【課題】光検出器の感度指向性の影響を受けにくくすることにより、対象物体の位置にか
かわらず光検出器での受光強度を高いレベルとすることのできる光学式位置検出装置を提
供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０において、光検出装置３０は、光検出器３１を変位
させて光検出器３１の受光部３２を検出空間１０Ｒ内の複数領域１０Ｒ１、１０Ｒ２、１
０Ｒ３に向かせるアクチュエータ３５を備えており、光検出器３１は、受光部３２が検出
空間１０Ｒ内の複数の領域１０Ｒ１、１０Ｒ２、１０Ｒ３に向いた状態で、対象物体ＯＢ
で反射した検出光を検出する。このため、光検出器３１が感度指向性を有する場合でも、
光検出器３１の高感度角度範囲Θｈのみで検出空間１０Ｒ全体をカバーすることができる
。 （もっと読む）

【課題】卵の気室位置が鈍端中央からどの程度ずれているかといった、ワクチン製造に係る卵へのウイルス接種や卵の漿尿液採取に必要な、精度の高い気室位置の情報を得る。
【解決手段】検査ユニット８ａの集光部２を卵５に密着させ、光源１１，１３から可視光を順次照射する。光源１１，１３から照射された光の一部は卵５の内部へ入射し、集光部２と卵５が接触する範囲の内側から放射されるので、集光部２と卵５が接触する範囲の内側から放射された光を光電変換部１で受光して受光電圧に変換する。判定演算部は、それぞれの受光電圧の値から気室６の位置の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】検出光が対象物体で反射した光を受光した結果に基づいて対象物体の傾きを検出
することのできる光学式センサー装置を提供すること。
【解決手段】光学式センサー装置１０において、検出用光源１２が検出光Ｌ２を出射した
際に対象物体Ｏｂで反射した検出光を光検出器３０で検出して対象物体Ｏｂの座標を検出
する。光源駆動部１４は、複数の検出用光源１２を第１出射強度をもって順次点灯させる
第１モード、および複数の検出用光源１２を第１出射強度よりも大の第２出射強度をもっ
て順次点灯させる第２モードを行ない、その間、光検出器３０は、対象物体Ｏｂで反射し
た検出光Ｌ３を受光する。従って、監視部５０は、対象物体Ｏｂの異なる範囲で反射した
検出光Ｌ３の２つの受光結果を用いて対象物体Ｏｂの傾きを検出することができる。 （もっと読む）

【課題】測定頻度を高めることに伴って対象物体の位置検出精度を高めることのできる光
学式位置検出装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０において、検出用光源１２が検出光Ｌ２を出射した
際に対象物体Ｏｂで反射した検出光を光検出器３０で検出して対象物体Ｏｂの座標を検出
する。検出空間１０Ｒからみたときに、光検出器３０の周りで周方向で並ぶ第１検出用光
源１２Ａ、第２検出用光源１２Ｂ、第３検出用光源１２Ｃおよび第４検出用光源１２Ｄは
、光検出器３０を中心としたときに不等の角度間隔に配置されている。また、第１検出用
光源１２Ａと第２検出用光源１２Ｂとを結ぶ線と、第３検出用光源１２Ｃと第４検出用光
源１２Ｄとを結ぶ線とが非平行で、第１検出用光源１２Ａと第４検出用光源１２Ｄとを結
ぶ線と、第２検出用光源１２Ｂと第３検出用光源１２Ｃとを結ぶ線とが非平行である。 （もっと読む）

【課題】対象物体が検出用光源を配置した領域の外側にあるのか内側にあるのかを検出す
ることのできる光学式位置検出装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０において、検出用光源部１２が検出光Ｌ２を出射し
た際に対象物体Ｏｂで反射した検出光を光検出器３０で検出して対象物体Ｏｂの座標を検
出する。検出空間１０Ｒからみたときに、光検出器３０は、複数の検出用光源部１２より
内側に位置するとともに、複数の検出用光源部１２は各々、外側発光素子１２Ａ₁〜１２
Ｄ₁と内側発光素子１２Ａ₂〜１２Ｄ₂とを備えている。従って、外側発光素子１２Ａ₁〜１
２Ｄ₁が点灯した際の光検出器３０での受光強度と内側発光素子１２Ａ₂〜１２Ｄ₂が点灯
した際の光検出器３０での受光強度との比較結果に基づいて対象物体Ｏｂが検出用光源部
１２より外側あるいは内側のいずれに位置するかを判定することができる。 （もっと読む）

