【課題】液浸型露光装置においてウエハ上に形成された計測用マークを検出する。
【解決手段】マークが形成されたウエハの表面に撥液膜を形成し（ステップ６００）、該撥液膜を介してマークが形成されたウエハ上の領域に光を照射し、該光の物体からの戻り光を受光して前記領域を撮像し（ステップ６０８）、該撮像結果からマークの形成状態を検出する（ステップ６１０）。このため、検出に際して液体の付着が問題とならず、常時液浸タイプの露光装置においても、結像式アライメントセンサ等を用いてマークの形成状態の高精度な検出を、支障なく行うことが可能となる。さらに、撥液膜の膜厚等に応じて検出光の波長帯域を決定し（ステップ６０２）、その波長の検出光を用いて前記領域を撮像することにより、撥液膜による薄膜干渉の影響を受けることなく、マークの形成状態を正確に検出することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】シルエットとして投影できない形状のエッジでも、非接触で、加工途中のワークなどを精度高く、かつ、リアルタイムで輪郭形状を数値的に測定可能とする光学的なエッジ検出装置を提供すること
【解決手段】本発明のエッジ検出装置は、投影光学系の光軸１６ａと平行な光線を遮光するアンチピンホールフィルタ２５を備えた投影光学系と、投影光学系の光軸１６ａと一定の偏角θをもって配設された光源モジュール１１と、撮像素子２６と、コンピュータとを備え、光源モジュール１１の平行光に照射されたワーク１７からの反射光による投影画像を撮像素子で撮像し、エッジ近傍の信号強度を判定し、２本の帯状の高輝度の部分に挟まれた低輝度の線状部分をエッジと判定する。そのため、ワークのエッジを正確に検出でき、これを画像処理により数値処理することでＣＡＤやＮＣ制御と連動させることができる。 （もっと読む）

【課題】被検光学素子を吸引保持する回転保持部材に吸引チューブが巻き付くことなく吸引通路を接続し、回転保持部材の滑らかな回転を確保するとともに測定精度を維持する。
【解決手段】回転機構７に搭載された円筒状の回転保持部材３の外周に遊嵌された管状のハウジング４の貫通孔41に吸引圧導入部材５を接続し、回転保持部材３は吸引孔34と素子保持部35を有し、内部空間による負圧室36から放射方向に貫通する複数の通気孔38を有し、回転保持部材３の外周面またはハウジング４の内周面に摺接面積を低減する凹溝部43および複数の通気孔38と貫通孔41とを連通する吸引通路溝42を備えてなる。 （もっと読む）

半導体ウエハの端部を検査する装置に関し、照明用経路（１０）と解析用経路（２０）を有する共焦点色顕微鏡（７）を有し、照明用経路（１０）は多色光源（１１）とスロット（１２）と少なくともアッベ数５０未満の材料からなるレンズからなる軸上色収差対物レンズ（１５）とを有し、解析用経路（２０）は対物レンズと、色フィルタスロット（２２）と光強度センサ（２４）をこの順番に有し、照明用経路のスロットおよび解析用経路のスロットは検査されるウエハの端部からの光学距離がほぼ同じ場所に設けられている。 （もっと読む）

【課題】欠陥散乱光の偏光特性に依存されずに欠陥像を顕在化する空間フィルタリング技術と正常パターンの明るさ飽和を抑制して欠陥捕捉率を向上する欠陥検査方法とその欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検出光路を偏光分岐して少なくても一つ以上の光路にてアレイ状の空間フィルタを配置し、正常パターンからの回折光や散乱光をフィルタリングすることを特徴とする。また、正常パターンの散乱光量に応じて照明光量或いは／及び検出効率を画像検出中に制御することにより明るさの飽和を抑制した画像を得る。 （もっと読む）

三次元（３Ｄ）計測表面の表示（ディスプレイ）を生成するための方法および装置を開示する。この方法は、点クラウド座標空間においてオブジェクトの表面の３Ｄ点クラウド表現を求めることを含む。オブジェクトの画像が毛米良座標空間で取得され、点クラウド座標空間に変換される。変換された画像が３Ｄ点クラウド表現に写像されてオブジェクトの表面のリアルな表示を生成する。一実施例では、３Ｄ点クラウドを求めるための画像を取得するのに使用する計測カメラは、オブジェクトの画像を取得するのにも使用されるので、座標空間の変換は行われない。表示は、表現におけるピクセルまたは表面エレメントに対するグレイスケールまたはカラーの陰影付けを含む。 （もっと読む）

【課題】被検面のパターン又は反射率分布の影響を低減させて、被検面の法線方向の位置情報を高精度に検出する。
【解決手段】計測光Ｌ１をレチクル面Ｒａに照射し、レチクル面Ｒａからの反射光Ｌ２を光電センサ３７で受光して、レチクル面Ｒａの面位置情報を検出する装置において、計測光Ｌ１をレチクル面Ｒａに照射して反射光Ｌ２を受光する対物レンズ３５と、対物レンズ３５を介した反射光Ｌ２を光電センサ３７に通すピンホール板３６とを含む共焦点光学系と、計測光Ｌ１にレチクル面Ｒａ上での照射面積を広げるように、かつ反射光Ｌ２にピンホール板３６上での照射面積を狭くするように位相分布を付与する位相板３３とを備える。 （もっと読む）

