【課題】うねりによる影響を極力無くして被検面の変位量を検出する。
【解決手段】 対物レンズ１８は、光源１３が発した光束を被検面２３ａ上に微小なビーム光として投射する。シリンドリカルレンズ２１は、被検面２３ａで反射した反射光束に非点収差を与える。受光センサ１９は、非点収差が与えられた反射光束を入射させて受光パターンに応じた出力変化が得られるように受光面が複数に分割されている。信号処理部２６は、受光面から得られる変位信号に基づいて被検面２３ａの変位を検出する。表面すねり補正部２８は、変位信号に基づいて表面のうねりの周期ピッチを求め、その時点の被検面２３ａ上のビーム径が周期ピッチよりも大きくなるように集光レンズ２０と受光面１９ａとの間隔を変え、これに連動して対物レンズ１８を移動する。 （もっと読む）

【課題】簡易的な構成で画像プローブの校正を高精度に行いながら画像プローブによる被測定物の対象拡大と画像プローブの使い勝手の向上が可能となる。
【解決手段】撮像方向（光軸Ｄの方向）を垂直方向に保持し画像プローブデータを取得する工程（ステップＳ２）と、撮像方向を所望角度に傾斜させ傾斜角度データを取得する工程（ステップＳ８）と、プローブ交換工程（ステップＳ１０）と、撮像方向を垂直方向に保持した際の初期角度でタッチプローブ１１８を保持しタッチプローブデータを取得する工程（ステップＳ１２）及び位置関係データを取得する工程（ステップＳ１６）と、傾斜角度データでタッチプローブ１１８を傾斜させ傾斜タッチプローブデータを取得する工程（ステップＳ２０）と、画像プローブデータ等に基づいて、所望角度への傾斜後の画像プローブ１１６の焦点位置及び光軸Ｄ周りの回転角を校正する工程（ステップＳ２２）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】確実に、かつ、高速に、合焦位置の検出を行う。
【解決手段】ラインセンサ２５を構成するラインピクセル上の合焦時の光点像（レーザスポットＳ_１）では、レーザ光の光量が絞られる調整制御が行われ、合焦ピクセルから離れた位置となる非合焦時の光点像（レーザスポットＳ_２）では、レーザ光の光量が増加される調整制御が行われるように、あらかじめ定められたテーブルデータに従ったフィードフォワード制御が行われることで、確実に、かつ、高速に、合焦位置の検出を行うことができる。本発明は、例えば、対象物の断面形状を測定する測定装置に用いられる位置検出装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】 コンパクトな構成で作業台の回転制御の精度の向上を図ることができる回転制御装置及び回転制御方法を提供する。
【解決手段】 回転体の回転に連動して回転するロータリーエンコーダの読取信号を処理して回転ムラ信号と回転ブレ量信号とを生成し、回転駆動部において回転ムラ信号に応じて回転体の回転速度サーボ制御をなすステップと、処理部において回転ブレ量信号に応じてワークに対する位置サーボ制御をなす。 （もっと読む）

