【課題】探針と試料とが衝突するのを防ぐことができ、比較的高速での走査が可能で、分解能が高く、正確な表面形状を得ることができる間隙測定装置、表面形状測定装置、間隙測定方法および表面形状測定方法を提供する。
【解決手段】探針１２が、試料１の表面にほぼ垂直な方向に沿って振動するよう、試料１の表面との間に隙間をあけて配置されている。電圧印加手段１４が、試料１と探針１２との間に直流バイアス電圧を印加可能である。制御手段１５が、走査手段１１により探針１２を走査しつつ、振動する探針１２が検出した電圧印加手段１４による電界信号に基づいて、試料１の表面と探針１２との距離を求めるとともに、探針１２が検出する電界信号の平均値が一定になるよう、走査手段１１により探針１２を垂直方向に移動させる。制御手段１５は、求められた試料１の表面と探針１２との距離と、探針１２の軌跡とから試料１の表面形状を求める。 （もっと読む）

【課題】簡易かつ客観的に動体の移動情報を測定するシステム及び方法を提供すること。
【解決手段】移動情報測定システム動体の通路に沿って配置された複数の発電床と、複数の発電床の発電量を測定する電力測定装置と、複数の発電床の発電量を基に、通路における動体の移動に関する情報を測定する情報処理装置と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高精度な、角度、直線またはその他の相対的な位置または変位の細密な測定およびモニタリングを提供する。
【解決手段】二つの要素の相対的な位置又は変位のそれぞれの要素と関連するようになっている一対の長い導電体１０、１１と、前記導電体１０、１１の間に電気的ポテンシャルの差を与えることで、その間に検出可能な量子的トンネル電流が発生するように、前記導電体１０、１１を相互に離隔させて配置する手段１２、１３、１８とを有する。 （もっと読む）

【課題】ＭＲＩ像の理解を一層深めることのできる磁気共鳴力顕微鏡を提供する。
【解決手段】高周波磁場発生装置３１が試料２１の全体に均一に発生した高周波磁場中で、カンチレバー自己励振ループ部が前記カンチレバー２３を自己励振した状態で、試料２１（検体）のスピンを制御して磁気共鳴力を発生させ、周波数復調器２６が磁気共鳴力に基づいた前記カンチレバー変位計測器２９の検出信号から前記カンチレバーの共振周波数を計測し、かつカンチレバーの共振周波数シフトを計測し、カンチレバーの共振周波数のシフト量の直流成分Δνが一定となるようにスキャナー２２を制御して試料２１表面から探針２４先端までの距離Zを調整して、試料２１の原子間力像（ＡＦＭ）をスキャナー駆動電源２５が生成し、周波数復調器２６での前記カンチレバーの共振周波数シフト量の交流成分δνに応じて磁気共鳴力像（ＭＲＦＭ）を位相検波器３４が生成する。 （もっと読む）

【課題】シート位置を安価に且つ正確に検出することができるシート位置検出装置を提供すること。
【解決手段】シートに固定されたアッパレール２をフロアに固定されたロアレール１に対してスライド可能に組み付けることによって前記シートの前後方向位置を調整可能としたシートスライド装置に設けられる装置であって、前記シートの前後方向位置を磁気的に検出するためのシート位置検出装置において、前記ロアレール１の前端に磁性体（鉄板）から成る検知プレート２０を設け、該検知プレート２０を磁気的に検知する近接センサ２１を前記アッパレール２の前端内部に設ける。 （もっと読む）

【課題】振幅に加え位相も計測対象として位置精度を向上させる高精度ＬＣ共振型磁気マーカの位置、方向および等価的磁気モーメントの検出システムを提供する。
【解決手段】励磁コイルと、この励磁コイルと対向する複数の検出コイルと、励磁コイルと検出コイルとの間に配置されるＬＣ共振型磁気マーカと、励磁コイルはＬＣ共振型磁気マーカの共振周波数に同調させた交流磁界を発生させ、ＬＣ共振型磁気マーカからの誘導磁界を複数の検出コイルの各検出コイルで計測する手段と、ＬＣ共振型磁気マーカをセットした状態での検出コイルによる第１の誘起電圧を計測する手段と、ＬＣ共振型磁気マーカをセットしない状態での検出コイルによる第２の誘起電圧を計測する手段と、第１の誘起電圧と第２の誘起電圧の位相差θを求める手段と、この位相差に基づいてＬＣ共振型磁気マーカの寄与電圧を求める手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】原子炉用の部品（１０）が水中（１２）に存在する場合に、これらの部品（１０）上の渦電流測定を行うのに適したシステムに関する。
【解決手段】システムは、制御ユニット（１４）、制御ユニット（１４）と測定プローブ（１６）との間に少なくとも接続の部分を構成するために適した測定プローブ（１６）および第１ケーブル（２１）を備える。同様に、水中（１２）に配置され、第１ケーブル（２１）によって接続されるために配置され、測定プローブ（１６）によって接続されるために適する切替ユニット（２５）を備える。切替ユニット（２５）は、少なくとも第１状態および第２状態をとる切替機構（２７）を有する。第１状態において、第１ケーブル（２１）は、測定プローブ（１６）によって接続される。第２状態において、第１ケーブル（２１）は、測定プローブ（１６）によって接続されない。 （もっと読む）

