【課題】レンズ本体による干渉縞と平面部による干渉縞とを自動的に分離する。
【解決手段】レンズＬの透過波面を測定する干渉測定装置１は、検査光Ｂを射出する光源２と、検査光Ｂを参照光と被検光とに分割するハーフミラー３と、被検光を反射し、被検光の光軸上を移動可能な球面ミラー５と、参照光を反射し、参照光の光軸上を移動可能な平面ミラー４と、レンズＬが設置される載物台１０と、被検光と参照光とによって生じる干渉縞を有する観察像を取得する撮像素子を有する撮像装置６と、球面ミラー５又は平面ミラー４を移動させる制御部と、球面ミラー５又は平面ミラー４のいずれか一方の位置が異なる状態で取得された２つの観察像における撮像素子の各画素の輝度を比較する輝度比較部と、輝度比較部の比較結果に基づき、レンズ本体Ｌ１の干渉縞を含む解析領域と平面部Ｌ２の干渉縞を含むアライメント領域とを自動分離する演算部とを備える。 （もっと読む）

【課題】特に雑音信号の回避によって測定品質が改善された干渉計を備えた光学測定装置を提供する。
【解決手段】信号評価ユニット２と、コヒーレンス長１ｃｍ以下の光を発生する光源３と、少なくとも１つの検出器４ａ、４ｄとを含む干渉計を備えた、物体１の光学的測定を行うための光学測定装置。信号評価ユニットは検出器）の測定信号から物体１の運動データを算出するように形成された振動測定評価部２ｆを含む。焦点制御部２ｄによって制御される光路長を変化させる光路長調整手段１１は、測定ビームまたは参照ビームの光路長を前記焦点制御部の制御信号に応じて変化させる。焦点制御部は、光路長調整手段を制御して、測定ビームと参照ビームの光路長を調整する。 （もっと読む）

【課題】レンズの平面部の干渉縞とレンズ本体の干渉縞とを分離し、レンズ本体の透過波面測定における誤差を小さくする。
【解決手段】レンズ本体と平面部１６とを有するレンズの透過波面を測定する干渉測定装置１は、レンズの設計波長と同一の波長を有する検査光Ｂ１を発生する第１光源２と、検査光Ｂ１と異なる波長を有するアライメント光Ｂ２を発生する第２光源３と、検査光Ｂ１及びアライメント光Ｂ２を、参照光と被検光とに分割するメインビームスプリッタ４と、被検光を反射する球面ミラー６と、球面ミラー６とメインビームスプリッタ４との間に設けられた補正板１７と、レンズが設置される載物台１４と、参照光を反射する平面ミラー５とを備え、検査光Ｂ１の可干渉距離は、レンズの設計パラメータを含む光学的パラメータに基づいて決定される設計光路差より短く、アライメント光Ｂ２の可干渉距離は設計光路差以上の長さである。 （もっと読む）

【課題】雑音を抑制した干渉型光ファイバセンサシステムを提供。
【解決手段】物理量を検知するセンシングファイバ14aおよびリファレンスファイバ14bを有する干渉計と、干渉計からの干渉光から物理量に対応する測定信号を検出するPGC復調器59とを含む干渉型光ファイバセンサシステムにおいて、干渉光に含まれる雑音信号を低減するための雑音低減信号46aを干渉計に印加する雑音シフト信号発生器46を含み、PGC復調器59は、雑音低減信号46aにより雑音が低減された測定信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】多点の検出位置での振動を高い周波数帯域まで光ファイバを用いて検出できるようにすること。
【解決手段】波長可変レーザ１１の光を光カップラ１３，１５，１８等を用いて分岐し、複数のセンサ部Ｓ１，Ｓ２，Ｓｎに与える。各センサ部では振動に応じて反射位置を変化させる反射板２３，２６，２９を設ける。複数のセンサ部ではセンサ部毎にエタロンの干渉特性をあらかじめ変化させておく。波長可変レーザのレーザ光を一定の波長範囲で走査し、センサ部に与えることによってエタロンの特性に応じた干渉信号が重畳して得られる。これを光電変換しフーリエ変換すると共に、周波数をセンサ部のエタロンの特性に応じて分離することによって、多点のセンサ部での信号を検出する。 （もっと読む）