【課題】多乱光の影響による三次元形状の測定の誤差を抑制する。
【解決手段】三次元形状測定装置は、投影部と、調整部と、検出部と、制御部とを備える。投影部は、測定対象物に対してパターン光を照射する。調整部は、パターン光の照射強度を調整する。検出部は、パターン光の照射された前記測定対象物の表面の明るさを検出する。制御部は、パターン光を照射しない非照射状態で検出される測定対象物の表面の明るさに基づいて調整部による照射強度の調整を制御する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、試料を加熱しつつ正確に計測することが可能な計測装置を提供する。
【解決手段】計測装置は、試料Ａを保持する位置または試料Ａに対向する位置に配置され、透明基板１２１と透明基板１２１の表面に設けられた透明導電膜１２２を有する透明部材１２と、試料Ａを撮影する光検出部２２と、透明部材１２の透明導電膜１２２に印加する電圧を制御することにより、透明部材１２の温度を制御する熱制御部４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】構造化照明を用いるエッジ検出を提供する。
【解決手段】マシンビジョン検査システム（ＭＶＩＳ）および関連する光ストライプエッジ特徴位置方法が開示される。ＭＶＩＳには、制御システムと、光ストライプ投射システムと、撮像システムと、ユーザインターフェースと、が含まれる。エッジ特徴を含む関心領域において、光ストライプ投射システムは、光ストライプが、光ストライプに沿った変化するストライプ強度プロファイルを有するように、エッジ方向に対して交差するように、かつエッジ特徴を横切って光ストライプを合焦させる。撮像システムは、光ストライプの画像を取得し、制御システムは、画像を解析し、ストライプに沿った変化する光強度プロファイルに基づいて、エッジ特徴の位置を決定する。方法は、エッジ検出ビデオツールにおいて実行してもよい。方法は、例えば、高テクスチャ、斜面、溝、丸まり、または損傷があるエッジを検査するために有利になり得る。 （もっと読む）

【課題】対象物の相対的な位置情報を短時間で精度良く検出することができる光学センサを提供する。
【解決手段】 面発光レーザアレイを含む光源１１、非平行透明部材１２、コリメートレンズ１３、対物レンズ１４、及び処理装置などを備えている。面発光レーザアレイの複数の発光部から射出された複数の光束は、Ｚ軸方向に関して互いに異なる位置に集光される。そして、処理装置は、面発光レーザアレイの複数の発光部に一定の電圧を印加するとともに、発光部毎にセルフミキシング信号をプリンタ制御装置に出力する。プリンタ制御装置は、各発光部のセルフミキシング信号に基づいて、Ｚ軸方向に関する記録紙との距離を求める。 （もっと読む）

【課題】対象物の表面において多数の凹凸が繰り返し形成された領域全体についての評価が可能なテクスチャ評価装置、テクスチャ評価方法を提供する。
【解決手段】テクスチャ評価装置１は、３次元計測部２と、３次元計測部２から計測データを入力する入力部３と、距離画像の生成などを行う演算部４と、評価結果を表示する表示部６とを備えている。３次元計測部２は、対象物１０表面までの距離を計測し、計測した距離値を計測データとして入力部３に出力する。演算部４は、３次元計測部２から入力部３に入力された距離値を用いて、距離値を画素値とする距離画像を生成する距離画像生成部４１を有している。さらに、演算部４は、距離画像の全体についてのテクスチャの凹凸の形状を表す測度の分布を求め、当該分布の統計量を特徴量として算出する特徴量算出部４２と、算出された特徴量に基づいてテクスチャの評価を行う評価部４３とを有している。 （もっと読む）

【課題】
複数の方向に配置した複数の検出器からの信号を基板の高さ変動の影響を受けることなく処理して基板上のより微細な欠陥を検出することを可能にする。
【解決手段】
第１の集光検出手段と第２の集光検出手段とにそれぞれ複数列の光センサアレイを有する光電変換器を備え、処理手段は第１及び第２の集光検出手段のそれぞれの複数列の光センサアレイからの検出信号を用いて試料の表面に対する第１及び第２の集光検出手段の焦点位置のずれを求め、この求めた第１及び第２の集光検出手段のそれぞれの焦点位置のずれに応じて第１の集光検出手段から出力された検出信号と第２の集光検出手段から出力された検出信号とを補正し、この補正した第１の集光検出手段から出力された検出信号と第２の集光検出手段から出力された検出信号とを統合して試料上の欠陥を検出するようにした。 （もっと読む）

【課題】スリット光によって測定対象物に形成される光切断線における干渉縞を低減して良好に表面測定が行われる表面検査装置を構成する。
【解決手段】半導体レーザＬＤからのレーザ光ＬＢから直線状の領域に拡がるスリット光Ｓを作り出してワークに照射し、これを撮影ユニットで撮影した画像データからスリット光Ｓが照射された光切断線を抽出してワークの表面形状データを生成するように表面検査装置を構成する。半導体レーザＬＤが、ＰＮ接合型で接合面の境界部分に沿って直線方向Ｍに形成される発光層１７を有し、この直線方向Ｍが、スリット光Ｓの拡がり方向と直交するように相対的な姿勢を設定した。 （もっと読む）

