【課題】マクロ検査ツールの適用性を広げ、高スループットで半導体ウェハからより詳細な検査情報を得る。
【解決手段】ウェハ検査方法は、ウェハ上に繰り返し配列されている個々の微細構造を解像するには不十分な結像解像度でウェハの全表面を結像させるステップを含む。本発明によれば、微細構造のフィーチャの特性は、微細構造を結像において直接解像することができないとしても、被選択検出信号群からの１若しくは複数の値の計算によって決定される。このようにして、記録される画像にマスク（１０９）が施され、画像の非マスク部分（１１１）は平均化によってさらに処理される。非マスク部分（１１１）は、ウェハのメモリ部分を含むように選択される。フィーチャ特性は、線幅、側壁の角度、微小寸法（ＣＤ）などを含むことができる。互いに異なる照明波長または偏光状態で撮影した複数の画像を組み合わせることもできる。 （もっと読む）

【課題】測定に要する時間の増加を招くことなく、被測定物の測定対象に対する光学的な設定の異なる複数の測定データを得ることのできる測定装置を提供する。
【解決手段】撮像素子１７からのライン反射光Ｒｌの取得データに基づいて被測定物の表面形状を計測する測定装置１０である。ライン反射光Ｒｌを撮像素子１７の受光面に結像させる複数の結像光学系（３３、３４）と、ライン反射光Ｒｌを分岐して各結像光学系へと導く光束分岐機構３２とを備え、各結像光学系は、被測定物の測定対象に対する光学的な設定が互いに異なるものとされ、撮像素子１７は、受光面上において複数のセグメントが設定されているとともに各セグメントが複数の領域に区画され、各セグメントにおける少なくとも１つ以上の領域を受光領域とし、各結像光学系は、分岐されたライン反射光Ｒｌを撮像素子１７の受光面において互いに異なるセグメントの受光領域へと結像させる。 （もっと読む）

基材上の被膜の厚みを測定する方法を記載する。前記基材は、第２主表面と反対側の第１主表面を有し、前記被膜は前記第１主表面の一部分を覆っている。第１測定工程の間に、第１測定ビームを用いて第１基準点から前記基材の前記第１主表面の前記被膜で覆われていない一部分までの距離を測定し、第２測定ビームを用いて第２基準点から前記基材の前記第２主表面の被膜で覆われていない一部分までの距離を測定する。第２測定工程の間に、前記第１測定ビームを用いて前記第１基準点から前記被膜までの距離を測定し、前記第２測定ビームを用いて前記第２基準点から前記基材の前記第２主表面の被膜で覆われていない一部分までの距離を測定する。そのようにして測定した前記被膜の厚みは、自動車用グレージングペインにインクを塗布する方法における制御パラメータとして用いることもできる。
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【課題】簡単なハードウェア構成で高解像度の３Ｄキャプチャが可能な３Ｄカメラを提供する。
【解決手段】３Ｄ作像装置３０は、一連のＩＲ光のパルスを射出する光源装置４２と、各々がＩＲ光に感度のある感光セルのアレイを有するカメラ６０と、被写体からの光を感光セルに、光の各光線が共通の焦点を通るように送るための撮像レンズと、光のパルスの射出と同期して、カメラ６０によってキャプチャされた画像を交互に記憶する２個のメモリ６４及び６６と、２個のメモリ６４及び６６に記憶された２個の連続した画像と、光源装置４２、カメラ６０及び対象点１０２の位置とを利用して、被写体の深度マップを計算する信号処理装置と、を含む。光源装置４２から射出される光のパルスは、交互に第１及び第２の強度を有する。 （もっと読む）

