【課題】測定対象物の位置測定装置、形状測定装置、位置測定方法、及び形状測定方法を提供する。
【解決手段】位置測定装置１０は、支持部材１４と、支持部材１４に上端部が固定され自由状態で垂直配置された光ファイバー１１と、光ファイバー１１の下端部に設けられた探触子１２と、光ファイバー１１の上下方向中間位置にあって光ファイバー１１の撓みを検知する光学振れ検知機構１５と、測定対象物２３を載せてＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向に測定対象物２３を移動させるＸＹＺステージ２５と、光学振れ検知機構１５及びＸＹＺステージ２５の制御部２６とを有し、光ファイバー１１は、光ファイバー１１を揺らす振動手段３０を介して支持部材１４に取付けられ、探触子１２がＸＹＺテーブル２５に載った測定対象物２３に当接した場合の光ファイバー１１の撓み量を光学振れ検知機構１５で検知し、測定対象物２３の特定部位の座標を検知する。 （もっと読む）

【課題】周期的な複数の設計段差を有する設計形状に基づいて形成された被測定面の測定データと設計形状とのフィッティングを高精度に行う。
【解決手段】被測定面の測定点列から段差領域と段差の高さとを特定する（Ｓ３）。そして、点列に対する段差高さの移動を行う（Ｓ４）。即ち、段差をなくすような処理を行い、段差のないフィッティング対象データを得る（Ｓ５）。一方、設計形状から複数の設計段差のない参照形状を取得する（Ｓ６、７）。そして、フィッティング対象データと参照形状とを、例えば最小二乗法などによりフィッティングする（Ｓ８）。フィッティング対象データと参照形状とから段差形状成分を除去しているため、フィッティングを高精度に行える。 （もっと読む）

【課題】機械上の被加工物を工作機械の制御器に保存されたプログラムを利用して、高速に、正確に、且つ容易に被加工物を測定することを可能にする工作機械上の被加工物を測定する方法を提供する。
【解決手段】工作機械において、プログラム（１２）は、被加工物Ｗの特徴を測定する走査プローブまたはアナログ・プローブＰからデータを受け取る。このデータは、走査移動中に、前提の機械位置データと組み合わされる。このことは、実際に測定された位置データを得るために、サーボ・フィードバック・ループ（２４）に割り込まなければならないことを防止する。前提の機械位置データは、走査移動を制御する部品プログラム（２０）から引き出される。前提の機械位置の値と実際の値との間の誤差を補償するためにいくつかの方法が記載されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、工作機械上の被加工物を測定する方法及び装置を提供する。
【解決手段】工作機械において、プログラム（１２）は、被加工物Ｗの特徴を測定する走査プローブまたはアナログ・プローブＰからデータを受け取る。このデータは、走査移動中に、前提の機械位置データと組み合わされる。このことは、実際に測定された位置データを得るために、サーボ・フィードバック・ループ（２４）に割り込まなければならないことを防止する。前提の機械位置データは、走査移動を制御する部品プログラム（２０）から引き出される。また、いくつかの方法で前提の機械位置の値と実際の値との間の誤差を補償する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の大きさに拘わらず、プローブの接触を確認しながら測定を実行することができる三次元測定機を提供する。
【解決手段】被測定物を載置するテーブルとプローブとを三次元方向へ相対移動させる相対移動機構１３と、相対移動機構の駆動を指令する携帯可能な操作盤３０と、操作盤からの指令に基づき相対移動機構を駆動させるとともに、プローブからの信号を取り込んで被測定物の形状を求める制御装置４０とを備える。プローブの近傍にはカメラ２０が取り付けられ、操作盤３０には、表示部３４と、カメラによって撮像された画像を表示部に表示する制御部３８とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】 軸方向位置によって外径・内径寸法が異なる筒状の回転体であっても、肉厚、偏肉、偏心状態等を簡単に精度良く測定できる回転体の肉厚等測定装置を提供する。
【解決手段】 被測定物支持台装置１で支持した被測定物Ｗの中心軸Ｏに直交する方向に移動自在な水平移動台１１を有する水平移動テーブル機構１０と、水平移動台１１にこれと同方向に移動自在にプローブ支持体２２を設けた測定テーブル機構２０とを備える。被測定物Ｗの内外周面への測定端子の接触を検出するプローブ３０を、プローブ支持体２２に設ける。水平移動台１１の進退位置を水平位置検出手段４０で、水平移動台１１に対するプローブ支持体２２の変位量を変位量検出手段５０で検出する。被測定物内周面と対向位置の外周面へ測定端子を接触させたときの、変位量検出手段５０の変位量検出値と水平位置検出手段４０の位置検出値から被測定物Ｗの肉厚を演算する。 （もっと読む）

