【課題】実際の対象物と撮像手段との関係を確認する作業や、対象物と画像処理結果とを比較する作業を、モニタを用いることなく容易に行うことができるようにする。
【解決手段】撮像部１内に、ＬＣＤ１２を含む投光部１１をＣＣＤ１０と同軸になるように配備し、ＬＣＤ１２に表示された画像がＣＣＤ１０の視野に向けて投影されるようにする。処理部２では、ＣＣＤ１０により生成された画像を用いてワークＷ０の欠陥Ｄを検出し、その欠陥を含む領域Ｒに対応する領域ＲＰに周囲より明るい画像データが設定された投影用画像５０を生成し、これを投影部１１に与えて投影させる。この投影により、ワークＷ０の表面のうち、画像処理により欠陥として検出された範囲が、領域ＲＰの投影像によるマーキングパターンＭにより明示される。 （もっと読む）

【課題】上述のような液体レンズを用いて、ワークに対する画像処理を適切に行うことが可能な画像処理方法および画像処理装置を提供する。
【解決手段】液体レンズへの駆動電圧の印加後、撮像部に画像データを順次生成させるとともに、これらの画像データを記憶する。そして、記憶した画像データに対して合焦判定を行って、その合焦判定の結果に基づいて、後段の画像処理に適切な（１または複数の）画像データおよび／または（１または複数の）部分画像を選択する。さらに、選択された画像データまたは部分画像を用いて、画像計測処理や画像合成処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】計測対象に対する撮像装置の相対的な位置や姿勢を一定に保つことが容易な、あるいは、計測対象に対する相対的な位置や姿勢を容易に調整できる変位／ひずみ計測装置を提供する。
【解決手段】撮像装置２と画像解析装置から構成されて、撮像装置２で計測対象物を撮像した画像を画像解析装置で解析して、当該計測対象物の変位又はひずみを算出する変位／ひずみ計測装置において、撮像装置２に、１個の固定当接部材１３と、２個のマイクロメータ１４を取り付けて、固定当接部材１３とマイクロメータ１４のスピンドル１４ｂの先端を計測対象物に当接させる。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における錠剤の欠け等の検査に際し、検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置は、錠剤に光を照射する照明装置と、その反射光を撮像するカメラと、カメラから出力される画像信号を処理する画像処理装置とを備えている。画像処理装置は、所定の三次元計測法により錠剤の三次元データを取得し、それに基づき、錠剤の複数の断面部の輪郭を抽出し、各断面部の輪郭上の所定点における接線が当該断面部の輪郭上に他の接点を有するか否かを判定し、所定点における接線が他に接点を有する場合に、当該接線と輪郭により囲まれた領域を欠け領域として認識し、当該欠け領域の連結成分である欠け空間の大きさを認識し、欠け空間の大きさが許容範囲内か否かを判定することで良否判定を行う。 （もっと読む）

【課題】地上物の表面の点群の位置の座標情報から柱状の３次元モデルを生成することができる３次元モデル生成装置を提供する。
【解決手段】３次元モデル生成装置１は、所定の３次元空間内に存在する地上物の表面の点群の位置の座標情報を取得する点群座標情報取得部１１１と、３次元空間内に平行な平面の対で挟まれた層状の空間を複数設定する層状空間設定部１１２と、層状の空間に含まれる点群を平面の一方である仮投影面に仮投影する仮投影部１１３と、それぞれの仮投影面に存在する共通の図形を抽出する共通図形抽出部１１４と、図形に特徴点を設定して各仮投影面の特徴点を結ぶ直線に垂直な実投影面を設定するとともに、点群を実投影面に垂直に投影した実投影点群を生成する実投影部１１５と、実投影点の分布に基づいて基準図形を生成する基準図形生成部１１６と、基準図形を底面とする柱状の３次元形モデルを生成する３次元モデル生成部１１７とを備える。 （もっと読む）

【課題】小型で広い範囲の曲率を精度よく測定できる曲率測定装置を提供する。
【解決手段】被検査体３を載置台５に載置し、レーザ発光器１０により発光されたビーム光をポリゴンミラー２２で等角速度走査し、ｆθレンズ５０を介して、被検査体３表面を走査する。被検査体３表面から反射されたレーザ光をシリンドリカルレンズ６０で集光し、載置台５の一点から等距離で、互いの距離が一定である位置に配置され、被検査体３から反射されるビーム光を検出する２つのビーム光検出センサ（第１及び第２レーザ光検出センサ３０，３２）でレーザ光を検出した時間差及び２つのビーム光検出センサ３０，３２の間の距離ｄ２、被検査体３表面からの距離Ｌに基づいて、被検査体３の表面の曲率を算出する。 （もっと読む）

