【課題】 可動基板と固定基板との接合に伴う面内歪みの低減がなされた圧力センサを提供する。
【解決手段】 圧力センサ１は、可動基板１０、及び固定基板２０を有しており、それぞれの対向面１０ａ，２０ａが対向するように密着接合されている。可動基板１０には、第１の薄肉部としてのダイアフラム１１が形成されており、ダイアフラム１１の周辺に導電膜１４ａが形成されている。固定基板２０には、その両面に形成された凹部２５ａ，２５ｂの底面部で構成された第２の薄肉部としての緩衝部２４が形成されて、その外周に接合部３５が形成されている。可動基板１０と固定基板２０との接合は、固定基板２０の接合部３５の接合面３５ａと、可動基板１０に形成されている導電膜１４ａとが陽極接合されることによって行われている。 （もっと読む）

モノリシック集積回路を有するセンサユニットを製作するための方法及びセンサユニットを提案する。このセンサユニットは、マイクロマシンセンサ構造を有しており、このセンサ構造に対応配置された第１の部分構造は、回路に対応配置された第２の部分構造と同時に形成され、センサ構造の構造特性を調整するためには、不変の第２の部分構造において第１の部分構造のプロセスバリエーションが行われる。
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【課題】固定電極の引き出し構造を単純化でき、しかも気密性に優れた静電容量型圧力センサを提供すること。
【解決手段】ガラス基板１１には、固定電極である、シリコンで構成された島状体１２が埋設されている。ガラス基板１１の主面１１ｂ上には、島状体１２の露出部分と電気的に接続するように接続電極１３が形成されている。ガラス基板１１の主面１１ａ上には、圧力センサの導電性可動部である感圧ダイヤフラム１４ａを有するシリコン基板１４が接合されている。ガラス基板１１とシリコン基板１４とは、島状体１２上にキャビティ１５が形成されるように接合されている。シリコン基板１４の厚肉部１４ｃ上には、可動電極側の接続電極１６が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 圧力の低下で電気的に導通する接点を有し、単純な構造で構成された絶対圧力センサ、及びその製造方法、絶対圧力センサを備えたタイヤ空気圧監視装置を提供することにある。
【解決手段】 絶対圧力センサは、第１の基板１２と、第２の基板１４と、第３の基板１６と、第１の基板１２の第２の基板１４に対向する面に形成されてなる第１の接点１８と、第２の基板１４の第１の基板１２に対向する面に、第１の接点１８に対向し、ダイヤフラム２２の変形に基づいて被測定圧が所定の圧力を超えると第１の接点１８と電気的に絶縁し、被測定圧が所定の圧力以下で第１の接点１８と電気的に導通するように形成されてなる第２の接点２０と、を含み、第１の基板１２は単結晶材料で形成され、ダイヤフラム２２は単結晶材料ダイヤフラムである。 （もっと読む）

【課題】 同じ構造で、絶対圧センサ及びゲージ圧センサを共に実現する。
【解決手段】 圧力センサ１０は、表面２１に形成される第１電極４０と、第１電極４０の表面を覆って成膜される誘電体膜７０と、第１接続電極４３と、裏面２２に形成される第２接続電極４５と、厚み方向に貫通する貫通電極４６と、が形成される固定基板２０と、誘電体膜７０に対向して形成されるダイヤフラム３４と、ダイヤフラム３４の表面の第１電極４０に対向した位置に、誘電体膜７０との間に空間６０を有して形成される第２電極５０と、第２電極５０から延在される接合電極５２と、が形成される可動基板３０と、を備え、固定基板２０と可動基板３０とが、接合電極５２によって接合し一体化され、貫通電極４６は貫通孔４７を有し、貫通孔４７が空間６０に連通し、金属からなる封止材８５が、貫通孔４７を封止するとともに、第１電極４０と第２接続電極４５とを接続している。 （もっと読む）

【課題】 気密空間にリークを生じたり、検出体や基体が破壊されたりすることを防止できる静電容量型圧力センサを提供すること。
【解決手段】 誘電体材料でなる基体３２と、該基体に重ねて固定されており、受ける圧力に応じて変形するように厚みを薄くして形成した検出体４１と、前記検出体の変形面４９と、前記基体とが互いに対向する対向面のいずれか一方の面に形成された放射状の電極指を有する第１の電極４４と、他方の面に形成され、前記第１の電極４４と所定の間隔を置いて重ならない位置に形成した第２の電極３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】製造中に発生するガスによる電極の電気抵抗上昇を抑えることができる静電容量型センサを提供すること。
【解決手段】ガラス基板１１には、シリコンで構成された島状体１２ａ，１２ｂが埋設されている。ガラス基板１１の主面１１ａ上には、島状体１２ａ，１２ｂの一方の露出部分と電気的に接続するようにそれぞれ固定電極１３、電極１４が形成されている。ガラス基板１１と電極１４の間にはガス拡散防止層１５が配置されている。ガラス基板１１の主面１１ｂ上には、島状体１２ａ，１２ｂの他方の露出部分と電気的に接続するようにそれぞれ電極１６ａ，１６ｂが形成されている。ガラス基板１１の主面１１ａ上には、導電性可動部である感圧ダイヤフラム１７ａを有するシリコン基板１７が接合されている。 （もっと読む）

