【課題】熱電対の破損や断線を防ぎ、しかも全体の厚さの均一化を可能にした温度検出ウェハを提供する。
【解決手段】ウェハ貼り合わせ装置の温度モニタ用の温度検出ウェハであって、２枚のダミーウェハの間に温度測定用の熱電対を挟み込んでダミーウェハ同士を接着することにより熱電対をダミーウェハに固着するようにした温度検出ウェハにおいて、前記熱電対を、シース管２２ａの内部に絶縁材２２ｂを介して熱電対素線２２ｃが配置されたシース熱電対２０により構成し、２枚のダミーウェハ１１，１２によって挟まれるシース熱電対２０の一部を、ダミーウェハ１１，１２の表面に直交する方向の厚さがほぼ一定である扁平部２２とする。 （もっと読む）

【課題】熱処理炉の内部で鋼板が上下方向に振動しながら搬送された場合でも接触式温度センサを鋼板の表面に接触させた状態で鋼板温度を測定することのできる鋼板温度測定装置を提供する。
【解決手段】接触式温度センサ２ａ，２ｂを支持するアーム８ａ，８ｂの先端部同士をアーム連結軸１０ａ，１０ｂにより連結し、接触式温度センサ２ａ，２ｂを鋼板１８の表面に押し当てるセンサ押し当て用重り１１ａ，１１ｂをアーム連結軸１０ａ，１０ｂの両端部に設けるとともに、鋼板１８から接触式温度センサ２ａ，２ｂに作用する押し上げ力を吸収可能なセンサ保持部１２ａ〜１２ｄをアーム連結軸１０ａ，１０ｂに設ける。そして、接触式温度センサ２ａ，２ｂが鋼板１８の表面に対して凸状に湾曲するように接触式温度センサ２ａ，２ｂの両端部をセンサ保持部１２ａ〜１２ｄで保持する。 （もっと読む）

【課題】連続鋳造金属の温度を十分な精度を保って測定する温度測定装置を提供する。
【解決手段】温度測定装置は温度センサ１１８と、ストランド１０４からの熱エネルギに応答してストランド１０４の方向に温度センサ１１８を付勢する付勢部材１２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 きわめて高温における温度を検知する場合であっても、確実にかつ安定的に温度を検知することができ、熱電対に用いる素線の長寿命化を図り、素線の交換等の操作を容易にする温度検出素子を提供する。
【解決手段】 熱電対として作用する第１の素線１２及び第２の素線１３と、被測定体に面的に接触する接触面を備える接触体１５と、第１の素線１２及び第２の素線１３の一端を接触体１５との間で挟圧して、第１の素線１２と第２の素線１３とを各別に脱離可能に支持する支持体１４とを備え、前記接触体１５及び前記支持体１４の少なくとも一方は導電性を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】温度が変化する雰囲気中で被処理体を処理する際の物理量を適切に計測する。
【解決手段】物理量計測装置９０はガラス基板Ｇの表面に設けられている。物理量計測装置９０は、計測回路９１と、ガラス基板Ｇの温度変化に応じて抵抗値が変化する温度センサ９２と、計測回路９１と温度センサ９２とを接続する第１の配線９３と、予め定められた抵抗値を有し、且つガラス基板Ｇの温度変化に対する抵抗値の変化量が温度センサ９２の抵抗値の変化量に比べて小さいダミーセンサ９４と、計測回路９１とダミーセンサ９４とを接続する第２の配線９５とを有している。ガラス基板Ｇの温度変化に対する、第１の配線９３の抵抗値の変化量と第２の配線９５の抵抗値の変化量との比率は一定である。 （もっと読む）

【課題】熱風炉の測温を長期にわたって高精度に維持しながら蓄熱レンガの測温ができる熱風炉への温度測定装置の取付け方法を提供する。
【解決手段】熱風炉の蓄熱室１０の炉壁１１を貫通した挿入孔１２内に挿入され、その先端が蓄熱室１０内の蓄熱レンガ７６の外周面に達する保護管１３と、保護管１３内に挿入され、その先端が蓄熱レンガ７６の外周面に当接する温度センサー１４とを有するレンガ温度測定装置１７の熱風炉への取付け方法であり、レンガ温度測定装置１７を蓄熱室１０の炉壁１１に設置した後、熱風炉が、燃焼、待機、及び送風のサイクルを繰返す操業を開始し、予め設定した時間内又はサイクル数内ごとにおける温度センサー１４での測定ピーク温度を求め、前回求めた測定ピーク温度と今回求めた測定ピーク温度との変化率が２％以下になった後に、保護管１３と挿入孔１２との空間部１５にシール材１６を充填する。 （もっと読む）

