【課題】高精度な加工、組立精度を必要とすることなく、倣いプローブの直線案内機構の真直度や、取り付け誤差などに起因する測定精度の低下を回避できる表面性状測定装置を提供。
【解決手段】Ｘ，Ｙ，Ｚ軸駆動機構３，４，７と、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸変位検出器４２，４３，４４と、倣いプローブ８と、真直度補正データ記憶部３３と、補正演算処理部３４とを備える。倣いプローブは、センサ部１２と、センサ部をＺ軸方向へ変位させる駆動用アクチュエータと、センサ部の変位量を検出するセンサ部変位検出器１９を含む。補正データ記憶部は、駆動用アクチュエータの移動範囲を複数の区間に分割し、この各分割区間において各軸方向のずれ量を補正データとして記憶する。補正演算処理部は、センサ部変位検出器の検出値がいずれの分割区間に属するかを判断し、該当する分割区間の補正データを用いて補正値を算出し、これを各軸変位検出器の検出値に加算する。 （もっと読む）

【課題】それぞれ傾斜穴の傾斜、方位に基づいて、加工を始める前に主軸頭やテーブルの旋回角度の誤差を測定しておき、自動的に主軸頭やテーブルの旋回角度を補正しながら斜め加工を実施できるようにする。
【解決手段】特定のワークの加工を開始する前の段階で、当該ワークについて加工するすべての傾斜穴の傾斜角度、方位などの形状データに基づいた測定プログラムの実行により、当該ワークに行う各傾斜穴加工のすべてについて、その傾斜角度に前記主軸頭１０を旋回させたときのＡ軸角度の目標値と実際の測定値との誤差である変位角度を測定し、ワークのすべての傾斜穴加工について、変位角度が許容範囲内になるように補正したＡ軸角度を記憶させ、当該ワークの加工プログラムをＮＣ装置で実行したときにすべての傾斜穴について補正後のＡ軸角度を読み出し、各斜め加工を実行するときのＡ軸角度を前記補正後のＡ軸角度で指令する。 （もっと読む）

【課題】プローブユニットの小型化、簡素化を図ることができる形状測定機を提供すること。
【解決手段】ルビー球（先端部）２を有するプローブ軸部３と、被測定物Ｏの測定面ＯＳとプローブ軸部３のルビー球２との接触点の空間位置座標を検出する変位計（検出部）５とが設けられたプローブユニット６を備えた形状測定機であって、被測定物Ｏの測定面ＯＳにルビー球２を押付けたときにプローブ軸部３に作用される力、及び、このときに測定された空間位置座標とをパラメータとして記憶する記憶部７と、パラメータに基づいて、測定時におけるプローブ軸部３の傾きに起因する被測定物Ｏの真の空間位置座標からの誤差を補正する補正値を算出する演算部８と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度に倣い測定できる表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】倣いベクトル指令部２２０から発せられた倣いベクトル指令に基づいて駆動機構の動作状態を推定して推定動作状態量を算出する動作推定部６００と、動作推定部６００にて算出された推定動作状態量に応じて駆動センサの検出値を補正演算する補正演算部７００と、を備える。
動作推定部６００は、倣いベクトル指令が発せられてから倣いプローブの移動位置に反映されるまでの信号伝達特性であるノミナルモデルが設定されたノミナルモデル設定部３１１を有し、補正演算部７００は駆動中の駆動機構が変形することによって生じる測定誤差を補正する補正量を推定動作状態量に基づいて算出する補正量算出部７２０と、駆動センサおよび検出センサによる検出値と補正量算出部７２０にて算出された補正量とを合成して測定データとする測定データ合成部４３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】測定工程自動化を可能とする測定装置を提供する。
【解決手段】第１端部Ｅ１及び第２端部Ｅ２を有する軸Ｓを備え、軸Ｓが第１端部Ｅ１に接触素子３を備え、軸Ｓは、第２端部Ｅ２によってホルダー１に装着可能であり、ＲＦＩＤチップ５０を備えたスタイラス２を伴う測定装置及び測定装置にあるスタイラスを特性化するデータを考慮する方法である。 （もっと読む）

【課題】プローブ径補正誤差を低減し高精度に形状評価を行うことができる形状測定装置を提供する。
【解決手段】測定データに含まれるプローブ径に起因する誤差を、第１の設計データを用いてプローブ径補正を行うことで算出した補正データと第１の設計データの差分を形状誤差データとして算出し、前記形状誤差データをｇ（Ｘ，Ｙ）の形式で表現できる形状誤差関数として近似した後に、前記第１の設計データと前記形状誤差近似関数ｇ（Ｘ，Ｙ）の和で表現される第２の設計データを算出し、前記第２の設計データを用いて測定データに含まれるプローブ径に起因する誤差を補正することで補正データを算出し、前記補正データを前記第１の設計データに最も近づける座標変換量を算出し、その座標変換量を用いて前記補正データを座標変換した後に、前記座標変換後の補正データと第１の設計データとの差分を求め形状誤差を算出する。 （もっと読む）

