【課題】 正反射を起こす面を有する粗面物体の機能的表面性状を定量的に、かつ簡易に測定する。
【解決手段】 粗面物体の表面性状を測定する方法において、主として正反射を起こす面を有する粗面物体の表面に基準パターンを投影して該基準パターンの反射像のゆらぎを結像し、該反射像のゆらぎをＣＣＤカメラで撮影し、該ＣＣＤカメラの映像信号を画像処理することにより前記反射像のゆらぎの輝度分布および該反射像のゆらぎの大きさを算出し、その値から粗面物体の表面性状を求める。反射像のゆらぎの大きさとして、輝度の振幅の標準偏差を用いることができる。 （もっと読む）

【課題】 厚さムラに起因する欠陥の検査を的確に行うことができる光学フィルムの検査方法を提供すること。
【解決手段】 本発明は、液晶をハイブリッドネマチック配向させた液晶フィルム２を含む光学フィルム１の検査方法であって、光学フィルム１に対し、光源２０から偏光板１８ａを通して光を照射し、液晶をハイブリッドネマチック配向させた液晶フィルム３１と偏光板１８ｂを積層した素子２９を、液晶フィルム３１を光学フィルム１側に向け且つ液晶フィルム３１の配向軸４３を液晶フィルム２の配向軸４２と非平行となるように配置して光学フィルム１を検査する方法である。この場合、光源２０からの光が偏光板１８ａ、光学フィルム１を透過すると、無欠陥部分と欠陥部分とで位相差に差をつけることができ、無欠陥部分と欠陥部分との間にコントラストを生じさせることができる。 （もっと読む）

この装置は、試料（２）の少なくとも１つの表面（１）の歪みが温度に対して測定されることを可能とする。所定の平面、例えば表面（１）の平面に垂直な方向の歪みが、合成像によって測定される。前記平面における歪みが、画像相関によって測定される。画像相関と合成像とによる測定は、共通の可視光検出カメラ（３）を使用する。試料（２）は、可視光（Ｌ）を少なくとも局所的に通す透明格納容器（６）内に配置される。少なくとも１つの赤外線発光器（９）が、大部分がカメラ（３）によって検出されないスペクトル帯の赤外光が発生されることを可能とする。
（もっと読む）

総じて、一態様では、本発明は、干渉部品と測定物体との間の距離を、３本の異なる測定軸の各々に沿って、測定物体を光学干渉部品に対して移動させながら、干渉法を利用して監視するステップと、測定物体の監視距離からの異なる位置に対する第１パラメータおよび第２パラメータの値を決定するステップであって、所与の位置に対して、第１パラメータは、所与の位置において３本の異なる測定軸の各々に沿った測定物体の監視距離に基づき、所与の位置に対して、第２パラメータは、所与の位置において測定軸の内２本の各々に沿った測定物体の監視距離に基づく、ステップと、第１および第２パラメータ値から測定物体の表面形状プロファイルに関する情報を導出するステップとを含む方法を特徴とする。
（もっと読む）

ビデオ強化現実改善外科ナビゲーション・システムにおけるオーバーレイ・エラーを測定するシステムと方法を提供する。本発明の実施例において、システムと方法は、テスト対象物を供給し、このテスト対象物のコンピュータ・モデルである仮想対象物を生成し、テスト対象物を記録し、強化現実システムの測定空間内での様々な位置でのテスト対象物上の制御点の画像を取得し、その取得画像からテスト対象物上の制御点の位置を引き出し、仮想画像内の制御点の位置を計算し、テスト対象物のそれぞれのビデオと仮想画像との間の対応する制御点の位置の位置ずれを計算することによる。この方法とシステムは、さらに、オーバーレイ精度が許容基準を満たしているかどうか評価する。本発明の実施例において、方法とシステムは、そのようなシステムにおけるエラーの様々な要因を見分けるために提供される。本発明の実施例において、ＡＲシステムの精度が決定された後、そのＡＲシステムは、与えられた用途、たとえば、記録エラーのような他のプロセスの精度を評価するツールとして使用される。
（もっと読む）

一実施形態による方法には、あるキャリブレーション基板上に設けられた複数のマーカ構造体の組から、光学的検出装置によりキャリブレーション測定データを得るステップが含まれる。各マーカ構造体の組は、プロセスパラメータの異なる既知の値を用いて生成された、少なくとも１つのキャリブレーションマーカ構造体を含む。この方法には、基板上に設けられ、プロセスパラメータの未知の値を用いて露光される少なくとも１つのマーカ構造体から光学的検出装置を用いて測定データを得るステップと、プロセスパラメータの既知の値およびキャリブレーション測定データに基づくモデルにおいて回帰係数を用いることにより得られた測定データからプロセスパラメータの未知の値を決定するステップとを含む。
（もっと読む）