【課題】タンディッシュ内の溶鋼温度を正確に測定する。
【解決手段】この連続測温方法は、耐火煉瓦１２とその内側に設けられた不定形耐火物１３とで成型されるタンディッシュ１０内の溶鋼温度を連続的に測定する連続測温方法であって、溶鋼温度を測定する熱電対を有するプローブ２０は、その一端２０ａが不定形耐火物１３に埋め込まれると共に、その他端２０ｂは、タンディッシュ１０内へと突出している。プローブ２０の直径は、５０ｍｍ〜１００ｍｍで、且つ、プローブ２０の不定形耐火物１３表面からの長さは、２００ｍｍ〜３００ｍｍである。熱電対は、耐火煉瓦１２と不定形耐火物１３との間に配線されている。プローブ２０は、不定形耐火物１３の膨張率に対して、±０．３％以内の膨張率の材料で構成される。そして、熱電対の素線は、それぞれアルミナ長繊維に被覆されると共に、その被覆された素線は、束ねられて更にアルミナ長繊維で被覆される。 （もっと読む）

本発明は、素材温度測定装置およびその方法に関し、加熱炉の出口側に配置される本体部と、本体部に設けられ、加熱炉から抽出される素材の温度を測定する温度測定ユニットと、本体部に設けられ、素材に付着した異物を除去するように、素材に向けて流体を噴射する異物除去部と、本体部に設けられ、温度測定ユニットを移送させる移送部とを含むことを特徴とする。本発明によれば、素材の表面に形成されるスケールなどの異物を除去した後、素材の温度を測定するため、素材温度計測の信頼性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】従来の温度測定装置は、測定面が加工されていたり、ウェハとは異なる材質の小片を温度センサのためのスペーサとして用いられているので、接合装置におけるウェハの温度管理にはそのまま用いることができなかった。
【解決手段】上記課題を解決するために、シース管の内部に少なくとも一対の熱電対素線を配置してなるシース型熱電対と、２枚のワークシリコンウェハと、２枚のワークシリコンウェハに厚み方向で挟持され、シース型熱電対を収容する空間を形成するスペーサシリコンウェハとを備える温度検出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】繰り返しの使用にも耐えうるとともに、リフロー炉内の状態を定量化可能であるリフロー炉測定用基板を提供すること。
【解決手段】リフロー炉内を搬送される際に炉内の状態を測定するリフロー炉測定用基板において、板状部材によって構成される基材１３０と、基材上に配置された熱容量が既知の１または複数のプレート１４０〜１６０と、プレートに当接され、当該プレートの温度を検出する検出手段（熱電対１４１〜１６１）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】内部温度の発散傾向をいち早く察知することができる温度監視装置を提供する。
【解決手段】多重層物体の内部における基準点Ｂと測定点Ｃとの間の温度差θ_Ｍを測定し、演算によって求めた収束時の温度分布における上記２点間の理論温度差θ_Ｌよりも、前記測定温度差θ_Ｍが許容以上に小さくなっていれば、温度が発散傾向にあると判別する。 （もっと読む）

【課題】長期安定的に、かつ精度よく測定することが可能な焼結機の燃料原料層内の温度を測定する温度測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の温度測定装置は、焼結原料を積載して移動可能な焼結機１００のパレット１１０の底面を構成する複数のグレートバー１１２とともに配列され、パレット１１２の収容空間に収容される、焼結原料層の温度を測定する装置である。温度測定装置は、グレートバー１１２とともにパレット１１０の底面を形成する基台部１６１と、基台部１６１上面からパレット１１０の収容空間に向かって突出する突出部１６２と、突出部１６２から焼結機１００に設置されたパレット１１０の進行方向下流側に向かって突出して設けられ、焼結原料層の温度を測定する測温体１７２のうち少なくとも突出部１６２から突出する部分が、焼結原料層の温度下で連続使用が可能な材質の保護管１７４により包囲された２以上の温度測定部１７０とを備える。 （もっと読む）

【課題】使用済燃料プールの水位が急激に変動しても水温測定をすることができる水位追従式温度検出装置を提供する。
【解決手段】原子力関連施設に備えられた使用済燃料プール１１３の水温を測定するための水位追従式温度検出装置１０であって、水位追従式温度検出装置１０を使用済燃料プール１１３の水面に浮かせるためのフロート部材１３と、水位追従式温度検出装置１０を使用済燃料プール１１３の水位変動に追従して使用済燃料プール１１３の壁面に沿って上下に移動可能なように使用済燃料プール１１３の壁面に取り付けるための温度検出装置固定手段としてのリング１４、上側および下側支持棒２２ａ，２２ｂ並びにガイド棒２１とを具備する。リング１４は、ガイド棒２１の上側支持棒２２ａと下側支持棒２２ｂとの間に嵌められている。 （もっと読む）