【課題】高精度な波面収差測定を行うこと
【解決手段】波面収差測定機は、２次元的に配列された複数の第１ピンホールを有し光源からの放射光に基づいて第１の理想的球面波を発生させる第１のピンホール部材と；被検光学系による複数の第１ピンホールの複数の結像位置のそれぞれに対応した位置に配列された複数の第２ピンホールを有する第２のピンホール部材と；前記第１及び第２のピンホール部材の間の光路中に配置されて０次回折光を第２のピンホール部材へ到達させるように配置された回折格子と；回折格子による回折光のうち所定次数の回折光を選択的に通過させる回折光選択手段と；０次回折光が第２のピンホール部材を経由した際に発生する第２の理想的球面波と、回折光選択手段を通過した所定次数の回折光との干渉により得られた干渉縞から被検光学系の波面収差を算出する手段と；を有する。 （もっと読む）

【課題】低時間コヒーレンス光源を用い、精度劣化がなく偏光照明時の収差計測が容易である干渉計を提供する。
【解決手段】ＴＳレンズ４からの参照光束５、及び被検物８の光軸からわずかにずれる凹球面状ミラー９からの被検光束７を干渉縞形成部６の回折格子で複数次数の回折光に分割する。分割後の参照光束５の内１つの波面情報を干渉縞形成部６のマスクで消し、１つの波面だけを該マスクで選択する。分割後の干渉光束７の内１つの波面情報を該マスクで消し、１つの波面だけを該マスクで選択する。該回折格子を走査し、４つ以上の波面の内少なくとも２つの位相を変化させ、分割後の参照光同士、分割後の被検光同士を合成し干渉縞を得る。 （もっと読む）

【課題】 干渉に利用できる光のパワーを下げることなく高精度の参照波面を生成することが可能で、かつ収差の大きさに依存せずに測定することが可能な波面測定の方法および装置を実現する。
【解決手段】 ２枚以上の鏡から構成されるファブリ・ペロ干渉計１０に光を入射させて入射光とし、入射光のうちファブリ・ペロ干渉計１０の最低次の空間モードと共振する成分を透過させて透過光とし、ファブリ・ペロ干渉計１０と共振せず反射された収差を含む空間成分を反射光とし、透過光と反射光を干渉させることで収差の情報を含む干渉縞を形成させて入射光の波面の収差を検出することを特徴とする光波面測定装置。 （もっと読む）

本発明は皮膚組織を光学的に測定するための干渉測定装置に関し、この干渉測定装置はビームスプリッタと、物体光路と、参照光路と、検出装置とを備えている。このビームスプリッタは、光源から放射された入射光を物体光と参照光とに分割するために設けられている。この物体光は、物体光路を介して皮膚へと導かれ、皮膚組織から後方散乱された物体光は物体光路へと戻る。参照光は、参照光路を介して参照体へと導かれ、参照体から参照光路へと戻る。この検出装置は、後方散乱された物体光と戻ってきた参照光とが重ね合わせられた干渉光を検出し、この干渉によって得られた強度変化を評価するために設けられている。皮膚に導かれる物体光の一部を後方散乱させるために、インプラントが皮膚に埋め込まれており、このインプラントは、物体光が入射する側の表面と、この表面とは反対側にある裏面とを備えており、周囲の皮膚物質とは異なる屈折率を有する。
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本発明に従う装置は、基本的に２つの異なる測定モードで作動可能な対物レンズ（８）を有する。第１干渉モードでは、測定対象物（９）は干渉光学的に測定される。第２イメージングモードでは、イメージ処理ルーチンに供される光学イメージが作られる。２つの操作モード間の切り換えは、装置の光路の異なる位置に連結する照明装置を切り換えることで行われる。カメラから見て、一方はビーム分割器の前にあり、他方は参照光路を光路に結合するビーム分割器の後ろにある。
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【課題】基板テーブルに当たる光ビームの偏光状態に関する情報を取得可能であるリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】リソグラフィ装置は、放射ビームを調節するように構成された照明システム、投影された放射ビームとして放射ビームの少なくとも一部を投影するように構成された投影システム、および投影された放射ビームの波面状態を感知するレンズ干渉計を含む。レンズ干渉計には、投影された放射ビームの偏光状態を感知可能であるように、偏光要素が設けられる。偏光要素として、透過型回折格子構造ＧＲは、Ｘ方向およびＹ方向に延在する２次元のチェッカー盤構造であり、最適化された透開放領域Ｅ２と不透明領域Ｅ１を有する。 （もっと読む）

