【課題】複数のステレオカメラによって大きな物体を計測する際にステレオカメラ間の座標変換を高精度に行う方法がなかった
【解決手段】校正対象として光線に照射された点を用い、複数のステレオカメラ間で平面あるいは直線による拘束をかけた状態で座標変換のパラメータを計算する。 （もっと読む）

【課題】エッジ部分の形状やウェハ自身の反りなどに対応可能な観察装置を提供すること。
【解決手段】被観察物（半導体ウェハ１０のエッジ部分１１）を観察する観察部２０ａ、２０ｂ、２０ｃと、前記観察部を支持する支持部材（ドーム３０、ボックス４０）と、前記観察部を、観察中心Ａを中心とした円弧に沿って移動させる駆動部（Θ軸モータ５０、Φ軸モータ６０、自走駆動機構２１ａ、２１ｂ、２１ｃ）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】鏡面と拡散面とが混在するような被検物においても、精度良く表面形状を測定する。
【解決手段】投光板２は、異なる配光特性の光源１−１乃至１−３の光を、大凸部２ａ，小凸部２ｂで拡散させて被検物４に投光する。角度測定部５ｂは、配光特性毎に、撮像部３により撮像された被検物４に映り込んだ投光部２の大凸部２ａにより反射されてくる光の強度比に基づいて、投光角θＬを算出する。三角法測定部５ｃは、基線長Ｌｂ、撮像角θｃ、および投光角θＬで、三角法により被検物４の表面形状を測定する。光切断法測定部５ｆは、被検物４に投光するスリット光発光部７を制御して、スリット光を発光させ被検物４上の陰影より測定する。選択部５ｅは、被検物４に映り込んだ小凸部２ｂの認識の有無で表面が拡散面または鏡面を判断し、光切断法または三角法を選択して、表面形状を測定させる。本発明は、形状測定装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】傷の発見や傷の凹凸の判別を容易に行うことができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】複数の光源を有し、複数の光源を一つずつ順番に点灯させて、その度ごとに被検査物の画像を撮影する。また、被検査物表面の傷部分の周囲において、被検査物への光源からの光の入射方向と反対方向に傷部分の影が生じているか否かを検知、判定することにより、傷部分が表面から出っ張った傷なのか、引っ込んだ傷なのかを判断することができる。更に、撮影された複数の画像について排他的論理和の演算処理を行うことにより、傷部分を強調して表示させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】鏡面と拡散面とが混在するような被検物においても、精度良く表面形状を測定する。
【解決手段】投光板２は、異なる配光特性の光源１−１乃至１−３の光を、凸部２ａで拡散させて被検物４に投光する。角度測定部５ｂは、配光特性毎に、撮像部３により撮像された被検物４に映り込んだ投光部２の凸部２ａにより反射されてくる光の強度比に基づいて、投光角θＬを算出する。三角法測定部５ｃは、基線長Ｌｂ、撮像角θｃ、および投光角θＬで、三角法により被検物４の表面形状を測定する。本発明は、形状測定装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】対象物の位置や角度を簡易かつ高精度に測定して、対象物を精度よく認識する対象物認識装置等を提供する。
【解決手段】平面上の３つの基準マーカであって互いの位置関係が特定されている第１基準マーカ、およびこの平面から一定の距離にある１つの基準マーカであって第１基準マーカとの位置関係が特定されている第２基準マーカ、平面上に配置され第１基準マーカとの位置関係が特定されている第３基準マーカを有するターゲット１００を撮影するカメラ２０と、カメラ２０により撮影された５つのマーカ画像の位置関係に基づき、第１基準マーカの画像と第２基準マーカの画像と第３基準マーカの画像とをアフィン不変量を用いることで識別し、識別された第１基準マーカのマーカ画像および第２基準マーカのマーカ画像の位置関係に基づき、符号マーカの第１基準点との位置関係を演算し、ターゲット１００を識別する演算装置３０とを備える対象物認識装置２００。 （もっと読む）