【課題】 規格内の大きさの受光センサを用いても、受光センサを大きくした場合と同じように、３次元形状の測定可能範囲が大きいか、又は分解能を高くする。
【解決手段】 レーザ光照射器から測定対象物（ＯＢ）の表面にレーザ光を照射し、測定対象物ＯＢの表面の照射スポット位置にて発生する散乱光の一部である反射光を集光レンズ３２で集光するとともに、集光された反射光をダイクロイックミラー３０で互いに異なる少なくとも第１方向及び第２方向に分離する。分離された反射光を、複数の受光素子からなる受光センサ１４，２４でそれぞれ受光する。受光センサ１４，２４は、レーザ出射器からの距離が異なる測定対象物ＯＢの表面からの反射光をそれぞれ受光するとともに、一部距離を重複させる。受光センサ１４，２４による受光信号を用いて、３角測量法の原理に基づいてレーザ光照射器から測定対象物ＯＢの表面までの距離を計算する。 （もっと読む）

【課題】比較的簡素な光学式入力装置でありながら位置検出精度が高く、かつ、情報の視
認を妨げることのない位置検出付き機器を提供すること。
【解決手段】位置検出機能付き機器１の光学式位置検出装置１０において、検出用光源１
２が検出光Ｌ２を出射した際に対象物体Ｏｂで反射した検出光を光検出器３０で検出して
対象物体Ｏｂの座標を検出する。検出用光源１２は、視認面構成部材４０の視認面４１側
に検出光Ｌ２を出射するが、かかる検出光Ｌ２は赤外光である。このため、検出光が視認
されないので、情報の視認を検出光Ｌ２が妨げない。 （もっと読む）

【課題】アイセーフ波長のレーザ光を用いて低コストかつ高精度に距離を測定する。
【解決手段】レーザ光源２４からのアイセーフ波長のレーザ光は、ポリゴンミラー２１により走査されつつ測定対象に照射される。測定対象からの光はＧＬＶ３２へと導かれ、ＧＬＶ３２からの回折光が光検出器３５にて受光される。光検出器３５は単一のフォトダイオードを備える。ＧＬＶ３２からは可干渉性の強い光のみが光検出器３５へと導かれるため、レーザ光に由来する光のみが光検出器３５にて検出される。ＧＬＶ３２において回折光を出射する領域を移動することにより、レーザ光に由来する光の入射位置が求められる。これにより、背景光の影響を受けることなく精度よく距離を測定することができる。また、単一のフォトダイオードを用いることにより、アイセーフ波長の光を低コストにて検出することができる。 （もっと読む）

【課題】 微小な凹凸に加えて周期と変動量の大きな凹凸が存在する測定対象物の表面粗さも検出できるようにする。
【解決手段】 測定対象物ＯＢの表面上を接触しながら移動するスライダ４４に対物レンズ３０５を配置するとともに、スライダ４４をプローブ４０によって光学ヘッド本体３０に弾性的に支持する。レーザ光源３０１からのレーザ光を対物レンズ３０５により集光させて測定対象物ＯＢの表面に照射し、測定対象物ＯＢの表面からの反射光をフォトディテクタ３０８で受光して、フォーカスエラー信号を生成する。フォーカスエラー信号を用いてレーザ光の焦点位置から測定対象物ＯＢの表面位置までの距離に応じて変化する距離を計算して、前記計算した距離に、スライダ４４の光学ヘッド本体３０に対する相対位置の変動量を加味して測定対象物ＯＢの表面の基準面に対する凹凸の大きさを計算する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハ表面や表面近傍に存在する異物や欠陥等に由来して発生する散乱光の強度が照明方向に依存する異方性を有する場合であっても主走査方向の回転角に依存せずに均一な感度で異物や欠陥等の検査が可能な表面検査装置を実現する。
【解決手段】光源１１からの光はビームスプリッタ１２で、略等しい仰角を有し、互いに略直交する２つの方位角からの２つの照明ビーム２１、２２となり、半導体ウェハ１００に照射され、照明スポット３、４となる。照明光２１、２２による散乱・回折・反射光の和を検出するとウェハ１００自身又はそこに存在する異物や欠陥が照明方向に関する異方性の影響を解消できる。これにより、異物や欠陥等に由来して発生する散乱光の強度が照明方向に依存する場合であっても主走査方向の回転角に依存せずに均一な感度で異物や欠陥等の検査が可能となる。 （もっと読む）