【課題】合焦精度を向上させる。
【解決手段】高感度のラインセンサ１６Ｂは、レーザ照明部１１により照明された対象物２の光点像の光量から得られる高輝度の受光データを取得し、低感度のラインセンサ１６Ａは、対象物２の光点像の光量から得られる低輝度の受光データを取得し、データ処理部１７は、正常時は、高感度のラインセンサ１６Ｂからの高輝度の受光データを選択し、高輝度の受光データを得るときのレーザ光が飽和した場合、低輝度の受光データを選択する。そして、検出部１８は、データ処理部１７により選択された受光データに基づいて、対象物２の像の合焦状態を検出することで、対象物２の像の合焦状態が確実に検出されるので、合焦精度を向上させることができる。本発明は、例えば、対象物の断面形状を測定する測定装置に用いられる位置検出装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】合焦精度の低下を軽減する。
【解決手段】ラインピクセルにより受光される光量データが飽和したとき、ラインピクセルの略中央のピクセルである合焦ピクセルを過ぎたときの前後２ピークのピークピクセルを決定し（Ｓ１１）、決定したピークピクセルにおけるＺ軸カウンタ値を取得し（Ｓ１２）、取得したＺ軸カウンタ値を直線補間して、合焦ピクセルにおけるＺ軸カウンタ値を推定し（Ｓ１３）、推定された合焦ピクセルにおけるＺ軸カウンタ値に基づいて、対象物２の面位置を検出する（Ｓ１４）ので、受光される光量が飽和したときでも、合焦精度の低下を軽減することができる。本発明は、例えば、対象物の断面形状を測定する測定装置に用いられる位置検出装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】移動体の位置を高精度に制御しつつ、物体上の複数のマークの検出時間を短縮する。
【解決手段】 露光装置は、ウエハＷを保持してＸＹ平面内で移動するとともに、上面にＹ軸方向を周期方向とする格子を有する一対のＹスケール３９Ｙ_１、３９Ｙ_２が設けられたウエハステージＷＳＴと、Ｘ軸方向に関して検出領域の位置が異なる複数のアライメント系ＡＬ１、ＡＬ２_１〜ＡＬ２_４と、Ｘ軸方向に関して前記複数の検出領域の両外側に１つずつ配置される一対のＹヘッド６４ｙ_１、６４ｙ_２を含む複数のＹヘッド６４を有し、一対のＹスケールの少なくとも一方と対向するＹヘッドによって、ウエハステージＷＳＴのＹ軸方向の位置情報を計測するＹエンコーダと、を備えている。このため、ウエハステージＷＳＴのＹ軸方向の移動の際に、ウエハ上の複数のマークを複数のアライメント系で同時に計測可能になる。 （もっと読む）

