【課題】互いのウェハを位置合わせして重ね合わせるときに、ステージの回転量が所定量を超えてしまうと、ステージの正確な位置を把握することが困難となる。ステージの回転量が所定量を超えないように制御するには、そもそも最初にステージに置かれるウェハの位置を厳密に管理する必要がある。
【解決手段】位置検出装置は、第１基板に設けられた少なくとも２個の第１基板指標を一度の撮像動作により撮像する第１撮像ユニットと、第１撮像ユニットにより撮像された画像に基づいて第１基板指標の位置を計測することにより、第１基板の姿勢を測定する測定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】光ビームにより基板を走査して、新たなパターンを下地パターンに合わせて精度良く露光する。
【解決手段】チャック１０に位置検出用マークを設け、チャック１０の位置を検出しながら、ステージによりチャック１０を移動して、各画像取得装置５１によりチャック１０の位置検出用マークの画像を取得し、検出したチャック１０の位置及び画像処理装置５０が検出したチャック１０の位置検出用マークの位置から、各画像取得装置５１の位置ずれを検出して、各移動機構により各画像取得装置５１の位置ずれを修正する。各画像取得装置５１により基板１の下地パターンの位置検出用マークの画像を取得し、画像処理装置５０が検出した基板１の下地パターンの位置検出用マークの位置に応じて、ステージによりチャック１０を移動して、光ビーム照射装置２０からの光ビームにより基板１を走査する前の基板１の位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】画像プローブの校正方法を提供すること。
【解決手段】画像プローブ３の撮像方向を垂直にした状態で画像プローブ３および各測定子６１１Ａ，６１１Ｂによりそれぞれ校正ゲージ６２を測定し、画像プローブ３の光軸中心および各測定子６１１Ａ，６１１Ｂの相対位置関係を求める。次に、一方の測定子６１１Ａ，６１１Ｂにより基準球６３を測定し、基準球６３の位置を登録する。続いて、画像プローブ３の撮像方向を傾斜させた後、各測定子６１１Ａ，６１１Ｂで基準球６３を測定し、該測定結果と登録した基準球６３の位置とから測定機１上の各測定子６１１Ａ，６１１Ｂの位置を求める。画像プローブ３の光軸中心および各測定子６１１Ａ，６１１Ｂの相対位置関係は既に取得しているので、求めた測定機１上の各測定子６１１Ａ，６１１Ｂの位置から画像プローブ３の光軸周りの回転角度および画像プローブ３の位置を校正できる。 （もっと読む）

鉄道線路軌道のレールシート摩耗（ｒａｉｌ ｓｅａｔ ａｂｒａｓｉｏｎ）を決定するためのシステムおよび方法が開示される。検査システムが、レーザ、カメラ、およびレールシート摩耗が軌道に沿って存在するかどうかを決定するように適合されるプロセッサを含む。プロセッサは、検査システムが軌道に沿って動くときに遭遇される傾きを補償する数学ベースのアルゴリズムを用いる。
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【課題】 船舶やトラック等で運搬され、製鉄所等のヤード内に積み上げられた鉄鉱石や石炭等の原料の山の山形形状を、正確かつ短時間で計測可能な計測装置を提供する。
【解決手段】 ＧＰＳアンテナ、レーザースキャナ、及びＧＰＳ受信機搭載のセンサＢＯＸを含む計測装置を山積み用のアームに取り付ける。レーザスキャナは山に向けてレーザビームを一方向に走査し、前記レーザビームの走査角度と前記レーザビームの照射対象物までの距離とを関連付けて出力する。アームは回転可能であり、一方向に走査するレーザビームが前記山の全体を走査するように回転台を回転制御する。このようにアームを回転させながら正確な時刻が付加されたＧＰＳデータとレーザースキャナデータを収集し、収集したデータに基づく演算処理によって山積みされた山の形状を再現する。 （もっと読む）

【課題】周辺の状況や観測機器による影響を抑え、対象物を正確に検出することのできる対象物検出装置を得る。
【解決手段】射影装置２は、記憶装置１に記憶されている３次元の座標値をもつ点群データを平面に射影した射影パターンを生成する。平滑化装置３は、対象物に対し平滑化した射影パターン上でピークを生成するよう射影パターンを平滑化する。照合装置４は、平滑化した射影パターンとテンプレートパターンとを照合し、対象物が存在した地点の平滑化した射影パターンと一致あるいは近似するテンプレートパターンとの相関が高い平滑化した射影パターン上の位置を対象物の存在位置として検出する。 （もっと読む）