【課題】２つの空間に位置する対象物体の各々の位置を検出することのできる光学式位置検出装置を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０には、Ｚ軸方向の一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に向けて第１検出光Ｌ１を出射する第１位置検出用光源１２１と、Ｚ軸方向の他方側Ｚ２から一方側Ｚ１に向けて第２検出光Ｌ２を出射する第２位置検出用光源１２２とが配置されている。このため、第１位置検出用光源１２１がＺ軸方向の他方側Ｚ２に向けて第１検出光Ｌ１を出射した際、第１空間１０Ｒ１に位置する対象物体Ｏｂで反射した第１検出光Ｌ１は光検出器３０の第１受光素子３１で受光される。また、第２位置検出用光源１２２がＺ軸方向の一方側Ｚ１に向けて第２検出光Ｌ２を出射した際、第２空間１０Ｒ２に位置する対象物体Ｏｂ２で反射した第２検出光Ｌ２は光検出器３０の第２受光素子３２で受光される。 （もっと読む）

【課題】その配置位置を容易に特定できるノード装置を提供する。
【解決手段】ホスト装置が発行する命令を表す電波を受信する受信部と、前記命令に応答して光を、前記ホスト装置に結合された撮像装置に送る発光部と、前記発光部を制御する制御部と、取得した物理状態を表す情報を出力するセンサと、前記情報を表す電波を前記ホスト装置に送信する送信部とを備える。 （もっと読む）

【課題】光学的な測定を行うための照射部および受光部がそれぞれ最小個数でありながらも、被検査基板の測定対象物の光学的な測定を精度良く行うことが可能な検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】レーザー計測器３３はレーザー光を照射する照射部３３ａと測定対象物１１１で反射された反射光を受光する受光部３３ｂを有し、シャフト３３３の下端に取り付けられている。シャフト３３３にはベルト３３５を介してモータ３３１の回転駆動力が伝達されるように構成されており、レーザー計測器３３はモータ３３１の回転により向きを変更可能に構成されている。これによって、測定対象物１１１から見たレーザー光の入射経路Ｌ１と反射光の反射経路Ｌ２との入受光関係が調整可能になっている。 （もっと読む）

