部を透過する水素分子の浸透を遅延させる構造を有する差圧・圧力計を提供する。
【解決手段】円板状に形成された接液ブロックと、ドーナツ状のシールリングと、
このシールリングの外径よりは小さく内径よりも大きな外径を有し一方の面に金メッキが施されたダイアフラムと、を備えた差圧・圧力計において、
前記ダイアフラムは金メッキされた側から前記シールリングの一方の面に径の異なる複数箇所で溶接され、前記シールリングは他方の面から前記ダイアフラムの外径より外側で前記接液ブロックに溶接されるとともに、前記径の異なる複数の溶接箇所の間に溝を形成した。 （もっと読む）

【課題】高耐圧性、高耐食性、清浄性が向上された圧力センサを実現する。
【解決手段】測定流体に接液する接液ダイアフラムを具備する圧力センサにおいて、主成分の材料成分がコバルト３０〜４０％，ニッケル１６〜３４％、コバルト１１〜２１％の重量比組成を有する高張力鋼合金であって、鉄分が１０％以上の重量比組成を有する接液ダイアフラムを具備したことを特徴とする圧力センサである。 （もっと読む）

【課題】耐食性が確保でき且つ組み立て易く、製造コストが低減できる圧力測定装置
を実現する。
【解決手段】測定装置本体の一方端に接続され耐食材よりなるニップルを具備する圧力測定装置において、前記一方端に設けられた凹部と、この凹部に対向して前記ニップルの一方の面に設けられ前記凹部が嵌合される凸部と、この凸部の頂面を覆って設けられ前記凹部と受圧室を構成し耐食材よりなる接液ダイアフラムとを具備したことを特徴とする圧力測定装置である。 （もっと読む）

【課題】圧力測定対象のガスが塩素系ガス等の腐食性ガスであっても機器の腐食を安価な構成で防止してガスリークを確実に防止できる簡易差圧測定器を提供する。
【解決手段】簡易差圧測定器は、前記収容管体１４の一方側の管端部１０内に測定対象気体を導入する第１の通路２０と、他方側の管端部１２に比較気体を導入する第２の通路２２と、前記非接触式液面検出手段１８によって検出した前記収容管体１４の他方側の管端部１２内の測定液１６の液面位置に基づき前記測定対象気体および比較気体間の差圧を測定する差圧測定手段２４とを設けたものである。 （もっと読む）

【課題】腐食性ガスに曝されても腐食する恐れのない圧力センサ用継ぎ手を提供する。
【解決手段】圧力センサが設置されるセンサマウントと、センサマウントと一体に形成され、一端がセンサマウントに接続され、他端にフランジが設けられた管状ポートとからなる継ぎ手本体部と；フランジ側から管状ポートの外側に挿通されたナットと；ナットのセンサマウント側に固定され、ナットがポートから抜け落ちないようにフランジに係止しうる２分割リングとを備え、２分割リングの内径は、管状ポートの外径より大きく、フランジの外径より小さい。 （もっと読む）

【課題】高耐食性と高強度とを備えた圧力センサ、ダイヤフラム及びダイヤフラムの製造方法の提供。
【解決手段】本発明の圧力センサ１０は、測定対象流体からの圧力を受けるダイヤフラム１を備え、ダイヤフラム１の変形により前記測定対象流体の圧力を検出する圧力センサ１０であって、ダイヤフラム１が、Ｆｅ：１０〜５５質量％、Ｃｏ：２５〜５０質量％、Ｃｒ：５〜２７質量％、Ｍｏ：３〜１１質量％、Ｗ：０．５〜５質量％、Ｎｉ：１０〜２０質量％、及び不可避不純物からなる合金よりなることを特徴とする。 （もっと読む）

メンブレン（２）はキャリア基板（３）上に配置され、キャリア基板（３）内の開口（３２）上に延在する。圧力センサ（１）は、媒体との直接的な接触からメンブレン（２）を保護するために保護層（４）を有する。保護層（４）は開口（３２）内側の第１領域（２８）および開口（３２）外側の第２領域（２９）におけるメンブレン（２）を被覆する。さらに、保護層（４）がエッチング処理のためのエッチストップを形成する、圧力センサ（１）の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラム本体に白金族元素金属層と透過軽減金属層を配置して、従来のダイアフラムよりも更に水素透過軽減を行うダイアフラム型圧力測定装置におけるダイアフラム構造を提供する。
【解決手段】ダイアフラム型圧力測定装置のダイアフラム本体１５の被測定流体側表面に透過軽減金属層１６、白金族元素金属層１７を順次積層した。白金族元素金属層１７にて水素の水への還元を行うことで透過軽減金属層１６に到達する水素量を低下させ、更に、透過軽減金属層１６での水素透過軽減を行う。 （もっと読む）

