【課題】可動基板上に改良された発光蛍光体構造を有する蛍光体点光源を提供する
【解決手段】蛍光体点光源素子は、基板と、基板上に配置された発光蛍光体粒子を備えることで、動作トラック領域の平坦な動作表面の近くに密集状態の粒子配置を有する円形の動作トラックを提供する。動作トラック領域は、高輝度点光源を提供する点において照射されながら回転される。密集状態の粒子配置は、キャビティ内の蛍光体粒子を回転させてキャビティ周辺の基板上で蛍光体を圧縮することにより、または他の機械的な圧縮方法により達成され得る。密集状態の粒子配置を、キャビティを囲む形成要素に当てて圧縮するか、機械加工することにより、平坦な動作表面を提供することができる。蛍光体粒子に浸透した接着結合剤を硬化させることで、密集状態の粒子配置を固定することができる。 （もっと読む）

【課題】簡素な構造で立体形状を高精度に計測可能な計測装置を提供する。
【解決手段】計測装置１００は、複数の波長成分を有する光を計測物５０に照射する光源１と、軸上色収差を有する回折レンズ２と、干渉画像生成部３と、分光画像生成部２１と、立体形状算出部２２とを備える。干渉画像生成部３は回折レンズ２からの光を、可変の光路長差を有する光束Ｌ１，Ｌ２に分割するとともに、その光束Ｌ１，Ｌ２を重ねることで干渉画像を生成する。分光画像生成部２１は、干渉画像が有する干渉光の強度の情報をフーリエ変換することによって、計測物５０からの光の分光スペクトルの情報を有する分光画像を生成する。波数ごとに分光画像は生成される。この分光画像に基づいて合焦点位置が算出されるとともに、その合焦点位置から計測物５０の立体形状が算出される。 （もっと読む）

【課題】 真空チャンバー内に配置される計測装置において計測光学系等を好適に使用することを目的とする。
【解決手段】 真空チャンバー内に配置される計測装置であって、
真空チャンバーの内部に配置され、基板の位置または高さを計測する計測光学系と、
計測光学系の少なくとも一部を密封して覆うカバーと、カバー内に気体を供給および排出するための配管と、
配管を介してカバー内に供給または排出される気体の量を制御することによってカバー内の圧力を制御する圧力制御手段と、
を備え、カバーには透明板が設けられ、
圧力制御手段は、カバー内の圧力変動を抑え、かつ、カバー内外に所定の圧力差が生じるように気体の量を制御し、
計測光学系は、圧力差によって透明板が変形することによって生じる収差を補正するように構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】被測定面の面粗度、汚れ、微細なゴミ等の付着によって被測定面の変位量の測定に誤差が生じる可能性を減少させる変位検出装置を提供する。
【解決手段】変位検出装置１では、対物レンズ３が光源２からの出射光を被測定面１０１に向けて集光する。被測定面１０１からの反射光の光路は、分離光学系４により光源２から出射光の光路と分離される。分離光学系４を通った反射光は、集光手段７により集光され、非点収差発生手段８により非点収差が発生した状態で受光部９に入射する。位置情報生成部１０は、受光部９で検出した光量から得られるフォーカスエラー信号を用いて被測定面１０１の位置情報を生成する。そして、集光手段７、非点収差発生手段８又は受光部９は、対物レンズ３により集光された出射光の焦点が被測定面１０１の奥側に位置するときに、フォーカスエラー信号の値が０になるように光軸上の位置が設定されている。 （もっと読む）

【課題】測定ワーク側に別部品の反射手段を設置する必要がなく且つ微小な測定ワークの内面も測定可能な非接触形状測定装置を提供する。
【解決手段】Ｘ軸と平行なレーザー光Ｌをプローブ８よりクランク状に折り曲げるため、レーザー光Ｌを折り曲げるための別部品を必要とせず、プローブ８をそのまま測定ワーク１の内面の内部に挿入するだけで、測定ワーク１の内面形状が測定可能となる。プローブ８を小さくすれば微小な測定ワークの内面も測定可能となる。 （もっと読む）

