【課題】水平面に近い形状を有するときにも高精度かつ低測定力で測定が可能なプローブを提供する。
【解決手段】直動部６は鉛直方向にのみ直動可能に取付部２に支持される。揺動部３は、測定物６０の被測定面６１に接触するスタイラス１２１を先端に備えるアーム１１２を有する。連結機構４は、揺動部３側の支持部材４２の尖端を直動部６側の載置台４１に形成された溝４１ａに嵌入することで、揺動部３を直動部６に対して揺動可能に連結する。揺動側磁石５１と非揺動側磁石５２との間の磁気的吸引力により、アーム１１２を鉛直方向に向ける付勢力が揺動部３に作用する。可動側磁石７１と固定側磁石７２との間の磁気力により、直動部３に鉛直方向上向きの付勢力が作用し、直動部３は取付部３に対して鉛直方向に非接触で保持される。 （もっと読む）

【課題】接触子に加えられる負荷の方向と、負荷の大きさと、変位センサにて検出される変位との関係を容易に調整することができる変位センサの提供。
【解決手段】変位センサ５は、対象物に接触する測定子２Ａを先端部に有するスタイラス５１と、スタイラス５１を内部に収納する筒状のハウジング５２と、スタイラス５１、及びハウジング５２の間に設けられ、スタイラス５１を揺動自在に支持する２つの支持部材５３とを備える。各支持部材５３は、スタイラス５１が取り付けられる取付部と、ハウジング５２の内部に固定される固定部と、取付部、及び固定部を接続するバネ部とを備え、スタイラス５１の軸方向に離間して配置されている。 （もっと読む）

本発明に係る装置（１０）は、表面粗さ検出システム（１２）および表面粗さ測定センサ（１５）を備え、スライド部品およびプローブ先端部（１５．４）が協働して作動する装置である。スライド部品は、走査スライド部品（１５．３）の形態として、プローブピン（１５．２）の最端部に配置される。プローブ先端部（１５．４）は、プローブピン（１５．２）の内部に配置され、走査スライド部品（１５．３）とプローブ先端部（１５．４）との間の距離（Ａ）は予め設定されている。表面粗さ検出システム（１２）は、平行四辺形構造体を有する１次元、２次元、または３次元の走査システムである。この装置（１０）は、走査スライド部品（１５．３）およびプローブ先端部（１５．４）とともにプローブピン（１５．２）を、走査すべき面（Ｆ）上で一体的に搬送する搬送デバイスを備えるものである。同様に、本発明は、上記装置（１０）を用いた関連する方法に関する。
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【課題】補正パラメータの算出にかかる時間を短縮することができ、測定精度を向上させることができる三次元測定機の提供。
【解決手段】三次元測定機は、測定子２１１Ａを有するプローブ２１と、駆動機構と、補正パラメータ算出装置とを備える。補正パラメータ算出装置は、測定子２１１Ａの回転変位を拘束することなく測定子２１１Ａの並進変位を拘束する拘束手段６と、プローブ２１の移動量が０となる位置を基準位置として設定する基準位置設定部と、拘束手段６にて基準位置に測定子２１１Ａを拘束した状態でプローブ２１を複数の測定点に移動させて各測定点における基準位置からのプローブ２１の移動量、及び駆動機構の移動量を取得する測定点情報取得部とを備え、測定点情報取得部にて取得される情報に基づいて、プローブ２１の座標系を補正するための補正パラメータを算出する。 （もっと読む）