【課題】耐久性を確保しながら測定精度を向上させた超高圧まで計測可能な圧力計測装置を提供する。
【解決手段】耐腐食性合金からなり圧力流体が流通する管状部材２と、管状部材２の外周部に形成され、外周部２ｂよりも肉厚が薄くなるように管状部材２の軸方向に沿って平行に形成された平坦面からなる被検出部３と、被検出部３における圧力流体による歪みを検出する歪検出ゲージ５と、を有し、歪みを電気量に変換して０〜５００ＭＰａまでの圧力を計測するのに適した超高圧用の圧力計測装置１であって、管状部材２は、管状部材２の内周面２ａと被検出部３との間に形成される最肉薄部の距離が１．０〜１．９ｍｍとなるように形成された薄肉部４を備え、薄肉部４の歪みを検出するように被検出部３に歪検出ゲージ５が配設されている。 （もっと読む）

【課題】耐薬品性であり、流体の清浄性を保持することができ、かつ小型化できる圧力センサーを提供する。
【解決手段】本発明に係る圧力センサー２０は、流体に接触するフッ素樹脂からなる接触膜２と、金属からなり、接触膜２を介して流体の圧力を受ける受圧部１と、流体の圧力を電気信号に変換する素子６と、受圧部１および素子６の間に位置し、受圧部１が受けた圧力を素子６に伝達する封入液４と、一方の端が流体が流れる配管に接続されるように構成され、かつ他方の端が接触膜２に接続されている、フッ素樹脂からなるチューブ５と、により構成されている。 （もっと読む）

【課題】耐食性を向上することができる圧力センサ、ダイアフラム及び圧力センサの製造方法を提供する。
【解決手段】測定対象流体からの圧力を受けるダイアフラム５を備え、当該ダイアフラムの受圧部の変形により測定対象流体の圧力を検出する圧力センサ１において、ダイアフラムは、Ｃｒ１９〜２３％，Ｍｏ７〜１０％，Ｆｅ１〜８％，Ｃｕ０．５〜２％，Ｎｂ０．５〜２％以下，Ｃ０．０６％以下，残りＮｉよりなる合金から形成されている。 （もっと読む）

プロセス送信機（１０２）は、耐腐食性ハウジング（１１０）を含む。耐腐食性ハウジングは、第一の材料から形成され、フランジ部分（３１０）を含む。プロセス送信機（１０２）は、第二の材料から形成された外側リング（３０６）も含む。外側リングは、内径を有し、フランジ部分にろう付けされている。プロセス送信機（１０２）は、さらに、第三の材料から形成された変形可能なダイヤフラム（３０４）を含む。変形可能なダイヤフラム（３０４）は、ダイヤフラム（３０４）と内径に隣接する外側リング（３０６）との間の溶接シームにおいて、外側リング（３０６）に溶接され、流体シールを形成している。
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【課題】酸性環境において耐久性のある圧力センサモジュールを提供する。
【解決手段】圧力センサモジュールは、支持部材５の前方３に搭載された感知部材１を含む。支持部材５は、前方３から後方９に支持部材５を貫通する穴７を含む。感知部材１は、穴７を前方３で覆っている。支持部材５の後方９に設けられた後方バリア６は、支持部材５の後方９の表面を取り囲み閉じられた領域８を形成する。閉じられた領域８と穴７は、圧力チャンネル１０を形成する。後方保護部材２は、穴７と少なくとも部分的に閉じられた領域８とを充填する。支持部材５、後方バリア６、および後方保護部材２は、モジュールを形成する。そのモジュールは、圧力センサの製造過程で、圧力センサのハウジング内に位置され得る。 （もっと読む）

【課題】 電気式圧力計を用いて、液体の消費状態及び／又は供給状態を管理することができる、気体が漏れ難く、液体の供給作業を再開しても圧力を監視できる液体供給装置を提供すること。
【解決手段】 本発明の液体供給装置は、液体貯蔵装置、液体消費装置、前記液体貯蔵装置と前記液体消費装置とを接続し、前記液体を液体消費装置に供給することのできる消費装置路、電気式圧力計、及び前記消費装置路と前記電気式圧力計とを接続する密閉空間からなり、気体が存在することによって、前記電気式圧力計と前記液体とが隔離された状態とすることができる圧力計路とを備えた液体供給装置であり、前記圧力計路は、中空柱状部、中空柱状部空間を二分するとともに中空柱状部の内壁に沿って摺動可能な分離部材、前記分離部材よりも電気式圧力計側に位置し、前記分離部材の電気式圧力計側への摺動を不可能とする停止部材とを備えている。静電紡糸装置に好適に使用できる。 （もっと読む）