【課題】 光ファイバリングの一部に印加された物理的外力とその位置を同定し、且つ光ファイバリングの切断と切断位置を検出する。
【解決手段】 光ファイバ侵入監視装置１は、波長が異なる２つの光源９，２５と、この２つの光源９，２５に対応して光ファイバの干渉光を検出する２種類の受光部１３，２９とを備えた光ファイバ振動センサ検出装置４９と、この光ファイバ振動センサ検出装置４９の各光源９，２５と各受光部９，２５に接続される第１分岐結合器５１と、この第１分岐結合器５１に一端側を接続した光ファイバリング干渉型の振動センサ２３、２９を構成する振動センサ用光ケーブル６９と、この振動センサ用光ケーブル６９の他端側に接続した第２分岐結合器５３と、から構成され、前記振動センサ用光ケーブル６９に、ケーブル切断検出用光ファイバ７を収容している。 （もっと読む）

【課題】測定点のアライメント作業を容易に行える安価な測定顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】測定顕微鏡装置は、被検体２１を水平移動させるＸＹステージ２２と、被検体２１を観察する観察光学系１０と、観察光学系１０の対物レンズ１１を上下移動させるＺステージ１５と、対物レンズ１１を介して被検体２１に測定光を照射して合焦を検出する焦点検出系３０と、焦点検出系３０と対物レンズ１１を光学的に結合するハーフミラー１７と、焦点検出系３０による検出結果に基づいてＺステージ１５を制御する信号処理部４１と、Ｚステージ１５による対物レンズ１１の移動量を測定する測定部４２とを有している。さらに測定顕微鏡装置は、焦点検出系３０とハーフミラー１７の間の光路上に配置された２つのウェッジプリズム５１ａと５１ｂと、ウェッジプリズム５１ａと５１ｂをそれぞれ回転可能に保持している回転機構５２ａと５２ｂとを有している。 （もっと読む）

【課題】一方の発光・受光系の光源などが故障しても、もう一方の発光・受光系に切り換えてセンシングが行えるサニャック干渉型センサを提供する。
【解決手段】センシングファイバループ１０に対し、検出用の光を発光すると共に、センシングファイバループ１０からの戻り光を受光する二系統の第１，２の発光・受光系（ 光源１，５、受光器２，６、光カプラ３，７、偏光子４，８を有する）を設ける。偏光子４及び偏光子８と、センシングファイバループ１０の両端部との間を偏波保持光カプラで分岐・結合する。偏光子４、偏光子８からの直線偏光の偏光方位を、偏波保持光カプラ９の直交するＸ，Ｙ偏光軸に、それぞれ一致させて接続する。信号処理部１３のスイッチ１６により、光源１及び受光器２と、光源５及び受光器６との接続を選択的に切り換えることで、一方の発光・受光系の光源などに不良・故障が生じても、もう一方の発光・受光系に切り換えてセンシングを続行できる。 （もっと読む）