【課題】測定機構（測定子）などに振動や機械的歪みが生じても、正確に被測定材の平面度を測定することができる平面度測定装置および測定方法を提供すること。
【解決手段】被測定材３の表面の変位を測定する第一の変位測定手段１１と、表面の平行度および／または表面のプロフィールが既知である標準プレート１５ａと、標準プレート１５ａの表面の変位を測定する第二の変位測定手段１２と、を備え、第一の変位測定手段１１と前記第二の変位測定手段１２は一体的に結合しており、第一の変位測定手段１１による被測定材３の表面の変位の測定と前記第二の変位測定手段１２による標準プレート１５ａの表面に変位の測定とは同時に行うことができるとともに、前記第一の変位測定手段１１の測定値に前記第二の変位測定手段の測定値１２を加算および／または減算し、該加算結果または該減算結果から被測定材３の平面度を算出する平面度演算手段をさらに備える。 （もっと読む）

【課題】対象物に反射率の高い部分と低い部分とが混在していても、対象物の測定を迅速かつ正確に行うことができる測定装置を提供する。
【解決手段】測定装置１０においては、投光素子１１からワークＷ及び測定台Ｔに線状の光が照射され、イメージセンサ１２においてその反射光が受光され、走査線毎に受光量に応じた受光信号が出力される。そして、その受光信号を入力したＣＰＵ１３において、ワークＷ及び測定台Ｔの受光位置が検出される。ＣＰＵ１３は、投光素子１１から照射する光の投光量を増減させるとともに、各投光量において検出された受光位置に基づいて、ワークＷ及び測定台Ｔの受光位置を求める。 （もっと読む）

【課題】本発明は、寸法精度の厳しい品種の平版印刷版においても十分な検査精度の得られるシート傾斜角測定方法、シート検査方法、シート検査装置、の提供を目的とする。
【解決手段】平版印刷版Ｐの搬送面に向かって投光する投光部２Ａ、４Ａと、投光部２Ａ，４Ａからの光を受光する受光部２Ｂ、４Ｂとを有する投受光部２，４を、平版印刷版Ｐの搬送方向に対して直交する方向に沿って１対配設し、投受光部２，４の夫々において、平版印刷版Ｐが投光部２Ａ、４Ａからの光を遮断する遮光タイミングを測定し、一対の投受光部２、４のうちの一の投受光部と他の投受光部とにおける遮光タイミング差と、前記平版印刷版Ｐの搬送速度Ｖと、一の投受光部と他の投受光部との距離Ｄ１とに基いて平版印刷版Ｐの前縁ｐ１の搬送方向に直交する方向に対する傾斜角θ１を求めるシート傾斜角測定方法。 （もっと読む）

【課題】薄膜干渉光を発生する測定対象物の質量と、体積とを同時に測定可能な質量・体積測定装置の提供。
【解決手段】本発明の質量・体積測定装置は、水晶振動子を有し、この水晶振動子の電極上に付着する測定対象物の質量を、振動数変化に基づいて測定する質量測定手段と、前記水晶振動子の電極上の測定対象物に光を照射する光照射器を有し、前記測定対象物の体積を、照射された光の反射光によって生じる干渉光に基づいて測定する体積測定手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】シート状の大型の被検体において、開口合成に必要な被測定領域内の各部分に対応した複数の干渉縞画像を短時間で取得することが可能で、被検体の被測定領域全域に亘る厚みムラを高精度に測定し得る大型サンプル測定用干渉計装置を得る。
【解決手段】被検体９の一面９ａ側から測定光を照射し、被検体９上の各第１領域の透過波面情報を担持した第１干渉縞画像を得る第１の干渉計ヘッド１Ａ〜１Ｇと、被検体９の他面側９ｂから測定光を照射し、被検体９上の各第２領域の透過波面情報を担持した第２干渉縞画像を得る第２の干渉計ヘッド２Ａ〜２Ｆとを、互いに隣接する第１領域と第２領域とが一部重なり合うように、かつ各々の第１領域および第２領域により被測定領域を包含し得るように配置する。 （もっと読む）