プロセス流体圧力トランスミッタ（１０）は、圧力センサ（１６）と、トランスミッタ電子機器（１８）と、アイソレーション・システム（１４）とを含む。圧力センサ（１６）は、圧力によって変化する電気的特性を有する。トランスミッタ電子機器は、圧力センサ（１６）に結合され、電気的特性を感知して圧力出力を計算する。アイソレーション・システム（１４）は、ベース部材（３０）と、アイソレーション・ダイヤフラム（３２）と、封入液（３８）とを含む。アイソレーション・ダイヤフラム（３２）は、ベース部材（３０）に装着され、圧力センサ（１６）とプロセス流体との間に介在する。封入液（３８）は、アイソレーション・ダイヤフラム（３２）と圧力センサ（１６）との間に配設される。ベース部材（３０）及びアイソレーション・ダイヤフラム（３２）は異なる材料から構成されて、アイソレーション・ダイヤフラム（３２）の熱膨張係数が、ベース部材（３０）の熱膨張係数よりも大きくなる。
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【課題】熱膨張によって生じた熱応力の影響を軽減して圧力測定が可能な、壊れにくい構造の圧力センサを提供する。
【解決手段】一面の周縁部に周縁突出部００１ｂが形成され、略中央部に圧力伝達突出部００１ｄが形成され、外圧に応答して変位する感圧ダイアフラム００１ａを備える感圧部材００１と、受圧突出部００２ｂが形成された受圧ダイアフラム００２ａを備え、受圧ダイアフラム００２ａの変位により圧力を検出するセンサチップ００２と、一面の周縁部に支持突出部００３ａが形成され、かつ略中央にセンサチップ００２を搭載するベース部材００３と、からなり、ベース部材００３を感圧ダイアフラム００１ａ側へと押圧する押圧機構と、を設け、該押圧機構で押圧されたときに、圧力伝達突出部００１ｄと受圧突出部００２ｂのそれぞれの先端が当接し、かつ周縁突出部００１ｂと支持突出部００３ａのそれぞれの先端が当接する構成とされている。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラムシール部分のみを簡単に交換することができるダイアフラムシール付き差圧測定装置を実現する。
【解決手段】本体カプセルを有する差圧測定装置本体とダイアフラムシール部とを連結パイプで連結するダイアフラムシール付き差圧測定装置において、前記連結パイプの本体ボディ取り付け部に設けられ前記ダイアフラムシール部と前記連結パイプとに封入液６を封入すると共に前記封入液の測定流体に対する膨張量に対応して変位する封入変位手段２０と、この封入変位手段の変位を前記本体カプセルに伝達する伝達手段２６ａとを具備した。 （もっと読む）

【課題】厚さが薄い受圧膜を使用できる構成を備えると共に、応答性能に優れ、計測誤差の少ない隔膜式圧力センサを提供する。
【解決手段】ハウジング１内を受圧膜３０によって第一室３１と第二室３２とに仕切り、第一室３１には圧力伝達媒体を充填すると共に、第一室３１には圧力伝達媒体の圧力を計測可能に圧力センサ９を取り付け、第二室３２には計測対象流体の圧力を供給し、受圧膜３０の変位により変化する第一室３１内の圧力伝達媒体の圧力を圧力センサ９で検出して計測対象流体の圧力を計測可能とした隔膜式圧力センサにおいて、受圧膜３０の厚さを０．２ｍｍ以下とすると共に、ハウジングの第一室３１の内壁３１Ａ、および第二室３２の内壁３２Ａの形状を、受圧膜３０が最大変形したときの形状と略一致させ、圧力センサ９に通じる第一室の内壁３１Ａには複数の細孔３３を設けた。 （もっと読む）

本発明の圧力センサユニット１は、パイプ壁１４又は小室壁を通し開口部２４内に導入されるよう構成されたシャフト部２と、開口部の外側末端１９の周囲を封止するためにシャフト部の外側末端１８に固定されたフランジ部１７とから構成される。シャフト部内側末端６は、圧力が測定される処理流体１６と接する場所に延在する。内側末端６は、処理流体をシャフト部２の内部空間に入れるための穿孔２２を備える。分離膜７用のベースを構成するブロック８が、内部空間中で内側末端６のすぐ後に配置され、処理流体の圧力を油圧パイプ１０を介してフランジ部１７内の圧力センサ素子４に伝達する。フランジ部２は壁の薄いパイプで構成され、これは、内部圧力の等化によって可能となる。したがって、圧力センサユニットの製作で大きな費用削減が達成される。 （もっと読む）

【課題】圧力媒体による配線の腐食を防止できる圧力センサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】センサチップ３を貫通するように配線部４を設け、配線部４が保護キャップ５によって覆われるようにすると共に、配線部４のうちセンサチップ３の裏面から露出する第２埋込配線４ｃとケース２の搭載面２ａから露出するターミナル２ｃとを接続するバンプ４ｄを封止材７にて囲み、圧力媒体と大気とから分離されるようにする。配線部４は、センサチップ３を構成する半導体基板３ａのうちゲージ抵抗３ｃ以外の部分とは絶縁されるようにする。これにより、配線部４が圧力媒体と接触するような場所に露出しない構造となり、配線部４が腐食されることを防止することが可能となる。 （もっと読む）