【課題】計測装置の測長軸の調整を不要とし、簡便な取り付け及び光学素子の汚染防止の点で有利な技術を提供する。
【解決手段】参照面と被検面との間の距離を計測する計測装置であって、光源からの光を分割させる光分割素子と、前記参照面、前記被検面及び前記光分割素子を内部に収納すると共に、前記内部において前記参照面及び前記光分割素子を固定するハウジングと、前記ハウジングの外部に設けられ、前記光分割素子から前記参照面までの第１の光路長と前記光分割素子から前記被検面までの第２の光路長とが等しくなるときの前記被検面の位置を示す測長基点を表示する第１の表示部と、前記ハウジングの外部に設けられ、前記第２の光の光路に平行な軸を示す測長軸を表示する第２の表示部と、前記参照面と前記被検面からの反射光との干渉信号から前記参照面と前記被検面との間の距離を算出する処理部と、を有することを特徴とする計測装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】スキャナを用いた形状測定システムにおいて、いわゆる手振れによる測定誤差を低減することをその目的とする。
【解決手段】形状測定システム１は、多関節アームの先端に取り付けられ、測定対象Ａに対し手動で移動可能であり、測定対象Ａに対しレーザ光を照射しその反射光を、光センサ６１の複数の受光ラインで順次検出するスキャナ２１と、スキャナ２１の手振れ情報を光センサ６１の受光ライン毎に取得する加速度センサ４２と、各受光ラインのスキャナ２１の手振れ情報に基づいて、受光ライン毎に画像の位置情報を補正する手振れ補正部８０と、スキャナ２１の画像情報と手振れ補正部８０で補正された画像の位置情報に基づいて、測定対象Ａの画像を生成する画像生成部１００と、を有する。 （もっと読む）

【課題】薄いガラスシートのような可撓性物体(１４０)に無重力下形状を推定するための方法及び装置(１００，２００)を提供する。
【解決手段】いくつかの実施形態において、ベッドオブネイル(ＢＯＮ)ゲージ(１００)を用いて推定無重力下形状が生成され、次いで第２のゲージ(２００)を用いてさらに高い空間分解能で形状が測定されて、ＢＯＮゲージのピン(１１０)の間の理論サグが第２のゲージで測定された形状から差し引かれる。別の実施形態において、物体(１４０)の両面で形状測定が実施され、推定無重力下形状の信頼度を評定するために用いられる。別の実施形態において、ベッドオブネイルゲージ(１００)はピン(１１０)の高さ調節に最小二乗法最小化手順を用いる。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置では検出倍率を上げて微細欠陥検出感度を向上させるため、焦点深
度が浅くなり、環境変動によって結像位置がずれ、欠陥検出感度が不安定になる課題があ
る。
【解決手段】被検査基板を搭載して所定方向に走査するＸＹステージと、被検査基板上の
欠陥を斜めから照明し、その欠陥を上方に配した検出光学系で検出する方式で、この結像
状態を最良の状態に保つために、温度及び気圧の変化に対して、結像位置変化を補正する
機構を備えたことを特徴とする欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】振動の影響による３次元形状の測定誤差を低減した形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、被測定物をライン光で照明して撮像するプローブと、プローブと被測定物とを相対移動させるリニアモータ１７と、照明の状態と撮像の状態から被測定物の形状を測定する形状演算部３４と、プローブの振れを検出する振れ検出部２８とを備え、振れ検出部２８に検出された振れに基づいて測定の補正を行うようになっている。 （もっと読む）

【課題】校正用撮像対象物を従来のものより小型化しても精度が高いカメラ校正を行うことができるカメラ校正装置を提供する。
【解決手段】イメージセンサ１４０を有するカメラ１２０と、イメージセンサ１４０と既知の位置関係にある加速度センサ１５０と、少なくとも２点の特徴点を有する校正用撮像物がカメラ１２０によって撮像された撮像画像と加速度センサ１５０によって検知された傾きとに基づいて、カメラ１２０の撮像位置および撮像方向を算出するカメラ校正部１６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】測距精度を向上させることが可能な撮像装置を提供する。
【解決手段】この撮像装置５０は、被写体（図示せず）に対向する位置に配設され、複数のレンズ１ａ、１ｂをアレイ状に配列したレンズアレイ１と、レンズアレイ１の像面側に設けられ、複数のレンズにより結像された被写体の縮小像（以下、個眼像と呼ぶ）の集合である複眼像を撮像するＣＭＯＳセンサ（撮像素子）４と、ＣＭＯＳセンサ４により撮像された複眼像を処理する演算器１０と、レンズアレイ１を構成する隣接する各レンズ間での光線のクロストークを防止する遮光壁２と、を備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】測定対象の特性を簡易に測定可能な測定システムを提供する。
【解決手段】蛍光を発する蛍光体２と、蛍光体２から発せられた後に測定対象である膜１００の特性に依存する変調を波長選択的に与えられた蛍光を受光する光学系１０と、変調を与えられた蛍光の減衰特性を測定する減衰特性測定部３０１と、減衰特性に基づいて、測定対象である膜１００の特性を特定する特定部３０２と、を備える測定システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】サンプルに形成された薄膜の除去工程中に該薄膜に関する情報を、渦電流プローブを使用して実状態で取得する方法を開示する。
【解決手段】渦電流プローブに検出コイルを設ける。渦電流プローブの検出コイルに交流電圧を印加する。渦電流プルーブの検出コイルがサンプルの薄膜に近接したときには、該検出コイルで第１の信号を測定する。該検出コイルが、既知の組成を有しおよび／または該コイルから離れて設けられた基準部材に近接する位置にあるときには、該検出コイルで第２の信号を測定する。第１の信号に含まれる利得及び／又は位相の歪みを第２の信号に基づいて校正する。校正した第１の信号に基づいて薄膜の特性値を決定する。上述の方法を実行する装置を更に開示する。加えて、研磨剤でサンプルを研磨し、このサンプルを監視する化学機械研磨（ＣＭＰ）システムを開示する。このＣＭＰシステムは、研磨テーブルと、研磨テーブル上でサンプルを保持する構成であるサンプルキャリヤと、渦電流プローブとを含む。 （もっと読む）