【課題】道路を高解像度で表す三次元モデルを生成できるようにすることを目的とする。
【解決手段】画像処理部１１０はカメラ画像を選択し、所定の処理範囲を処理範囲画像１９１として抽出し、処理範囲画像１９１のレンズ収差を補正する。画素点群生成部１２０はカメラ画像と三次元点群１９８とに基づいて処理範囲画像１９１の各画素に対応する三次元座標値および色情報を示す画素点群１９２を生成する。画素補間点群生成部１３０は画素点群１９２に基づいて画素点が低密度である部分を補間する画素補間点群１９３を生成する。道路三次元モデル生成部１４０は画素点群１９２と画素補間点群１９３とを含んだデータを道路三次元モデル１９４として生成する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、光導波路の中空部分に挿入した反射材を磁場発生手段で光導波路の長手方向に移動させて光路長を所望の値に設定することにある。
【解決手段】本発明は、中空構造の光導波路４００の中空部分に、磁性を有する反射材５０１が長手方向に移動自在に挿入され、光導波路４００の外部に磁場を発生することが可能な磁場発生手段５０４が設置され、光導波路４００内の光路長を、反射材５０１を磁場発生手段５０４で光導波路４００の長手方向に移動することにより調整する中空光導波路における磁場を用いた光路長調整方法である。 （もっと読む）

【課題】対象物のステレオ視によって対象物の位置を計測するに際し、量子化誤差を軽減することができる位置計測システム及び位置計測方法を提供する。
【解決手段】位置計測システム１では、対象物Ｔのステレオ視において２台のカメラの視線領域が重なる重複領域に対象物Ｔの真値（真の座標）が存在することに鑑み、視線領域ＳＲ１，ＳＲ２が、カメラ２_１，２_２の移動によって、隣り合う一方の視線領域から他方の視線領域に移動したことを検出したときには、視線領域ＳＲ１と視線領域ＳＲ２とが重なる重複領域ＤＲ１のうち、一方の視線領域と他方の視線領域との境界領域に対象物Ｔが位置すると判断し、対象物Ｔの位置を算出する。これにより、重複領域ＤＲ１から境界領域へと、真値が存在する領域が狭められる。 （もっと読む）

本発明の主題は、表面特性を用いて、対象物の特定および／または認証をするための方法である。本発明のさらなる主題は、表面を走査するためのセンサである。 （もっと読む）

【課題】コンピュータ上で深さ方向の温度分布を対象物体を回転しながら確認することができる温度画像の三次元化装置を提供する。
【解決手段】既知の座標を有する複数の豆電球２２を基準点とする基準物２１と、対象物１及び基準物２１からの発熱に基づいて対象物１の三次元情報を取得する三次元情報取得手段２７と、実座標と温度画像座標とのキャリブレーションを行なう座標キャリブレーション手段３１と、実座標から温度画像情報の温度画像座標への変換式を決定する変換式決定手段３２と、決定された変換式に基づいて対象物１の三次元情報に係る全ての実座標を温度画像座標に変換する座標変換手段３３と、変換された三次元情報の温度画像座標に基づいて三次元情報の温度情報を抽出する温度情報抽出手段３４と、温度画像情報中の特定の温度画像座標と三次元情報中の特定の実座標とを対応付ける座標対応付手段３５と、を備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】次世代の道路ネットワークデータを容易に生成できるようにする。
【解決手段】車線中心点群算出部１１０は、各車線の側線上に位置する複数点を示す車線側線点群データ１８１に基づいて、各車線の中心線上に位置する複数点を示す車線中心点群データ１９１を生成する。車線毎道路線形データ生成部１２０は、車線中心点群データ１９１に基づいて、各車線の線形を示す車線毎道路線形データ１９２を生成する。停止線／横断歩道ノードデータ生成部１３０は、車線中心点群データ１９１と各停止線および横断歩道上に位置する複数点を示す停止線／横断歩道点群データ１８２とに基づいて、停止線／横断歩道ノードデータ１９３を生成する。道路ネットワークデータベース生成部１４０は、車線毎道路線形データ１９２と停止線／横断歩道ノードデータ１９３とに基づいて、道路の線形および停止線／横断歩道を車線毎に示す道路ネットワークデータ１９４を生成する。 （もっと読む）

【課題】高い分解能を実現することができるフォトマスク、投影装置、位置計測システムおよびフォトマスク製造方法を提供すること。
【解決手段】フォトマスク１０には、照射光源２１からの光が照射される。フォトマスク１０は、照射光源２１から照射された光を透過させる透過部１２ｂおよび当該光を遮蔽する遮蔽部１２ａを有するバイナリ部１２と、遮蔽部１２ａより小さな面積の複数の小面積図形からなり、照射光源２１から照射される光を遮蔽する微小遮蔽部１５ａを有する階調部１３と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】被測定膜の厚さを簡便に測定可能とするレーザ変位計を提供する。
【解決手段】レーザ変位計は、波長可変レーザ光源１１と、軸上色収差光学系１３と、被測定膜ＳＡの表面及び裏面にて反射されたレーザ光を軸上色収差光学系１３を介して受光してレーザ光の被測定膜ＳＡの表面及び裏面上での結像状態を検出する光検出部１４と、波長可変レーザ光源を制御して出力されるレーザ光の波長を変化させる制御部２１とを備える。制御部２１は、光検出部１４により被測定膜ＳＡの表面及び裏面上でのレーザ光の合焦が検出された場合におけるレーザ光の波長に基づき被測定膜ＳＡの表面位置ｈｓ及び仮の裏面位置ｈｂｄを求め、表面位置ｈｓ及び仮の裏面位置ｈｂｄから被測定膜ＳＡの仮の厚さＴｄを特定する。制御部２１は、被測定膜ＳＡの膜種、仮の裏面位置ｈｂｄ、仮の厚さＴｄに基づき被測定膜ＳＡの真の厚さを特定する。 （もっと読む）