特定の形状からの物体３、１１、１６、１８、２２、２６の形状の逸脱を示す装置が記載される。装置は、放射の入射ビーム４を物体に向ける放射手段、および前記物体による透過または前記物体からの反射の後の最終ビームを検査する検査手段５を備える。装置は、物体が特定の形状を有する場合、最終ビームが実質的に平面波面を有するように構成され、検査手段５が、平面性からの最終ビームの波面のいかなる逸脱をも判定するように構成される。一実施形態において、検査手段は、たとえば回折格子６またはホログラムなどのビーム分割手段、およびＣＣＤカメラ８などの検出器手段を備える。ビーム分割手段は、次に最終ビームを２つ以上のビームに分割し、２つ以上のビームを検出手段で横方向に変位された位置に向けるように構成される。
（もっと読む）

【課題】 人間の感性に頼ることなく、定量的かつ再現性の良いローピングなどの程度の測定・評価評価が可能となる測定・評価方法等を提供する。
【解決手段】
所定の入射角で、メタルイハライド光源１２が測定対象の表面に光を照射する工程と、入射角に略等しい反射角に対応させた角度上で表面から反射される光をＣＣＤカメラ１５が受光し、反射光を光の強度の分布のデータに変換する工程と、そのデータに基づいて、表面の光の強度変化を指標として演算装置１７が算出する工程とを有するものである。 （もっと読む）

光学ナビゲーションデバイスとナビゲーション地形との間の相対動作を決定するための方法(300)は、２つの重複するコヒーレントな光ビーム(204,206,236a,236b)を生成すること(303)と、該２つの重複する光ビーム間における干渉縞(237)のパターンを生成すること(304)とを含む。前記方法は、干渉縞のパターンによってナビゲーション地形の表面部分(22,212)を照らすこと(305)と、縞を照射された表面部分を撮像すること(306)と、前記撮像された、縞が照射された表面部分に応答して、信号114のパターンを生成すること（306,307）とを更に含む。
（もっと読む）

パラメータの自由度が小さいモデルＭ’のＡＩＣ（Ｍ’）と、パラメータの自由度が大きいモデルＭのＡＩＣ（Ｍ）との小さい方をＥＧＡのモデルとして選択する（ステップ５０２）。モデルＭが選択され、その残差が所定値以上である場合には、モデルＭよりもパラメータ自由度が大きいすべての係数がパラメータであるモデルが選択される。有効サンプル数が、このモデルでのパラメータ自由度よりも小さい場合には、有効サンプル数を増やし、さらにサンプルショットを追加計測する。今回選択されたモデルの係数を、次回のウエハアライメントの際の事前知識に反映する（ステップ５２４）とともに、今回のモデルのパラメータの自由度に応じて、有効サンプル数を増減させる（ステップ５０８又はステップ５１８）。 （もっと読む）

物体の空間的特性を決定するための方法には、２つ以上の界面を含む測定物体からの走査低コヒーレンス干渉信号を得ることが含まれる。走査低コヒーレンス干渉信号には、２つ以上の重なり合う低コヒーレンス干渉信号（それぞれ個々の界面に起因する）が含まれる。低コヒーレンス干渉信号に基づいて、少なくとも１つの界面の空間的特性が決定される。場合によって、決定は、低コヒーレンス干渉信号のサブセットに基づき、信号の全体に基づくのではない。あるいはまたは加えて、決定は、低コヒーレンス干渉信号を得るために用いられる干渉計の機器応答を示す場合があるテンプレートに基づくことができる。
（もっと読む）

放射散乱／反射要素の位置を判定するための方法及びシステムであって、放射透過性要素面で放射入射する面に放射エミッタが設けられる。この入射放射は散乱／反射要素により散乱／拡散／反射され、透過性要素により、この要素位置を判定できる検出器に向けてガイドされる。
（もっと読む）

制御システム（７）によってカメラ（５）を備えた機器（４）を所望位置（１０）へ動かす方法。カメラ（５）は、制御システム（７）に接続されている。動かしている間、カメラによって写真が撮影される。制御システム（７）によって単位時間あたりに処理される写真の枚数は、機器（４）と所望位置（１０）の間隔が短くなると、増加される。

（もっと読む）

【課題】 効率が良く、さらに投光面を均一にすることができるセンサーの発光装置を提供する。
【解決手段】 複数の発光素子を並べて配置し、それらの発光素子が光を発する方向の両側に反射手段を配置し、両側の反射手段の間に板状の透光性媒体を配置し、その透光性媒体の一方のエッジに複数の発光素子を並べて取り付け、しかも透光性媒体のエッジにその幅方向に多数の溝を形成し、それらの溝のある側に発光素子を所定の間隔に取りつけた光がそれらの両側の反射手段の間を進む構成にしたことを特徴とするセンサーの発光装置。 （もっと読む）