マイクロリソグラフィ投影露光装置は、光学面（４６；Ｍ６）と、光学面上の複数の別々の区域において光学面に関連するパラメータを測定する測定デバイス（９０）とを含む。測定デバイスは、個々の測定光ビーム（９４）を光学面上の区域に向けて誘導する照明ユニット（９２）を含む。各測定光ビームは、区域のうちの測定光ビームに関連付けられた少なくとも一部分と、隣接区域のうちの測定光ビームに関連付けられていない少なくとも一部分とを照明する。検出器ユニット（９６）は、各測定光ビームが光学面と相互作用した後に各測定光ビームに関する特性を測定する。評価ユニット（１０２）は、選択された区域に関連付けられた測定光ビームと、選択された区域に隣接する区域に関連付けられた少なくとも１つの測定光ビームとに対して検出器ユニット（９６）によって判断された特性に基づいて選択された区域に関する面関連パラメータを判断する。 （もっと読む）

【課題】表示部に表示されないデータを仮想オブジェクトとして常に観察可能な構成を実現する。
【解決手段】例えばＰＣを適用したデータ処理において、削除処理やコピー処理の対象としたデータなどＰＣの表示部に表示されないデータを仮想オブジェクトとして設定し、ユーザの手の指などに貼り付けて、常に観察することを可能な構成とした。本構成によれば、ＰＣの表示領域に表示されないデータをＰＣの表示領域以外の空間に貼り付けて表示して観察することが可能となり、データ処理の効率を高めることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】鉄道車両用車輪の踏面部及びフランジ部の形状や、車輪直径、フランジ高さ、フランジ厚さ、左右車輪間隔の距離等の車輪寸法を迅速、正確に計測する車輪形状測定装置を提供する。
【解決手段】車両が走行する線路近傍に、車輪が計測位置に到達したことを検出する車輪計測位置検出センサー、該センサーの信号をトリガーとし車輪の内側からフランジ部と基準溝に向けて帯状の広がりを有するレーザー光を照射して車輪の半径方向の形状測定を行う内側面レーザー変位計及び前記センサーの信号をトリガーとし車輪の外側から踏面部とフランジ部に向けて帯状の広がりを有するレーザー光を照射して車輪の半径方向の形状測定を行う踏面レーザー変位計を設けると共に、前記２つのレーザー変位計により形状測定されたデータを受信し補正処理を行い記録保存する計算機部を有してなる車輪形状測定装置。 （もっと読む）

【課題】高い測定精度を有する形状測定装置を提供する。
【解決手段】形状測定装置１００は、被測定物体１５の形状を測定して測定値を出力するプローブ１２と、所定の空間内でプローブ１２を移動させる移動機構部であるアーム部１１に、プローブ１２を着脱する取付部１６と、空間内におけるプローブ１２の空間座標を測定する空間座標測定部３０と、プローブ１２により測定された被測定物体１５の測定値を、空間座標測定部３０により測定されたプローブ１２の空間座標により補正する制御部２０，５０と、を有して構成される。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板と接着剤の屈折率差の大小に依存することなく、接着剤の膜厚を算出することを可能とする。
【解決手段】膜厚測定装置１は、基台１１上に設けられるとともに被検物４を載置させるための加熱器１２と、被検物４の加熱温度を制御するための加熱制御部１４と、被検物４の上方に配置されていて加熱された被検物４の膨張による高さ方向の変化量を測定するためのレーザー変位計１３と、被検物４の接着剤３の線膨張係数を入力するための入力部１５と、レーザー変位計１３により測定した被検物４の高さ方向の変化量、加熱温度、入力部１５で入力した接着剤３の線膨張係数に基づいて接着剤３の膜厚を算出する演算部１６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】カメラ装置の撮影領域にカメラ座標系を再設定する際に、カメラ装置の撮影領域にカメラ座標系を短時間で簡単に正確に設定することができるモーショントラッカシステムの提供。
【解決手段】モーショントラッカシステムであって、基準対象物３０に取り付けられた少なくとも３個の光学マーカー４を備え、カメラ装置２の撮影領域にカメラ座標系を設定する座標系設定部２７と、カメラ座標系における少なくとも３個の光学マーカー４の位置であるキャリブレーション情報を作成してキャリブレーション情報記憶部４７に記憶させるキャリブレーション情報記憶制御部３１と、基準対象物３０に取り付けられた光学マーカー４を撮影することで得られた光学マーカー位置情報と、キャリブレーション情報記憶部４７に記憶されたキャリブレーション情報とに基づいて、カメラ装置２の撮影領域にカメラ座標系を再設定する座標系再設定部３２とを備える。 （もっと読む）

