【課題】 たとえば光学系や光学部品の透過波面の微小なうねり成分を高精度に測定することのできる光学特性測定装置。
【解決手段】 被検物（１３）を介した光束から、第１の光束と、第１の光束に対して光路長が異なる第２の光束とを生成し、第１の光束と第２の光束とを干渉させる干渉系（１，２，３，４）と、第１の光束と第２の光束との干渉により形成された干渉縞に基づいて、被検物の光学特性（透過波面、屈折率分布など）を検出するための検出系（５，１５）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】
位相ノイズを低減した高精度の位相検出、及び参照光を通せない非常に狭帯域の光ＢＰＦ等の位相検出を可能にした光干渉計型位相検出装置を提供する。
【解決手段】
測定干渉信号を出力する受光器８と、第１の参照干渉信号を出力する受光器９と、第２の参照干渉信号を出力する受光器１８と、第２の参照干渉信号に対する測定干渉信号の位相（測定位相）を検出する位相検出手段１１と、第２の参照干渉信号に対する第１の参照干渉信号の位相（参照位相）を検出する位相検出手段１２と、被測定物を通った後の測定光と参照光とに基づいて被測定物の位相特性を求める第１のモード又は被測定物を通った後の測定光のみに基づいて被測定物の位相特性を求める第２のモードを指定する測定モード指定信号を受けて、第１のモードのときは測定位相から参照位相を減算して位相特性を求め、第２のモードのときは測定位相から位相特性を求める信号処理手段１３とを備えた。 （もっと読む）

センサ装置は、レーザに光学的に結合されるフォトニック結晶構造体を含み、そのフォトニック結晶構造体は、ビームスプリッタと、基準アーム(808)及びセンサアーム(806)を有する干渉計(804)と、ブライトポート光検出器に光学的に結合されるように構成された第１の出力(832)と、ダークポート光検出器に光学的に結合されるように構成された第２の出力(834)とを含む。
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空間インパルス応答関数の特性を測定をする点回折干渉計であって、上記干渉計は、ソースビームを生成するソースと、光学系と、上記光学系の対物面内に配置された試験対象を含む光学素子とを含み、上記試験対象は、上記光学系を通過する測定ビームを上記ソースビームから生成するための回折点を含む。上記光学素子は、上記測定ビームと組み合わされて、上記光学系の像平面内に干渉パターンを生成する基準ビームも上記ソースビームから生成する。上記干渉パターンは、上記光学系の空間インパルス応答関数を表す。 （もっと読む）

波長分散や光路長等の光学特性を高速に評価することのできる検出装置、光路長測定装置、光学部材評価方法等を提供することを目的とする。 また、他の目的は、化学・生体反応および温熱効果を高精度に評価できる検出装置、温度変化検出方法を提供することにある。 検出装置１０Ａでは、被測定物Ｓの波長分散を受けたゼロ次光Ｂ０と、周波数をシフトさせた一次光Ｂ１とを重ね合わせ、これによって低周波のビートを発生させ、そのビート位相の波長依存性を測定するようにした。さらに、周波数シフター１２からの交流電気信号を位相基準信号とし、測定信号の相対的な位相を検出するようにした。また、互いに波長が異なる測定光と参照光をそれぞれ周波数シフトさせ、測定光のビート位相を、参照光のビート位相を基準として相対的に求めるようにすることも有効である。
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走査可能ミラー（１００，１１０）を含んでいる機器（１０）は、マルチモード光ファイバ（２４，３２，３６，４２，４６，５２）と光結合器（４０）とを採用している。例えばマルチモード光ファイバ（２４，３２，３６，４２，４６，５２）からのモード分散が、逆畳込みを使用する方法（２００）によって低減される。走査可能ミラー（１００，１１０，４４，１４４）は、光導波管（１０４）の中で動くことのできるミラー（１１０）、又は、膨張可能なコア（１２４，１２４ａ，１２４ｂ）に巻かれている光ファイバ（４２，４６）を採用することができる。
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走査可能ミラー（１００，１１０）は、光導波管（１０４）の中を動くことのできるミラー（１１０）を採用している。光導波管（１０４）は、流体によって満たすことができ、ミラー（１１０）は、電磁モーター又は静電モーター（１１２，１１４，１１６，１２０，１２２）によって動かすことができる。
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【課題】シアリング干渉縞を形成するための一対の平行平板の近接対向する第１，２の反射面が衝突することを防止し、衝突による破損を回避できるシアリング干渉計測装置を提供する。
【解決手段】シアリング干渉縞を形成するための一対の近接対向した平板の内面による第１の反射面２ａと第２の反射面３ａにおいて、衝突回避手段により第１、２の反射面２ａ、３ａが衝突することを防止する。 （もっと読む）

