【課題】レーザー出力装置の光量が経時変化した場合やレーザー出力装置を交換した場合であっても、適切に所期の光量を照射することが可能な光量制御装置を提供する。
【解決手段】光量制御装置１は、スリット状のレーザー光を出力するレーザー出力装置１１に印加する印加電圧を設定する印加電圧設定部２０と、レーザー光が照射された基準サンプルを撮影して得られた撮像画像を取得する撮像画像取得部１３と、長尺状の検出領域を隣接して複数設定する検出領域設定部１４と、所定の輝度以上の画素を検出する検出部１５と、印加電圧の変更に応じて、基準サンプルの形状を示す反射ライン以外の位置に余剰反射部分が検出されなくなった場合に係る印加電圧と、反射ラインの欠落が生じなくなった場合に係る印加電圧とに基づいて、測定対象品を測定する際にレーザー出力装置１１に印加する最適印加電圧を演算する最適印加電圧演算部２２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】二次元測定機で線幅を測定する際に、照明レベルが線幅測定の安定領域に維持されるように、自動調光のパラメータ設定を作業員に負担をかけずに短時間で容易にできるようにする。
【解決手段】測定物を照明する照明装置と、測定物を撮像する撮像部と、該撮像部からの映像信号の輝度変化から線の縁を検出して線幅を測定できる二次元測定装置において、照明装置の照明レベルを段階的に変化させる照明レベル変化手段（Ｓ６、Ｓ７、Ｓ８、Ｓ１５）と、照明レベルの各段階毎に線幅を測定する線幅測定手段（Ｓ９〜Ｓ１３）と、線幅、該線幅を測定したときの照明レベル、最大輝度及び最小輝度を記憶する測定値記憶手段（Ｓ１４）と、記憶した測定値に基づいて線幅測定の安定領域を検出して映像信号の輝度範囲を設定する輝度設定手段（Ｓ１６）と、映像信号の輝度を設定された範囲内に保持する自動調光手段とを備える。 （もっと読む）

加工機械（１）中の板状アイテム（１０）に印刷される基準マーク（１２）を検出するための較正方法であって、加工機械（１）が、これら板状アイテム（１０）をコンベヤ（３０）の複数個の把持部材（３１）中に位置決めする挿入装置（２０）を有し、コンベヤ（３０）は、これら板状アイテムを連続して配置されたステーション（３，４，５）を通って安定的に単一ファイルで運搬し、挿入装置（２０）は、固定装置（２１）を備え、挿入装置（２０）は、制御ユニット（４０）によって制御され、制御ユニットは又、少なくとも１つの照明装置及び少なくとも１つのセンサ（７）を制御する、方法。この方法は、加工されるべき複数枚の板状アイテム（１０）のバッチから１枚の板状アイテム（１０）を選択するステップと、固定装置（２１）を作動させてこの板状アイテム（１０）を挿入装置（２０）に固定するステップと、挿入装置（２０）が板状アイテムに対して一連の往復運動を実行するようにするステップとを有する。照明装置及びセンサ（７）は、各往復運動により照明装置が板状アイテムに印刷されている基準マークに異なる照明を与え、センサ（７）が対応の読みを受け取って一連の読みを生じさせるよう制御される。板状アイテムのバッチ全体の加工中に用いられる較正済み照明のパラメータは、上述の発生した一連の読みに基づいて決定される。
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【課題】表面の一部に傾斜面あるいは曲面が存在する計測対象物体、あるいは傾いた計測対象物体に対して高精度な計測を可能とする光学式計測装置を提供する。
【解決手段】遮光部２１２は、拡散反射光５７の受光中心軸５６に対する入射角度範囲を規定するように構成される。すなわち開口２１２ａの径によって、拡散反射光５７が遮光部２１２の開口２１２ａを通過するときに拡散反射光５７の進行方向と受光中心軸５６とがなす最大角度θが規定される。また、投光部２０２は、計測対象物体５の表面５Ａで正反射された投光ビーム（すなわち反射光ビーム５６）のうちレンズ部２１１により集光される成分について、受光中心軸５６上での集光位置Ｐが受光中心軸５６上における遮光部２１２の範囲内に含まれるように投光ビーム５３を投光する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面の反射率の大きさや計測環境の照明の明るさ等にかかわらず、光切断線の撮像画像において光切断線を確実に抽出することができ、露出についてロバストな自動制御に対応することができる三次元形状計測方法を提供すること。
【解決手段】光切断法による三次元形状計測方法において、アンダー側の限界の状態およびオーバー側の限界の状態を含む複数の露出状態での二次元画像を取得し、取得された複数の二次元画像それぞれについて、画像データについての輝度値の積算値である輝度体積Ｖを算出し、算出された輝度体積Ｖの複数の二次元画像についての平均値を、露出の制御における目標輝度体積Ｖ_ｒｅｆとして設定し、目標輝度体積Ｖ_ｒｅｆに基づく入力信号と、スリット光のワークに対する各走査位置に対応する二次元画像について算出される測定輝度体積Ｖ_ｍｅａｓに基づくフィードバック信号との比較による差に基づいて、露出の制御を行う。 （もっと読む）