測定対象物体の画像を取得し、これを供給するための画像測定プローブの操作方法。画像測定プローブは、座標位置決め装置の連続的角度調整可能ヘッドに取り付けられ、連続的角度調整可能ヘッドは少なくとも１つの回転軸を有する。物体と画像測定プローブは、測定動作中、その少なくとも１の回転軸の周囲で、および少なくとも１自由度の直線運動で相互に関して移動できる。この方法は、画像測定プローブによって取得された少なくとも１つの画像を処理してフィードバックデータを得るステップと、画像測定プローブと物体との間の物理的関係を、前記フィードバックデータに基づいて制御するステップと、を含む。
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【課題】 光源からの光により生じる対象物の影から対象物の形状をより適切に推定可能な形状推定システム等を提供することを目的とする。
【解決手段】 形状推定システム１において、影撮影装置５は、例えば、撮影部１９の周囲に複数の光源１５₁，・・・，１５_Nを配置し、例えば１回ずつ点灯させるＮ回点灯制御を行い、各点灯制御に同期して撮影部１９は撮影する。撮影データは撮影データ記憶部２１に記憶され、画像データ修正部２７によりノイズ除去等の修正処理が施され、特徴情報生成部２９は、例えば多段階のウェーブレット多重解像度解析を行い、各成分の二乗平均平方根を取ることにより得られる対象物３の影の特徴を示す特徴情報を生成する。対象物３が既知の形状であれば、学習部３１は例えば自己組織化マップを学習させる。対象物３が未知の形状であれば、推定部３５は学習後の自己組織化マップに提示して既知の形状の一つを対象物３の形状として推定する。 （もっと読む）

本開示は、複数のノード（１２）を含み、各ノードは、指向性を有するセンサ（１８）と、通信モジュール（１４）と、指向性を有するセンサ（１８）から較正オブジェクト（２０）のローカルな測定値を受信し、通信モジュール（１４）を介して近傍ノード（１２）から較正オブジェクト（２０）の追加的な測定値を受信し、ローカルな及び追加的な測定値に応じて較正パラメータの初期集合を推定し、通信モジュール（１４）を介して近傍ノード（１２）から較正パラメータの追加的なセットを受信し、較正パラメータの追加的な集合に応じて較正パラメータの更新された集合を再帰的に推定するよう構成されたプロセッサ（１６）とを有する、センサネットワーク（１０）に関する。カメラノード（１２）の大規模ネットワーク（１０）を構成する更なるシステム及び方法が開示されている。
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【課題】屋内の移動体の位置検出に好適に適用でき、容易に導入可能な位置検出装置を提供する。
【解決手段】位置検出装置は、それぞれ異なる位置に配設されかつそれぞれ異なる光学特性を有する光を発光する屋内照明としての複数の発光部２ａ，２ｂと、前記発光部２ａ，２ｂから発光された光を受光して光強度信号を出力する受光部４を有する移動体と、前記複数の発光部２ａ，２ｂが配設されている位置と発光特性を対応づけた発光部情報５を格納する記憶部１４，１７と、前記受光部から出力された信号に含まれるそれぞれ異なる光学特性ごとの光強度信号と、前記記憶部１４，１７に格納されている発光部情報５に基づいて、前記移動体の位置を検出する位置検出演算部６とを備える。 （もっと読む）

【課題】車内の乗員を漏れなくある程度の露出、鮮明さでカメラにより撮影できるようにすること。
【解決手段】車両の車内天井に取り付けられるケース１３に赤外線カメラ１５と複数の赤外線発光ダイオード（赤外線ＬＥＤ）１７とを収容する。赤外線カメラ１５は、車両１の前席７と後席９の乗員７ａ，９ａを含む撮影範囲Ａが収まる画角Ｂを有している。各赤外線ＬＥＤ１７は、その光軸Ｃ１を、赤外線カメラ１５の画角中心軸Ｂ１に対して垂直方向における上方に傾けている。赤外線ＬＥＤ１７の光軸Ｃ１は、前席７の乗員７ａの頭部の上方と後席９の乗員９ａの頭部の下方とを通る。赤外線カメラ１５の画角中心軸Ｂ１は、前席７の乗員７ａの頭部と後席９の乗員９ａの腰部とを通るので、画角中心軸Ｂ１に光軸Ｃ１の向きを合わせるよりも、赤外線ＬＥＤ１７による照明光は、後席９の乗員９ａに高い光量で照射される。 （もっと読む）