【課題】誤報を低減して、高い信頼性が得られるフェンス振動センサ装置を提供することにある。
【解決手段】フェンス振動センサ装置（Ｉ）は、フェンス１に巡らせたループ状の光ファイバ２内を反対方向に伝播する光信号の干渉波から得られる干渉強度信号に基づいて加振点から受光点までの距離を求める距離算出器３と、干渉強度信号のレベル変化をモニタしながら干渉強度信号のレベルが所定の閾値を越えると、その時点において、距離算出器３が算出した距離を加振点から受光点までの距離として確定する判定器４とを備えている。警報・表示器５は判定器４で確定した距離データを受け取ってその距離、つまり加振点の位置を表示するとともに警報を発する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトでなお且つ移動鏡の傾きによる誤差や大きな摩擦力を生じることのない干渉計を提供する。
【解決手段】干渉計の移動鏡駆動機構として、長尺状のガイドレール４０と、ガイドレール４０に嵌着され、該ガイドレール４０上を摺動するスライダ３０と、前記スライダ３０に固定された移動鏡１６と、該スライダを駆動する複数のボイスコイルモータ５０とを備えた移動鏡駆動機構を用いる。ここで、駆動源である複数のボイスコイル５１を、前記スライダ３０の移動方向に垂直な面内においてスライダ３０の移動中心に対して対称な位置に配置する。これにより、左右のコイル５１に加わる電磁力を合成した力の作用点をスライダ３０の移動中心と一致させ、移動鏡の移動時における回転モーメントの発生を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】１枚の画像データによって測定を可能にする干渉測定における画像処理方法を提供する。
【解決手段】撮像手段を備えた干渉測定装置により得られた縞画像の各画素の輝度データに基づいて、所定の画素およびその画素に隣接する複数の画素の中で最も高い輝度データをその画素の輝度データとして設定する処理を全ての画素について実行する第１の処理と、上記第１の処理を所定回数実行する第２の処理と、上記第２の処理で得られた各画素の輝度データに基づいて、所定の画素およびその画素に隣接する複数の画素の中で最も低い輝度データをその画素の輝度データとして設定する処理を全ての画素について実行する第３の処理と、上記第３の処理を所定回数実行する第４の処理と、上記第４の処理で得られた各画素の輝度データを二値化し、二値化した一方の値に対応する画素を選択する第５の処理を含む。 （もっと読む）

【課題】多波長干渉計の空間的位相シフト法において高速、かつ、低コストで空間キャリアの変調に対応できる干渉縞解析方法及び収差測定方法を提供する。
【解決手段】ｔｉｌｔ干渉縞周波数設定ステップと、空間キャリアを重畳したｔｉｌｔ干渉縞形成ステップと、ｔｉｌｔ干渉縞周波数設定ステップで設定された周波数とｔｉｌｔ干渉縞形成ステップにおいて形成されたｔｉｌｔ干渉縞の周波数とが等しくなるようにアライメントするｔｉｌｔ干渉縞アライメントステップと、干渉計の光源波長を変更した場合に干渉縞解析用パラメータのｔｉｌｔ干渉縞の周波数を変更された光源波長に応じて、算出するｔｉｌｔ干渉縞周波数算出ステップと、干渉計の光源波長を変更した場合に、ｔｉｌｔ干渉縞形成ステップで形成されたｔｉｌｔ干渉縞を、ｔｉｌｔ干渉縞周波数算出ステップにおいて算出したｔｉｌｔ干渉縞周波数を用いて干渉縞解析する干渉縞解析ステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】 光学素子に対する透明平行平面板の姿勢を維持しつつ、基準光の波長に合わせた透明平行平面板を交換することができ、これにより光学素子の評価の作業効率を向上させることのできる収差測定装置を提供する。
【解決手段】 光ディスクの種類に応じた波長の基準光を光学素子に対して出射する光源と、複数の種類の光ディスクの保護層と同一の材質及び厚さをそれぞれ備える複数の透明平行平面板からなる平面板群を保持し、この平面板群から基準光の波長に対応した１枚の透明平行平面板を選択して、光学素子からの出射光の進行方向上に配置する透明平行平面板保持切替手段と、光学素子の光軸に対する被選択透明平行平面板の光軸の傾きを変更する姿勢変更手段と、を備え、光学素子及び被選択透明平行平面板の透過光を解析することにより、光ディスクの種類に対応した基準光について、光学素子の収差を測定する。 （もっと読む）

【課題】被検レンズのポジショニング手段を備えた光波干渉装置において、被検レンズの光軸と基準球面反射鏡の光軸の平行ずれを自動調整し、被検レンズの光波干渉測定を自動化し得る光波干渉装置を得る。
【解決手段】被検レンズ１の表面からの前記測定用光束の反射光に基づく輝点を観察し、観察画面上での該輝点の像位置を演算するとともに、測定された該輝点の像を観察画面上での所定の基準の位置まで移動させるのに要する、基準球面反射鏡７の移動量を演算し、この演算された移動量に基づき、基準球面反射鏡７の駆動制御を行うようにして、光波干渉測定の観察画面上で、被検レンズ１の光軸と基準球面反射鏡７の光軸の平行ずれを自動調整する。 （もっと読む）