【課題】多様な表面状態を有する計測対象物に対して、高速に精度よく変位を計測する。
【解決手段】対物レンズ６を光軸に沿って移動させる共焦点光学系を備える変位センサにおいて、レーザダイオード１からの投射光を、シリンドリカルレンズ４によってスリットビームとし、光軸と直行するＹ軸側が計測対象物９０表面で集光するように絞られ、光軸と直行するＸ軸が表面からの反射光成分を平均化するために引き伸ばされた態様で照射する。計測対象物９０の表面からの反射光はレーザダイオード１と共役な位置に配置された開口５ａを通してフォトダイオード２で受光する。開口５ａは、Ｙ軸が短く且つＸ軸が長い形状のスリットである。受光信号がピークとなる対物レンズ６の位置から表面の変位を計測する。 （もっと読む）

【課題】計測装置において、計測対象物の変位計測または二次元画像の撮像について、より高度な計測を実現する。
【解決手段】コントローラ２００では、センサヘッド１００の変位計測部に、計測対象物５００の高さの計測のためのフォトダイオード２の受光信号を出力させ、これに基づき、計測対象物５００の表面の高さを計測する。次に、コントローラ２００では、計測対象物５００の高さに基づいて、画像取得タイミングを決定する。具体的には、テーブルから、算出された計測対象物５００の高さＴに対応するピント調整値Ｐが取得され、そして、当該ピント調整値Ｐを実現するタイミングで画像取得信号を撮像素子９に送信する。これにより取得された画像より、計測対象物５００の高さに基づいて、計測対象物５００上の２点間の長さを演算する。 （もっと読む）

【課題】銀メッキが施されたリードフレーム及びリードフレーム封止体の外観不良を確実で簡易に検出可能であるとともに、リードフレーム及びリードフレーム封止体の検査を兼用可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】所定位置に配置された被検査体に向けて青色の光を照射する青色照明部と、被検査体に対して青色照明部と同じ側に配置され、被検査体の画像を撮像する撮像部と、被検査体に対して青色照明部と同じ側に配置され、被検査体に向けて赤色の光を照射する赤色照明部と、被検査体を挟んで撮像部と対向する位置に配置され、撮像部に向けて光を照射する第３の照明部と、被検査体の画像に基づいて２値化画像を生成するとともに、２値化画像に基づいて被検査体における不良の有無を判定する画像処理手段とを備え、青色照明部、赤色照明部及び第３の照明部の点灯を切換えつつ撮像部が被検査体の画像を撮像する。 （もっと読む）

【課題】光学系を変更することなく、撮像画像内のスポット中心の位置を確認できるようにする。
【解決手段】膜厚サンプル３５を、例えば、Ｘ方向に位置をずらして、複数の位置でそれぞれ撮像するとともに、各位置でのスポット光に基づいて膜厚をそれぞれ計測し、撮像した画像を処理して、画像の中心Ｐと膜厚サンプル３５の中心Ｐ１との中心位置の差を算出し、この中心位置の差に対する膜厚の変化に基づいて、画像の中心Ｐに対するスポット光のＸ方向のずれ量を求め、同様に、画像の中心Ｐに対するスポット光のＹ方向のずれ量を求める。 （もっと読む）

【課題】 被測定面に設けられた、光学的に距離を測定する指標となる線状溝の交差位置を容易に見出すことができる光学式３次元測定機の検査マスタ用基準部材を提供する。
【解決手段】 検査マスタのマスタ本体に取り付けられる基準部材９の被測定面９Ａを、球体表面に形成された円形の平坦面とし、この被測定面９Ａには、その中心付近に３次元測定機から照射された測定光を乱反射させる微細な線状溝Ｇが被測定面９Ａの中心位置Ｏで互いに交差するように複数設けられているとともに、線状溝よりも幅広のマーカー溝Ｍが、それぞれの線状溝Ｇの外側に隣接して被測定面９Ａの径方向に放射状に複数設けられている。マーカー溝Ｍは、測定光を線状溝より強く乱反射するため、測定の指標となる中心位置Ｏを容易に見出すことできる。 （もっと読む）

【課題】 広い領域のステレオ撮影に必要な複数のカメラを設置する際に、容易にキャリブレーションを実行する技術を提供する。
【解決手段】 所定の空間領域(50)に対して異なる方向から撮影する二台のカメラと、その二台のカメラの撮影タイミングを制御する撮影制御装置と、前記所定の空間領域内を移動可能な被写体(たとえばラジコンヘリコプタ31)とを備える。 前記被写体(30)は、三次元の位置座標を取得可能なＧＰＳ装置(32)を搭載し、 前記撮影制御装置は、所定の空間領域(50)内の被写体(30)を前記二台のカメラ(11L,11R)にて撮影して画像データを取得する。 （もっと読む）