【課題】簡便かつ安価の構造で、外乱振動の影響を軽減できる形状測定機および倣いプローブ装置を提供する。
【解決手段】プローブ１０は、相対移動機構のＺ軸スライダに保持されたケース体１１と、このケース体の内部に往復移動可能に設けられたプローブ本体１２と、このプローブ本体の先端に設けられた力センサ２０と、プローブ本体を往復移動させる駆動アクチュエータ１４とを含む。ケース体とプローブ本体との間にはプローブ本体の往復移動方向へ振動可能な振動素子１７が設けられている。力センサからの力検出信号を基にプローブ本体に伝わる外乱振動を相殺する振動を振動素子１７から発生させる相殺振動発生手段５０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】被測定物の姿勢を変更することなく、被測定物の表面性状を適切に測定することができる表面性状測定装置の提供。
【解決手段】表面性状測定装置１は、上面に被測定物を載置する載置面３０を有するテーブル３と、被測定物を測定するための測定子４１Ａを先端側に有するプローブ４と、プローブ４を保持するスライダ５と、スライダ５を支持するとともに、載置面３０に対して略直交する方向に延出するコラム６と、テーブル３の側方に設けられ、コラム６を支持する支持手段７とを備える。プローブ４は、スライダ５の延出方向に沿って移動可能にスライダ５に支持されている。スライダ５は、コラム６に支持されている。コラム６は、コラム６の延出方向を軸方向として回転可能に支持手段７に支持されている。 （もっと読む）

【課題】コンパクトに折り畳んで容易に持ち運ぶことができ、部品の搬入現場などで簡便に使用することできる三次元座標測定機を提供する。
【解決手段】１対のコラム２，３がベース１上に垂直に立設可能に配置され、１対のコラム２，３間にＸ軸ガイド４が水平に固定される。Ｘ軸ガイド４内でＸ軸方向に移動可能にＸ軸移動部７が配設される。ベース１上にＹ軸ガイド５が水平に配設され、Ｙ軸ガイド５内にＹ軸方向に移動可能にＹ軸移動部８が配設される。Ｚ軸ガイド６がＸ軸移動部７に対し垂直に固定され、Ｚ軸ガイド６内にＺ軸方向に移動可能にＺ軸移動部９が配設される。１対のコラム２，３が、ベース１上のコラム基部２ａ，３ａに対し折畳み軸２ｂ、３ｂを介して折畳み可能に連結される。プローブ１０が、Ｚ軸移動部９に対し着脱可能に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】作業者が機上計測されたワークの被計側面の面状態を常に認識することができ、計測データに反映される機械の異常やワークの異常を瞬時に把握することができ、加工の信頼性を高めることができる形状データの画像表示方法を提供する。
【解決手段】ワーク４の被計測面４ａの形状をプローブ８で機上計測し、計測された形状データに基づいて被計測面４ａの形状を画面上で表示する形状データの画像表示方法において、被計測面４ａの形状データを取得するために、被計測面４ａ上でプローブ８を相対的に移動させながら、被計測面４ａ上の多数の計測位置をプローブ８で計測することと、計測により取得された形状データに基づいて、被計測面４ａの形状をリアルタイムで表示することと、を備える。隣接する不連続の形状データを曲線補間することにより、連続した形状データを算出し、被計測面４ａを３次元曲面で画像表示する。 （もっと読む）