【課題】ＣＣＤ本来の感度を得る事と、積分等の歪の無い生波形の後処理ができる事と、その例として測定対象物の角（エッジ）部分においても正確な距離情報を取得することができる３次元形状測定装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る３次元形状測定装置は、マッピングデータの処理を用いることにより、デジタル最高値を中心にして、デジタル最高値を示すＣＣＤから徐々に離れた位置に配設されているＣＣＤのデジタル値がこのデジタル最高値よりも徐々に低い値を示すという分布状態を把握することができ、これにより正確に測定対象物の表面に反射したレーザ光が本来収束すべきＣＣＤを特定する。アナログ回路が減る、部品点数が減る、発熱が減る、消費電力が減る、エコである。 （もっと読む）

【課題】
従来、撮影する画像の同一視野内のダイナミックレンジが撮像部のダイナミックレンジを越える場合、白飛びや黒潰れが生じるという問題があった。
【解決手段】
本発明に係る画像ゲイン調整装置は、撮影する画像の画素毎のゲインを制御する画像ゲイン調整装置であって、指定されたゲインで画像を撮影する画像撮影部と、前記画像撮影部で撮影した画像の各画素の輝度値が予め設定された所定範囲内であるか否かを判別する輝度値判別部と、各画素の輝度値が所定範囲内の場合は撮影時のゲインを当該画素のゲインとして設定し、各画素の輝度値が所定範囲外の場合は当該画素の輝度値が所定範囲内になる方向にゲインを指定して前記画像撮影部で画像を撮影する一連の動作を全画素の前記輝度値判別部の判別結果が所定範囲内になるまで繰り返すゲイン設定部とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 レーザー光走査により広範に３次元形状測定を行うことができる３次元形状測定において、３次元形状に色彩や陰影を付しても精度が良好な３次元形状測定を行うこと。
【解決手段】 測定対象物表面の色彩や陰影を表す明度データＭ（ｎ）は出射レーザー光強度データＩ（ｎ）に基づいて計算される。この出射レーザー光の強度は、補正信号発生回路１２２およびレーザー光量補正回路１２４によりフォトセンサ１１２にて受光する反射光強度が基準反射光強度となるように制御される。反射光強度が一定とされるので、反射率の高低により３次元形状データの計算が不可能となる部分を少なくすることができ、精度の良い３次元形状測定を行うことができる。さらに、レーザー光の照射方向を走査用光学系１０６で走査する方式にて測定対象物の３次元形状測定および明度計算を行うので、広い領域で測定対象物ＯＢの３次元形状測定および明度計算を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】特殊な波長測定の機構を必要とせず、レーザ光源の劣化を検出することができる位置決め装置を実現する。
【解決手段】プラテン上に配置されたスライダの原点位置からのＸ方向及びＹ方向の移動距離をレーザ干渉計により測定して位置制御する位置決め装置において、
前記スライダをＸ方向またはＹ方向に移動させながら、前記レーザ干渉計のレーザ温度またはレーザ駆動電流の少なくともいずれかを所定範囲で変動させた時のレーザ干渉計の受信信号の振幅変化を検出し、その振幅変化が所定の閾値を超えた場合にレーザ干渉計が異常と判断する診断部を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 被検物体の表面のテキスチャによる影響を抑え、高精度な測定を行うこと。
【解決手段】 所定のパターンを有するパターン光を、被検物体に対して第１の方向から投光する投光手段と、２次元光電変換素子を備え、被検物体から反射したパターン光の像を、第１の方向と異なる方向から２次元光電変換素子により撮像する撮像手段と、被検物体の表面の凹凸に起因するテキスチャを推定する推定手段と、撮像手段により生成した画像を、推定手段により推定したテキスチャに基づいて補正する補正手段と、補正手段による補正後の補正画像に基づいて、被検物体の３次元形状を演算する演算手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 正確な位相計算により測定精度の向上を可能とする三次元計測装置を提供する。
【解決手段】 三次元計測装置（１００）は、光源から出力された光を所定のパターン光に整形して被検査物に投影する投影光学部（２３）と、被検査物上に投影される所定のパターン光を位相シフトさせる走査部（２２）と、被検査物上への所定のパターン光の走査投影により生じるパターン像を結像する結像光学部（３１）と、結像光学部により結像されたパターン像を撮像する撮像部（３２）と、画像データを補正するとともに、この補正された画像データに基づいて前記被検査物の形状の情報を求める制御部（４０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被検査体のコーティングを精度よく検査する。
【解決手段】コーティング検査装置１０は、紫外光を受けた基板１のコーティングからの蛍光を受光して紫外光画像を生成し、可視光を受けた基板１からの反射光を受光して可視光画像を生成する。コーティング検査装置１０は、可視光画像に基づいて基板１の位置を特定し、生成した画像のうち少なくとも紫外光画像とに基づいて基板１のコーティングを検査する。特定された基板１の位置を用いて被検査画像の位置を補正したうえでコーティングを検査してもよい。 （もっと読む）