本発明は、有色の測定深度（１５．１，１５．２，１５．３，１５．４）をもたらす有色の物体（２）、多色の光源（３）、およびスペクトル分析のための色センサ（４）を備える光学的３次元測定のための歯科用手持ちカメラ（１）に関する。さらに歯科用手持ちカメラ（１）は調節可能なスキャンユニット（２０）を備え、これにより有色の測定深度（１５．１，１５．２，１５．３，１５．４）が段階的に転移可能であり、これによりスキャンユニットの第１の位置（２０）における第１の有色の測定深度（１５．１）に、スキャンユニットの第２の位置（２０’）における少なくとも第２の有色の測定深度（１５．２，１５．３，１５．４）が連結するか、または第１の有色の測定深度（１５．１）が部分的に重なり、このようにして少なくとも２つの測定深度（１５．１，１５．２，１５．３，１５．４）から増大された測定深度全体（１６）が形成される。さらに本発明は、本発明による歯科用手持ちカメラ（１）を用いた光学的３次元測定方法に関する。 （もっと読む）

測定されるべき表面（Ｓ１）が、そのガラス裏面において、測定方向においてそれより前にある空気−ガラス表面（Ｓ２）を通して光学測定ビームでサンプリングされることを特徴とする、光学レンズあるいはレンズ結合体の球面状あるいは非球面状に湾曲した空気−ガラス表面のトポグラフィーのゼロ接触測定方法を開示する。この方法を実行する装置は、ａ）光学レンズ（２）またはレンズ系は、回転可能に取り付けられた中空シャフト（１）の端部側に、レンズまたはレンズ系の光軸が中空シャフト（１）の回転軸（３）と少なくともおおよそ一直線に並ぶように、固定され、ｂ）光学測定ビーム（１０）のための合焦光学系（６）は、中空シャフト（１）の内側に配置され、ｃ）測定ビーム（１０）を発生させるための測定ユニット（７）は、中空シャフト（１）の回転軸（３）に対して垂直に変位し得るように配置され、ｄ）部分ビームを分離し、それを少なくとも１つの光学センサ（１２）に送るための少なくとも１つのビームスプリッタ（１１）が測定ビーム（１０）に挿入され、ｅ）オプトエレクトロニクトランスデューサおよび評価エレクトロニクスがセンサ（１２）に与えられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定範囲を拡大することが可能な形状測定装置及び形状測定方法を提供すること。
【解決手段】格子パターンを有するパターン素子３０と、パターン素子３０と投影レンズ２２とビームスプリッタ４０とを介して格子パターンを測定対象物６０に投影する投影部と、測定対象物６０に投影された格子パターンをビームスプリッタ４０を介して撮像する撮像部７０と、撮像部７０によって撮像された画像のコントラスト値を検出し、検出されたコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定する測定部８２とを有し、測定部８２が、焦点位置を変化させて撮像された２つの画像のコントラスト値を検出し、検出された２つのコントラスト値に基づき前記測定対象物の形状を測定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】測定した座標値の補正を高精度に行い、三次元形状の測定を短時間で高精度に行うことが可能な三次元測定装置を提供する。
【解決手段】三次元測定装置１００を、被測定物３を載置する定盤２、被測定物３の三次元形状を測定するための光学系を有する測定部４、この測定部４の移動機構Ａ及びこの測定部４で測定した座標軸を補正する補正値を求める測定誤差補正部５０から構成する。この測定誤差補正部５０を、Ｚ参照ミラー１０、Ｘ参照ミラー１１、Ｙ参照ミラー１２、測定部４の位置座標を求める６軸レーザ干渉測長計９及び測定部４で測定した座標値に補正値を加算して補正後の座標値を求める補正座標値算出部１３から構成する。 （もっと読む）

【課題】高速に変化または移動する観察対象であっても精度よく厚さ寸法を測定する。
【解決手段】所定の波長の光を出射する光源３と、該光源３から出射された光を観察対象Ａに照射する照明光学系４と、該照明光学系４により観察対象Ａに照射された光の観察対象Ａにおける透過光を集光する集光光学系５と、透過光を複数の光路に分岐する光路分岐手段６と、該光路分岐手段６により複数の光路に分岐された透過光を撮影する複数の撮像素子７Ａ，７Ｂ，７Ｃとを備え、該撮像素子７Ａ，７Ｂ，７Ｃが、集光光学系５による焦点位置と撮像素子７Ａ，７Ｂ，７Ｃの撮像面７ａ，７ｂ，７ｃとの距離を光軸方向に異ならせて配置されている観察装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】レンズ駆動装置などの被測定物の測定工程において、変位量の測定と傾角量の測定とを同時に行うことが可能な変位及び傾角測定装置を提供する。
【解決手段】変位測定用光源１１から照射されたＰ波を、偏光ビームスプリッタ１３を透過させて、被測定物５０に照射し、被測定物５０の表面で反射されたＰ波の反射光を変位センサ１５に入射させて被測定物５０の変位量を測定するとともに、偏光ビームスプリッタ１３におけるＰ波の入射方向と直交する方向に配置された傾角測定用光源１６から照射されたＳ波を偏光ビームスプリッタ１３で反射させて、被測定物５０に照射し、被測定物５０の表面で反射されたＳ波の反射光を傾角センサ１９に入射させて被測定物５０の傾角量を測定するようにした。 （もっと読む）