【課題】駆動機構の発熱、プローブの重量増や大型化などの問題を解消できるとともに、能率的な測定を実現できる非接触形状測定機および測定方法を提供する。
【解決手段】非接触プローブ１０と、被測定物Ｗ１，Ｗ２を載置するＸＹステージ２と、非接触プローブ１０とＸＹステージ２とを相対移動させる相対移動機構とを備え、非接触プローブ１０は、同軸上でかつ互いに離れる方向に測長光Ｌ２を出射し、その測長光Ｌ２が被測定物Ｗ１，Ｗ２によって反射した反射光を用いて、被測定物Ｗ１，Ｗ２までの距離を求める干渉計からなる一組の測長手段１１Ａ，１１Ｂを含んで構成されている。 （もっと読む）

【課題】薄板状の被測定物の厚み分布の測定において，簡易な装置構成により，被測定物の振動の影響を受けずに高精度で厚み分布の測定を行うことができること。
【解決手段】被測定物１の表裏各面について，レーザ光源２の出射光を２分岐したビーム光をさらに２分岐させて参照面及び表裏相対する測定点１ａ，１ｂに反射させ，参照光と物体光とを直交する偏光成分とする非干渉光Ｐａｘ，Ｐｂｘを得て，それを複数に分岐させ，分岐光のうちの１つ以上について波長板ａ２６１，ａ２６３，ａ２６４等で直交する偏光成分の位相差に変化を与えて位相シフトを行い，位相シフト後の分岐光における参照光及び物体光の偏光方向を基準とする共通の偏光成分の抽出により干渉光Ｑａ１〜Ｑａ４，Ｑｂ１〜Ｑｂ４を得て，それらの強度から前記非干渉光における前記参照光及び前記物体光の偏光成分の位相差を算出し，その位相差の分布から被測定物１の厚み分布を算出する。 （もっと読む）

【課題】生産性を低下させることなく、基板レベルでの測定を行うことのできるリソグラフィ装置の提供。
【解決手段】シングル・ステージ又は複数ステージのリソグラフィ装置において、例えば基板テーブル交換、及び／又は基板のロード及びアンロードの間、テーブルが液体供給システムに対して閉じ込め用の面を形成する。一実施例では、テーブルは、例えば基板テーブル交換、及び／又は基板のロード及びアンロードの間に投影ビームの測定を行うセンサを有している。 （もっと読む）

【課題】キャリブレーション作業を自動で手間をかけることなく行なうことを可能としたロボットビジョンシステムを提供することである。
【解決手段】提案するロボットビジョンシステムは、第１および第２のカメラにより構成されるステレオカメラ１と、アームを有するロボット４と、ステレオカメラ１およびロボット４を駆動し制御する制御装置２と、ステレオカメラ１の基礎行列算出に用いる基礎行列算出用冶具３をロボット４のアーム先端部に固定する機構と、を有する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、検査対象物の面の状態を表わす画像を生成することができるようにする。
【解決手段】駆動部１２によって、水平面上で板状の検査対象物を移動させる。また、レーザ照射部１４によって、検査対象物の移動方向と直交するする方向を長さ方向とするレーザスリット光を、検査対象物に対して照射し、エリアカメラ１８によって、検査対象物からのレーザスリット光の反射光を含む領域を撮像する。画像処理部３２によって、複数の撮像画像の各々から、反射光を表わす画素ラインを抽出し、画素ラインの抽出結果の各々を撮像順に並べて合成することにより、検査対象物の面状態を表わすプレーン画像を生成する。 （もっと読む）

【課題】高い測定精度を有する形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置１００は、被測定物体１５の形状を測定して測定値を出力するプローブ１２と、所定の空間内でプローブ１２を移動させる移動機構部であるアーム部１１に、プローブ１２を着脱する取付部１６と、空間内におけるプローブ１２の空間座標を測定する空間座標測定部３０と、プローブ１２により測定された被測定物体１５の測定値を、空間座標測定部３０により測定されたプローブ１２の空間座標により補正する制御部２０，５０と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】
高精度な変位測定装置を提供する。
【解決手段】
被測定物１の変位量を測定する変位測定装置１００であって、ベース２までの距離に基づいて第一の原点位置を検出する測距センサー５と、被測定物１までの距離に基づいて第二の原点位置を検出する測距センサー６と、測距センサー５、６を搭載して測距センサー５、６の測距方向に移動するステージ４と、測距センサー５、６を移動させて検出された第一の原点位置及び第二の原点位置を利用して、ベース２に対する被測定物１の変位量を測定するコントローラ７とを有する。 （もっと読む）