【課題】レンズの偏心を測定できる形状測定装置を簡易的に、かつ高精度に校正できる校正用冶具、校正方法、及び該校正用冶具が搭載可能な形状測定装置を提供する。
【解決手段】校正用冶具１００は、中心が円周上を３等分し、計測用基準球を接するように設置できる３個の基準球２を備える。形状測定装置は、該校正用冶具を配置可能であり、被測定物の形状に関する情報を取得するための第１プローブと、校正用冶具に対して第１プローブと反対側に設けられ被測定物の形状に関する情報を取得するための第２プローブと、第１プローブ及び第２プローブにより、配置された計測用基準球を測定して第１測定結果及び第２測定結果を求める測定部と、第１測定結果及び第２測定結果を比較してシフトを算出するシフト量算出部と、を備える。校正方法は、上記形状測定装置を用いた測定ステップとシフト量等を算出するシフト量算出ステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】液中の測定ワークの表面形状も測定することができる液浸非接触形状測定装置を提供する。
【解決手段】レーザープローブ３の下側を容器形状のコレット２４で覆い、コレット２４をレーザープローブ３ごと上下動させることができるため、測定ワーク６が設けられた液中にコレット２４を浸して、液中の測定ワーク６の表面をレーザー光Ｌにより計測することができる。電極プローブ２６により液中における測定ワーク６の表面のイオン分布を計測することもできる。 （もっと読む）

【課題】レーザ干渉計の計測精度を改善する。
【解決手段】露光装置は、投影光学系ＵＬと、原版Ｒまたは基板Ｗを保持して移動可能なステージ１ｒ、１ｗと、ステージを支持する定盤４と、原版または基板の表面の高さ及び傾きを検出する検出手段７と、投影光学系と検出手段とを支持する架台８と、定盤と架台との間における、ステージを含む空間の空調を行う空調手段と、該空間内に光路を有してステージの位置を計測するレーザ干渉計６と、を有する。上記検出手段は、光電検出手段２７と、パターンを投影する投光光学系と、原版または基板上に投影された上記パターンの像を光電検出手段に再結像させる受光光学系とを有する。光電検出手段を含む検出手段の第１の部分は、上記空間の外において架台に支持され、検出手段の第２の部分は、上記空間内において架台に支持され、第１の部分と第２の部分とは、受光光学系の瞳面と像面との間で分割されている。 （もっと読む）

【課題】被測定面の位置をその反射率に左右されず、安定して高精度に測定し得る共焦点分光方式の光距離計及び距離測定方法を提供する
【解決手段】光距離計２１は、白色光源２２からの照明光を複屈折板２７により常光成分と異常光成分とに分離し、被測定面３４ａの光軸上の異なる位置で結像するように投射する。被測定面からの反射光を合波し、回折格子２９により波長毎に分散させ、複屈折板３０により再び常光成分と異常光成分とに分離して撮像素子３１に入射させる。信号処理部３３が、撮像素子から出力された電気信号を処理して常光成分及び異常光成分の光強度Ｐ１，Ｐ２を検出しかつ差分ΔＰ＝Ｐ１−Ｐ２を算出する。差分ΔＰが０となる波長λ０を検出することによって、被測定面の位置が求まる。 （もっと読む）

【課題】光学部品の点数を少なく、構造を簡単化して、光センサーの小型化及び低コスト化を実現する。
【解決手段】振動検出用光センサー１は、光源２、偏光ビームスプリッター３、対物レンズ４、波長板ユニット５、及び１個の受光素子６を備える。波長板ユニットは１／４波長板７と振動板８とが一体化され、光センサーの小型化、構造及び組立の簡単化、低コストが図れる。受光素子６は、光軸ｘ2を振動板の反射光の光軸ｘ1と平行にかつ僅かにずらして配置される。それに対応して、受光素子に入射するビームスポット形状は、その中心ｃを受光面６ａの中心Ｏから僅かにずらして離れた位置に置いて投影される。受光素子から検出される光量は、振動板の変位に対応して増減する。 （もっと読む）