【課題】
エッチング完了後の溝底ショート欠陥やスクラッチを検出するための高仰角照明による暗視野欠陥検出方法において、レンズ反射光などの迷光が像面に到達することによる検査感度を阻害することを防止する。
【解決手段】
欠陥検査装置を、本来同一の形状となるべきパターンが繰り返して形成された試料上の異なる領域に異なる光学条件で同時に照明光を照射する照射手段と、照明光を照射した領域からの反射光を異なる領域ごとに検出する検出手段と、検出した反射光の検出信号を処理して異なる領域ごとに異なる光学条件の元での欠陥候補を抽出する欠陥候補抽出手段と、異なる光学条件の元で抽出した欠陥候補を統合して欠陥を抽出する欠陥抽出手段と、抽出した欠陥の特徴量を求めて該求めた特徴量に基づいて前記欠陥を分類する欠陥分類手段とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】露光工程のスループットを高め、基板の複数のパターン形成領域に互いに異なるパターンを露光できるようにする。
【解決手段】シート基板Ｐの露光装置であって、シート基板Ｐを走査方向Ｄ１に移動する基板駆動装置１０と、マスクＭ１〜Ｍ３を保持して上面ＭＢａに沿って移動するマスクステージＭＳ１〜ＭＳ３と、駆動対象のマスクステージＭＳ２の走査方向Ｄ２の位置情報を計測する干渉計３３ＸＡ，３３ＸＢと、この計測結果に基づいて、マスクステージＭＳ２を走査方向Ｄ２に移動する駆動装置と、マスクステージＭＳ１〜ＭＳ３の走査方向Ｄ２の位置を相互に入れ替えるステージ入れ替え装置２４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】誤測定しやすい測定領域が存在する測定対象物であっても、物体形状評価が適正に行われる物体形状評価装置を提供することである。
【解決手段】物体形状評価装置は、対応する測定点と基準点との間の距離を逐次収束させる逐次収束処理に基づいて測定点と基準点とを位置合わせする位置合わせ処理手段５０と、位置合わせ処理後の前記測定点データと前記基準点データとに基づいて前記測定対象物の形状を評価する形状評価手段６とを備えている。位置合わせ処理手段５０は、測定点データから測定対象物のエッジに対応するエッジ点を検出するエッジ検出部によって生成されたエッジ点群と、エッジ基準点群とを位置合わせするエッジ位置合わせを行い、当該エッジ位置合わせによって得られたエッジ合同変換パラメータを用いて測定点データ全体の測定点が基準点に向かう位置合わせを行う。 （もっと読む）

【課題】光学システムにおいて、位相および振幅情報を含む波面分析、ならびに３Ｄ測定を実行する方法および装置、特に、光学システムの画像面のような、中間面の出力の分析に基づく方法および装置を提供する。
【解決手段】 薄膜コーティング、または多層構造の個々の層が存在する表面トポグラフィの測定について記載する。多重波長分析を、位相および振幅マッピングと組み合わせて利用する。マクスウェルの方程式の解に基づき、仮想波面伝搬を用いて、波面伝搬および再合焦によって位相および表面トポグラフィの測定を改良する方法について記載する。このような位相操作方法によって、または広帯域およびコヒーレント光源の組み合わせを利用する方法によって、光学撮像システムにおいてコヒーレント・ノイズの低減を達成する。本方法は、集積回路の分析に適用され、コントラストを高めることにより、または１回のショット撮像における３Ｄ撮像によってオーバーレイ測定技法を改善する。 （もっと読む）

【課題】 マシンビジョン検査システム用の光学収差補正を提供する。
【解決手段】 光学収差に対して表面高さ測定値を補正するためのシステムおよび方法が提供される。オートフォーカスツールによって決定される高さは、焦点関心領域（ＲＯＩ）における表面特徴角度および視野におけるＲＯＩ箇所に依存し得るが、新しい誤差校正に基づいて補正される。誤差校正データには、画像における異なる特徴角度用の、および視野における複数の箇所用の高さ補正値が含まれる。高さ補正値は、例えばＲＯＩにおいて決定された勾配（エッジ）角度分布に基づき、角度依存性の誤差校正データを重み付けし、組み合わせることによって決定される。視野における複数のＲＯＩ用にＺ高さが決定されると、グローバル画像スタックの特定の画像からの画像データの記憶は、特定の画像が、十分に合焦された「近ピーク」焦点画像であるかどうかを、処理の初期に決定することに基づいて、効率的に制御することが可能である。 （もっと読む）

【課題】被検物の形状測定において、測定プローブと被検物との位置合わせ作業を簡単に
行うことが可能な構成の形状測定装置を提供する。
【解決手段】被検物に対して光プローブ２０を相対移動させて、光プローブ２０により得
られた情報から被検物の三次元形状を非接触で測定するように構成された形状測定装置に
おいて、光プローブ２０を被検物に対して所定の位置となるように移動させる門型構造体
１０と、被検物を少なくとも２つの回転軸方向に回転させる支持装置３０とを有して構成
される。 （もっと読む）

【課題】 マルチフォーカス検査装置及びマルチフォーカス検査方法に関し、１回のスキャンで高速且つ高精度の全面外観検査を可能にする。
【解決手段】 測定対象物を撮像する測定ヘッドと、前記測定対象物と前記測定ヘッドを平面内において互いに相対的に移動させる移動機構と、前記測定対象物に光を照射する光源とを備え、前記測定ヘッドは、前記測定対象物に対向して配置された撮像レンズと、前記撮像レンズの合焦面が、前記測定対象物の移動方向に対して直交する平面内或いは前記直交する平面から±４５°の範囲内で前記測定対象物の移動方向に傾斜させた平面内に存在するように調整する光学部材と、前記光学部材からの光の結像位置に焦点面が位置するよう配置したイメージセンサとを少なくとも有する。 （もっと読む）

