サンプル１の表面２の様相を観察するための装置であり、この装置は、前記表面２を既定の方向から照光するための光源１１及び前記表面２を観察するための手段を有する。前記表面２を観察するための手段は、前記表面２に対し異なる方向に置かれた多数の実質的な平面鏡８を有する。前記手段はさらに、前記平面鏡８を観察するための光学系６、１４を有する。各平面鏡８は、前記サンプル１の前記表面２の画像を前記光学系６、１４の画像受信部６へ反射する。
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【課題】基板と、該基板に配された構成部材と、を含み、該構成部材が配された側とは反対の側から該構成部材が基板を介して視認可能である検査対象物における基板の欠陥のみを確実に検出することができる欠陥検出方法等を提供する。
【課題手段】本発明は、基板と、前記基板に配された構成部材と、を含み、前記構成部材が配された側とは反対の側から該構成部材が前記基板を介して視認可能である検査対象物における前記基板の欠陥を検出する欠陥検出方法において、前記検査対象物の基板面に対して、前記構成部材が配された側とは反対の側から照明光を照射する照明工程と、前記基板面から得られる光の特定波長領域のみを受光して前記基板面を撮像する撮像工程と、前記基板面の撮像画像又は当該撮像画像に対して所定の補正処理を行った後の撮像画像から前記欠陥を検出する検出工程と、を有し、前記特定波長領域は、前記基板面から得られる反射光量が、前記構成部材から得られる反射光量よりも大きい波長帯域であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】透明基板上に少なくとも複数の着色フィルタが形成されたカラーフィルタ基板の外観検査を行う検査方法において、着色フィルタの表面を一定の平滑面にした状態で外観検査を行うカラーフィルタの検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ブラックマトリクス２１ｂが形成された透明基板１１上に赤色フィルタ３１Ｒを形成し、赤色フィルタ３１Ｒ表面を加熱処理、物理研磨、化学研磨等の方法で平滑化処理を行って、自動外観検査機を用いて、赤色フィルタ３１Ｒの反射、透過照明による比較検査を行い、赤色フィルタ３１Ｒ上の異物、レジストカス、ハーフ白抜け等の反射系黒欠陥と、反射系白欠陥と、透過系の白欠陥を検査する。以下、着色フィルタ形成、平滑化処理、自動外観検査を繰り返すことにより、カラーフィルタの検査を行う。 （もっと読む）

【課題】 検出位置を細かいピッチで密に配列することができ、外部の物体から受ける力やその物体の近接を精度よく検知することができ、かつ構成が簡単であり、コストを低減することができる光学式触覚近接センサを提供する。
【解決手段】 外部から作用する力を検知する時に、隣接する２つの発光ダイオードの第１の発光ダイオードＬ１を発光モードに第２の発光ダイオードＬ２を受光モードに設定し、この状態で、第２の発光ダイオードＬ２の受光量Ｉ１を測定する。次いで、第１の発光ダイオードＬ１を受光モードに第２の発光ダイオードＬ２を発光モードに切り換え、この状態で、第１の発光ダイオードＬ１の受光量Ｉ２を測定する。そして、第２及び第１の発光ダイオードＬ２、Ｌ１の受光量Ｉ１、Ｉ２に基づいて光伝播層３に作用する力の大きさＦ又はその位置ｘを算出する。 （もっと読む）

【課題】基板上にパターンを形成し対象物を製作して行く製造工程で発生する異物等の欠陥を検出する際に、照明の形状を最適化することにより、検出感度およびスループットを向上する欠陥検査装置およびその方法を提供することにある。
【解決手段】本発明では、照明範囲内の照明照度分布のうち照度が最小になる領域の照度が最大になるような照明を実現し、信号のＳ／Ｎを最大にすることにより、検出感度の向上およびスループットの向上を実現する。 （もっと読む）

【課題】搬送路の水平方向の長さを短縮して二台以上の撮像カメラを設置してもテンション機構が簡単でテープに長いスパンでテンションを加える必要がなく、また回路パターンのピッチに応じて下降搬送領域と上昇搬送領域のカメラ間のテープ長さを調整することができるようにしたパターン自動検査装置を提供する。
【解決手段】搬送手段２２によりＴＡＢテープ４を略Ｕ字状に屈曲した搬送路２１に沿って搬送する。ＴＡＢテープ４の回路パターン５を撮像する４台の撮像カメラ５５Ａ〜５５Ｄを、搬送路２１の下降搬送領域２１Ａと上昇搬送領域２１Ｂにそれぞれ２台ずつ配設する。搬送手段２２は、テンションスプロケット２５、ドライブスプロケット２６および高さ調整自在なピッチ調整用ローラ２７とからなり、ピッチ調整用ローラ２７によって撮像カメラ５５Ｂから撮像カメラ５５Ｄまでのテープ長さを調整する。 （もっと読む）