【課題】固定電極と可動電極の溶着を防止すると共に、固定電極と可動電極の損傷を防止することができる静電容量型センサを提供すること。
【解決手段】ガラス基板１１には、シリコンで構成された島状体１２が埋設されている。ガラス基板１１の主面１１ａ上には、島状体１２の一方の露出部分と電気的に接続するように固定電極１３が形成されている。ガラス基板１１の主面１１ｂ上には、島状体１２の他方の露出部分と電気的に接続するように電極１４が形成されている。 ガラス基板１１の主面１１ａ上には、導電性可動部である感圧ダイヤフラム１５ａを有するシリコン基板１５が接合されている。シリコン基板１５とガラス基板１１の主面１１ａとの間には、放電促進領域を含む放電促進空間１７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 圧力基準室の封止信頼性に優れた圧力センサおよび圧力センサの製造方法を提供すること。
【解決手段】 受圧基板１０に形成されたダイアフラム１１の対向面１０ａ側に可動電極１３が、対向基板２０における可動電極１３と対向する領域に対向電極２１が形成されている。可動電極１３からは、導電膜１４ｃ、スルーホール１５の内面の端子配線が導線（引き出し線）として設けられている。また、対向電極２１からは、リード配線２２、リード配線２２と対向して接点を構成する導電膜１４ｂ、導電膜１４ａ、キャスタレーション１６の端子配線が導線として設けられている。受圧基板１０と対向基板２０とは、導電膜１４ａ，１４ｃを介して陽極接合され、ダイアフラム１１の対向面１０ａ側を含む一定領域が封止される。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、基準圧力の安定性が良く、外
圧の絶対値の検出精度に対する信頼性に優れた圧力センサ、およびその製造方法を提供す
ること。
【解決手段】 受圧基板１０に形成されたダイアフラム１１の対向面１０ａ側に可動電極
１３が、対向基板２０における可動電極１３と対向する領域に対向電極２１が形成され、
両基板１０，２０は、受圧基板１０の対向面１０ａに塗布された接合材１４ａ，１４ｂを
介して接合される。また、対向基板２０の底面２０ｂには、上面３０ａ側に凹部３１を有
するケース体３０が接合され、底面２０ｂと凹部３１とで囲まれた空間が封止されて気密
室３２が形成される。気密室３２と対向面１０ａ，２０ａ間の狭小空間とは連通口２４に
よって連通されており、共に圧力基準室を構成する。 （もっと読む）

【課題】 歩留まりの向上を図ると共に、検出精度の向上を可能とした小型の静電容量型圧力センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 表面部２ａに第１の電極７を有する基材２と、基材２の表面部２ａと対向して配置されると共に、第１の電極７と対向する第２の電極１３を有するダイヤフラム３と、基材２とダイヤフラム３との間に配置されて、第１の電極７と第２の電極１３との対向間隔を規定すると共に、第１の電極７と第２の電極１３との対向部分を取り囲む環状の内側スペーサ部材４と、内側スペーサ部材４の外側を取り囲む環状の外側スペーサ部材５と、内側スペーサ部材４と外側スペーサ部材５との間に埋め込まれた状態で基材２とダイヤフラム３とを接合する接合部材６とを備え、基材２とダイヤフラム３と内側スペーサ部材４との間には、接合部材６により気密に封止された気密室１４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 歩留まりの向上を図ると共に、検出精度の向上を可能とした小型の静電容量型圧力センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 基材２とダイヤフラム３との接合時に減圧状態とし、スペーサ部材４及び接合部材５に形成されたガス抜き用の溝部１５，１６を通じてスペーサ部材５の内側で発生したガスをスペーサ部材５の外側へと逃がすと共に、最終的に接合部材５の溝部１６が埋まることで、基材２とダイヤフラム３とスペーサ部材４との間に接合部材５により気密に封止された気密室１４を形成する。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムに圧力検出素子が設けられている圧力センサにおいて、ダイヤフラムの歪みに起因する写真製版のピントずれを回避して、圧力検出素子を高精細に形成する圧力センサの製造方法を提供する。
【解決手段】第一の半導体基板１の正面側に圧力検出素子５を形成した後、第一の半導体基板１の圧力検出素子５が形成されていない背面側から薄肉化する工程と、第二の半導体基板３上に絶縁層２を形成した後、絶縁層２の一部を除去して凹部を設ける工程と、薄肉化された第一の半導体基板１と第二の半導体基板３上の絶縁層２とを接合してダイヤフラムを形成する工程とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】 センサチップのダイヤフラム（圧力受圧面）を保護部材で被覆保護してなる圧力センサにおいて、保護部材の応力による圧力誤差を低減させてセンサ特性を向上させる。
【解決手段】 一方の面に大気圧が印加され、大気圧が印加される面とは反対側の面に第１保護部材１２が設けられていると共に、この第１保護部材１２を介して圧力媒体の圧力が印加される第１ダイヤフラム１１と、一方の面に大気圧が印加されると共に、大気圧が印加される面とは反対側の面に真空圧が印加される第２ダイヤフラム２１と、一方の面に大気圧が印加され、大気圧が印加される面とは反対側の面に第１保護部材１２と同一特性を有する第２保護部材３２が設けられていると共に、この第２保護部材３２を介して大気圧が印加される第３ダイヤフラム３１と、を備える。 （もっと読む）