【課題】モアレ縞発生器を適用した位相遷移映写式３次元形状測定装置及びその方法を提供する。
【解決手段】この装置は、光源（１１１）及びＬＥＤ光源（１２１）の光をそれぞれ用いて格子イメージを生成し、補正面位相と測定対象物（２４０）の物体位相を獲得できるようにする第１及び第２投影格子（１１４，１２４）と、第１及び第２投影格子（１１４，１２４）で生成された格子イメージがそれぞれ透過されるようにし、測定対象物（２４０）の高さ算出のための格子イメージを得るようにする第１及び第２投影部（１１６，１２６）と、測定対象物（２４０）から反射される格子イメージを受光して映像を獲得する映像獲得部（３００）と、映像獲得部（３００）で獲得された映像に対してアンラッピングされた物体の高さを算出する中央制御部（５００）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 位置決めの正確さおよび／または強健性が改善されたリソグラフィ投影装置のアライメント・システムを提供する。
【解決手段】 リソグラフィ装置の位置決めシステムは、位置決め放射線源１、第１検出器チャネルおよび第２検出器チャネルを有する検出システム、および検出システムと連絡する位置決定ユニットを有する。位置決定ユニットは、第１および第２検出器チャネルからの情報を組み合わせて処理し、組み合わせた情報に基づいて、第２オブジェクト上の基準位置に対する第１オブジェクト上の位置決めマークの位置を決定する。 （もっと読む）

【課題】容易に計測を行うことができ、計測時間を短縮化できる計測方法、形状計測方法、計測装置及び形状計測装置を提供すること。
【解決手段】第１光量で前記被検物に光を照射する工程と、前記被検物上で散乱された第１散乱光の第１画像を画像取得装置によって取得する工程と、前記第１画像に基づいて、前記被検物のうち他の領域に比べて前記第１散乱光の光量が小さい第１領域を検出する工程とを含み、前記第１光量は、前記被検物のうち前記他の領域において、前記第１散乱光の光量が前記画像取得装置の検出可能な光量よりも大きくなるような光量である。 （もっと読む）

【課題】一段と効率良く基板を測定し得る非接触基板測定装置、非接触基板測定方法及び磁気ディスクの製造方法を提供すること。
【解決手段】円板状の基板３を基板支持部に載置して回転可能に支持するステージ１２と、前記ステージ１２に支持された基板３の主表面３ａ（３ｂ）との距離を測定する複数のセンサ１５ａ、１５ｂ（１６ａ、１６ｂ）と、前記複数のセンサ１５ａ、１５ｂ（１６ａ、１６ｂ）の測定結果に基づいて、前記基板３の形状を判断する演算部２０とを具備し、複数のセンサ１５ａ、１５ｂ（１６ａ、１６ｂ）を用いて基板３を測定することとした。 （もっと読む）

【課題】検出対象である回転体の回転角度の検出精度を向上させることができる。
【解決手段】舵角センサ１１は、ステアリングシャフト１２と一体回転する外歯車１４及びこれに噛み合う内歯車１５を備えた。外歯車１４及び内歯車１５の第１及び第２の検出面１４ａ，１５ａには、６つの第１及び第２検出部材２１，３１を環状に配設するとともに、これらの内側には環状の第１及び第２補助検出部材２２，３２を設けた。第１及び第２検出部材２１，３１の幅、並びに第１及び第２補助検出部材２２，３２の幅を検出してこれら幅情報を含む明暗情報を出力するラインセンサ４２を、第１及び第２の検出面１４ａ，１５ａに対向して配設した。ラインセンサ４２からの明暗情報に基づき外歯車１４及び内歯車１５の単位角度範囲内における回転角度を求め、これら回転角度の組み合わせに基づき外歯車１４の絶対回転角度を算出するマイクロコンピュータ４３を備えた。 （もっと読む）

