【課題】対象物の形状が簡単でなくても、また、至近距離での撮影でなくても、また、 対象物表面での光の反射が弱かったり強かったりしても、撮影に長い時間をかけずに、対象物の形状に正確な形状の３ＤＣＧ用モデルを自動的に生成することが、本発明が解決しようとする課題である。
【解決手段】レンズを前または後ろにスライドさせて移動させながら連続的に画像を撮影し、どの画像でピントが合っているかを計算して各画素の位置における奥行き座標を割り出し、三次元形状を求める。 （もっと読む）

【課題】試料表面を正確に検出することができるレーザ共焦点顕微鏡及び表面検出方法を提供する。
【解決手段】照明光を射出するレーザ光源２と、試料１１に照明光を照射する対物レンズ１０と、対物レンズ１０の焦点位置と試料１１の間の距離を変化させるステージ１７と、レーザ光源２と対物レンズ１０の間に配置され光を偏光特性で分離する偏光ビームスプリッタ３と、偏光ビームスプリッタ３と対物レンズ１０の間に固定されたλ／４板７と、偏光ビームスプリッタ３と対物レンズ１０の間で挿脱可能なλ／４板８と、焦点位置と光学的に共役な位置に配置された共焦点絞り１３と、共焦点絞り１３を通過した試料１１からの検出光の強度に応じた信号を出力する光検出器１４と、を含んでレーザ共焦点顕微鏡を構成する。多重反射試料を観察する場合にλ／４板８を偏光ビームスプリッタ３と対物レンズ１０の間に挿入して観察する。 （もっと読む）

【課題】非平板物体の凹部あるいは中空部の表面粗さ、特に凹部内周面あるいは中空部内周面の表面粗さを、非接触で、定量的に、精度良く、且つ簡便に測定する。
【解決手段】パターン形成装置１１によりパターンを照射し、ハーフミラー１３で反射させ、更にミラーで反射させて測定対象物２である非平板物体の凹部内周面あるいは中空部内周面に垂直に投射し、反射したパターンを、ミラー１４で反射させ、ハーフミラー１３を透過させて撮影部３（デジタルカメラ等）で撮影する。そして、得られた映像信号をコンピューター３でデータ処理することにより、測定対象面２２の表面性状を測定・評価する。 （もっと読む）

【課題】対象物の形状が簡単でなくても、また、至近距離での撮影でなくても、また、 対象物表面での光の反射が弱かったり強かったりしても、撮影に長い時間をかけずに、対象物の形状に正確な形状の３ＤＣＧ用モデルを自動的に生成することが、本発明が解決しようとする課題である。
【解決手段】レンズを前または後ろにスライドさせて移動させながら連続的に画像を撮影し、どの画像でピントが合っているかを計算して各画素の位置における奥行き座標を割り出し、三次元形状を求める。 （もっと読む）

【課題】ユーザが定めた計測対象の高さ範囲に適した姿勢でキャリブレーションワークが設置されているかどうかを作業者が容易に判断できるようにする。
【解決手段】キャリブレーション処理の設定画面において、作業者は、高さ計測範囲の下限値および上限値を入力ボックス２０４，２０５に入力した後に、ボタン２０６〜２０８のいずれかによりキャリブレーションワークの姿勢を選択する。この後、作業者がキャリブレーションプレートを選択した姿勢になるように調整すると、正面視用のカメラにより生成された画像を用いた処理により、このカメラの光軸に直交する平面（基準平面）に対するキャリブレーションワークの表面の傾きを示す角度が算出される。さらに算出された角度に基づき、キャリブレーションワークの姿勢が上記の高さ計測範囲が適合しているか否かが判定され、その判定結果が設定画面上に表示される。 （もっと読む）