【課題】光学素子成形用の金型や光学素子の表面形状を、接触式、あるいは非接触式のプローブによる三次元形状測定装置によって高精度に測定する。
【解決手段】接触式のプローブを用いる形状測定方法において、ステップＳ３で測定誤差を是正する補正値を予めシミュレーションにより算出し、その補正値を被測定面上にマッピングして、補正テーブルを作成する。ステップＳ４におけるプローブによる実測定の後の、ステップＳ５における測定形状解析の際に、前記補正値を用いて測定誤差を除去する。被測定物の固有差等を含む測定誤差すべてを除去することで、高精度な三次元形状測定を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】高精度で被測定物を測定可能な測定装置、表面性状測定方法、及び表面性状測定プログラムを提供する。
【解決手段】演算部２１２が、スケール部１９ｂとスライダ１６先端との間の相対変位特性に基づく補正用フィルタ２１２ａにおいて、スケール部１９ｂで検出されたスライダ１６の変位に補正用フィルタ２１２ａを適用した値を先端球１７ａの変位と加算して測定値を算出する構成とする。このような構成とすることにより、高精度で被測定物を測定可能な測定装置、表面性状測定方法、及び表面性状測定プログラムを提供することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、スタイラスで測定されたデータを、より高精度に補正することのできる測定装置を提供することにある。
【解決手段】スタイラス１２の測定子２５でワーク２６（３６）上を測定軸方向にトレースして得られたデータの測定誤差を補正する補正機構１８を備え、該補正機構１８は、補正対象面内で該スタイラス１２を運動させ、該スタイラス１２の高さ方向位置に応じた測定子２５位置のずれ情報を含む校正測定データを得る校正測定手段１４と、該記測定子位置のずれ情報を補正するのに最適な予め所定数に分割された高さ方向測定範囲の各領域毎の補正パラメータの値を同時に求める補正パラメータ設定手段３２と、測定データの高さ方向値に基づき特定された該測定データの属する領域において最適な補正パラメータの値で該測定データを補正するデータ補正手段３４と、備えたことを特徴とする測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】感度が増大される測定プローブを提供する。
【解決手段】測定プローブは、懸架モジュール（１１２）およびトランスデューサモジュール（１１０）を備える。懸架モジュールおよびトランスデューサモジュールの両者は、互いに係合可能な配置要素（１１６，１１８）を有し、かつ、互いに着脱自在に連結可能である。懸架モジュール（１１２）は、ハウジング（１１４）、スタイラス（１５０）が連結された又は連結され得るスタイラスホルダ（１４０）、および、スタイラスホルダの懸架システムであって、これによってスタイラスホルダがハウジングに対して可動である懸架システム（１４２、１４４）を含み、トランスデューサモジュールは、懸架モジュールのハウジングに対するスタイラスホルダの移動を測定する少なくとも一つのトランスデューサ（２００，２１０，２２０）を包含している。 （もっと読む）

【課題】
事象前に試料の寸法等を正確に把握している場合、試料の表面全域を暴露状態でさらすと均一に変位が発生するときは事象前後で変位の比較はしやすいが、不均一に変位が発生すると変位比較が困難となる。また、測定基準を明確にした試料を製作した場合、暴露状態において何らかの保護を行わないと基準が不明確となりやすいという課題がある。
【解決手段】
物理的または化学的に固体表面に変位を伴う事象において、測定基準面が変位しないように保護を事象中に行い、被測定対象物である立方体形状の固体試料に対し、その側面の２面に平行又は直角に交差する２本以上の溝を形成して試料台に積載し、個体試料上面及び溝面に変位計先端をセットし、試料台を移動又は回転させて走査し、座標管理された溝面と上面をそれぞれ同時に測定することにより試料の溝面と上面の同一座標において事象前後における三次元データを取得する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、精度良く膜厚測定可能な厚み測定装置または厚み測定方法を提供する。
【解決手段】基準部材１６の上に載置された測定対象部材１８上に載置されるように挿入された厚みの異なる複数の標準部材１４Ａ、１４Ｂ各々の表面から基準部材１６表面までの距離の測定結果に基づいた該距離の差分と、該厚み測定装置１０において予め特定環境条件下において測定された複数の標準部材１４Ａ、１４Ｂ各々の表面から基準部材１６表面までの距離の差分と、の比較結果に基づいて、膜厚センサ１２によって測定した膜厚測定結果を補正する。 （もっと読む）

【課題】傾斜を有する被測定物表面を高精度に倣い測定する表面性状測定装置を提供する。
【解決手段】 測定部２１０により被測定物表面を倣い走査する。測定部２１０は、接触部２１２を先端に有するスタイラス２１１と、接触部２１２が被測定物表面に当接した際のスタイラス軸方向の測定力を検出する測定力検出手段を有する。移動機構は、測定力を一定にしながら測定部２１０を被測定物表面に対して相対移動させる。
移動機構は、接触部２１０を回転中心として測定部２１０を回転させてスタイラス２１１を被測定物表面に垂直にする回転機構４００を備える。 （もっと読む）