【課題】高速な振動現象の下にあっても、エンジンマウントのマウント軸として配設されるボルトの中心の３軸並進量、及び、該ボルトの３軸回転量を高精度に算出することができる、エンジンマウントの変位量計測方法を提供する。
【解決手段】ボルト１２の一端に配設した検出体３４の３次元座標をステレオカメラ３３で計測することにより、ボルト１２の中心Ｋの位置座標Ｏ及びボルト１２の姿勢角を算出するカメラ計測工程と、ボルト１２の一端に配設した加速度ピックアップ３１で計測したボルト１２の３軸加速度を二階積分することにより、ボルト１２の３軸変位量を算出する加速度検出具計測工程と、ボルト１２の姿勢角に基づいてボルト１２の３軸変位量をカメラ座標系における変位量に変換する変位量変換工程と、ボルト１２の中心Ｋの位置座標Ｏに基づいて加速度検出具計測工程において行う二階積分の初期値を修正する座標修正工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】非測定物の見かけの形状をできるだけ歪ませることなく形状計測できると共に、長い物や連続的に移動する物であっても形状計測できる非接触形状計測装置を提供する。
【解決手段】非接触形状計測装置は、被測定物に対して、一方向に沿って光強度が周期的に変化する複数の位相パターンから一つの位相パターンを選択して位相シフトさせながら、前記選択した位相パターンを有する光を照射する照明装置と、選択した前記位相パターンごとに、前記被測定物からの光を画像信号として、前記一方向に垂直な方向に沿った１ラインごとに取り込むラインセンサカメラと、選択した前記位相パターンごとに得られた前記画像信号に基づいて、前記被測定物の各箇所の位相を算出し、前記位相に基づいて前記被測定物の各箇所の高低差を算出する演算部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウェーハを検査するための検査システム。
【解決手段】 この検査システムは、広帯域照明を供給するための照明設定を備える。広帯域照明は、異なるコントラスト、例えば明視野および暗視野広帯域照明であることができる。検査システムは、第１の画像収集装置および第２の画像収集装置を更に備え、半導体ウェーハが動く間、各々が半導体ウェーハの画像を収集するために広帯域照明を受け取るために構成される。システムは、広帯域照明の平行を可能にするための複数のチューブレンズを備える。システムはさらに、安定化メカニズムおよび対物レンズ組立体を備える。システムは、細線照明エミッタ、および半導体ウェーハの３次元画像をそれによって収集するために細線照明を受け取るための第３の画像収集装置を更に備える。システムは、第３の画像収集装置が、複数の方向に半導体ウェーハから反射される照明を受け取ることを可能にするための反射器組立体を備える。 （もっと読む）

ウェブの移動エンコーダ信号を検知したウェブ基準信号に位相固定すること含む、ウェブ位置の決定を向上させるための手法。基材の長手方向軸に沿って配置された基準が検知され、対応するセンサ信号が生成される。推定ウェブ位置は、１つ以上のエンコーダ信号によって提供される。センサ信号とエンコーダ信号との間の位相差が計算され、位相差に基づいてウェブ位置の誤差が決定される。ウェブ位置の誤差信号は、ウェブ位置の決定の精度を向上させるエンコーダ信号を調整するためにフィードバックすることができる。
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【課題】キャリアおよびキャリアに収容された半導体ウエハの姿勢を精度良く測定することのできる形状測定機を提供する。
【解決手段】測定対象であるキャリア１８を支持するステージ１２，２０と、測定対象の形状を測定する測定部１０とを有する。ステージ１２，２０は、キネマティックカップリングによって測定対象を支持するために、キネマティックカップリングピン２０ａ，２０ｂ，２０ｃを有する。 （もっと読む）

【課題】飛行体に装着された映像獲得カメラで撮影された単一映像情報から地上制御点を計算して姿勢角センサーの三次元誤整列情報を定量的に抽出して補正する単一映像を利用した姿勢角センサー三次元誤整列補正方法に関する。
【解決手段】地上制御点基準ベクターの計算段階と、映像情報を利用した地上制御点観測ベクターの計算段階と、計算された前記地上制御点基準ベクターと前記地上制御点観測ベクターを利用した姿勢誤差行列計算段階と、前記姿勢誤差行列計算値を利用した姿勢角センサー誤整列の補正段階とを含んで成り立つ。 （もっと読む）

【課題】プリント板の各点から得られる正反射光及び散乱反射光の２次元の光量分布を基に、はんだ箇所の高さを算出するときの基準位置を容易に求める技術を提供する。
【解決手段】基板１に垂直に近赤外光を照射し散乱反射光を受け、かつ斜めの角度で近赤外光を照射しその正反射光を受ける変位センサ２を備え、度数算出手段４は、散乱反射光量と正反射光量とを２次元とするヒストグラムを生成する。パラメータ決定手段５は、ヒストグラム上で散乱反射光量及び正反射光量が高い側においてほぼピークとなる度数分布を有する基準分布を選定し、基準分布の裾付近の２次元の範囲をパラメータとして決定する。測定検査部１００は散乱反射光量及び正反射光量がパラメータの範囲内にある基板上の位置であって、はんだの高さを求めようとするはんだ箇所に近い位置を基準位置として、はんだの高さを求める。 （もっと読む）