【課題】大がかりな装置構成とすることなく、自宅等で簡単に顔のたるみや体型等をセルフチェックすることが可能な起伏観察装置を提供する。
【解決手段】起伏観察装置である起伏観察機能付きカメラ２００は、投影用パターンデータを記憶するパターンデータ記憶部９０と、投影用パターンデータを用いて観察対象物にパターン画像を投影する画像投影部２０と、観察対象物を撮像する撮像部３０と、投影用パターンデータと撮像部３０により撮像された撮像データとを重ね合わせることにより、観察対象物の起伏状態を強調した画像を生成する画像処理部５０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 対象物の高さを高精度かつ迅速に計測することが可能な計測装置を提供する。
【解決手段】 計測範囲内にある対象物の高さを計測する計測装置は、複数の波長を含む光を出射する光源と、軸上色収差を有する光学ユニットを含み、前記光源から出射された光を複数の光束に分割して、前記計測範囲を含むが異なる焦点範囲に前記複数の光束を前記光学ユニットによって集光させる第１光学系と、前記複数の光束について前記対象物の表面に焦点位置を有する波長を検出する検出部と、前記第１光学系と光路の一部を共有していて、前記第１光学系によって集光され前記対象物の表面で反射された前記複数の光束を前記検出部に導く第２光学系と、前記複数の光束から１つの光束を選択し、該選択された光束の前記検出部により検出された波長を用いて前記対象物の高さを算出する処理部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】少ない投影パターン数で、形状変化が急激な計測対象や不連続な計測対象の高精度な形状計測を可能とする。
【解決手段】三次元形状計測装置は、明るさ変化を有するパターンを計測空間に投影するパターン投影手段と、パターンが投影された計測空間を撮影する撮像手段とを備え、計測空間に存在する計測対象の三次元形状を計測する三次元形状計測装置であって、撮影手段により得られた撮影画像のパターンの明るさ変化からパターンの局所的な配置情報を算出する局所配置情報算出手段と、撮影画像におけるパターンのボケ量を算出するボケ量算出手段と、局所配置情報とボケ量とに基づき、計測対象の三次元形状を算出する三次元形状算出手段とをさらに備える。 （もっと読む）

【課題】精密ソルダレジストレジストレーション検査方法を提供する。
【解決手段】マシンビジョン検査システムを動作させて、蛍光材料内の特徴の位置を再現可能に特定するために、蛍光画像を取得するための蛍光撮像高さを決定する方法が開示される。蛍光材料外に露出した露出ワークピース部分の高さが特定される（例えば、高さセンサまたはオートフォーカス動作を使用して）。特定された高さは再現可能である。露出部分は、蛍光材料および／または蛍光材料内に配置された特徴に対して特徴的な高さを有する。蛍光材料内部であり得る蛍光撮像高さが、特定された露出部分の高さに相対して決定される。蛍光撮像高さは、結果として生成される蛍光画像において蛍光材料内に配置された所望の特徴の検出を向上させるように決定される。様々なワークピースに対して、この方法は、従来既知の方法よりも確実に、適宜合焦された蛍光画像の自動取得を提供する。 （もっと読む）

【課題】 透光性管状物体の厚さを全域にわたって短時間で精度よく測定する。
【解決手段】 測定用レーザ光をガラス管Ｇに照射し、ガラス管Ｇの外周面で反射する反射光及び内周面で反射する反射光をラインセンサ３７で受光し、反射光の受光位置からガラス管Ｇの厚さを検出する。サーボ用レーザ光源４０からガラス管Ｇに対して、サーボ用レーザ光を測定用レーザ光の光軸と測定用レーザ光の反射光の光軸との中心線の方向であるＺ軸方向に照射する。フォトディテクタ４８でガラス管Ｇからの反射光を受光し、Ｙ軸方向サーボ回路１２０が、圧電アクチュエータ２５を駆動することにより、測定用レーザ光の光軸がガラス管Ｇの中心軸と交差するように光ヘッド１００をＹ軸方向にサーボ制御する。 （もっと読む）

【課題】透明体シート状物表面に発生した曲率変化の小さな凹凸状欠陥を、最も鮮明な明暗像になる状態で結像させることにより、欠陥を漏れなく検出し、信頼性の高い欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】走行する透明体のシート状物表面に発生した凹凸状欠陥の検査において、走行する透明体のシート状物表面に発生した凹凸状欠陥の検査において、光源から発した平行光の照射方向に配置したミラーによって反射させる機構を有した照明手段と、この平行光をシート状物の走行方向に対して斜めに透過させ、透過した光を結像させるための曲面状のスクリーンと、スクリーンの曲面に結像した光を、合焦するように、スクリーンの曲面の曲率半径上に合焦点を起点として角度調節できる機構を有する撮像手段と、撮像手段によってスクリーンに結像した光を明暗信号として検出する信号処理手段とを具備することを特徴とするシート状物の表面欠陥検査装置。 （もっと読む）