【課題】 回転体を用いることによって簡単な構成、且つ安価に、対象物が基準から一方向にあるのか他方向にあるのかを検出するポジションセンサを提供すること。
【解決手段】 ケーシングＫと、回転体６と、該回転体６に保持された磁石１５と、所定の磁界強度で出力の切換をする磁電変換部１６とを備え、電磁変換部１６は磁石１５に対向する面に感磁面を有するＭＲ素子を有し、磁石１５は回転体６の周方向に着磁されて配置し、回転体６は磁石１５の磁力が磁電変換部１６に及ぶ範囲内の所定角度で回転可能となし、回転体６の時計方向、或いは反時計方向の回転によって磁電変換部１６の出力の切換が一回のみ行われる構成とした。 （もっと読む）

【課題】 電磁ノイズが重畳された信号を受信した場合であっても、ノイズの影響を除去して正確な位置・角度を得ることができる位置角度検出装置を提供する。
【解決手段】 交流基準信号を生成する基準信号生成部と、交流基準信号に基づいてコイルを励磁することにより空間に交流磁界を発生する磁気ソースと、交流磁界が発生している空間内の任意の地点における交流磁界を検出する磁気センサと、磁気センサから出力される検出信号に含まれるノイズ成分を抽出するノイズ成分抽出部と、検出信号からノイズ成分を除去した訂正検出信号を生成する訂正検出信号作成部と、訂正検出信号に基づいて磁気センサの位置および角度を算出する位置角度演算部とを備え、算出した磁気センサの位置および角度から磁気センサを取り付けた物体の位置および角度を求める。
え、算出した測定誤差をグラフィック表示する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、測定が比較的容易でしかも潤滑剤の膜厚や膜の形成強度に関する情報を定量的に入手できる潤滑剤膜厚計測方法を提供する。
【解決手段】潤滑剤膜厚計測方法は、潤滑剤Ｌを介在させて互いに当接しながら相対的に移動する少なくとも内輪２と外輪３（一対の導電性部材）に電極端子１１を各々接続し、電極端子１１を介して内輪２と外輪３の間に電圧を印加する。印加電圧Ｅｓを徐々に増加させることによって、内輪２と外輪３の間に形成される潤滑剤Ｌの膜が破断されることを誘発させる。頻繁な膜の破断現象を開始させるに至る印加電圧の値を臨界印加電圧値Ｖｃとして検出し、臨界印加電圧値Ｖｃに基づいて潤滑剤Ｌの膜厚を定量的に算出する。 （もっと読む）

【課題】 エアロゾルデポジション法を用いて成膜を行う過程において、精密に膜厚を測定すると共に、膜質の良否を確認することができる成膜装置を提供する。
【解決手段】 この成膜装置は、原料の粉体を配置するエアロゾル生成部３と、該エアロゾル生成部において、該原料の粉体をガスによって噴き上げることにより、エアロゾルを生成するガスボンベ１及び圧力調整部１ａと、構造物が形成される基板を保持する基板ホルダ６と、エアロゾル生成部において生成されたエアロゾルを基板に向けて噴射するノズル５と、基板上の成膜面における電位を測定する測定部８とを含む。 （もっと読む）

【課題】 金属薄膜の厚みを高精度にモニターすることができ、特に蒸着装置の自動制御に適した特性を有する薄膜厚モニター用の水晶振動子を提供すること。
【解決手段】薄膜厚モニター用の水晶振動子の表面に被加工物と同一条件で金属薄膜を堆積させて水晶振動子の質量付加効果による共振周波数の低下から金属薄膜の厚みをモニターするものにおいて、プラノ・コンベックス加工を行ったＡＴカットの水晶片の両側板面に励振電極を形成しこの励振電極に対して金属薄膜を堆積させて厚み滑り振動の共振周波数の変化から薄膜厚をモニターする。 （もっと読む）