【課題】遠距離範囲の検出分解能を落とさずに、不感帯の範囲を縮小することができる反射型光電センサを提供する。
【解決手段】投光レンズ１と、前方に光を射出する遠距離用投光素子２と、受光レンズ３と、前方から入射する光を受光する受光素子４と、前方に光を射出する近距離用投光素子７とをセンサボディ６内に備え、投光レンズ１の焦点に遠距離用投光素子２を配置し、受光レンズ３の焦点に受光素子４を配置し、投光レンズ１および遠距離用投光素子２の組みと受光レンズ３および受光素子４の組みとの間に、近距離用投光素子７が設けられる反射型光電センサにおいて、受光レンズ３の焦点距離が投光レンズ１の焦点距離よりも短く、受光レンズ３の前面が投光レンズ１の前面および近距離用投光素子７の前面より後方に配置され、カバー６１ａをカバー６１ｂよりも後方に配置して、空間６３ｃを形成する。 （もっと読む）

本発明は車両の動きを分析するレーザダイオードを用いたマルチビームレーザスポット画像処理システムに関連する。レーザダイオード(好ましくはVCSEL)を用いた画像処理システムは、車両の運動を分析するために使用される。1つ以上のレーザビームが路面に向けられている。CCDやCMOSカメラのような画像処理マトリクスセンサを含む小型画像処理システムは、個々のレーザスポットの位置又は距離を測定する。車両の積載状況、車両のピッチ及びロール角は、レーザスポットの位置や距離の変化を分析することで判明する。
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【課題】プラスチック、ゴム、金属および構造物、構造材などにおける被測定物の広範囲の歪み分布を非接触で容易に計測することができる歪み計測方法及び歪み計測装置を提供するものである。
【解決手段】被測定物５の計測箇所９にレーザ光４を照射するレーザ投光機１と、前記レーザ光４の反射光であるレーザスペックルパターン３を撮像する受光部２と、撮像したレーザスペックルパターン３の各スペックルの重心点１２を求める画像処理手段と、各スペックルの重心点１２の移動量と移動方向を検出して被測定物５の歪みを計測する計測手段とから構成してある。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム押出材を押出方向に対し垂直に切断して得られた被検査体の３次元的な形状精度を短時間で正確に検査する。
【解決手段】所定間隔を開けてそれぞれ対向配置した４組のレーザ変位計Ａ１〜Ｄ１，Ａ２〜Ｄ２の間に、被検査体を置き、被検査体の両切断端面の各隅部にレーザビームを照射し、各レーザ変位計Ａ１〜Ｄ１，Ａ２〜Ｄ２の検出信号に基づき、各測定ポイント毎に予め標準試料１に対して設定された基準位置からの変位を求める。レーザ変位計Ｅ１，Ｅ２，Ｆ１，Ｆ２から被検査体の側面及び底面にレーザビームを照射し、被検査体の標準試料１からの傾斜角度を求め、前記変位をこの傾斜角度によって補正し、実際の変位（実変位）を算出し、この実変位に基づいて被検査体の形状精度を検査する。３次元的な形状精度として、切断長さ、両切断端面の平行度、各切断端面の押出方向に対する直角度（Ｙ方向直角度及びＺ方向直角度）が検査される。 （もっと読む）

【課題】光沢面を有する測定部位における三次元形状を簡易な機構により短時間で測定できること。
【解決手段】測定部位Ｐの周りの三次元に渡る複数の位置各々で光源１２を点灯させて測定部位Ｐに対して順次異なる方向から光を照射し，測定部位Ｐからの正反射光の像をカメラ２０により撮像し，計算機３０により，光が照射されるごとの撮像画像における正反射光の像の位置と光の照射方向との対応関係を算出し，その位置に対応する測定部位Ｐ上の各測定点における外接平面の傾きを算出し，測定部位上の隣り合う点それぞれにおける外接平面の傾きに基づいて，測定部位Ｐの三次元形状値を算出する。 （もっと読む）