【課題】被測定物の露出面の撮像部に対する位置関係に影響されることなく、正確に被測定物の位置などを計測できる画像処理装置およびそれに向けられた画像処理プログラムを提供する。
【解決手段】ワーク２の露出面５０が基準面Ｐ１とは平行ではない状態で生成される画像データ２００上における露出面５０の頂点６１，６２，６３の座標位置が指定される。また、ワーク２の実際の大きさに対応する、露出面の頂点６１，６２，６３の基準面Ｐ１における座標位置が指定される。すなわち、基準面Ｐ１に設定した２次元座標系において、ワーク２の露出面５０を基準面Ｐ１に重ねたときの各頂点６１，６２，６３の座標位置が実寸法で指定される。ワーク２の露出面５０に含まれる複数の特徴点について、基準面Ｐ１における座標値および画像データ２００上における座標値をそれぞれ対応付けることで、モデル画像を生成するための変換式が決定される。 （もっと読む）

【課題】 溝底に照射するレーザビームを利用して切削ブレードの消耗量を正確に管理可能な切削ブレードの消耗量管理方法を提供することである。
【解決手段】 切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法であって、レーザポインタの出射ビームが撮像手段の焦点を通過するように設定し、切削ブレードで被加工物を切削した切削溝中にレーザビームを照射してレーザビームのビームスポットが切削溝の溝底で撮像手段の焦点に一致するように撮像手段を高さ方向（Ｚ軸方向）に移動させる基準位置合致工程を遂行する。被加工物を切削ブレードで適宜切削加工した後に、ビームスポット形成工程及び基準位置合致工程を遂行し、前回実施した基準位置合致工程後の撮像手段のＺ軸方向の位置と、今回実施した基準位置合致工程後の撮像手段のＺ軸方向の位置の差から、切削ブレードの消耗量を割り出す。 （もっと読む）

【課題】より高い速度で物体表面の高さマップを求める方法および装置を提供する。
【解決手段】物体表面の高さマップを求める方法であって、光源の光軸方向に沿って、物体表面に対し対物レンズの焦点面を走査するステップと、その走査中に、前記光軸に垂直な方向に周期性を有する周期的パターンを当該光軸の垂直方向に移動させながら、当該周期的パターンが付与された光を対物レンズを通じて物体表面に照射するステップと、光検出器により前記物体表面で反射した前記光を検出するステップと、その光検出器で検出した光の強度の振幅が最大となる走査位置を特定するステップと、その光の強度の振幅が最大となる走査位置から物体表面の高さを求めるステップと、を有する。光を検出するステップでは、複数の走査位置で当該各走査位置毎に一回ずつ光が検出される。走査の速度と、周期的パターンの位相の移動速度が一定の関係を有する。 （もっと読む）

【課題】フォーカス異常とドーズ量異常を区別して検出することが可能な表面検査方法を提供する。
【解決手段】所定の繰り返しパターンを有するウェハの表面に直線偏光を照射する照射ステップ（Ｓ１０４）と、直線偏光が照射されたウェハの表面からの反射光を受光する受光ステップ（Ｓ１０５）と、対物レンズの瞳面と共役な面において、反射光のうち直線偏光の偏光方向と垂直な偏光成分を検出する検出ステップ（Ｓ１０６）と、検出した偏光成分の階調値から繰り返しパターンの線幅および露光時のフォーカス状態を求める演算ステップ（Ｓ１０７）とを有し、演算ステップでは、瞳面において線幅との相関が高い瞳内位置での階調値から線幅を求めるとともに、フォーカス状態との相関が高い瞳内位置での階調値からフォーカス状態を求める。 （もっと読む）

【課題】ウェハ平坦度などの製造プロセス条件に対して最適なスキャン速度を設定することを可能とし、露光性能と生産性を高いレベルで両立させて歩留まりの良い露光を実現する。
【解決手段】実露光に先立って、ウェハ面形状のフォーカス・レベリング軌道を求め、前記軌道を用いた場合のレチクルステージとウェハステージ２との相対位置誤差を推定する。更にスキャン速度算出手段６により、同期誤差の移動平均・移動標準偏差の期待値を、代表的なスキャン速度複数通りに対してそれぞれ算出した後、プロセスに見合った同期誤差のしきい値を満たす最大スキャン速度を各ショット毎に求め、それに応じた露光量等を再設定し、コンソール８に実際に設定された１ショット毎のスキャン速度を表示する。 （もっと読む）