【課題】アライメントマークの位置を計測する時間の短さの点で有利な位置計測装置の提供。
【解決手段】位置計測装置の制御部は、撮像系のテレセントリシティに関する情報を予め記憶し、基板に形成された複数のアライメントマークのうち少なくとも１つに関して、ステージの位置制御により撮像系に対するフォーカス調整を行って撮像系に撮像を行わせ、撮像によるアライメントマークの信号に基づいてＸ−Ｙ平面に平行な面における位置を求め、フォーカス調整のなされた少なくとも１つのアライメントマークに関して、基板表面の第１の位置を検出系に検出させ、他のアライメントマークに関して、フォーカス調整を行わずに、撮像系に撮像を行わせ、かつ基板表面の第２の位置を検出系に検出させ、撮像によるアライメントマークの信号と第１の位置と第２の位置とテレセントリシティに関する情報とに基づいて、Ｘ−Ｙ平面に平行な面における位置を求める。 （もっと読む）

【課題】光学部品の点数を少なく、構造を簡単化して、光センサーの小型化及び低コスト化を実現する。
【解決手段】振動検出用光センサー１は、光源２、偏光ビームスプリッター３、対物レンズ４、波長板ユニット５、及び光検出部として二次元イメージセンサー６，１４を備える。波長板ユニットは１／４波長板７と振動板８とが一体化され、光センサーの小型化、構造及び組立の簡単化、低コストが図れる。二次元イメージセンサーの受光面６ａ，１４ａには、振動板の反射面８ａの位置に対応して、同心で異なる半径の円形のビームスポット形状が入射する。二次元イメージセンサーの出力信号からビームスポット形状の面積又は半径を測定することによって、振動板の位置又は変位量を検出する。 （もっと読む）

【課題】基板に散ったハンダやゴミ等による基板の傾きの誤認識を防ぐこと。
【解決手段】傾き検査装置１０は、所定の範囲を撮像領域として、部品が取り付けられる基板２を撮像するカメラが出力する撮像領域の画像より、基板２及び部品の表面の高さを基板２の全域にわたって測定して高さ情報を得る高さ測定部１２を備える。また、撮像領域の画像に含まれる基板２の色と、基板２に配置される部材の色と、を異なる２色で表現する２値化情報に基づいて、基板２の色によって表現される箇所に少なくとも３点の測定点を指定する測定点指定部１３を備える。また、測定点毎に測定される高さ情報に基づいて、所定の平面に対する基板２の傾きを計算する傾き計算部１４を備える。また、基板２の傾きに基づいて高さ情報の補正量を求め、基板２の表面の全域にわたって高さ情報を補正する傾き補正部１５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】フォトスペーサの形状に左右されることなくその高さを正確に測定できるようにする。
【解決手段】焦点位置を示すピーク値を検出できない輝度信号、すなわち輝度信号の最大値が所定の閾値以下のものについては、高さ測定処理を行なわずに、その箇所のデータを排除することにした。これによって、円柱状のスペーサのエッジ部分における異常な高さを示す信号を除去し、エッジ部分以外の高さを測定することによって、円柱状のスペーサの高さを正確に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】探傷中においても撮像装置の焦点ズレを検知することができ、判定精度の劣化による不良品の流出等を防止する焦点ズレ検出装置を提供する。
【解決手段】本発明の焦点ズレ検出装置は、搬送される被検査体の表面を撮像装置により撮像した画像データに基づいて、表面欠陥を検査する表面欠陥検査装置において、撮像装置の焦点ズレを検出する。かかる焦点ズレ検出装置は、画像データの画像信号を２次元配列された周波数成分に変換する変換演算を行う演算部と、画像データの周波数成分の２次元配列を、所定の規則に基づいて、１次元配列に変換する配列変換部と、１次元配列に変換された周波数成分の一部によって形成される波形の傾きに基づいて、撮像装置の焦点ズレの有無を判定する焦点ズレ判定部と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】粒子像のボケを利用して１台のカメラで粒子の三次元定量的情報を計測するデフォーカス法において、粒子数が多い場合や粒子が合焦点に近いところに位置する場合でも、粒子の識別ができる手法を提供する。
【解決手段】カメラのレンズに装着するマスクの３箇所（正三角形の各頂点）に孔を設け、それぞれの孔に赤、緑、青の色フィルタを取り付けて撮影すると、浮遊粒子が合焦点位置にあるときには粒子像は１点に集中して１つの白色輝点として観察されるが、合焦点位置から外れると赤、緑、青３輝点で形成される三角形が観測される。それぞれの輝点の中心をつないでできる三角形に外接する外周円を想定し、その半径を求め、その三角形の向きを正負で表し、予め作成しておいた較正曲線に当てはめて、粒子の合焦点位置からの光軸方向への位置のずれ量を算出する。 （もっと読む）