ラメラー格子干渉計が記載されており、ここではミラー９により光ビームがコリメートされ、かつ格子上に集束され、同時にミラー９は該格子により反射された光を収集する機能も有する。この場合、白色光源１の光ビームは最初に第１のレンズ２によりコリメートされ、その後、試料キュベット３を透過する。この透過した光ビームは、その後、別のレンズ２によりファイバ１７内に集束され、かつ結合される。このファイバ１７への光はその後ミラー９へ導かれ、このミラー９により格子１１上に反射されるが、格子１１は微小電子機械素子ＭＥＭＳ７により実現されるラメラー格子干渉計の一部を形成し、ＭＥＭＳ７はファイバ１７と同様にＭＥＭＳ保持具６の上に固定される。この格子１１から反射される光は同一のミラー９上に反射され、この同じミラー９により保持具６に固定された第２の多モード・ファイバ１８内に集束され、かつ結合される。この第２の多モード・ファイバ１８によって導かれた光はその後検出素子４内に供給される。
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本発明は、干渉システムに関し、この干渉システムは、光源及び照明光学系を有する照明ビーム路を形成するための照明アームを有し、オブジェクトを測定するための特殊光学系を有する結像ビーム路を形成するためのオブジェクトアームを有し、調整エレメント及びこの調整エレメントに結合された基準エレメントを有する基準アームを有し、検出器を有する検出器アームを有し、ビームスプリッタを有し、基準アームの中にオブジェクトアームの光学的コンポーネントの分散を補償するための分散補償媒質が挿入され、この分散補償媒質は少なくとも部分的に透明である、干渉システムにおいて、分散補償媒質は交換可能であり、特殊光学系にも適合される。これにより、普遍的な白色光干渉計プラットフォームが提供され、この普遍的な白色光干渉計プラットフォームによって様々な測定課題が特殊光学系の単なる交換によって可能になる。
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【課題】パルス毎のベースで非常に細かく制御された波長及び帯域幅を有し、かつ出力パワーレベルが３０ｍＪまで及びそれを超える４千〜８千パルス毎秒又はそれよりも多くのレーザ光のパルスを生成するＭＯＰＡ構成の超高繰返し率ガス放電レーザに関する技術を提供する。
【解決手段】４０００Ｈｚ及びそれよりも高いパルス繰返し率でパルス毎に帯域幅を測定するための、フェムトメートル帯域幅精度及び数十フェムトメートル帯域幅精度範囲を有する１５ｍＪ毎パルスに等しいか又はそれよりも大きいサブナノメートル帯域幅同調範囲のパルスのパルス出力を含む出力レーザビームを有する高繰返し率ガス放電レーザに対する帯域幅を測定するための波長計及び方法が開示され、これは、焦点距離を有する集束レンズと、干渉フリンジパターンを生成する光学干渉計と、集束レンズから焦点距離に配置された光学検出手段と、光学検出手段上に入射する干渉フリンジパターン内の干渉フリンジの位置から帯域幅を計算し、かつλ₀を一定と仮定した波長、Ｄ₀＝（Ｄ_OD−Ｄ_ID）／２、及びｆを焦点距離とする時に式Δλ＝λ₀［Ｄ_OD²−Ｄ_ID²］／［８ｆ²−Ｄ₀²］に従って、Ｄ_ID及びＤ_OD、すなわち、干渉パターン軸上の干渉パターン内の一対の第１のフリンジ境界間及び一対の第２のフリンジ境界間のそれぞれの距離を定める帯域幅計算器とを含むことができる。 （もっと読む）