【課題】寸法検査用の自動焦点ビデオツールおよび方法を提供する。
【解決手段】最良自動焦点Ｚ高さの精度を確実に提供するために、反復する自動焦点動作間に最適化照明を提供する。この方法には、初期光制御パラメータを用いて取得された初期自動焦点画像からの初期焦点曲線データに基づいた、量的な初期焦点Ｚ高さ決定が含まれる。カメラが、よく合焦された画像が提供されるように、その初期焦点Ｚ高さで設定される。最適化された光制御パラメータが、Ｚ高さにおいてそれぞれの光制御パラメータを用いて取得された少なくとも１つのそれぞれの画像に基づいて決定され、改良された光制御パラメータを用いて取得された画像が、Ｚ高さにおけるコントラスト関連用のほぼ最適な値を提供するようにする。改良された自動焦点画像が、改良された光制御パラメータを用いて取得され、改良された正確なＺ高さが、結果としての焦点曲線に基づいて量的に決定される。 （もっと読む）

【課題】ＩＣチップにダメージを与えないで最小厚さまでモールドを高速かつ精緻に、簡素な装置構成で除去できるモールド除去方法およびモールド除去装置を提供する。
【解決手段】モールドの除去条件を設定する工程と、レーザ光の出射位置にＩＣチップを設置する工程と、モールド部材の高さ位置方向の位置合わせを行い、計測用レーザを出射して該モールド部材のＸおよびＹ方向座標位置の反射／散乱光量を測定し、測定値を記憶する測定工程と、前記モールドの除去条件を満たすか判断する工程と、前記モールドの除去条件を満たしている場合はモールドの除去条件に応じて設定した加工条件でレーザ仕上げ加工を行う仕上加工工程と、前記モールドの除去条件を満たしていない場合は前記記憶したＸおよびＹ方向座標位置の測定値に応じて設定した加工条件でレーザ一次加工を行い、前記レーザ一次加工の完了後に前記測定工程の前に戻る一次加工工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 被対象物との距離と位置とを高精度測定できる三次元計測装置を得ること。
【解決手段】被対象物５を撮像素子１４により撮像する撮像系１０と、被対象物５と撮像系１０との異なる距離毎に撮像された各画像により検知された輝度が予め定められ閾値以上の輝度であることにより被対象物５を検知する明点抽出部３２と、画像の明点を中心とした複数の画素を含む一定領域ごとの輝度を検知し、該一定領域内の輝度分布を求めると共に、該輝度分布に基づいて輝度重心値を求める輝度重心の演算部３６と、輝度重心値が検知された画素１４ａが有する輝度と、周囲の画素１４ａが検知した輝度とを、輝度重心値が有する輝度に補正した輝度補正値を得る輝度補正部３８と、輝度補正値に基づいて被対象物５との距離値を求めると共に、輝度重心値に基づいて被対象物５の位置を検知する三次元検知部４３と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、セラミックシートの自動的な検査にも適用できるものであり、大量のセラミックシートから反りなどの欠陥を効率良く且つ正確に検出するための方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係るセラミックシート（但し、固体酸化物形燃料電池の固体電解質膜用セラミックシートを除く）の検査方法は、当該セラミックシートの反りを三角測距式変位センサーで検出する工程；および、次に、セラミックシートの表面および内部に存在する欠陥を透過型光電センサーで検出する工程を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電子部品の高いスループットの自動的検査を可能にする、高速オートフォーカスの方法を提供することである。
【解決手段】強い光、弱い光、及び蛍光の光の用途における、要素の光学検査中の検査速度を最適化する方法。自動収束メカニズムと、高速度ＣＣＤカメラと高開口数（ＮＡ）光学部品とを組み合わせたときに、優れた信号対ノイズ比、解像度、及び検査の速度性能を達成する、蛍光及び非蛍光用途に対して最適化された方法が記載される。 （もっと読む）