【課題】ナット等に形成されためねじについても、安定してねじ山の欠けを検出できるねじ山の欠け検出装置を提供する。
【解決手段】部品Ｗに形成されたねじにレーザ光４を照射する投光部１ａと、ねじからの反射光５を検知する受光部１ｂと、投光部１ａおよび受光部１ｂをねじの軸方向に移動させる昇降機構２と、受光部１ｂが検知した反射光５の光量がしきい値を超えたか否かを判別する判別部３とを備え、レーザ光４と反射光５とのなす角の２等分線６がねじのフランクと略垂直であり、投光部１ａおよび受光部１ｂの移動に伴って変化する反射光５の光量を受光部１ｂで検知し、検知した光量に基づいて判別部３がねじ山の欠けの有無を検出するねじ山の欠け検出装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 測定対象に固定された平面ミラーとの距離が大きく離れていても、平面ミラーの傾き角度を計測することができる傾き角度測定装置。
【解決手段】 リレー光学系２は光源１から出射された発散光を集光し、対物光学系４の光軸Ｊ上であって開口絞り５の位置またはその近傍に２次光源像を結像する。光源光は、２次光源像から発散するように平面ミラー６に照射される。そのため、平面ミラー６の領域Ｒ３に入射する光源光の入射角はゼロまたはゼロに近く、開口絞り５の開口に向けて反射される。よって、平面ミラー６が開口絞り５から遠く離れていても、開口絞り５の開口に入射する反射光が存在し、その光をＰＳＤ７で検出することができる。その結果、平面ミラー６の傾きを計測することができる。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成でありつつも、実際の液滴を１滴ごとに高速に計測可能な液滴計測装置および液滴計測手段を提供すること。
【解決手段】 液滴１８０の飛翔経路にレーザ光１３０を発生するレーザ光発生部１２０と、レーザ光１３０の強度を電気信号に変換する光電変換部１５０と、該電気信号を処理する信号処理部１６０とを備え、該信号処理部１６０は、前記液滴が前記レーザ光を通過するときの前記光電変換部１５０の信号強度と該液滴の重量との関係式を記憶しており、該関係式に基づいて、前記光電変換部１５０から入力された信号強度に対応する液滴の重量を計算する。 （もっと読む）

【課題】 投影装置の光軸と同じ方向から観測する第１カメラの撮影画像のエッジ抽出エラーを抑制する。
【解決手段】 投影装置１０のストライプパターンをフレームメモリ１１０から読み出して基準ストライプパターンメモリ１１１に書き込み、書き込んだストライプパターンを再コード化により補正する。第１カメラ２０のパターン画像からストライプを抽出し、各ストライプをストライプ幅毎に縦方向に分割し、セルを生成する。画像の中心から順に対応する各セル間の強度を比較し、対象物の反射率などの要因によってパターンが変化してセル間の強度が閾値以上異なった場合には新たなコードの生成、割り付けを行い、基準ストライプパターンメモリ１１１のストライプパターンを補正する。ストライプパターンには固有のエッジが設定されており、対象物の表面形状やテクスチャによって変化することがないので、正確なエッジ座標を取得でき、エッジ検出誤差の問題がない。 （もっと読む）

【課題】カメラは中心投影である為に、物体を投影した場合、距離やレンズの歪み等により、画像が歪んでしまう。立体的な物体の画像、映像を、単写真で正射投影画像へする従来の方法としては、個々のレンズ自体の歪みを計算し、補正して正射投影画像へする方法がある。しかしながら、対象物が立体的なので、以上の方法によると精度が出にくかった。
そこで、この発明は立体的な物体の画像、映像を、正射投影画像へする、より精度の高い技術を提供することを課題とする。
【解決手段】まず、平面上に、レーザーをカメラ軸と平行に投影し、その位置関係を計測する。
次に被写体を置き、レーザーをカメラ軸と平行に物体へ投影し、同じ方向から平行にカメラ撮影し、その画像、映像に写るレーザーの点、線の位置関係を計測する。
基準点及び基準線は、平行なレーザー光線により計測する為、どの様に物体が変形していても、正確なメッシュ状に物体に投影することができる。
これにより前者の基準点及び基準線へ、後者の基準点及び基準線を合わせる事により物体を正確な正射投影画像にすることができる。 （もっと読む）

【課題】 対象部材に形成された貫通穴の位置、方向などを精度よく検出すること。
【解決手段】 所定の厚みを有するワークに形成された貫通穴を撮影して当該貫通穴の内壁面が映るステレオ画像を取得する画像取得装置１Ａと、この取得した画像を処理する画像処理装置２と、を備え、この画像処理装置２が、取得したステレオ画像から内壁面部分の特徴点を検出し、当該特徴点の三次元位置情報を検出する位置情報検出手段１２，１３と、検出した特徴点の三次元位置情報に基づいて貫通穴の形状を予測し、略筒状の三次元形状を算出する形状予測手段１４と、位置情報検出手段にて検出した特徴点の分布に基づいて、形状予測手段にて算出された略筒状の三次元形状における端部を特定する端部特定手段１５と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】プリント基板上の実装部品の半田接合状態を高精度に検査可能な実装基板検査装置を提供する。
【解決手段】検査基板上の検査対象物の高さデータをレーザ三角測量により求めるレーザ計測部と、前記基板にＸ線を照射して撮影されるＸ線透過像より前記検査対象物の断面形状を算出して高さデータを計測するＸ線計測部と、前記レーザ計測部において計測された高さデータより検査対象物の外形形状の傾斜角を算出し、算出された傾斜角に基づいてレーザ計測部において計測された高さデータと前記Ｘ線計測部において計測された高さデータとを選択的に切り替える計測検査ユニットとを備える。 （もっと読む）

【課題】 検査対象物の外観を確実に検査することができる外観検査用装置を提供する。
【解決手段】 第１の基台１１は、鏡面状に加工された第１の円錐台面１７を有しており、この第１の基台１１には、第１の円錐台面１７の中心軸線に沿って、円筒状の孔１８が形成されている。この孔１８には、第１の円錐台面１７と同心軸状に、第２の基台１２が配置される。第２の基台１２の先端部は、円錐台形状となっており、鏡面状に加工された第２の円錐台面２１を有している。そして、検査対象物７における外内周の端縁の全周が、第１の円錐台面１７及び第２の円錐台面２１に当接されて配置されている。また、照明器１６には、複数の光源１９が円周上に配列され、検査対象物７の上面７ａ、外周面７ｂ或いは内周面７ｃに対して、直接光を照射する。この状態で検査対象物７をカメラ６によって撮像する。 （もっと読む）