【課題】光学原理を利用して多軸加工機の誤差を得ると共に、多軸加工機への装着が簡単であり、更に、計測コストを低減できる多軸加工機の計測装置を提供する。
【解決手段】感知部材１０と、レンズ部材２０と、信号処理部材３０とを有し、その内、該感知部材１０は、少なくとも１つの感知部があり、その感知部は、光源１２１と、センサ１２２とを備え、該レンズ部材２０は、球形レンズ２２があり、該球形レンズ２２を介して該感知部の光源１２１から放射される光束の照準をセンサ１２２に合わせることがあり、該信号処理部材３０には、該感知部に接続するように、該センサー１２２から受信した信号の運算と分析を行うプログラムを含む。 （もっと読む）

【課題】テクスチャ情報の少ない被写体を高密度に距離計測することを目的とする。
【解決手段】光源から照射される光が投影光学系のレンズを透過する透過率を空間的に符号化する符号化素子を含む投影部と、投影部により光が投影された距離計測対象を撮像する撮像部と、撮像部により撮像された撮像画像と、予め定められた距離ごとに撮像部により予め撮像された複数のキャリブレーション画像との類似度を示す相関値を算出する算出部と、算出部により算出された相関値が最大となるキャリブレーション画像に対応する距離を距離計測対象までの距離として決定する決定部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、サンプルの厚み情報を短時間で精度よく取得する。
【解決手段】本発明は、取得した位相差像の基準像に対する相関状態を算出し、該相関状態に応じて組織切片ＴＳの厚み情報を取得するようにしたことにより、１つの位相差像から組織切片ＴＳの厚み情報が取得でき、またサンプルの厚み方向の分布を反映した厚み情報を取得することができ、かくして厚み情報を短時間で精度よく取得することができる。 （もっと読む）

【課題】ウェハ表面の膜の端部の高さを精度よく測定可能な検査方法を提供する。
【解決手段】ステージによりウェハを略水平に支持した状態で、高さ検出器によりウェハの平面部の高さ位置を検出するステップＳ１０１と、上ベベル部に位置する膜の端部に合焦させた状態で、撮像部により膜の端部を撮像するステップＳ１０２と、データ処理部により、ステップＳ１０２で撮像した膜の端部の画像に基づいて膜の端部の高さ位置を検出し、ステップＳ１０１で検出した平面部の高さ位置と膜の端部の高さ位置との差から、ウェハの平面部に対する膜の端部の降下量を求めるステップＳ１０３とを有している。 （もっと読む）

【課題】複数の撮像画像に亘って頻繁に撮像対象となった被写体を推定できる解析装置、撮像装置、サーバ装置、解析システムを提供する。
【解決手段】撮像装置１において、ＣＰＵ１１が特定プログラムを実行することにより、推定プログラムの実行により推定された画像データごとの領域を同一平面上に重ね合わせた際の、重ね合わせ度合いが所定値以上となる箇所を被写体の存在位置として特定するように構成した。 （もっと読む）

【課題】環境温度の変化に伴う誤検出を防止した対物レンズの調整方法を提供する。
【解決手段】結晶質の材料を用いたレンズを含む複数のレンズからなる対物レンズの調整方法であって、環境温度の変化によって対物レンズに生じる熱応力を求め、求めた熱応力から、当該熱応力により生じる対物レンズを通る光の状態変化を求める変化量算出ステップ（ステップＳ１０１〜Ｓ１０３）と、対物レンズを通る光の状態が環境温度の変化に拘わらず一定となるように、求めた光の状態変化を打ち消すような結晶質の材料を用いたレンズ（第９レンズ）の結晶方位を算出する調整量算出ステップ（ステップＳ１０４）と、算出した結晶方位が得られるように結晶質の材料を用いたレンズ（第９レンズ）を光軸回りに回転させる調整ステップ（ステップＳ１０５）とを有している。 （もっと読む）

【課題】高輝度パルス光源構成を提供する。
【解決手段】高輝度光源構成は、長寿命を有し高速度で変調することができる。本構成は、アクチュエータに取り付けられた可動部材と、可動部材に関連する発光蛍光体領域と、放射光出射領域に対し固定された点において発光蛍光体領域を照射する入射光源と、可動部材アクチュエータと入射光源を制御する光源制御装置と、を含む。入射光源（例えばレーザー）は照射スポットに高輝度入射光を供給し、発光蛍光体領域に高輝度出射光を放射させる。発光蛍光体領域は消光と光退色を低減するように照射スポットに対して動かされ、これにより光源構成の寿命を延ばす。蛍光体領域は広帯域光を放射することができる、および／またはそれぞれのピーク波長を放射する蛍光体を有するそれぞれのサブ領域を含むことができる。 （もっと読む）