【課題】 光切断法による深さ高さの形状観察光学系と点光による深さ高さ測定法による光学系を融合したＺ測定システムを提供する。
【解決手段】 スリット光と点光を同軸上に照射し、スリット像上の中心に点光像が来るように配置した像を斜め方向からの光軸により測定対象物上に結像させ、この合成像を全反射方向の光軸を通して受光し、それぞれ観察側の素子上（１４）及び受光センサー側の素子上（１５）に結像させる光学系を発明。スリット像による深さ高さの形状認識と点光による高精度なＺ軸測定が同一光学系で実現できるのが特徴である。 （もっと読む）

【課題】 一の材料層に透明或いは半透明の材料層が形成されてなる被検物に対し、一回の走査・撮像工程で、その最表層の高さのみならず、それ以外の層の上面（或いは下面）高さをも測定できるようにする。
【解決手段】 記憶装置３２から走査画像の読み出しを開始した後、最初に検出した光量ピークに対応して求められる焦点面ＦＳの高さ位置から被検部位の高さを算出する構成の高さ測定装置において、走査画像の読み出し開始後順次検出する光量ピークのうち所定番目以降に検出される光量ピークに対応する焦点面の高さ位置から前記被検部位の高さを算出する。 （もっと読む）

【課題】ゾーンフォーカスにより深さ方向に画像を分割取得するに際し、複数のフォーカス位置への合焦時間の短縮化を図ることが可能となる光断層画像撮像装置を提供する。
【解決手段】所定の撮像深さ範囲内を複数のフォーカスゾーンに分け、複数のフォーカス位置を設定するフォーカス位置設定手段と、
前記所定の撮像深さ範囲内で、該撮像深さ方向の基準位置を少なくとも２つ以上設定する基準位置設定手段と、
前記フォーカス位置設定手段によるフォーカス位置情報と、前記基準位置設定手段により予め設定された２つ以上の基準位置での合焦時の合焦条件を元にして、前記複数のフォーカス位置で順次合焦が行われるように制御するフォーカス制御手段と、
を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】露光光の強度が大きいか又は露光時間が長い場合にも高い重ね合わせ精度を得る。
【解決手段】露光用の照明光ＩＬでレチクルＲのパターンを照明し、照明光ＩＬでそのパターン及び投影光学系ＰＬを介してウエハＷを露光する露光方法において、空間像計測系３４でレチクルＲのパターンの像の位置を計測し、そのパターンの像の位置の変動量をレチクルステージＲＳＴの温度情報から予測し、この予測結果に基づいてそのパターンの像とウエハＷとの位置合わせ情報を補正する。 （もっと読む）

【課題】軸上色収差量が可変の結像光学系を提供する。
【解決手段】結像光学系は、結像レンズ３と、結像レンズ３の光軸方向に移動可能な第１レンズ１及び第２レンズ２とを備え、第１レンズ１及び第２レンズ２のうち少なくとも一方のレンズを光軸方向に移動させることにより結像光学系の軸上色収差量が可変的に調節され、第１レンズ１及び第２レンズ２の光軸方向の位置関係を変化させることにより、軸上色収差量の変動に伴う結像光学系の倍率色収差の変動が抑制される。 （もっと読む）

【課題】光切断方法を用いながらも、多重反射光の影響を抑制して表面形状を測定できるようにする。
【解決手段】まず測定対象物の表面で反射したレーザ光を受光して当該測定対象物の表面形状を、撮像光軸方向に所定ステップ量で移動する撮像部により撮像し、撮像部の各ステップ位置における測定対象物表面の形状線像を含む光切断画像を取得する。そして、各ステップ位置における光切断画像から形状線像が合焦している光切断画像を特定し、特定した光切断画像を利用して測定対象物表面の形状線像及び多重反射によるノイズ光像を判別する。その判別結果に基づいて、光切断画像から当該判別されたノイズ光像を除去する画像処理を行う。 （もっと読む）

【課題】テレセントリック光学系を用いることなく、計測精度の向上を図ることのできる三次元計測装置を提供する。
【解決手段】三次元計測装置を具備する基板検査装置は、クリームハンダの印刷されてなるプリント基板の表面に対し縞状のパターン光を照射するための照射装置４と、プリント基板上の照射された部分を撮像するためのＣＣＤカメラ５と、ＣＣＤカメラ５により撮像された画像データに基づきプリント基板上の各座標位置における高さ計測を行う制御装置とを備えている。また、制御装置は、ＣＣＤカメラ５のレンズ５ａの画角により生じ得る計測データのズレを、ＣＣＤカメラ５の高さＬcoと、プリント基板に対し照射されるパターン光の照射角αとに基づき補正する。 （もっと読む）