【課題】バンプを用いて感圧チップと測定用電子機器を接続してなり、圧力測定精度と接続の信頼性を損なうことなく小型化を図れる半導体圧力センサとその製法を提供する。
【解決手段】本発明に係るシリコン単結晶からなるダイアフラムの表面にピエゾ抵抗感圧ゲージが形成された感圧チップの裏面側にガラス基板を張り合わせ、ダイアフラムの裏面とガラス基板との間に第一の空間を形成し、ダイアフラムの表面に印加される被測定圧力を第一の空間の圧力を基準圧として測定する半導体圧力センサにおいて、感圧チップ表面に配設された感圧ゲージ電極上に形成された樹脂製突部と、樹脂製突部の一部または全体を覆うように形成され、感圧ゲージ電極と電気的に接続された導電層と、導電層を介して樹脂製突部の一部または全体を覆うように形成されたバンプとを有し、さらに導電層とバンプとの接続位置を、ピエゾ抵抗感圧ゲージの抵抗値に影響が生じにくい位置とする。 （もっと読む）

【課題】熱応力による検出特性への影響を極力低減し、熱応答性の良好な圧力検出装置を提供すること。
【解決手段】圧力検出装置１００は、圧力を受けて発生した歪みを電気信号に変換して出力する圧力検出素子１１０と、この圧力検出素子１１０を格納する素子格納部１２１を有する装置基体部１２０と、これら圧力検出素子１１０および素子格納部１２１間に介在し、両者を引張り伸び率略４００％以上で接続する接続部１２９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】精度や信頼性がより高い、絶対圧測定用の静電容量型圧力センサ及びその真空室の真空度を評価する評価方法を提供する。
【解決手段】 ダイヤフラム３の圧力により変位する可動電極６と、該可動電極６に対向して設けられた固定電極５とを真空室内４に備え、該可動電極６と該固定電極５との間の静電容量を計測することにより、ダイヤフラム内の圧力を計測する静電容量型圧力センサにおいて、前記真空室内４に外部に端子が引き出される一対の真空度計測用端子７ｃ、７ｄを設けた。真空度計測用端子７ｃ、７ｄの一方に高電圧を印可し、他方の電極から放電電流を計測することにより、真空室４内の真空度を計測して真空度を評価する。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウェハにチップ単位毎にセンシング部を形成した後、半導体ウェハをダイシングカットしてチップに分断するようにした圧力センサの製造方法において、応力の影響を防止して適切にチップの特性調整および特性検査を行う。
【解決手段】 半導体ウェハ３０にチップ単位毎にセンシング部としてのダイアフラム１１１を形成した後、半導体ウェハ３０をダイシングカットしてチップ１００に分断するようにした圧力センサ１００の製造方法において、半導体ウェハ３０の一面に半導体ウェハ３０を支持する固定板４０を貼り合わせ、半導体ウェハ３０側から固定板４０に到達するフルダイシングを行い、半導体ウェハ３０を複数個のチップ１００に分断し、複数個のチップ１００を固定板４０に固定した状態で特性調整および特性検査を行い、しかる後、チップ１００から固定板４０を取り外す。 （もっと読む）

【課題】 圧力測定を妨げる侵入物を容易に除去可能な圧力測定機能付き電子機器を提供する。
【解決手段】 圧力センサ６を内蔵する装置本体２を備えるダイブコンピュータ１において、圧力センサ６の測定部６Ａを間隙αを形成した状態でカバーするセンサカバー１０を備え、このセンサカバー１０を上記間隙α側に押し込み操作可能にした。 （もっと読む）

方法及び媒体から分離された絶対圧力センサ装置は、第一センサ（１０１）を含み、分離された媒体（Ｐ_１）と第二媒体（Ｐ_Ａ）との間の圧力差を測定する。第二センサ（１０３）は、第二媒体（Ｐ_Ａ）の絶対圧力（真空に対する圧力）を測定する。各センサ（１０１，１０３）は、固有のオフセットと傾斜応答を有する。イコライザ（２１７，２１９）がセンサ（１０１，１０３）の傾斜を合致させ、加算回路（２２５）が実質的に同じ傾斜出力を加算して、分離した媒体（Ｐ_１）の絶対圧力測定を示す出力信号（２２７）を提供する。各センサのオフセット及び温度補償も提供される。
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