【目的】対象物のパターンに依存することなくビームスプリッタの反射率を安定させることが可能な高さ検出装置を提供することを目的とする。
【構成】本発明の一態様の高さ検出装置１００は、対象物１０１面に照明光を照明する照明光学系２００と、対象物１０１面から反射された反射光を入射するλ／４板２７０と、λ／４板２７０を通過した反射光を分岐するビームスプリッタ２２２と、ビームスプリッタ２２２によって分岐された反射光の一方を前記反射光の結像点の前側で受光して、光量を検出する光量センサ２５２と、結像点の後側で受光して、光量を検出する光量センサ２５４と、光量センサ２５２，２５４の出力に基づいて対象物１０１面の高さを演算する演算回路２６０と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】計測用の光学系を大型化することなく、マスクの面形状の情報を効率的にかつ高精度に計測する。
【解決手段】レチクルの形状情報を計測する計測装置において、投影光学系ＰＬの物体面側に配置され、複数の位相マーク２０が形成されたパターン面を有するレチクルＲと、投影光学系ＰＬの像面側に配置され、位相マーク２０に対応して複数の周期パターン３９が形成された蛍光膜３５と、位相マーク２０、投影光学系ＰＬ、及び周期パターン３９を通過した照明光ＩＬから生成される検出光ＤＬを検出するＦＯＰ３７及び撮像素子３８と、撮像素子３８の検出信号からそのパターン面の形状情報を求める演算装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】スケール用のパターンが形成されたパターン形成面の法線方向の位置情報を高精度に計測する。
【解決手段】スケール体２８ｅは、Ｙスケール３９Ｙ₂が形成されたパターン板４ｅと、パターン板４ｅに設けられ、Ｙスケール３９Ｙ₂を覆うカバーガラス５と、カバーガラス５の表面に形成され、互いに異なる波長域の第１の光及び第２の光に対して波長選択性を有する波長選択膜７と、を備え、波長選択膜７を介してカバーガラス５を透過する第１の光の透過率は、カバーガラス５のみを透過する第１の光の透過率より低く、波長選択膜７を介してカバーガラス５を透過する第２の光の透過率は、波長選択膜７で反射する第２の光の反射率より高い。 （もっと読む）

【課題】計測用の光学系を大型化することなく、投影光学系の光学特性を効率的にかつ高精度に計測する。
【解決手段】投影光学系ＰＬの光学特性を計測する計測装置において、物体面の複数の計測点Ｐ（ｉ，ｊ）に配置される位相マーク２０が形成されたレチクルマーク板ＲＦＭと、計測点Ｐ（ｉ，ｊ）に対応する像面上の位置に配置される周期パターン３９が形成された蛍光膜３５と、位相マーク２０、投影光学系ＰＬ、及び周期パターン３９を通過した照明光ＩＬによって生成される検出光ＤＬを検出面に導くＦＯＰ３７と、検出光ＤＬを検出する撮像素子３８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＯＳイメージセンサを用いて高速に高精細な３次元形状情報を得ることができる３次元形状センサ。
【解決手段】焦点距離が可変されるレンズ１と、レンズを通して測定対象を撮影するＣＭＯＳイメージセンサ２と、ＣＭＯＳイメージセンサで撮影された画像を１フレーム毎に読み出して所定の処理を行う信号処理部３と、１フレーム毎にレンズの焦点距離をステップ状に変化させるとともに１フレーム期間中では焦点距離を一定の値に保持するレンズ制御部６と、信号処理部で処理された画像とレンズの焦点距離情報とに基づいて撮影地点から測定対象までの距離を求める距離算出部４とを備える。 （もっと読む）