【課題】安価にＢＲＤＦ測定値を得られる。
【解決手段】座標原点から直線状に見込む方向であり、かつ、予め決定された測定予定方向群を格納させておく。マーカーＫを描画され、表面の中心位置に被測定素材Ｍを貼付したプレートＰ₁を、撮像装置Ｃ₁及び撮像装置Ｃ₂によって、マーカーＫ及び点光源Ｒを同一画像になるように撮像された各画像データを入力し、その各画像データのマーカーＫに基づき算出したプレートＰ₁の位置及び姿勢に、三角測量の原理を用いて、点光源Ｒの設置位置を算出する（１００）。撮像装置Ｃ₁によって、プレートＰ₁表面の座標原点及びマーカーＫを同一画像に収まるように撮像した測定画像データを入力し、その測定画像データのマーカーＫに基づき算出したプレートＰ₁の位置及び姿勢を使って、撮像装置Ｃ₁の撮像方向を算出し、その撮像方向が測定予定方向と一致した場合に、ＢＲＤＦ測定を行う（１００）。 （もっと読む）

【課題】被検査体のコーティングを精度よく検査する。
【解決手段】コーティング検査装置１０は、紫外光を受けた基板１のコーティングを受けた被検査体からの蛍光を受光して、各々が異なる色成分に分解された複数の画像を生成する。コーティング検査装置１０は、生成した画像のうち少なくとも１つに基づいて基板１のコーティングを検査する。コーティング検査装置１０は、検査区域ごとに、色分解された複数の画像のいずれかを選択して検査してもよい。 （もっと読む）

【目的】擬似欠陥を低減させるパターン検査を行う装置および方法を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様のパターン検査装置１００は、パターン形成された被検査試料における光学画像データを取得する光学画像取得部１５０と、前記光学画像データと前記光学画像データに対応する参照画像データとを入力し、前記光学画像データの複数の画素値と前記参照画像データの複数の画素値との関係を基に、前記光学画像データの画素値レベルと前記参照画像データの画素値レベルとの少なくとも一方を調整するレベル調整回路１４０と、画素値レベルが調整された前記光学画像データと前記参照画像データとを比較する比較回路１０８と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】アナログ出力回路におけるゲインおよび／またはオフセットを自動調整し得る機能を備えたセンサ装置を提供する。
【解決手段】検出対象の変化を検出する検出部と、この検出部の出力を増幅して外部出力するアナログ出力回路と、このアナログ出力回路のゲインおよびオフセットを設定する調整手段とを具備し、特に検出対象が所定の状態にあるときに入力されるトリガ信号を受けて作動して前記検出部または前記アナログ出力回路の出力値を検出し（モニタ手段）、検出した出力値に基づいて前記アナログ出力回路の出力を予め定めた出力仕様に合わせるに必要なゲインおよび／またはオフセットを算出する演算手段を備える。 （もっと読む）