本発明は、コークスオーブンの燃焼室の温度測定をパイロメータを用いて自動的に測定することにより、安全事故の発生なく、正確に測定するコークスオーブンの燃焼室温度自動測定装置に関する。このため、コークスオーブンの装入車の走行方向を横切るように取付けられる第１レール部と、第１レール部に沿って移動可能に取付けられ、第１モータの駆動により前記第１レール部の長さ方向に沿って走行する第１スライダと、第１レール部と交差する方向に第１スライダに取付けられる第２レール部と、第２レール部に沿ってコークスオーブンの燃焼室方向に昇降可能に取付けられ、第２モータの駆動により走行する第２スライダと、第２スライダの移動に伴って移動するように取付けられ、燃焼室蓋の位置をセンシングする位置センサと、第２スライダに取付けられ、位置センサのセンシング信号が伝達されると、燃焼室を開閉する蓋を選択的にクランピングするクランピング部と、クランピング部による蓋のクランピング状態で、第２スライダの移動による蓋の開放作動が行われると、燃焼室内の温度を測定する温度測定器とを提供する。
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【課題】高温の雰囲気の中でシリコンウエハの温度を測定し、シリコンウエハの表面温度の測定を行うとき、シリコンウエハの出来るだけ多点の表面温度を測定できる圧電温度センサの提供
【解決手段】圧電振動領域とアンテナ領域とが橋絡部で結ばれており、圧電振動領域の両面に配置される励振電極とアンテナ領域に設けられるループ状の導体とが結合されることによって、励振電極と導体とが一体となる構成の圧電温度センサ。また、励振電極とアンテナ領域と橋絡部分を耐熱性があり、且つ、電磁波を透過する容器部で覆うようにすることで、高温での雰囲気にも耐え、外部の機器との信号の送受信を行うことを可能とする。 （もっと読む）

【課題】先端部のセンサー等の近傍への凝固物の生成を防止し、センサーによる各種測定やサンプルの取り出しに支障をきたさない溶融金属測定用プローブを提供せんとする。
【解決手段】筒状本体１０の先端部１０ａに、測温センサー２、ピンサンプラー３及び酸素センサーのうち少なくとも一つを設けた状態で、該先端部１０ａを封止材４により封止したものであり、特に、前記封止材４として低熱伝導率の耐火物を用い、これにより凝固物の生成を防止した。具体的には、封止材４として熱伝導率０．４〜０．０３Ｗ／ｍ・Ｋの無機粉末、無機繊維又はこれらの混合物に、有機バインダー又は無機バインダーを混合したものを用いた。 （もっと読む）

【課題】ラマン散乱光を用いた光ファイバ式温度計による焼結機の焼成点検出を可能とする。
【解決手段】焼結機の焼成点検出に際して、ラマン散乱光を用いた光ファイバ式温度計の光ファイバ１０を、多孔式保護管１２に収容して、パレットａ直下のパレット進行方向及びパレット幅方向に配設すると共に、前記光ファイバ１０に沿って断熱材被覆ワイヤ１４を配設し、前記光ファイバ式温度計によりパレット進行方向及びパレット幅方向の温度分布を計測する。 （もっと読む）

【課題】容器内にある溶融物の温度がより長期間にわたってできるだけ正確に測定することができる溶融金属用の容器、及び、界面層を決定するための方法を提供する。
【解決手段】溶融金属のための容器であって、容器壁の開口に配置された温度測定装置を有する。温度測定装置は保護シース２を有し、保護シース２は容器内へと突出し、かつ容器内に配置されたその端部で閉じられる。温度測定部材は保護シース２の開口に配置される。保護シース２は、耐熱金属酸化物と黒鉛とからなり、前記閉じた端部は容器壁から少なくとも５０ｍｍ離隔する。容器内の上下に配置された二つの材料間、特にスラグ層と下にある溶鋼との間の界面層を決定するため、材料の変化を特定するためのセンサー７が下方の材料内に配置され、容器からの材料の鋳込み又は流出の間にセンサー７の測定信号が測定され、センサー７が材料間の界面層と接する時に信号の変化が確立される。 （もっと読む）

【課題】 走行中の金属ストリップ温度を、熱電対または測温抵抗体を用いて、非接触でかつ連続測定する方法および装置を提供する。
【解決手段】 金属ストリップ連続熱処理炉の炉内または炉外を走行する金属ストリップ温度測定装置において、金属ストリップ７の近傍に金属ストリップに対向して反射板１を設け、当該反射板１の中央部と金属ストリップ７間で局所的に均熱状態に近い亜均熱空間を生成し、熱電対２により測定したその亜均熱空間温度を、熱電対６で測定する反射板近傍の雰囲気温度で補正することにより、金属ストリップ温度を非接触で連続的に測定する。 （もっと読む）

【課題】
接着剤や溶着剤を用いることなく基板に配線を固定し、低反り測定用基板を作製する。
【解決手段】
測定用基板及び温度測定用基板は、基板に拡散防止層と第１の密着層と配線と第２の密着層と保護層とが積層されてなる。基板は半導体ウェーハと同じ材料で製造される。拡散防止層は配線の成分が基板内に拡散することを防止する機能を有する。第１の密着層は拡散防止層を介して基板に配線を密着させる機能を有する。配線は導電性を有する線材や箔材からなる。第２の密着層は配線と保護層とを密着させる機能を有する。保護層は配線を覆うことによって配線の酸化防止効果、外部との絶縁効果、傷防止効果を有する。 （もっと読む）