【課題】 光学検出手段に対して外乱光の位置が変動するときにも、光学マーカーの位置を精度よく測定することにより、移動体に対する搭乗者の頭部の位置及び角度を精度よく算出することができるヘッドモーショントラッカ装置の提供。
【解決手段】 光学マーカー７に点灯と消灯とを繰り返させる光学マーカー駆動部２８と、移動体センサ４から検出された角速度及び／又は加速度に基づいて、外乱光に対する移動体３０の移動角度量を含む絶対移動体情報を算出する絶対移動体情報算出部２４と、光学検出手段２に対する外乱光の移動位置量を算出することにより、光線の点灯データから外乱光の位置を補正した光線の補正点灯データを作成するとともに、光線の消灯データから外乱光の位置を補正した光線の補正消灯データを作成して差分することで、光学マーカー７のみからの光線の差分データを生成する差分生成部２３とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 カメラ装置の設置に制限がある移動体に対して、搭乗者の頭部に装着される頭部装着型表示装置付ヘルメットの移動範囲が大きくても、移動体に対する搭乗者の頭部の現在位置や現在角度を広範囲で特定することができるヘッドモーショントラッカ装置の提供。
【解決手段】 ３個以上の光学マーカー４と、第一カメラ２ａと第二カメラ２ｂとを有するカメラ装置２と、第一画像及び第二画像に基づいて、カメラ装置２に対する少なくとも３個の光学マーカー４の現在位置である光学マーカー位置情報を算出する光学マーカー位置情報算出部２３と、搭乗者３が搭乗する移動体３０に対する搭乗者３の頭部の現在位置及び現在角度を含む相対頭部情報を算出する相対頭部情報算出部２２とを備えるヘッドモーショントラッカ装置１であって、３個以上の光学マーカー４は、移動体３０の内面上に取り付けられ、カメラ装置２は、搭乗者３の頭部に装着されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】発光素子と受光素子を用いた簡単な構成で、明暗パターン部材を被検出物側に設けることもなく、移動する被検出物の位置が良好に検出できるようにする。
【解決手段】被検出物移動方向Ｈに長手方向を合わせた受光素子２０の下側に、２つの発光素子１８ａ，１８ｂを左右に等距離だけ離れた位置で配置することによって、移動方向Ｈでの中心部よりも両端部の発光量が高くなる発光領域を設定する。この発光素子１８ａ，１８ｂと受光素子２０は、被検出物移動方向Ｈに平行かつ垂直な方向に沿って配置される。このような構成によれば、発光領域の中心部の発光量が低くなるので、受光素子２０の中心部へ集まる光の入射が抑制され、被検出物の移動量に対応してリニアに変化する検出出力が得られる。 （もっと読む）

【課題】 一のカメラに撮影された複数のマーカー像と、二のカメラで撮影された複数のマーカー像との組をそれぞれ正確かつ素早く対応付けることができるマーカー像識別装置及びマーカー像識別方法を提供する。
【解決手段】 エピポーララインＬ間で最も離れているエピポーララインＬを基準エピポーララインとして選択する基準エピポーラライン選択部３２と、基準エピポーララインに距離が最も近いマーカー像１８を、基準エピポーララインに対応するマーカー像１８と同一のマーカー１８の画像であると認識するマーカー像認識部３３と、マーカー像認識部３３で認識されたマーカー像１８に対する残りのマーカー像１８の位置関係を決定するマーカー像位置決定部３４と、マーカー像位置決定部３４で決定されたマーカー像１８の位置関係に基づいて、第一画像Ａ上における残りのマーカー像１８と第二画像Ｂ上における残りのマーカー像１８との組を対応付けるマーカー像識別部３５とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）