【課題】静止物体を低価格で簡易に且つ高精度にステレオ３次元計測できるようにした、インタラクティブなステレオ３次元計測システムを提供する。
【解決手段】ステレオ画像間の対応位置を探索することにより、静止物体である計測対象の３次元計測を行うステレオ３次元計測システムであって、撮像装置と、空間的にも時間的にも変化するアクティブ照明を発生させるアクティブ照明手段と、３次元計測処理装置と、表示装置とを備え、アクティブ照明で計測対象を照らしつつ、撮像装置を用いて時系列のステレオ画像を撮影し、撮影されたステレオ画像は、３次元計測処理装置に入力され、３次元計測処理装置では、時間方向に複数のフレームを使ってステレオ画像間の対応位置を探索することにより、計測対象までの距離を計測し、計測して得られた計測結果を表示装置に表示させ、更に、最新のステレオ画像を用いて逐次的に計測処理を行い、実時間に計測結果を表示装置に表示させる。 （もっと読む）

【課題】非接触で2点間の高さの差を測定可能な光干渉式測定装置を提供する。
【解決手段】照射光を発する光源114、照射光を第1参照光と第1検査光に分割する第1半透鏡41、第1参照光と第1測定点91に照射されて第1測定光路長を進んだ第1検査光とを干渉させ、第1干渉縞を形成させる第1光学素子31、照射光を第2参照光と第2検査光に分割する第2半透鏡42、第2参照光と第2測定点92に照射されて第2測定光路長を進んだ第2検査光とを干渉させ、第2干渉縞を形成させる第2光学素子32、第1干渉縞と第2干渉縞の合成干渉縞を検出する干渉縞検出素子153、合成干渉縞から、第1測定光路長と第2測定光路長との光路差に応じて変動する干渉縞成分を抽出する抽出モジュール310、及び干渉縞成分から、第1測定点91と第2測定点92の高さの差を算出する算出モジュール330を備える。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単なカメラを提供すること。
【解決手段】少なくとも２つの孔を有し、孔の配置は、孔それぞれの中心が水平方向の同一直線上になく、前記孔それぞれの中心が鉛直方向の同一直線上にない配置である遮断板５２８と、孔のそれぞれに対して、長手方向の発光面の一部が孔の対面に配置され、互いが平行に近い状態で設置される少なくとも２つのストロボ発光管５２９、５３０と、所定時間内において、ストロボ発光管のいずれか一方のみが発光する制御を行う光源制御手段５３４と、ストロボ発光管から照射される照射光による撮像データの光強度比とストロボ発光管から照射される照射光の角度との関係を用いて、撮像データの奥行き値を求める距離計算部５３５と、を具備し、ストロボ発光管は、その一端が孔と対面し、他端が遮断板５２８の遮断部分と対向している、カメラである。 （もっと読む）

【課題】取得された蛍光画像を精度よく補正して、病変部の正確な診断を可能とする。
【解決手段】観察対象部位Ｘに対して拡散する励起光Ｌ１を出射する励起光出射端１０と、該励起光出射端１０からの励起光Ｌ１の照射により観察対象部位Ｘの各位置から発生する蛍光を検出する蛍光検出部２１と、励起光出射端１０と観察対象部位Ｘの各位置との距離を検出する距離検出部と、該距離検出部により検出された距離に基づいて、励起光出射端１０と観察対象部位Ｘの各位置とを結ぶ直線と、観察対象部位Ｘの各位置における法線とのなす角度を算出する角度算出部２６と、距離検出部により検出された距離と、角度算出部２６により算出された角度とに基づいて、蛍光検出部２１により検出された蛍光の輝度情報を補正する補正部２７とを備える蛍光観察装置１を提供する。 （もっと読む）