【課題】クロマティックコンフォーカル変位計の高分解能且つ高速応答化及び小型化を可能とする。
【解決手段】対物レンズ１２に対し、測定対象（８）と反対側の共焦点に広帯域光源２２を配置し、測定対象からの反射光が戻るときの共焦点位置に空間フィルタを設けて透過させ、測定対象に合焦した波長の被測定光を抽出し、該被測定光の波長を特定することにより、測定対象の位置を測定する光学式変位計において、コリメートされて一方向に伝播される被測定光を、その伝播方向Ｚと直交する２方向のＸ、Ｙの直線偏光に分ける偏光子５２と、該２方向の直線偏光を通過させて、光波長に応じた位相差を持つ楕円偏光とする波長板５４と、該楕円偏光を、ＸＹ間の２つの方向の偏光成分に分ける偏光分離素子５６と、各偏光成分の光量を検出する受光素子５８Ａ、５８Ｂとを備え、該受光素子で検出した光量信号Ａ、Ｂを用いて、（Ａ−Ｂ）／（Ａ＋Ｂ）の演算を行う。 （もっと読む）

【課題】被検体を撮影する際に自動的に焦点を合せ、得られた画像から欠陥の有無を判断する欠陥検査方法及び欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】撮影して得られた画像から欠陥の有無を判断する欠陥検査方法において、撮像手段２の焦点を合せる自動焦点調節ステップと、被検体における欠陥の有無を判断する画像解析ステップとを具備し、自動焦点調節ステップは、被検体と撮像手段２との距離又は撮像手段２の焦点距離を複数回変更して撮影し、得られた各画像から被検体の輪郭を抽出処理し、各輪郭抽出画像に対して離散フーリエ変換処理を用いることで周波数領域に変換し、周波数領域における輝度値の総和を算出し、輝度値の総和が最大となる被検体と撮像手段２との距離又は撮像手段２の焦点距離を特定し、特定された被検体と撮像手段２との距離又は撮像手段２の焦点距離に調節する、とした。 （もっと読む）

【課題】装置構成の簡略化と低コスト化とを実現する。
【解決手段】３次元計測装置１０は、被測定物１０５が載置された測定ステージ１０４と、複数の基準点を有する基準スケール部材１０１と、撮像部１０２と、駆動機構１０３と、高輝度検出部１１０と、３次元測定部１１１とを有する。撮像部１０２は、被測定物１０５の光学像と基準スケール部材１０１の複数の基準点の光学像とを同一視野で撮像する。高輝度検出部１１０は、駆動機構１０３が撮像部１０２を相対移動させる駆動期間内に撮像部１０２によって連続的に撮像された複数の画像から、撮像部１０２のＮ個の相対移動位置の各々に対して被測定物１０５の最大輝度部分を検出するとともに複数の基準点のうち最大輝度を示す基準点を検出する。３次元測定部１１１は、相対移動位置ごとに、前記最大輝度部分の高さを当該検出された基準点に対応付けられた高さに設定する。 （もっと読む）

【課題】測定者に負担を掛けることなく、傾斜面や曲面などの測定面を有する被測定物を良好に測定可能な光学式変位測定器を提供。
【解決手段】測定面から反射フォーカシング光に基づいて対物レンズ１７０の焦点位置を測定面に一致させる手段を備えた光学式変位測定器。フォーカシング光とは異なる波長の参照光を発する参照光用光源３１０と、参照光を測定面に照射するとともに測定面からの反射参照光をフォーカシング光と分離する波長分岐型ビームスプリッタ３３０と、分離参照光に基づいて測定面の傾き方向を検出する傾き方向検出手段３４０と、フォーカシング光および参照光の光路中において参照光を透過するとともに、フォーカシング光を遮光するフォーカシング光遮光体４１０と、傾き方向検出手段によって検出された測定面の傾き方向に応じて回転駆動機構４２０を介して遮光体を回転させる制御手段５００を備える。 （もっと読む）

【課題】操作者の負担を大幅に軽減しながら、細胞内の特定の領域における蛍光を正確に精度よく定量して、たんぱく質の局在や移行を正確に検出・特定することの可能な三次元細胞画像解析システム及びそれに用いる解析装置を提供する。
【解決手段】三次元細胞画像撮像装置１と、三次元細胞画像解析装置２を有する三次元細胞画像解析システムであって、撮像装置１は、蛍光標識された特定のたんぱく質の細胞内挙動を観察可能であるとともに、試料への合焦位置をＺ方向に連続的に変えて結像する観察光学系１ａと、光学系１ａを介して結像された細胞像を撮像する撮像素子１ｂを有し、解析装置２は、コンピュータを、撮像装置１を介して取得された三次元の蛍光細胞画像を解析して、特定の細胞内領域へのたんぱく質の局在あるいは移行を定量化する局在・移行定量化手段２ａとして機能させる画像解析ソフトウェアを備える。 （もっと読む）