【課題】 撮影による画像の取得から正射投影画像の作成までを簡易化し、正射投影画像を精度良く作成する画像処理方法、装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】 本発明は、所定間隔で離れた二つの標点を持つ被写体が対象面上に配置された状態で対象面を撮影機器によって撮影した画像の情報、撮影条件に関する情報および撮影機器の光学特性に関する情報を取得する情報取得工程と、撮影条件に関する情報および撮影機器の光学特性に関する情報から射影変換式を定めた上で、被写体における二つの標点間の距離情報を考慮して射影変換式を決定する要素を調整し、調整された射影変換式に基づき、撮影画像を正射投影画像に変換する画像変換工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】回折を用いる場合に所望の次数の回折光の全ての波長を検出に利用できるようにする。
【解決手段】反射光のうちワーク１表面付近で焦点を結んだ光以外の光の通過を規制する光ファイバ１２１と、光ファイバ１２１を通過した反射光を同一平面内に広がる回折光に分岐させる回折光学素子１２２と、回折光に含まれる１次回折光と高次回折光とのうちで１次回折光のみを検出する１次回折光検出手段１３０とを有する高さ検出手段１２０を備え、１次回折光検出手段１３０は、回折光を集光する回折光集光レンズ１３１と、集光される回折光を、同一平面外の方向へ波長毎に異なった角度で屈折させる波長分散フィルタ１３２と、１次回折光が集光される箇所にのみ検出部を有し、１次回折光のみの波長毎の光強度を検出する波長検出センサ１３３と、色収差レンズ１０２によって集光される白色光の各波長の焦点距離を記憶した制御マップを格納するメモリ１３４とを含む。 （もっと読む）

【課題】屋内の移動体の位置検出に好適に適用でき、容易に導入可能な位置検出装置を提供する。
【解決手段】位置検出装置は、それぞれ異なる位置に配設されかつそれぞれ異なる光学特性を有する光を発光する屋内照明としての複数の発光部２ａ，２ｂと、前記発光部２ａ，２ｂから発光された光を受光して光強度信号を出力する受光部４を有する移動体と、前記複数の発光部２ａ，２ｂが配設されている位置と発光特性を対応づけた発光部情報５を格納する記憶部１４，１７と、前記受光部から出力された信号に含まれるそれぞれ異なる光学特性ごとの光強度信号と、前記記憶部１４，１７に格納されている発光部情報５に基づいて、前記移動体の位置を検出する位置検出演算部６とを備える。 （もっと読む）

【課題】被測定物の三次元形状の測定精度をより一層向上させることができる三次元測定方法を提供する。
【解決手段】被測定物の表面に沿ってプローブを走査して、ＸＹ座標データを取得するとともに、光干渉計によりＸＹ座標データに対応するＡ相正弦波信号値とＢ相正弦波信号値とを取得し、それらの信号値の位相差と２乗和平方根とを算出し、位相差に基づいてＺ座標データを取得するとともに、２乗和平方根によりプローブのＺ軸方向に対する傾き角度を求め、当該傾き角度からプローブと被測定物との接点の位置ズレ量を算出し、ＸＹ座標データとＺ座標データと位置ズレ量とを合成して、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸における各座標データを取得し、被測定物の三次元形状を測定する。 （もっと読む）

本開示は、複数のノード（１２）を含み、各ノードは、指向性を有するセンサ（１８）と、通信モジュール（１４）と、指向性を有するセンサ（１８）から較正オブジェクト（２０）のローカルな測定値を受信し、通信モジュール（１４）を介して近傍ノード（１２）から較正オブジェクト（２０）の追加的な測定値を受信し、ローカルな及び追加的な測定値に応じて較正パラメータの初期集合を推定し、通信モジュール（１４）を介して近傍ノード（１２）から較正パラメータの追加的なセットを受信し、較正パラメータの追加的な集合に応じて較正パラメータの更新された集合を再帰的に推定するよう構成されたプロセッサ（１６）とを有する、センサネットワーク（１０）に関する。カメラノード（１２）の大規模ネットワーク（１０）を構成する更なるシステム及び方法が開示されている。
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【課題】測定線に沿う物体３４の正反射面の相対位置を測定する方法において、正反射面の傾斜角の許容範囲を広くする。
【解決手段】 （ａ）少なくとも１本の集束光ビーム３８を測定線上の公称位置４０に集束させ、正反射面からの反射ビーム４４を形成する。（ｂ）検出器平面５０における反射ビーム４４の像を記録する。（ｃ）検出器平面５０内の反射ビーム４４の像の位置を決定する。（ｄ）その反射ビームの像の位置を測定線に沿う公称位置４０からの正反射面の変位に変換する。工程（ａ）において、複数本の集束光ビーム３８を公称位置４０に集束させることが好ましい。 （もっと読む）