【課題】SiC基板及びエピタキシャル層に形成されたマイクロパイプ欠陥及び基底面内欠陥を高精度に検出でき、他の欠陥から区別できる検査装置を実現する。
【解決手段】本発明では、微分干渉光学系を含む共焦点走査装置を用いて、SiC基板表面又はエピタキシャル層表面の共焦点微分干渉画像を撮像する。共焦点微分干渉画像は、試料表面の数ｎｍ程度の凹凸変化を輝度分布として表すので、SiC基板表面又はエピタキシャル層表面に出現した結晶欠陥を、輝度分布に基づいて検出することができる。欠陥の種類に応じて、輝度分布が相違するので、欠陥画像の形状及び輝度分布の観点より欠陥を分類する。特に、本発明による分類方法を用いることにより、マイクロパイプ欠陥及び基底面内欠陥を他の欠陥から区別することが可能である。 （もっと読む）

【課題】測定対象膜に照明光を照射して測定される表面形状データ及び界面形状データから、この測定対象膜の屈折率を得ることができる膜構造測定方法及び表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】表面形状測定装置の制御用プロセッサで実行される膜構造測定方法は、撮像装置により、物体に形成された測定対象膜に光を照射し、当該光の反射光からこの測定対象膜の表面の形状である表面形状データ及び測定対象膜と物体との界面の形状である界面形状データを測定するステップ２２０と、平均値がほぼ０となるように表面形状データ及び界面形状データの各々を基準面を用いて補正することにより、補正された表面形状データ及び補正された界面形状データを算出するステップ２３０と、補正された表面形状データ及び補正された界面形状データから、測定対象膜の屈折率を算出するステップ２４０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 微小な凹凸に加えて周期と変動量の大きな凹凸が存在する測定対象物の表面粗さも検出できるようにする。
【解決手段】 測定対象物ＯＢの表面上を接触しながら移動するスライダ４４に対物レンズ３０５を配置するとともに、スライダ４４をプローブ４０によって光学ヘッド本体３０に弾性的に支持する。レーザ光源３０１からのレーザ光を対物レンズ３０５により集光させて測定対象物ＯＢの表面に照射し、測定対象物ＯＢの表面からの反射光をフォトディテクタ３０８で受光して、フォーカスエラー信号を生成する。フォーカスエラー信号を用いてレーザ光の焦点位置から測定対象物ＯＢの表面位置までの距離に応じて変化する距離を計算して、前記計算した距離に、スライダ４４の光学ヘッド本体３０に対する相対位置の変動量を加味して測定対象物ＯＢの表面の基準面に対する凹凸の大きさを計算する。 （もっと読む）

【課題】熱的に補償されたクロマティック共焦点センサ用のレンズ構成を提供する。
【解決手段】熱補償を含む色分散レンズ構成が色範囲感知用のクロマティック共焦点センサ光学ペンに用いられ得る。レンズ構成は負の屈折力の複レンズおよび正の屈折力のレンズ部分を含み得る。正の屈折力のレンズ部分は、クロマティック共焦点センサ光学ペンの全体的な熱感度を補償する少なくとも２つのレンズ素子を含む。熱感度を補償する正の屈折力のレンズ部分のレンズ素子は、小さくても１０ｐｐｍ／℃の範囲にある平均熱焦点ずれ係数を有する。レンズ構成は、標準の市販のクロマティック共焦点センサ光学ペンに適合する一方、色範囲感知に十分な光学性能レベルを維持する寸法で実装できる。 （もっと読む）