【課題】生体試料の三次元形状を高精度に測定することが可能な構成の形状測定方法、画像処理プログラム、観察装置を提供する。
【解決手段】生体試料たる受精卵とこの受精卵の像を結像する第１観察光学系との光学的距離を変化させながら第１撮像装置により受精卵を一方側から順次撮影した複数の第１画像と、受精卵とこの受精卵の像を結像する第２観察光学系との光学的距離を変化させながら第２撮像装置により受精卵を他方側から順次撮影した複数の第２画像とを取得し、複数の第１画像及び第２画像に基づいて合焦測度を画素単位で算出し、受精卵の一方側の領域については第１画像より得られた合焦測度情報を優先適用し、受精卵の他方側の領域については第２画像より得られた合焦測度情報を優先適用して各画素の合焦点を求め、合焦点位置に基づいて受精卵の三次元形状を構築する。 （もっと読む）

【課題】基板上に成膜された薄膜の厚さを精度良く測定可能な膜厚測定装置及び膜厚測定方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板２上に成膜されて且つレーザ加工装置１から照射される加工用レーザによってスクライブ溝Ｇｖが形成される薄膜の厚さを測定する膜厚測定装置６であって、レーザ加工装置１から薄膜に照射された加工用レーザのガラス基板２平面内における照射位置が格納された照射位置情報に基づいて、検査対象薄膜３ａに形成されたスクライブ溝Ｇｖの位置を特定する。そして、特定した位置に形成されているスクライブ溝Ｇｖの深さを測定し、その測定値に基づいて検査対象薄膜３ａの厚さを取得する。 （もっと読む）

【課題】被覆膜の厚さと独立して、基板よりも反射率の低い被覆膜付きの基板上に存在するパターンの三次元形状を非破壊で測定することができる三次元形状測定装置を提供することである。
【解決手段】可視光に対して透明な被覆膜付きの基板上に設けられた不透明なパターンの物理的三次元形状を測定する三次元形状測定装置であって、第１波長の照明光と、前記第１波長と異なる第２波長の照明光とを切り替えて照射する光源部と、前記第１波長の照明光を照射したときの前記パターンと前記被覆膜との第１仮想段差と、前記第２波長の照明光を照射したときの前記パターンと前記被覆膜との第２仮想段差とを測定する光検出器と、前記第１仮想段差と前記第２仮想段差とに基づいて、前記パターンの物理的三次元形状を決定する処理部とを備える。 （もっと読む）

【課題】マスクと基板との位置合わせを安定して処理可能な露光技術を提供する。
【解決手段】 アライメントマークを使用してマスクに対し処理基板を移動させて当該マスクと処理基板との位置合わせをして露光を行う技術である。画像でのマスク側のアライメントマークＭ２の画素数が、予め設定した基準閾値と一致若しくは当該基準閾値以上となるように撮像装置１６の焦点を調整してマスク側の基準位置を演算する。同様にして、基板側の基準位置を演算する。上記演算したマスク側の基準位置を基準として、マスク側の基準位置と処理基板側の基準位置とが一致若しくは予め設定した許容誤差内となるまで、上記処理基板側のアライメントマークＭ１の画像を取得して当該処理基板側の基準位置を演算する処理を繰り返す。 （もっと読む）

【課題】頭顔部表面の微小領域を正確に繰り返し定位することで、頭顔部表面の微小領域の微視的な経時変化を追跡する方法を実現する。
【解決手段】頭顔部と能動光学装置を含んで３次元世界空間を構成し、頭顔部の位置と姿勢を自然人類学の基準に基づいて定位し、更に頭顔部表面に同軸投光した構造光の反射パタン画像に基づいて幾何光学的に再定位することにより、対象領域を繰り返し撮像する。また、頭顔部と能動光学装置を含んで３次元空間を構成し、頭顔部の位置と姿勢を自然人類学の基準に基づいて定位し、更に頭顔部表面に同軸投光した構造光の反射パタン画像に基づいて幾何光学的に再定位することにより、対象領域を繰り返し撮像し、撮像した画像から毛髪を自動計数する。 （もっと読む）