【課題】簡単な作業で誤差の少ない孔の曲がり検査を可能とする孔の曲がり検査装置の提供。
【解決手段】シリンダブロックＷに形成されたボルト孔５４の曲がりを検査する孔の曲がり検査装置であって、シリンダブロックＷに対して位置決め可能なベースプレート２を設け、このベースプレート２にシリンダブロックＷのボルト孔５４の軸線に沿う方向に穿設された取付孔１３を設け、この取付孔１３に取り付けられるガイド部材２０を設け、ガイド部材２０に案内されボルト孔５４に対して進退可能に挿入される検査ピン３０を設け、ガイド部材２０に、検査ピン３０の大径頭部３１に対向し、この大径頭部３１との間に隙間部４１を形成する調整ボルト４４を備えた判定部材４０を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検査対象物に対して測定力一定制御の応答可能帯域よりも高い周波数までの振動を測定でき、質量効果の影響を低減できる接触式振動計およびこれを備えた表面性状測定装置を提供すること。
【解決手段】接触式振動計を備えた表面性状測定装置は、検査対象物との接触時に発生する測定力を検出し力検出信号として出力する力センサ１、力センサ１を検査対象物の振動に応じて移動させる駆動アクチュエータ１３３、力センサ１の位置変位情報を検出し変位信号として出力するスケール検出器１３５を有するプローブ１３０と、力検出信号を力フィードバック信号として力設定値と比較し、力フィードバック信号が力設定値に一致するように駆動アクチュエータ１３３を駆動させる力制御ループＲＦと、力検出信号および変位信号を合成して、検査対象物の振動振幅を取得する信号変換器２４０を備える。 （もっと読む）

【課題】ベースモジュール（２０、１２０）に取り付けできるスタイラスモジュール（２２、１２２）を備えるタッチトリガプローブなどの測定プローブを提供すること。
【解決手段】スタイラスモジュール（２２、１２２）は、筺体と、筺体に移動可能なように取り付けられているスタイラスホルダ（２４、１３２）とを備える。ベースモジュール（２０、１２０）は、筺体に対するスタイラスホルダ（２４、１３２）の移動を示す測定データを生成するための測定部（３６、１２４）を備える。スタイラスモジュール（２２、１２２）は、内蔵故障モードを有し、それによって、実質的な所定の稼働寿命を有する。一実施形態では、内蔵故障モードは、バッテリ（３４）をスタイラスモジュール（２２）内に一体化することによって実行される。また、スタイラスモジュール（１２２）の構成要素が、特定の量の使用後に、その内部で突発的に機能しなくなる機械的故障モードを実行することもできる。 （もっと読む）

工作機械などの機械に取り付けられた測定プローブ（４）を備える装置を較正する方法を記載する。機械は、測定プローブの位置を示す機械位置データ（ｘ、ｙ、ｚ；７０；８０）を取り込むように構成され、測定プローブは、測定プローブ（４）に対する表面の位置を示すプローブデータ（ａ、ｂ、ｃ；７２；８２）を取り込むように構成されている。測定プローブ（４）は、振れ可能なスタイラス（１４）を有するアナログプローブまたは走査プローブであってよい。この方法の第１のステップは、プローブデータ（ａ、ｂ、ｃ；７２；８２）および機械位置データ（ｘ、ｙ、ｚ；７０；８０）を取り込む間に加工物（３０；４０、４２）に対して知られた速度で測定プローブ（４）を動かすことを含む。具体的には、測定プローブ（４）は、測定プローブ（４）に対する加工物の表面上の２つ以上の箇所の位置を示しているプローブデータ（ａ、ｂ、ｃ；７２；８２）が取り込まれることを可能にする経路に沿って動かされる。この方法の第２のステップは、機械位置データ（ｘ、ｙ、ｚ；７０；８０）およびプローブデータ（ａ、ｂ、ｃ；７２；８２）を解析し、そのデータからプローブデータおよび機械位置データを取り込む際の相対的遅延（すなわち、いわゆるシステム遅延）を決定することを含む。
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【課題】長くて径小なスタイラスを有し、被測定物とスタイラスとの接触によって生じた衝撃による破損の可能性が低く、検出精度のよいタッチプローブを提供する。
【解決手段】円筒形のプローブ本体１０と、プローブ本体１０に設けられたスタイラス支持手段１１と、スタイラス支持手段１１に略重心位置１２２を支持された棒状のスタイラス１２と、スタイラス１２の変位を検出する検出手段１３と、を備え、スタイラス支持手段１１は、弾性部材から形成されるダイヤフラム１１１を備え、ダイヤフラム１１１は、スタイラス１２を支持する中心部１１３と、プローブ本体１０に固定された外周部１１４と、中心部１１３と外周部１１４との間に放射状に設けられ中心部１１３と外周部１１４とを連結する複数のリム１１５と、を備えるタッチプローブ１。 （もっと読む）