【課題】
測定ヘッドの調整を容易にし、複数台の調整であっても短時間で実施可能とする測定ヘッド調整装置を提供すること。
【解決手段】
位置合わせされた測定ヘッド１１を測定ヘッドホルダ１７に固定し、ワークホルダ１２に固定されたワークＷが、スライダ１３により測定ヘッド１１と相対的にＸ、Ｙ、Ｚ方向移動されてスライダ１３の位置決めを行い、スライダ１３が固定された後に測定ヘッドホルダ１７から測定ヘッド１１を外し、測定ヘッドホルダ１７に新たな測定ヘッド１１を固定して、固定された新たな測定ヘッド１１を調整する。 （もっと読む）

【課題】 高精度で面形状を測定でき、そのために短時間で加工を終了できる形状測定装置及び形状測定方法を提供する。
【解決手段】 形状を測定する被測定物の加工面に所定の接触力で接触する接触体と、この接触体を前記加工面に対して進退可能に保持する保持部と、前記被測定物を載置するステージと、予め定められた所定軌跡で相対移動させ、前記被測定物の加工面形状と前記所定軌跡とのズレを、前記接触体の前記保持部に対する所定閾値以上の前記移動量変動の有無によって検出する。 （もっと読む）

【課題】物体に形成された測定対象物の形状を低測定力で高感度かつ高精度で測定が可能な形状測定装置及び形状測定方法を提供する。
【解決手段】基部側に発光器１１及び受光器１２が設けられ、先端に光を反射する光反射部１３が設けられて自由状態で垂直配置された先側領域１４を有し、先側領域１４の一部の曲げ歪みによって通過光に光量変化を発生させる撓み検知部１５が形成された光ファイバ１６と、光ファイバ１６の先端部に固着配置された探触子１７と、光ファイバ１６の下方に配置され測定対象物１８が形成された物体１９を載せるＸＹテーブル２０と、ＸＹテーブル２０を相対的に上下するＺ方向昇降手段２１とを有し、探触子１７に測定対象物１８を側方から当接させて受光器１２での光量変化を検知し、探触子１７に測定対象物１８が当接した際の探触子１７の位置から測定対象物１８の二次元形状を測定する。 （もっと読む）

座標位置決め装置の部材上の走査ヘッドに搭載された表面検知装置を使用して、表面を測定するための方法および装置。この座標位置決め装置は、走査ヘッドと表面プロフィールとの間の相対的な移動を生じさせるように動作することができ、この走査ヘッドは、１つまたは複数の軸の周りに表面検知探触子の回転移動を生じさせるための駆動部を含む。表面検知装置が追跡するであろう表面上の所望の測定プロフィール、および、表面検知装置がこの測定プロフィールをたどるときの表面検知装置の向きの所望の動作が決定される。このデータは、表面検知装置が測定プロフィールに沿った軌跡を指示するように、座標位置決め装置の部材と表面との間の相対的動作の必要とされる経路を導き出すために使用される。
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【課題】 原器を被測定物の形状の種類分用意することなく、また、形状が異なる度に補正のための測定を行うことなく、衝となる測定機と機上形状測定機の機差を補償する。
【解決手段】 任意の設計式にて面形状を定義できる被測定物である被測定原器１７を、衝となる外部形状測定機１２にて測定して形状を明らかにする工程と、超精密加工用旋盤１に設置された形状測定機３にて被測定原器１７を測定して形状を明らかにする工程と、外部形状測定機１２により明らかにされた形状と形状測定機３により明らかにされた形状との誤差を求める工程と、誤差に基づいて加工機上に設置された形状測定機３の測定結果に補正を与える工程とを行う。 （もっと読む）