【課題】高速な振動現象の下にあっても、エンジンマウントのマウント軸として配設されるボルトの中心の３軸並進量、及び、該ボルトの２軸回転量を高精度に算出することができる、変位量計測装置、及び、変位量計測装置の姿勢角決定方法を提供する。
【解決手段】エンジンマウント１０のマウント軸であるボルト１２の両端に固定した、半径が既知である２個の球体１３・１３の変位を、それぞれについて３箇所ずつレーザー変位計３１〜３３、３４〜３６で計測する球体変位計測工程と、球体変位計測工程で計測した球体１３・１３の変位結果に基づいて、球体１３・１３の中心Ｉ・Ｊの３次元座標Ｘ１・Ｘ２をそれぞれ算出する座標算出工程と、座標算出工程で算出した２個の３次元座標Ｘ１・Ｘ２に基づいて、ボルト１２の中心Ｋの３軸並進量、及び、ボルト１２の２軸回転量θ・φを算出するマウント軸変位算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】撮像面と撮像対象との位置関係を測定または判定する。
【解決手段】データ表示／センサ装置１００は、入力表示画面およびバックライトを有する表示／光センサ部と、入力表示画面に照明光を照射する外部照明部とを備えている。表示／光センサ部は、バックライトからの照明光が撮像対象に反射することによって生じる反射像を含む反射光画像と、外部照明部からの照明光によって生じる撮像対象の影の像を含む影画像とを撮像する。また、データ表示／センサ装置１００は、撮像対象から入力表示画面に下ろした垂線の足の位置である反射像位置を反射光画像から算出する反射像位置算出部７０５と、入力表示画面における上記影の位置を影画像から算出する影像位置算出部７０６と、反射像位置と影の位置とのずれに基づいて撮像対象の入力表示画面からの距離を算出する距離算出部８０２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 原料ヤードにおける原料山の状態を従来よりも高精度に計測できるようにする。
【解決手段】 ブーム１０６ａに取り付けられた２Ｄレーザ距離計１０１ａ、１０１ｂから原料山１００にレーザ光を照射し、原料山１００からの反射光を受光し、受光した反射光と、そのときのレーザ光の照射方向とから求められる原料山１００の表面の座標を、ＩＭＵ１０３及びＧＰＳコンパス１０４で測定されるブーム１０６ａの姿勢に基づいて変更し、変更した原料山１００の表面の座標に基づいて、原料山１００の３次元形状と、原料山１００の体積とを計算し表示する。 （もっと読む）

【課題】
コンクリート軌道表面の凹凸に影響され難くかつ段差等の軌道の急峻な位置変化に対して対応可能でかつ検測車両の走行状態で高低狂い、通り狂い等の測定を行うことができるコンクリート製軌道の軌道狂い測定方法および測定装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、検測車両の走行状態におけるコンクリート製軌道の軌道狂い測定において、距離検出器から得られるデジタル値の測定信号の測定値に対してコンクリート表面の凹凸を除去する幅を設定したメディアンフィルタ処理を行い、メディアンフィルタ処理により得られた測定値に基づいてモノレールの軌道狂い量の算出を行うものである。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハ等の薄片試料のエッジプロファイルの測定に適した形状測定装置及びその方法を提供する。
【解決手段】ＬＥＤ駆動回路１１により、一の平面内の複数の位置各々に配置された複数のＬＥＤ１２を順次切り替えて点滅させることにより、ウェーハ１の端面であり、鏡面あるいは光沢のある面である測定部位Ｐに対し、順次異なる照射角度で光を照射し、その照射ごとに、計算機３０により、測定部位Ｐからの反射光の輝度分布を表す画像データを、カメラ２０を通じて取得し、さらに、計算機３０により、各ＬＥＤ１２に対応した画像データと光の照射角度とに基づいて、反射光の輝度がピークとなるときの光の照射角度を推定することにより、測定部位Ｐの表面角度の分布及びエッジプロファイルを演算する。 （もっと読む）

【課題】コントローラの位置や向きが取りうる範囲を簡易に推定するのに好適な領域推定装置、領域推定方法、ならびに、プログラムを提供する。
【解決手段】センサーバーは、無指向に赤外線を発光する少なくとも２つの無指向性発光部２０１を所定の間隔で備え、その外側に所定の距離だけ離れた位置に、指向性を持って赤外線を発光する指向性発光部２０４を少なくとも１つずつ備える。コントローラ２０２は、赤外線を検知するセンサを備え、検知された赤外線の光源と、検知された赤外線の位置とから、センサーバーに対するコントローラ２０２の配置される位置を推定する。 （もっと読む）

【課題】ウェハの外周端部を全周にわたって短時間のうちに形状検出できる形状検出装置を提供する。
【解決手段】形状検出装置1は、ウェハ保持部２０に支持されたウェハ１０の外周端部形状を検出する装置であって、ウェハ１０の外周端部に対して径方向外側の所定位置に配置されて外周端部を照明する拡散照明部３５と、ウェハ１０の表面に直交する方向に配置されて外周端部に対向し、拡散照明部３５から照射されて外周端部において反射した反射光の径方向に沿った輝度情報を検出する撮像部３０と、撮像部３０において検出された輝度情報を基にして外周端部形状を算出する演算制御部４０とを備えて構成される。 （もっと読む）