【課題】三次元画像および二次元画像を用いた複数種類の外観検査に対応しつつ外観検査に要する手間やコストを低減する上で有利な外観検査用照明装置および外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査用照明装置１６は、透過性反射板３２と、カバー３４と、フレーム３６と、第１の光源部３８、第２の光源部４０、第３の光源部４２、第４の光源部４４を含む。第１、第２、第３の光源部３８、４０、４２から発せされた光は、透過性反射板３２を透過して被検査物２を通る仮想平面に対して第１、第２、第３の角度θ１、θ２、θ３で交差して被検査物２を照射する。第４の光源部４４から発せられた光は透過性反射板３２の下面３２０６で拡散され反射されることで被検査物２を照射する。 （もっと読む）

【課題】ユーザのスクリーンモジュール上の凝視位置の座標を正確に決定する非侵入式視線追跡システム等を提供する。
【解決手段】視線追跡方法は、ユーザがスクリーンモジュール上の凝視位置を凝視し、一組の光源がユーザの目に向かって光を発する間、画像取得モジュールによりユーザの目の画像を取得するステップと、ユーザの目の瞳孔と二つの反射光点の位置に基づいて、凝視位置に対応する角度及び面積を決定するステップと、前記角度及び前記面積に基づいて、前記凝視位置に対応する座標を決定するステップと、前記座標に関する操作を実行するステップを有する。前記視線追跡方法を実装する視線追跡システムも開示している。更に、前記視線追跡システムのための修正方法と修正モジュールも開示している。 （もっと読む）

【課題】
高速に任意の形状を測定し得る物体形状測定装置を提供する。
【解決手段】
被測定体を囲む枠体１内面に一定間隔で発光素子２と受光素子３を配置し、発光素子２をひとつずつパルス発光する。そして光を検出した受光素子３をスキャンして被測定体に対する接線上にある発光素子と受光素子の組を選択し記憶する。
被測定体の全周に渉り以上の処理を繰り返した後に求めた発光素子と受光素子の組から接線の式を求め、接線の交点を演算して補間することにより被測定体の外形データを得ることが出来る。 （もっと読む）

【課題】本発明は、位置・姿勢認識方法等に関し、１台のカメラで部品の位置および姿勢を高精度に認識する。
【解決手段】互いに離れた位置に置かれた３つの第１の光点と該３つの第１の光点それぞれを頂点とする三角形の参照面から垂直方向に離れた位置に置かれた１つの第２の光点とを含む光点群が配置された被計測体上の該光点群をカメラで撮影し、その撮影で得られた撮影画像上の、上記光点群を構成する各光点を表わす光像の位置および径に基づいて、被計測体の位置および姿勢を認識する。 （もっと読む）

【課題】管状品の内表面検査を行うに際に、カメラおよび光源の設置スペースを最小限に抑えつつ、有害な凹凸欠陥と無害な模様を確実に判別し、凹凸欠陥のみを検出することができる内表面検査方法を提供する。
【解決手段】管状品の中心軸に対して傾斜した光学中心軸を有し、管状品の開口端から管状品の内表面の所定領域を撮像するカメラと、カメラの光学中心軸および管状品の中心軸を含む面を挟んで対称に配置され、開口端から所定領域を照明する一対の光源と、を用い、光源からの照明を順に切り替えて同一の所定領域をカメラにより撮像し、それぞれの画像の同一画素間で濃淡の差分を演算し、その濃淡差分の情報に基づいて、凹凸欠陥５、６により出現した影５ａ、５ｂ、６ａ、６ｂを認識し凹凸欠陥５、６を検出する。 （もっと読む）

【課題】 対象物に取り付けられる位置計測のための標識セットがカメラと正対する場合でも、対象物の位置計測の精度を保つことができる位置計測システム、プログラム、標識セットおよび位置計測用の対象物を提供する。
【解決手段】 位置計測システムは、対象物１に取り付けられる位置関係の分かっている４つ以上の基本標識を有し、基本標識のうち少なくとも一つの基本標識が他の３つ以上の基本標識の位置する平面から離れて配置され、平面から離れて配置される基本標識から前記平面に下ろした垂線の平面との交点が他の３つ以上の基本標識により形成される多角形の外側に位置する標識セット２と、標識セット２を撮像する２次元撮像素子１２を有するカメラ１３と、カメラ１３で撮像した標識セットの画像に基づいて対象物の３次元位置および角度の少なくとも一方を演算する演算装置１４とを備える。 （もっと読む）