【課題】支点部分の摩耗状況、接触状態の変化などにより生じ得る摩擦力を補償して針圧を発生できる表面形状測定用触針式段差計の摩擦力補正方法を提供する。
【解決手段】支点に揺動可能に取り付けられた支持体の一端に探針を取付け、一端に隣接して探針の垂直方向変位を検出する変位センサの磁性体コアを取付け、支持体の他端には探針に針圧を加える針圧発生装置の磁性体コアを取付け、探針が捉えた試料の表面形状を支持体の支点回りの回転運動により変位センサで測定する触針式段差計の摩擦力補正方法において、 針圧発生装置を作動させて探針を下げる際の加速度を測定して下降時の力を求め、下降の後に探針が下部ストッパー等で跳ね返り上昇する際の加速度を測定して上昇時の力を求め、表面形状を実際に測定する際に、針圧発生装置に流す電流を、下降時の力と上昇時の力と和の半分の力が探針にかかるように制御する。 （もっと読む）

【課題】 衝突時にダッシュパネルの変形量を容易に計測することのできる衝突実験時の車室内変形量計測装置を提供する。
【解決手段】 カバー付きワイヤー１からワイヤー本体１Ａが引き出され、その一側端部が、左右のフロントピラーのうち例えば右フロントピラー３の近傍または右フロントピラー３に固定され、引き出されたワイヤー本体１Ａの中間部を該ワイヤーの長さ方向に沿って移動可能な状態で左フロントピラー２に取り付けることにより、ワイヤー本体１Ａがダッシュパネル４に沿って張設され、さらに、衝突時の変形量がフロントピラーよりも少ないセンターピラー１１近傍のフロアパネル１３に変位計１５が設置され、ワイヤー本体１Ａの他側端部が変位計１５に接続されている。 （もっと読む）

【課題】被測定物の３次元形状を高精度に測定することが可能となる３次元形状測定装置及び方法の提供。
【解決手段】一対のプローブ２０ａ，２０ｂを、その先端同士が所定の間隔を開けて一直線状に対向するように配置し、被測定物１を、被測定物１の表面側及び裏面側がそれぞれ一対のプローブに対向するように位置させた後に、一対のプローブ２０ａ，２０ｂのお互いの位置関係を変更することなく、該一対のプローブ間における被測定物１の相対的な位置を、プローブ固定部材２０やプローブ２０ａ，２０ｂ等の質量体にかかる重力のＺ軸方向成分を駆動力として、スライド移動させて、一方のプローブにより被測定物１表面の３次元形状を測定し、次いで、他方のプローブにより被測定物１裏面の３次元形状を測定する。 （もっと読む）

【課題】 測定プローブを傾斜させて支持しながら被測定物の表面形状を高精度に測定できる形状測定器を提供する。
【解決手段】 形状測定器３０により既知形状の被測定物（真球）の形状を測定する（Ｓ１２）。次に、測定プローブの設計傾斜角度の値から±０．５度間を５等分し、それぞれの形状誤差を算出し、誤差が最小となる角度値を決定する（Ｓ１６）。更に同様な計算を繰り返すことで、誤差が最小となる傾斜角度に収束させる（Ｓ１８、Ｓ２０）。被加工部材を測定する際には、測定した形状を傾斜角度による誤差分で補正することで、測定精度を高める。 （もっと読む）

【課題】設計値が未知の非球面ワークを正確に水平出しすることを可能とする。
【解決手段】傾斜補正テーブル上に載置された非球面ワークの水平出しを行う非球面ワークの水平出し方法において、非球面ワークの極値を含む面を三次元測定するステップと（Ｓ１）、求められた三次元測定値から二次曲面を求め、その極値を仮の極値として求めるステップと（Ｓ２）、求められた仮の極値を中心としてその周囲から３点以上の三次元測定値を得るステップと（Ｓ３）、得られた３点以上の三次元測定値によって規定される平面を求めるステップと（Ｓ４）、求められた平面が水平となるように前記傾斜補正テーブルを調整するステップ（Ｓ６）とを備えてなる。 （もっと読む）

ポータブル座標測定器は、連接アーム区分材を有する多関節アームを備える。連接アーム区分材は、回転シャフトと、少なくとも２つの離間された軸受と、軸受と回転シャフトを取り囲むハウジングと、を備え、軸受のための案内溝が以下のうちの少なくとも１つによって構成される。（１）シャフトが２つの軸受のうちの少なくとも一方の内側案内溝を構成する。（２）ハウジングが２つの軸受のうちの少なくとも一方の外側案内溝を構成する。
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【課題】 電子写真感光体等の円筒部材の外周面の振れ量を正確にしかも短時間で測定できる電子写真感光体用円筒基体、電子写真感光体および振れ量測定装置及び振れ量測定方法を提供する。
【解決手段】 電子写真感光体用円筒基体５をベアリング１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄで回転自在に支持し、ベアリング１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄで支持した状態で電子写真感光体用円筒基体５の上面にダイヤルゲージ６を当接させて電子写真感光体用円筒基体５を回転させながら外周面の振れ量を測定し、ベアリング１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄの回転角度とベアリング１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ自体の振れ量の関係を求め、ダイヤルゲージ６の測定結果に対してベアリング自体の振れ量を補正して、電子写真感光体用円筒基体５の外周面の振れ量を求める。 （もっと読む）