被加工物の表面を測定するための装置が説明される。装置は、座標位置決め機械のような機械（２６）の可動アームに取り付けられ、そして、第１回転軸（１Ａ）および第２回転軸（２Ａ）まわりに回転でき、それら軸がそれぞれ第１モーター（Ｍ１）および第２モーター（Ｍ２）によって駆動される、支持体（７）を備える。装置は、付加的に、第３回転軸（４Ａ）まわりに回転できる、被加工物の表面を感知するための表面感知デバイス（４）を備える。この第３回転軸（４Ａ）は、第１回転軸（１Ａ）に合わさることができ、合わされた場合、表面感知デバイス（４）に対する支持体（７）の回転は、表面感知デバイス（４）がホルダー（７０）によって動かないように保持されるとき、第１モーター（Ｍ１）によって作動可能である。被加工物の表面を測定するための装置を使用するための方法は、また説明される。
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【課題】本発明の目的は、使い勝手に優れた測定装置を提供することにある。
【解決手段】スタイラス１６を備えた測定装置１０において、該スタイラス１６は運動平面内でアーム３０の円弧歪による誤差を生じるであろうピボット式とし、該ワーク１２は対象面設計値を持っており、該測定子２６を位置決めする対象面１４上の特定位置を形状特定点３２に対応する支点２８位置を基準に測定軸方向値で指示し、これを初期値とする入力手段１８と、予め得ておいた該対象面設計値情報及び該円弧歪誤差情報に基づいて該初期値に対応する該円弧歪による誤差を推定し、該初期値から該誤差が補正された決定値を求める決定手段２０と、該スタイラス１６とワーク１２との相対移動を行う駆動手段２２と、該決定値に基づいて該スタイラス１６と該ワーク１２との位置決めがなされるように該駆動手段２２を制御する制御手段２４と、を備えたことを特徴とする測定装置１０。 （もっと読む）

【課題】加工品に接触する際にヒステリシス効果を最小限にする代替方法を提供する。
【解決手段】プローブヘッド基部５６と触針２２とを有するプローブヘッド２６が提供され、前記触針２２は、プローブヘッド基部５６に対して移動可能である。触針２２は、プローブヘッド基部５６に対して画定された静止位置を有している。接触のために、触針２２が表面点に画定された接触力で触れるまで、プローブヘッドが加工品に対して移動する。静止位置に対する触針２２のヒステリシス作用を表す補正データ記録７４が提供され、接触力が補正データ記録７４を用いて定められる。 （もっと読む）

プラグゲージ（１）は、チェックされるべき寸法を表わす電気信号の無線送信のための電子デバイスを含むキャップ（１３）によって閉じられるハンドル（２）と、電気信号を生成するためのトランスデューサと結合される測定アームセットを含むプローブ（６）とを有する、長手方向軸を規定する支持・保護システムを含む。プローブは、ハンドルに対する長手方向軸を中心とするプローブの回転を防止するために機械的基準を含むインタフェース要素（８）によって、ハンドルのキャップに対して接続される。
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【課題】感度が増大される測定プローブを提供する。
【解決手段】測定プローブは、懸架モジュール（１１２）およびトランスデューサモジュール（１１０）を備える。懸架モジュールおよびトランスデューサモジュールの両者は、互いに係合可能な配置要素（１１６，１１８）を有し、かつ、互いに着脱自在に連結可能である。懸架モジュール（１１２）は、ハウジング（１１４）、スタイラス（１５０）が連結された又は連結され得るスタイラスホルダ（１４０）、および、スタイラスホルダの懸架システムであって、これによってスタイラスホルダがハウジングに対して可動である懸架システム（１４２、１４４）を含み、トランスデューサモジュールは、懸架モジュールのハウジングに対するスタイラスホルダの移動を測定する少なくとも一つのトランスデューサ（２００，２１０，２２０）を包含している。 （もっと読む）

【課題】傾斜を有する被測定物表面を高精度に倣い測定する表面性状測定装置を提供する。
【解決手段】 測定部２１０により被測定物表面を倣い走査する。測定部２１０は、接触部２１２を先端に有するスタイラス２１１と、接触部２１２が被測定物表面に当接した際のスタイラス軸方向の測定力を検出する測定力検出手段を有する。移動機構は、測定力を一定にしながら測定部２１０を被測定物表面に対して相対移動させる。
移動機構は、接触部２１０を回転中心として測定部２１０を回転させてスタイラス２１１を被測定物表面に垂直にする回転機構４００を備える。 （もっと読む）