【課題】配管に温度変化がある場合にも、適切に歪を検知することができる歪検知用システム及びこれを用いた歪検知方法を提供する。
【解決手段】配管Ｍに、当該配管の温度及び歪による温度・歪値を計測するための歪検出用光ファイバケーブル１と、上記温度に相当する温度補正値を計測するための温度補償用光ファイバケーブル３とを固設し、かつ歪検出用光ファイバケーブル及びこの一端部にパルス光を入射させるとともに、他端部に連続光を入射させる光源並びにブリルアン散乱光を検出する検出器を有するＰＰＰ−ＢＯＴＤＡ原理に基づいた歪検出用センサと、温度補償用光ファイバケーブル及びこの一端部にパルス光を入射させるとともに、他端部に連続光を入射させる光源並びにブリルアン散乱光を検出する検出器を有するＰＰＰ−ＢＯＴＤＡ原理に基づいた温度補償用センサとを設けた。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の雰囲気温度を反映させて高精度に形状測定ができるようにする。
【解決手段】光の強度が周期的に変化する縞状の光パターンを検査対象物１００の表面上に照射する光パターン照射装置２と、光パターンが照射された検査対象物１００の画像を撮影する撮影カメラ３と、検査対象物１００と光パターンとの相対位置関係を変化させる変位装置４と、検査対象物１００の雰囲気温度を制御可能な温度制御装置５と、撮影カメラ３及び温度制御装置５からの情報に基づいて検査対象物１００の各部位の高さ情報を算出する形状計測手段２１とを備え、形状計測手段２１は、温度制御装置５により検査対象物１００の雰囲気温度が予め決められた温度となった状態で、撮影カメラ３により検査対象物１００の画像を撮影させ、その少なくとも３つの画像上の光の強度分布に基づいて位相シフト法により検査対象物１００の各部位の高さ情報を算出する。 （もっと読む）

【課題】空調装置で生じた空気振動の、位置計測用のレーザ干渉計のレーザ光軸での位相と、波長センサによる波長検出位置での位相とのずれに起因する補正誤差を低減する。
【解決手段】位置計測システムは、レーザ光の干渉を利用して測定対象の位置を計測するレーザ干渉計と、レーザ光の波長の変化を検出する波長検出器とを有する。そして、位相補正器は、空調装置の空気振動源から波長検出器までの空気振動が伝わる第１経路と、空気振動源からレーザ干渉計の光路までの空気振動が伝わる第２経路との長さの差に基づいて決定された、波長検出器と光路における空気振動の位相差に基づいて、波長検出器で検出される波長変化を補正する。位置計測器は、補正された波長変化に基づいてレーザ干渉計による計測値を補正する。ここで、位置計測システムは、上記第２経路の長さよりも、第１経路の長さの方が短く構成されている。 （もっと読む）

広範囲に及ぶ対象物の材料強度は、第１の距離測定装置が対象物の第１の主表面までの距離を決定し、第２の距離測定装置が第１の主表面に対向する対象物の第２の主表面前の距離を決定する、２つの距離測定手段を使用することによって効率的に決定することができる。Ｘ線によって参照手段に基づいて第１の距離測定手段と第２の距離測定手段の間の参照距離を決定することによって、規模が大きいことによる潜在的な測定誤差が回避されるならば、第１の主表面と第２の主表面の間の対象物の厚みは、高い精度と速度をもって決定することができる。 （もっと読む）

広範囲に及ぶ対象物の材料強度は、第１の距離測定装置が対象物の第１の主表面までの距離を決定し、第２の距離測定装置が第１の主表面に対向する対象物の第２の主表面前の距離を決定する、２つの距離測定手段を使用することによって効率的に決定することができる。Ｘ線によって参照手段に基づいて第１の距離測定手段と第２の距離測定手段の間の参照距離を決定することによって、規模が大きいことによる潜在的な測定誤差が回避されるならば、第１の主表面と第２の主表面の間の対象物の厚みは、高い精度と速度をもって決定することができる。 （もっと読む）