基材上の被膜の厚みを測定する方法を記載する。前記基材は、第２主表面と反対側の第１主表面を有し、前記被膜は前記第１主表面の一部分を覆っている。第１測定工程の間に、第１測定ビームを用いて第１基準点から前記基材の前記第１主表面の前記被膜で覆われていない一部分までの距離を測定し、第２測定ビームを用いて第２基準点から前記基材の前記第２主表面の被膜で覆われていない一部分までの距離を測定する。第２測定工程の間に、前記第１測定ビームを用いて前記第１基準点から前記被膜までの距離を測定し、前記第２測定ビームを用いて前記第２基準点から前記基材の前記第２主表面の被膜で覆われていない一部分までの距離を測定する。そのようにして測定した前記被膜の厚みは、自動車用グレージングペインにインクを塗布する方法における制御パラメータとして用いることもできる。
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【課題】高解像度で撮像することが必要な部分だけ他の部分よりも分解能を上げることによって、撮像時間の短縮化を図り、効率的な断層画像の取得が可能となるＯＣＴによる断層画像の形成方法を提供する。
【解決手段】被検査物の断層画像を形成するＯＣＴによる断層画像の形成方法であって、
前記被検査物に対する撮像に際し、高解像度で撮像することが必要な部分に対して、その必要性に応じて他の部分よりも高い解像度で撮像する工程を有し、
前記高解像度で撮像することが必要な部分を撮像するときには、前記光源からの光によるビームのスポット径を前記他の部分を撮像するときよりも小さいスポット径に設定し、
深さ方向に対して、前記他の部分を撮像するときよりも多い撮像回数で撮像する構成とする。 （もっと読む）

測定対象物体の画像を取得し、これを供給するための画像測定プローブの操作方法。画像測定プローブは、座標位置決め装置の連続的角度調整可能ヘッドに取り付けられ、連続的角度調整可能ヘッドは少なくとも１つの回転軸を有する。物体と画像測定プローブは、測定動作中、その少なくとも１の回転軸の周囲で、および少なくとも１自由度の直線運動で相互に関して移動できる。この方法は、画像測定プローブによって取得された少なくとも１つの画像を処理してフィードバックデータを得るステップと、画像測定プローブと物体との間の物理的関係を、前記フィードバックデータに基づいて制御するステップと、を含む。
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【課題】生体組織の３次元的な定量評価を簡単に行う。
【解決手段】測定器５に接続可能な生体組織表面解析装置１は、生体組織を含む測定対象物Ａの表面の３次元形状を表す表面形状データを入力するデータ取得部１０５と、表面形状データにより表される表面の中で解析範囲を決定する範囲決定部１０６と、解析範囲における前記表面の凹凸を抑制した基準面を生成する基準面設定部１０７と、測定対象物Ａの表面と基準面とを比較することにより特徴領域を抽出する検出部１０８と、特徴領域の数、特徴領域の面積、および基準面に対する凹凸の体積のうち、少なくともいずれかを１つを計算する解析部１０９とを備える。 （もっと読む）

【課題】、裏面側の位置検出光学系を移動させることなく、投影光学系の露光パターンの投影位置及び位置検出光学系の検出位置の相対的な位置合わせをより正確に行って、露光を高精度に行うことが可能な露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置１は、基板７を載置するステージ９と、基板７の表面側に配置され、基板７の表面７ａにパターンを投影する投影光学系４と、基板７の裏面側に配置され、基板７の裏面７ｂに形成された位置合わせマークを検出する裏面位置検出光学系６と、ステージ９を貫通する貫通孔９ｂに取り付けられ、光を透過する部材で形成された窓部材１０と、投影光学系４により窓部材１０の表面１０ａに形成されたパターンの像を、窓部材１０の裏面側から裏面位置検出光学系６で検出し、投影光学系４により形成されるパターンの像の位置と裏面位置検出光学系６で検出される位置合わせマークの位置との相対関係を算出する制御部１１と、を有する （もっと読む）