【課題】 金属板から打ち抜かれて成形された無段変速機用ベルトのエレメントを、板厚方向幅の大小により選別するエレメント選別装置において、エレメントの選別性能を向上させる。
【解決手段】 エレメント１が搬送される搬送路４と、該搬送路４の上方に所定間隔を存して配置され、該所定間隔以下の板厚方向幅を有するエレメント１のみを通過させる選別板５と、該選別板５を昇降する昇降手段と、前記選別板５に通過阻止されているエレメント１を検知する検知手段と、該検知手段により検知されたエレメント１を前記搬送路４から払い出す払出手段６とを備え、前記選別板５には、前記搬送路４に当接する当接部５ａが設けられている。 （もっと読む）

【課題】３つの空間方向におけるそれぞれの曲げ剛性をできるだけ良好に相互に整合させることのできる、微細構造体を測定するためのセンサーモジュールを提供する。
【解決手段】触知式座標測定装置のプローブ２８用のセンサーモジュール４０は、第一測定面を規定する固定モジュールベース４６を有する。前記センサーモジュールはさらに、モジュールベース４６に対して移動可能であって、触針２６を保持するための支持部材４８ａを有している。さらに、支持部材４８ａとモジュールベース４６とを移動可能に相互接続する少なくとも１つの変形可能な接続部材５０を設けている。本発明の１つの局面において、前記接続部材５０は少なくとも、変形可能な第一および第二材料層５０ａ，５０ｂを有し、これらは、第一測定面に対して垂直に、相互に位置がずれた状態に設けられている。 （もっと読む）

【課題】ベルトの直進性能を評価する基準として、実走ラインに適合した蛇行量測定装置を提供する。
【解決手段】直進するベルト２の横変位を測定する蛇行量測定装置１において、ベルト２の一方の面に形成した溝形状の条に測定子３ａを狭持し、この測定子３ａを横方向に移動可能に支承する変位追従機構３と、前記測定子３ａの横方向変位を測定する変位測定機構９と、で構成する。 （もっと読む）

【課題】測定力や加速度の二軸以上の方向成分を直接、かつ、個別に検出可能であり、さらに、従来のものより簡素化、かつ、小型化を達成できるセンサを提供すること。
【解決手段】辺構成要素３１…によって四角形に形成された構造体２Ａの一方の角部を移動部材６に固定し、他方の角部にスタイラス５を装着する。一対の辺構成要素３１，３２に、そのスタイラス側端を反スタイラス側端に対してＺ軸方向へ平行変位可能とする平行リンク機構３１Ｚ，３２Ｚを形成する。他対の辺構成要素４１，４２に、そのスタイラス側端を反スタイラス側端に対して、それぞれＸ軸方向、Ｙ軸方向に平行変位可能とする平行リンク機構４１Ｘ，４２Ｘ、および、４１Ｙ，４２Ｙを形成する。各平行リンク機構は辺構成要素に薄肉状に形成された少なくとも２箇所の弾性ヒンジ部３５Ｚと、２つの弾性ヒンジ部３５Ｚの間に形成された２本のリンク片３６Ｚとを含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】 測定路面の両端の一定長さが平坦でなくても測定路面の全範囲において簡易かつ精度良くプロファイル測定が可能な路面断面プロファイルの測定方法を提供する。
【解決手段】 測定ブロック１０の長さの異なる第１及び第２連結棒１４，１５が真直状態での第１ローラ１１及び第３ローラ１３の中心間寸法を基準距離として、基準距離を複数点に分割した複数の計測位置を決める。測定ブロックが路面の縦方向に進行し、第３ローラが計測位置を順次移動する毎に、各計測位置にて第１及び第２連結棒のなす連結角をロータリエンコーダにより検出する。連結角検出値から路面のプロファイルを推定する。さらに、路面のプロファイルを評価する評価関数を設定し、この評価関数を共役勾配法等の演算手法を用いて最小化することにより、路面全体の精密な断面プロファイルを得ることができる。 （もっと読む）