【課題】従来に比べマスクの変形を精度良く補正することが可能な露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置が、マスク２の合焦状態を検出し、マスク２の合焦状態が検出された時のマスク２のパターン面の裏面の形状を計測し、計測結果を格納部１１に予め格納する。露光装置が、基板５の露光前に、マスク２のパターン面の裏面の形状を計測し、該計測結果と上記格納部１１に予め格納された形状の計測結果とを比較する。そして、露光装置が、上記比較結果に基づいて、マスク２の変形を補正する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、対象物の三次元形状を精度良く測定する三次元測定装置を提案する。
【解決手段】 三次元測定装置（１００）は、試料（Ｔ）の表面からの反射光を結像する結像光学系（１０）と、結像光学系を介して試料の表面を撮像する撮像部（１５）と、結像光学系の焦点位置と試料の位置とを結像光学系の光軸方向に相対的に変化させながら撮像部で撮像して得た複数の画像に基づいて試料の三次元形状を算出する三次元算出部（１７）と、を備える。そして結像光学系は、ｆ＊θ＜ｈ＜ｆ＊ｔａｎθの関係を満たす。
ここで、ｆ：結像光学系の焦点距離、ｈ：結像光学系の光軸から試料の任意の点までの距離、θ：結像光学系の光軸と結像光学系から試料への主光線とのなす角とする。 （もっと読む）

【課題】線形状物の反射光を取り込んで作成した画像データから背景の影響を受けずに線形状物の高さを正確に検出する線形状物高さ計測装置を提供する。
【解決手段】照明１３により、線形状物１１（検査対象物）に入射光ｉが照射され、カメラ１４により、反射光ｊが取り込まれて画像データが生成される。入射光ｉと反射光ｊとの軸は、ほぼ一致するようになっている。濃淡画像記憶部１７により、カメラ１４で生成された画像データが、濃淡画像データとして記憶される。線形状物検出部１８により、濃淡画像データに基づいて線形状物１１が検出される。高さ計測領域決定部１９により、線形状物検出部１８で検出された線形状物１１の情報に基づいて、同線形状物１１の占有領域を超えないように線形状物高さ計測領域が決定される。高さ計測部２０により、線形状物高さ計測領域の濃淡情報に基づいて、線形状物１１の高さが計測される。 （もっと読む）

【課題】 空間的に離間した複数の撮影点で同じ対象物を被写体として撮影して撮影点間の相対位置を判定することができる携帯端末を提供する。
【解決手段】 被写体を撮影して静止画像を生成するカメラ１６と、カメラ１６の光軸の向き及び光軸を中心とする傾きを検出する姿勢検出部３２と、静止画像から特徴点を抽出する特徴点抽出部２４ａと、静止画像内の特徴点に対応する被写体上の点及び当該静止画像の撮影が行われた撮影点間の距離を測定する距離測定部２５と、第１撮影点で撮影された第１画像内の特徴点について測定された距離、第２撮影点で撮影された第２画像内の上記特徴点について測定された距離、並びに、第１撮影点及び第２撮影点でのカメラ１６の向き及び傾きの各検出結果に基づいて、第１撮影点に対する第２撮影点の相対位置を判定する位置判定部２６により構成される。 （もっと読む）

本発明は、液状薬剤（Ｍ）の半透明の薬剤容器（１）のコンパートメント（５）をシールするためのストッパ（４）の長手位置を決定するための配置及び方法に関する。配置は、円形光源（８）及び光感受性センサ（７）を含み、ここで光源（８）又はセンサ（７）は、薬剤容器（１）の長さの少なくとも一部に広がる薬剤容器（１）に接して横方向に配置可能であり、ここでそれぞれの他の光源（８）及びセンサ（７）は薬剤容器（１）の先端周りに円形状に配置可能である。光源は薬剤容器中に光を放射するように配置される。光は薬剤又は薬剤容器（１）により散乱され、センサ（７）により検出される。センサ（７）はストッパ（４）の位置を検出するためにプロセッサユニットに連結される。 （もっと読む）